CN107677686B - 光线透过窗集成装置及采用该装置的设备 - Google Patents

光线透过窗集成装置及采用该装置的设备 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种光线透过窗集成装置及采用该装置的设备。该光线透过窗集成装置包括：基座，所述基座贯通相对的第一端面和第二端面设置有光线传输通路；具有预设透明度的窗体，固定设置于所述第一端面，并盖设于所述光线传输通路上；光源，设置于所述基座的内部，且所发出光线能够通过所述光线传输通路传输至所述窗体；图像采集部件，设置于所述窗体远离所述基座的一侧。该装置通过设置图像采集部件，在光源所提供照明时，利用图像采集部件能够拍摄获得窗体的清晰图像，用于实现对窗体的表面洁净度检测，检测过程简单、方便。

Description

光线透过窗集成装置及采用该装置的设备
技术领域
本发明涉及产品制造技术领域，尤其是指一种光线透过窗集成装置及采用该装置的设备。
背景技术
随着平面显示器的兴起，低温多晶硅(Low Temperature Poly-silicon，简称LTPS)技术已成为高画质显示器的代名词。近年，各大面板厂商相继投产大视代LTPS生产线，低温多晶硅技术发展迅速、前景良好。
在LTPS制作工艺中，准分子激光退火(Excimer Laser Annel，简称ELA)为不必可少的工艺过程，因此ELA设备为LTPS制作工艺的必要设备。
通常，ELA设备上设置有退火窗口，安装在ELA设备的上部，用于实现密封并使退火用激光透过。激光传输进入ELA设备的内部，对内部设置的玻璃基板进行退火处理。随着ELA设备的长时间使用，激光透过退火窗口的累计时间增加，逐渐会在退火窗口的表面形成污染，此外由于退火窗口裸露在外部，同时也会有杂质飘落到退火窗口上，从而影响退火工艺的处理效果。因此在进行准分子激光退火时，需要掌握退火窗口的洁净度情况，以免其洁净度不佳时，影响最终退火工艺的效果。
目前进行退火窗口洁净度检测的过程繁琐，首先需要手动操作ELA设备使其上升，与下部密封圈分离，然后松开螺栓将退火窗口取下，检查洁净度后再装回。此外，退火窗口的价格昂贵，设备安装位置较高，频繁取放会使部件损坏的危险性增加。
因此，有必要设计一种窗口检测装置，以使得上述设置结构的退火窗口的检测过程简单、方便，避免频率拆装窗口，造成损坏。
发明内容
本发明技术方案的目的是提供一种光线透过窗集成装置及采用该装置的设备，用于解决现有技术密封设备上所设置窗口的检测过程较为繁琐的问题。
本发明实施例提供一种光线透过窗集成装置，其中，包括：
基座，所述基座贯通相对的第一端面和第二端面设置有光线传输通路；
具有预设透明度的窗体，固定设置于所述第一端面，并盖设于所述光线传输通路上；
光源，设置于所述基座的内部，且所发出光线能够通过所述光线传输通路传输至所述窗体；
图像采集部件，设置于所述窗体远离所述基座的一侧。
优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，所述光线透过窗集成装置还包括：
安装架体，所述图像采集部件通过一移动驱动结构安装于所述安装架体上；通过所述移动驱动结构，所述图像采集部件能够在所述窗体远离所述基座的一侧，相对于所述窗体在一个平面内移动。
优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，所述移动驱动结构包括：
丝杠和与所述丝杠配合连接的滑块，其中所述图像采集部件固定于所述滑块上；
驱动马达，与所述丝杠连接，所述驱动马达通过驱动所述丝杠转动，所述滑块带动所述图像采集部件沿所述丝杠移动。
优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，所述光线透过窗集成装置还包括：
气体吹出结构，用于在所述窗体远离所述基座的一侧吹出气体，且使所吹出气体以平行于所述窗体的第一表面的方向通过所述第一表面，其中所述第一表面为所述窗体远离所述第一端面的表面。
优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，所述光线透过窗集成装置还包括：
排气结构，包括与所述气体吹出结构相对设置的排气管路，其中所述气体吹出结构所吹出气体通过所述第一表面后，进入所述排气管路。
优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，所述气体吹出结构与所述基座一体连接，内部设置有多条吹气管路，且每一所述吹气管路的出气口沿所述第一表面的其中一边缘排列。
优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，所述基座形成为一盒体结构，所述第一端面上开设有与所述窗体的形状和大小对应的第一开孔，所述第二端面上开设有长条形的第二开孔；在所述基座内部，所述第一开孔到所述第二开孔的空间形成为所述光线传输通路。
优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，在所述基座的内部，所述基座的相对两个侧壁上分别设置有多个所述光源。
本发明具体实施例另一方面还提供一种加工设备，包括设备壳体，其中，所述加工设备还包括如上任一项所述的光线透过窗集成装置，其中所述设备壳体上设置有开口，所述基座设置于所述设备壳体的内部，所述窗体设置于所述开口处，并封闭所述开口。
优选地，所述的加工设备，其中，所述加工设备还包括激光发射结构，设置于所述设备壳体的外部，所述激光发射结构用于通过所述窗体朝所述设备壳体的内部传输激光束；其中所述图像采集部件安装于所述激光发射结构上。
本发明的一个或多个实施例至少具有以下有益效果：
本发明具体实施例所述光线透过窗集成装置，通过设置图像采集部件，在光源所提供照明时，利用图像采集部件能够拍摄获得窗体的清晰图像，用于实现对窗体的表面洁净度检测。因此采用本发明具体实施例所述光线透过窗集成装置，在窗体安装于设备上的状态，即能够完成检测过程，不需要从设备上折卸窗体，检测过程简单、方便。
附图说明
图1为本发明实施例所述光线透过窗集成装置在第一角度的立体结构透视图；
图2为本发明实施例所述光线透过窗集成装置在第二角度的立体结构透视图；
图3为本发明实施例所述光线透过窗集成装置中所述移动驱动结构的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明具体实施例所述光线透过窗集成装置，通过设置用于安装光源的基座，光源的光能够传输至用于光线透过的窗体上，在对窗体照明的条件下，利用设置于窗体一侧的图像采集部件采集窗体上的图像，即能够实现对窗体表面的洁净度检测，避免现有技术对窗体检测需要拆除窗体，使得检测过程繁琐的问题。
图1至图2为本发明具体实施例所述光线透过窗集成装置在不同角度的立体结构示意图。参阅图1至图2，本发明具体实施例所述光线透过窗集成装置具体包括基座100、具有预设透明度的窗体200、光源300和图像采集部件400。
具体地，基座100贯通相对的第一端面110和第二端面120设置有光线传输通路130；本发明实施例中，基座100形成为一盒体结构，第一端面110上开设有与窗体200的形状和大小对应的第一开孔，第二端面120上开设有长条形的第二开孔121。在基座100的内部形成为中空空间，第一端面110的第一开孔到第二端面120的第二开孔121的空间形成为光线传输通路。
其中，第一端面110的第一开孔形成为用于光线透过的窗体200的安装位置，当光线透过窗集成装置安装于设备上时，透过窗体200、基座100内部的光线传输通路和第二端面120上的第二开孔121，可以观测到设备内部的工作状况。
较佳地，本发明实施例所述光线透过窗集成装置可以应用于ELA设备，通过光线透过窗集成装置，可以使激光发射结构所发出激光传输进入ELA设备的内部，用于ELA设备内部所设置玻璃基板的退火工艺。因此第二开孔121的形状和大小可以依据激光束透过的设计要求确定。
可以理解的是，采用能够使光线透过的窗体的设备不限于仅包括ELA设备，具体基座100的结构、第一端面110和第二端面120上所设置开孔的结构和形状并不限于上述。
另外，窗体200形成为平板状，具有预设透明度，能够使光线透过，具体结构和材料可以依据设备的设计要求和工艺要求确定。本发明具体实施例中，窗体200固定设置于第一端面110的第一开孔位置，该第一开孔为基座100内部的光线传输通路在第一端面110上所形成的开孔，因此窗体200盖设于光线传输通路上，且在第二端面120的投影，能够覆盖第二开孔121，以使得透过窗体200、基座100内部的光线传输通路和第二开孔121能够观测到窗体200下方的设备内部情况。
光源300，设置于基座100的内部，且所发出光线能够通过基座100内部的光线传输通路传输至窗体200。本发明实施例中，如图1至图2所示，在基座100的内部，相对两个侧壁140上分别设置有多个光源300，且较佳地，多个光源300在相对两个侧壁140上分别在平行于窗体200的方向排列为两排。
本发明具体实施例中，图像采集部件400可以包括一摄像头，如图1至图2所示，设置于窗体200远离基座100的一侧。
本发明具体实施例所述光线透过窗集成装置，通过在窗体200的外部设置图像采集部件400，在光源300所提供照明时，利用图像采集部件400能够拍摄获得窗体200的清晰图像，用于实现对窗体200的表面洁净度检测。因此采用本发明具体实施例所述光线透过窗集成装置，在窗体200安装于设备上的状态，即能够完成检测过程，不需要从设备上折卸窗体，检测过程简单、方便。
较佳地，本发明具体实施例中，如图1至图2所示，所述光线透过窗集成装置还包括：
安装架体600，图像采集部件400通过一移动驱动结构安装于安装架体600上；通过移动驱动结构，图像采集部件400能够在窗体200远离基座100的一侧，相对于窗体200在一个平面内移动。这样，通过图像采集部件400相对于窗体200的移动，以用于获取窗体200上每一位置的拍摄图像。
较佳地，如图3所示，移动驱动结构500具体包括：
丝杠510和与丝杠510配合连接的滑块520，其中图像采集部件固定于滑块520上；
驱动马达(图中未显示)，与丝杠510连接，驱动马达通过驱动丝杠510转动，滑块520带动图像采集部件沿丝杠510移动。
较佳地，如图3所示，移动驱动结构500还包括相对设置的架体530，架体530内设置有移动空间540，且架体530的相对内侧壁上设置有导轨531，滑块520设置于移动空间540中，与导轨531配合连接；丝杠510插设于移动空间540中，穿设滑块520，并与滑块520配合连接，利用丝杠510的转动，能够带动滑块520在移动空间540中沿导轨531前后方向移动，以保证滑块520上所设置图像采集部件移动的平稳性。
较佳地，在丝杠510沿长度方向的相对两端设置有挡块511，以用于滑块520移动方向的限位。此外，架体530在丝杠510的两端还设置有挡架532，以进一步防止图像采集部件在移动过程中脱出。
采用图3的移动驱动结构500，当安装于图1至图2所示的安装架体600时，较佳地，结合图1至图3，导轨531的长度方向平行于第二端面120上第二开孔121的长度方向。通过驱动马达驱动丝杠510转动，带动滑块520移动，从而带动设置于滑块520上的图像采集部件400相对于窗体200沿丝杠510的长度方向往复移动，以用于窗体200的图片拍摄。
本发明具体实施例所述光线透过窗集成装置，参阅图1至图2，所述光线透过窗集成装置还包括：
气体吹出结构700，用于在窗体200远离基座100的一侧吹出气体，且使所吹出气体以平行于窗体200的第一表面的方向通过所述第一表面，其中所述第一表面为所述窗体200远离所述第一端面110的表面。
另外，较佳地，所述光线透过集成装置还包括排气结构800，包括与气体吹出结构700相对设置的排气管路，其中气体吹出结构700所吹出气体通过所述第一表面后，进入所述排气管路。
具体地，如图1至图2所示，气体吹出结构700与基座100一体连接，内部设置有多条吹气管路710，且每一吹气管路710的出气口711沿第一表面的其中一边缘排列。
较佳地，排气结构800也与基座100一体连接，与气体吹出结构700相对地设置于窗体200的两侧。
进一步，较佳地，气体吹出结构700所吹出气体为氮气，采用该设置结构，气体吹出结构700通过吹出多股平行地气流，通过窗体200的第一表面，也即位于基座100的外表面，用于对窗体200的第一表面上的杂质和微粒进行清除；此外，从气体吹出结构700所吹出的气流能够进入排气结构800，经排气管路排出。
此外，较佳地，本发明具体实施例中，所述光线透过窗集成装置还可以包括控制器，与光源、气体吹出结构和图像采集部件连接，用于间隔第一预设时间，使光源点亮，图像采集部件进行图像采集，以及间隔第二预设时间，使气体吹结构进行气体吹出，对窗体进行清洁，以达到实时监测窗体的清洁度并进行清洁的目的。
采用本发明具体实施例所述光线透过窗集成装置，不但能够实现对窗体表面的洁净度检测，避免现有技术对窗体检测需要拆除窗体，使得检测过程繁琐的问题，而且能够利用气体吹出结构对窗体的外表面进行实时地杂质吹除，以保证窗体的洁净度。
本发明具体实施例另一方面还提供一种加工设备，包括设备壳体，其中，所述加工设备还包括如上所述结构的光线透过窗集成装置，所述设备壳体上设置有开口，所述基座设置于所述设备壳体的内部，所述窗体设置于所述开口处，并封闭所述开口。
本发明具体实施例的加工设备，结合图1至图3，通过将如上结构的光线透过窗集成装置设置于开口处，利用窗体密封开口，基座设置于设备的内部，透过窗体、基座内部的光线传输通路和第二端面上的第二开孔，可以观测到设备内部的工作状况；此外在利用基座内部所设置光源提供照明的条件下，通过在窗体的外部设置图像采集部件，利用图像采集部件能够拍摄获得窗体的清晰图像，用于实现对窗体的表面洁净度检测。
因此采用本发明具体实施例所述光线透过窗集成装置，在窗体安装于设备上的状态，即能够完成检测过程，不需要从设备上折卸窗体，检测过程简单、方便。
本发明具体实施例所述加工设备，可以为ELA设备，较佳地，所述加工设备还包括激光发射结构，设置于设备壳体的外部，所述激光发射结构用于通过所述窗体朝所述设备壳体的内部传输激光束。
较佳地，本发明具体实施例中，所述图像采集部件安装于所述激光发射结构上，也即图1至图2所示的安装架体600可以为激光发射结构，激光发射结构上设置有窗口610，与窗体200相对设置，激光发射结构所发出激光束依次穿过窗口610、窗体200和第二开孔121传输进入设备壳体的内部，用于设置于设备壳体内部的玻璃基板的退火。
可以理解的是，所述加工设备并不限于仅能够为ELA设备，只要需要设置观测窗口的设备均可以采用本发明具体实施例的光线透过窗集成装置。
结合图1至图3，并根据以上关于所述图像采集部件的详细描述，本领域技术人员应该能够了解采用本发明具体实施例所述图像采集部件的加工设备的具体结构，在此不再赘述。
本发明具体实施例所述加工设备，在无需拆除窗体的情况下，能够实现对窗体表面的洁净度监测，检测过程简单、方便。
以上所述的是本发明的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通人员来说，在不脱离本发明所述的原理前提下还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也在本发明的保护范围内。

Claims (9)

1.一种光线透过窗集成装置，其特征在于，包括：
基座，设置于待安装的加工设备的内部，所述基座贯通相对的第一端面和第二端面设置有光线传输通路；
具有预设透明度的窗体，固定设置于所述第一端面，并盖设于所述光线传输通路上；所述窗体用于设置于待安装的加工设备的设备壳体的开口处，封闭所述开口；
光源，设置于所述基座的内部，且所发出光线能够通过所述光线传输通路传输至所述窗体；
图像采集部件，设置于所述窗体远离所述基座的一侧；
气体吹出结构，用于在所述窗体远离所述基座的一侧吹出气体，且使所吹出气体以平行于所述窗体的第一表面的方向通过所述第一表面，其中所述第一表面为所述窗体远离所述第一端面的表面。
2.根据权利要求1所述的光线透过窗集成装置，其特征在于，所述光线透过窗集成装置还包括：
安装架体，所述图像采集部件通过一移动驱动结构安装于所述安装架体上；通过所述移动驱动结构，所述图像采集部件能够在所述窗体远离所述基座的一侧，相对于所述窗体在一个平面内移动。
3.根据权利要求2所述的光线透过窗集成装置，其特征在于，所述移动驱动结构包括：
丝杠和与所述丝杠配合连接的滑块，其中所述图像采集部件固定于所述滑块上；
驱动马达，与所述丝杠连接，所述驱动马达通过驱动所述丝杠转动，所述滑块带动所述图像采集部件沿所述丝杠移动。
4.根据权利要求1所述的光线透过窗集成装置，其特征在于，所述光线透过窗集成装置还包括：
排气结构，包括与所述气体吹出结构相对设置的排气管路，其中所述气体吹出结构所吹出气体通过所述第一表面后，进入所述排气管路。
5.根据权利要求1所述的光线透过窗集成装置，其特征在于，所述气体吹出结构与所述基座一体连接，内部设置有多条吹气管路，且每一所述吹气管路的出气口沿所述第一表面的其中一边缘排列。
6.根据权利要求1所述的光线透过窗集成装置，其特征在于，所述基座形成为一盒体结构，所述第一端面上开设有与所述窗体的形状和大小对应的第一开孔，所述第二端面上开设有长条形的第二开孔；在所述基座内部，所述第一开孔到所述第二开孔的空间形成为所述光线传输通路。
7.根据权利要求6所述的光线透过窗集成装置，其特征在于，在所述基座的内部，所述基座的相对两个侧壁上分别设置有多个所述光源。
8.一种加工设备，包括设备壳体，其特征在于，所述加工设备还包括权利要求1至7任一项所述的光线透过窗集成装置，其中所述设备壳体上设置有开口，所述基座设置于所述设备壳体的内部，所述窗体设置于所述开口处，并封闭所述开口。
9.根据权利要求8所述的加工设备，其特征在于，所述加工设备还包括激光发射结构，设置于所述设备壳体的外部，所述激光发射结构用于通过所述窗体朝所述设备壳体的内部传输激光束；其中所述图像采集部件安装于所述激光发射结构上。
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