CN107653428A - 提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法 - Google Patents

提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107653428A
CN107653428A CN201710835379.1A CN201710835379A CN107653428A CN 107653428 A CN107653428 A CN 107653428A CN 201710835379 A CN201710835379 A CN 201710835379A CN 107653428 A CN107653428 A CN 107653428A
Authority
CN
China
Prior art keywords
aluminium base
heat treatment
yttria
drying
adhesion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201710835379.1A
Other languages
English (en)
Inventor
赵浩
孙焕
王涛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuhu Tide Precision Machinery Ltd By Share Ltd
Original Assignee
Wuhu Tide Precision Machinery Ltd By Share Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuhu Tide Precision Machinery Ltd By Share Ltd filed Critical Wuhu Tide Precision Machinery Ltd By Share Ltd
Priority to CN201710835379.1A priority Critical patent/CN107653428A/zh
Publication of CN107653428A publication Critical patent/CN107653428A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/02Pretreatment of the material to be coated, e.g. for coating on selected surface areas
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/04Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
    • C23C4/10Oxides, borides, carbides, nitrides or silicides; Mixtures thereof
    • C23C4/11Oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/12Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
    • C23C4/134Plasma spraying

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Treatment Of Metals (AREA)

Abstract

本发明公开了一种提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法,所述方法是将喷涂三氧化二钇的铝基板进行烘干表面热处理,烘干热处理的温度为100‑600℃,烘干热处理的时间为8‑12h。本发明通过采用喷涂后进行表面热处理从而达到提升三氧化二钇与铝基板的结合力,减少涂层由于结合力弱而易脱落的现象。

Description

提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法
技术领域
本发明属于内壁板制造技术领域,具体涉及一种提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法。
背景技术
目前国内平板显示行业和半导体行业蓬勃发展,但是给平板显示行业和半导体行业提供相配套的核心电子零部件制造的企业很少,尤其是国内本土行业更是少之又少,平板显示行业和半导体行业一直面对国外厂商的竞争,尤其是价格的竞争,所以各厂商急需寻找到服务能力强且价格又有竞争力的供应商。内壁板是由铝合金材料制成,为了提高其使用寿命和满足工作性能,以往通过铝阳极氧化,形成几个到几百微米的氧化铝薄膜,使其绝缘性、耐蚀性、耐磨性和耐环境腐蚀性能等得提高和改善。在以往的内壁板喷涂过程中三氧化二钇与铝基板的结合能力较弱,不能满足当前生产环境的苛刻要求。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本发明提供一种提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法,目的是减少涂层由于结合力弱而易脱落。
为了实现上述目的,本发明采取的技术方案为:
一种提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法,所述方法是将喷涂三氧化二钇的铝基板进行表面烘干热处理,烘干热处理的温度为100-600℃,烘干热处理的时间为8-12h。
优选的,所述烘干热处理的温度为350-600℃。
更优选的,所述烘干热处理的温度为550℃。
所述方法还包括在铝基板喷涂三氧化二钇之前进行阳极氧化的步骤。
所述方法还包括在铝基板喷涂三氧化二钇之前对铝基板进行清洗、喷砂的步骤。
本发明的有益效果:本发明通过采用喷涂后进行表面干燥热处理从而达到提升三氧化二钇与铝基板的结合力,减少涂层由于结合力弱而易脱落的现象。本发明在一千摄氏度以下都处于极其稳定的状态,处理方法简单,高效,实用性强。
具体实施方式
下面通过对实施例的描述,对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明,目的是帮助本领域的技术人员对本发明的构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解,并有助于其实施。
一种提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法,该方法是将喷涂三氧化二钇的铝基板进行表面烘干热处理,烘干热处理的温度为100-600℃,烘干热处理的时间为8-12h。为了保证铝基板的不损坏实验做高温度设置在600℃,三氧化二钇(Y2O3)稳定性较强,一千摄氏度以下都处于稳定状态。
下面以干燥热处理的时间为8h,通过不同干燥温度下的具体实施例进行详细说明:
实施例1
将铝基板先进行表面清洗、干燥处理,对铝基板工件非喷涂面用喷涂专用胶带包敷,之后进行喷砂,喷砂压力为0.15-0.25Mpa,喷砂高度为350-400μm,粗糙度大于3.0μm即可。喷砂完毕后,用纯水清洗铝基板工件,之后用气枪将其吹干。然后等离子喷涂三氧化二钇,其喷涂功率29KW-34KW、喷涂速度800-1000mm/s,使得喷涂三氧化二钇涂层的厚度为200μm,最后将喷涂三氧化二钇涂层的工件放入烘箱进行烘干热处理,烘干热处理的温度为600℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为13.88MPa。
实施例2
本实施例与实施例1的不同点在于,在喷涂三氧化二钇涂层之前对其进行喷砂并清洗、干燥后的铝基板采用阳极氧化工艺镀膜,镀膜的厚度为50μm,之后的烘干热处理的温度为550℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为15.71MPa。
实施例3
本实施例与实施例1的不同点在于,烘干热处理的温度为500℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为12.17MPa。
实施例4
本实施例与实施例1的不同点在于,烘干热处理的温度为450℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为12.05MPa。
实施例5
本实施例与实施例1的不同点在于,烘干热处理的温度为400℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为10.02MPa。
实施例6
本实施例与实施例1的不同点在于,烘干热处理的温度为350℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为9.93MPa。
实施例7
本实施例与实施例1的不同点在于,烘干热处理的温度为300℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为8.72MPa。
实施例8
本实施例与实施例1的不同点在于,烘干热处理的温度为200℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为8.33MPa。
实施例9
本实施例与实施例1的不同点在于,烘干热处理的温度为100℃,烘干热处理时间为8h,热处理后测得其粘合力为8.11MPa。
对比例
本实施例与实施例1的不同点在于,不进行表面烘干热处理。
实验测得未进行表面热处理的铝基板产品粘合力为8.07MPa。
上述各实施例的实验结合力如下表1:
以上对本发明进行了示例性描述。显然,本发明具体实现并不受上述方式的限制。只要是采用了本发明的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进;或未经改进,将本发明的上述构思和技术方案直接应用于其它场合的,均在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法,其特征在于,所述方法是将喷涂三氧化二钇的铝基板进行表面烘干热处理,烘干热处理的温度为100-600℃,烘干热处理的时间为8-12h。
2.根据权利要求1所述提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法,其特征在于,所述烘干热处理的温度为350-600℃。
3.根据权利要求1所述提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法,其特征在于,所述烘干热处理的温度为550℃。
4.根据权利要求1所述提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法,其特征在于,所述方法还包括在铝基板喷涂三氧化二钇之前进行阳极氧化的步骤。
5.根据权利要求1所述提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法,其特征在于,所述方法还包括在铝基板喷涂三氧化二钇之前对铝基板进行清洗、喷砂的步骤。
CN201710835379.1A 2017-09-15 2017-09-15 提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法 Pending CN107653428A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710835379.1A CN107653428A (zh) 2017-09-15 2017-09-15 提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710835379.1A CN107653428A (zh) 2017-09-15 2017-09-15 提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN107653428A true CN107653428A (zh) 2018-02-02

Family

ID=61130404

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710835379.1A Pending CN107653428A (zh) 2017-09-15 2017-09-15 提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107653428A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109161839A (zh) * 2018-09-20 2019-01-08 芜湖通潮精密机械股份有限公司 一种刻蚀机台铝阳极氧化部件再生制备工艺

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05247622A (ja) * 1991-05-27 1993-09-24 Nippon Steel Corp 熱処理炉用ロール
CN101161853A (zh) * 2007-07-27 2008-04-16 重庆工学院 一种降低镁合金表面喷涂涂层扩散温度的方法
CN103305839A (zh) * 2013-06-24 2013-09-18 叶绿均 一种Ni基自熔合金激光熔敷涂层

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05247622A (ja) * 1991-05-27 1993-09-24 Nippon Steel Corp 熱処理炉用ロール
CN101161853A (zh) * 2007-07-27 2008-04-16 重庆工学院 一种降低镁合金表面喷涂涂层扩散温度的方法
CN103305839A (zh) * 2013-06-24 2013-09-18 叶绿均 一种Ni基自熔合金激光熔敷涂层

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
宣天鹏编著: "《表面工程技术的设计与选择》", 31 May 2011 *
闫坤坤等: "大气等离子喷涂氧化钇涂层的相结构及表面形貌", 《金属热处理》 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109161839A (zh) * 2018-09-20 2019-01-08 芜湖通潮精密机械股份有限公司 一种刻蚀机台铝阳极氧化部件再生制备工艺

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107630185A (zh) 一种干刻机台内壁板再生方法
CN104508849B (zh) 层积体、层积体的制造方法、电极、el元件、面发光体以及太阳能电池
CN105293427B (zh) 一种基于弯月面受限局部电镀的超疏水表面的制备方法
CN103623982B (zh) 一种用于小零件的喷涂方法
CN106011971A (zh) 一种在钛合金表面制备陶瓷膜/釉膜复合涂层的方法
CN107653428A (zh) 提高三氧化二钇与铝基板结合力的方法
CN107937874B (zh) 一种在铌合金表面制备Pt-Al高温防护涂层的方法
CN107675120B (zh) 一种在钼或钼合金表面制备硅化钼涂层的方法
CN108130500A (zh) 一种热喷涂抗裂纹扩展氧化铝陶瓷复合涂层材料及其使用方法
CN109967324A (zh) 一种不锈钢防指纹涂装工艺
CN107304479B (zh) 一种高硅铝合金的镀覆方法
CN108707952B (zh) 一种钢化玻璃表面电泳喷涂工艺
CN101914743A (zh) 一种镁合金表面处理方法
TW201024473A (en) Lithium phosphate thin film, method for manufacturing the same and application thereof
TW200644003A (en) Method for oxide dielectric layer formation, and capacitor layer forming material comprising oxide dielectric layer formed by said formation method
CN106283664A (zh) 疏水性能可自修复的耐水洗织物的制备方法
CN105938793B (zh) 一种针对背镀晶片的清洗工艺
CN202193845U (zh) 一种应用于薄膜沉积工艺的硅片载板
CN110106472A (zh) 一种金属表面保护层及其制备方法
CN110216056A (zh) 一种耐蚀耐磨有色涂层铝箔的制造方法
CN105506534A (zh) 一种镁合金表面具有导电性能的耐蚀铝涂层制备工艺
CN106048613A (zh) 一种低发射率及低吸收比热控涂层的制备方法
CN206052149U (zh) 太阳能硅片镀膜用石墨舟片及石墨舟
CN106987791A (zh) 一种基于mems微结构结合力强化的涂层制备方法
CN109089338A (zh) 一种石墨烯电热膜及其制备方法和应用

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20180202

RJ01 Rejection of invention patent application after publication