CN107643732B - 用于设置工艺配方数据的方法和系统 - Google Patents

用于设置工艺配方数据的方法和系统 Download PDF

Info

Publication number
CN107643732B
CN107643732B CN201610587600.1A CN201610587600A CN107643732B CN 107643732 B CN107643732 B CN 107643732B CN 201610587600 A CN201610587600 A CN 201610587600A CN 107643732 B CN107643732 B CN 107643732B
Authority
CN
China
Prior art keywords
tolerance
recipe
process recipe
category
formula
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610587600.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107643732A (zh
Inventor
尤艳艳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd
Original Assignee
Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd filed Critical Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd
Priority to CN201610587600.1A priority Critical patent/CN107643732B/zh
Publication of CN107643732A publication Critical patent/CN107643732A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107643732B publication Critical patent/CN107643732B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Abstract

本发明公开了用于设置工艺配方数据的方法和系统，所述方法包括：S1、获取工艺配方的ID，根据所述工艺配方的ID从下位机中获取所述工艺配方的主体对象；其中，所述工艺配方的主体对象中含有所述工艺配方的类别、容差类型、以及工艺参数的信息；S2、解析所述工艺配方的主体对象，从所述工艺配方的主体对象中获取工艺步骤，并对每一步工艺步骤生成工艺步骤信息列；S3、将生成的每一步工艺步骤信息列都添加到工艺配方表中。本发明的技术方案实现了对工艺配方单独设置容差值。

Description

用于设置工艺配方数据的方法和系统
技术领域
本发明涉及自动化生产工艺，更具体地，涉及一种用于设置工艺配方数据的方法和一种用于设置工艺配方数据系统。
背景技术
工业自动化生产中的工艺配方，其内容包含工艺过程中的多个步骤，以及各个步骤中的各种工艺参数值和本步骤持续时间。在自动化生产过程中，生产线设备依据工艺配方的内容完成对物料的加工，产品的质量可通过调整工艺配方来改进，所以一个先进的工艺配方对提升产品价值有着非常重要的作用，尤其是在半导体生产业。
工艺配方的编辑和管理要尽量做到安全，防止误删、误改或恶意破坏，以免对生产造成损失。工艺配方数据的保存统一采用了XML文件的方式，这样不仅通用性、规范性好，而且方便用户阅读与理解。
在半导体行业中，刻蚀工艺主要有刻蚀工艺、干法清洗工艺和刻蚀-沉积循环工艺等多种工艺类型。刻蚀工艺主要用于硅片刻蚀。干法清洗工艺用于腔室的清洗。刻蚀-沉积循环工艺在于如何实现父配方和子配方之间的关联关系，以及实现子配方按指定次数循环执行。其中父配方代表整个工艺过程，子配方代表工艺过程中的一个刻蚀-沉积循环单元。针对不同的工艺需求及硬件设备的不同，工艺配方的工艺参数存在不同。
在现有技术方案中，工艺配方中只包含执行工艺时需要的工艺参数，不包含工艺执行过程中监测实时数据用的容差值，容差值一般存储为整个设备的配置参数，适用于设备上运行的所有工艺配方，但发明人发现，某些情况下单个工艺配方需要单独设置容差值，现有技术不能满足这种需求。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种能够对工艺配方单独设置容差值的新的技术方案。
根据本发明的第一方面，提供了一种用于设置工艺配方数据的方法，包括以下步骤：
S1、获取工艺配方的ID，根据所述工艺配方的ID从下位机中获取所述工艺配方的主体对象；其中，所述工艺配方的主体对象中含有所述工艺配方的类别、容差类型、以及工艺参数的信息；所述工艺配方的类别包括父类别和子类别，所述容差类型包括软硬容差类型和非软硬容差类型，所述工艺配方的工艺参数包括执行所述工艺配方所需的硬件参数；
S2、解析所述工艺配方的主体对象，从所述工艺配方的主体对象中获取工艺步骤，并对每一步工艺步骤生成工艺步骤信息列；
S3、将生成的每一步工艺步骤信息列都添加到工艺配方表中。
优选地，所述步骤S2还包括：如果所述工艺配方的类别为子类别并且容差类型为软硬容差类型，则对于每一步工艺步骤都生成含有软件容差参数和硬件容差参数的工艺步骤信息列。
优选地，所述步骤S2还包括：如果所述工艺配方的类别为子类别并且容差类型为非软硬容差类型，则对于每一步工艺步骤都生成不含有软件容差参数和硬件容差参数的工艺步骤信息列。
优选地，所述方法还包括步骤S4：将所述工艺配方表封装到上位机工艺配方相关程序的远程控制信息中。
根据本发明的第二方面，提供了一种用于设置工艺配方数据的系统，包括以下模块：
主体对象获取模块，用于根据工艺配方的ID从下位机中获取工艺配方的主体对象；其中，所述工艺配方的主体对象中含有所述工艺配方的类别、容差类型、以及工艺参数的信息；所述工艺配方的类别包括父类别和子类别，所述容差类型包括软硬容差类型和非软硬容差类型，所述工艺配方的工艺参数包括执行所述工艺配方所需的硬件参数；
解析模块，用于解析所述工艺配方的主体对象，从所述工艺配方的主体对象中获取工艺步骤，并对每一步工艺步骤生成工艺步骤信息列；
工艺配方表生成模块，用于将生成的每一步工艺步骤信息列都添加到工艺配方表中。
优选地，所述解析模块用于如果所述工艺配方的类别为子类别并且容差类型为软硬容差类型，则对于每一步工艺步骤都生成含有软件容差参数和硬件容差参数的工艺步骤信息列。
优选地，所述解析模块用于如果所述工艺配方的类别为子类别并且容差类型为非软硬容差类型，则对于每一步工艺步骤都生成不含有软件容差参数和硬件容差参数的工艺步骤信息列。
优选地，所述系统还包括远程控制信息封装模块；所述远程控制信息封装模块用于将所述工艺配方表封装到上位机工艺配方相关程序的远程控制信息中。
本发明的技术方案是从下位机中获取工艺配方的主体对象，工艺配方的主体对象中含有工艺配方的类别、容差类型、以及工艺参数的信息，利用工艺配方的类别和容差类型实现对工艺配方单独设置容差值。
本发明的发明人发现，在现有技术中，还没有对单个工艺配方单独设置容差值的技术方案。因此，本发明所要实现的技术任务或者所要解决的技术问题是本领域技术人员从未想到的或者没有预期到的，故本发明是一种新的技术方案。
附图说明
被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。
图1是本发明实施例提供的用于设置工艺配方数据的方法的步骤示意图。
图2是本发明实施例提供的用于设置工艺配方数据的系统的框图。
具体实施方式
现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。
以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。
对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
参考图1说明本发明实施例提供的用于设置工艺配方数据的方法，包括以下步骤：
S1、获取工艺配方的ID，根据工艺配方的ID从下位机中获取工艺配方的主体对象(Recipe Body)。
其中，工艺配方的主体对象中含有工艺配方的类别、容差类型、以及工艺参数的信息。工艺配方的类别包括父类别和子类别，容差类型包括软硬容差类型和非软硬容差类型，工艺参数包括执行所述工艺配方所需的硬件参数。工艺配方的容差类型为软硬容差类型时，工艺配方的主体对象中还含有工艺配方的软件容差参数和硬件容差参数的信息。在本发明中，父类别是指父配方，子类别是指子配方。
S2、解析工艺配方的主体对象，从工艺配方的主体对象中获取工艺配方步骤(Recipe Step)，并对每一步工艺步骤生成工艺步骤信息列。
特别的，如果工艺配方的类别为子类别并且容差类型为软硬容差类型，则对于每一步工艺步骤都生成含有软件容差参数和硬件容差参数的工艺步骤信息列；如果工艺配方的类别为子类别并且容差类型为非软硬容差类型，则对于每一步工艺步骤都生成不含有软件容差参数和硬件容差参数的工艺步骤信息列。
S3、将生成的每一步工艺步骤信息列都添加到工艺配方表(Recipe Table)中。
进一步的，还可以包括步骤S4、将工艺配方表封装到上位机工艺配方相关程序的远程控制信息中。
参考图2说明本发明实施例提供的用于设置工艺配方数据的系统，包括主体对象获取模块100、解析模块200、以及工艺配方表生成模块300。
主体对象获取模块100，用于根据工艺配方的ID从下位机中获取工艺配方的主体对象(Recipe Body)；
其中，工艺配方的主体对象中含有工艺配方的类别、容差类型、以及工艺参数的信息。工艺配方的类别包括父类别和子类别，容差类型包括软硬容差类型和非软硬容差类型，工艺参数包括执行所述工艺配方所需的硬件参数。工艺配方的容差类型为软硬容差类型时，工艺配方的主体对象中还含有工艺配方的软件容差参数和硬件容差参数的信息。在本发明中，父类别是指父配方，子类别是指子配方。
解析模块200，用于解析工艺配方的主体对象，从工艺配方的主体对象中获取工艺步骤，并对每一步工艺步骤生成工艺步骤信息列。
特别的，如果工艺配方的类别为子类别并且容差类型为软硬容差类型，解析模块200对于每一步工艺步骤都生成含有软件容差参数和硬件容差参数的工艺步骤信息列；如果工艺配方的类别为子类别并且容差类型为非软硬容差类型，解析模块200对于每一步工艺步骤都生成不含有软件容差参数和硬件容差参数的工艺步骤信息列。
工艺配方表生成模块300，用于将生成的每一步工艺步骤信息列都添加到工艺配方表中。
进一步地，所述系统还可以包括远程控制信息封装模块；所述远程控制信息封装模块用于将所述工艺配方表封装到上位机工艺配方相关程序的远程控制信息中。
本发明可以是系统、方法和/或计算机程序产品。计算机程序产品可以包括计算机可读存储介质，其上载有用于使处理器实现本发明的各个方面的计算机可读程序指令。
计算机可读存储介质可以是可以保持和存储由指令执行设备使用的指令的有形设备。计算机可读存储介质例如可以是――但不限于――电存储设备、磁存储设备、光存储设备、电磁存储设备、半导体存储设备或者上述的任意合适的组合。计算机可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括：便携式计算机盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、静态随机存取存储器(SRAM)、便携式压缩盘只读存储器(CD-ROM)、数字多功能盘(DVD)、记忆棒、软盘、机械编码设备、例如其上存储有指令的打孔卡或凹槽内凸起结构、以及上述的任意合适的组合。这里所使用的计算机可读存储介质不被解释为瞬时信号本身，诸如无线电波或者其他自由传播的电磁波、通过波导或其他传输媒介传播的电磁波(例如，通过光纤电缆的光脉冲)、或者通过电线传输的电信号。
这里所描述的计算机可读程序指令可以从计算机可读存储介质下载到各个计算/处理设备，或者通过网络、例如因特网、局域网、广域网和/或无线网下载到外部计算机或外部存储设备。网络可以包括铜传输电缆、光纤传输、无线传输、路由器、防火墙、交换机、网关计算机和/或边缘服务器。每个计算/处理设备中的网络适配卡或者网络接口从网络接收计算机可读程序指令，并转发该计算机可读程序指令，以供存储在各个计算/处理设备中的计算机可读存储介质中。
用于执行本发明操作的计算机程序指令可以是汇编指令、指令集架构(ISA)指令、机器指令、机器相关指令、微代码、固件指令、状态设置数据、或者以一种或多种编程语言的任意组合编写的源代码或目标代码，所述编程语言包括面向对象的编程语言—诸如Smalltalk、C++等，以及常规的过程式编程语言—诸如“C”语言或类似的编程语言。计算机可读程序指令可以完全地在用户计算机上执行、部分地在用户计算机上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算机上部分在远程计算机上执行、或者完全在远程计算机或服务器上执行。在涉及远程计算机的情形中，远程计算机可以通过任意种类的网络—包括局域网(LAN)或广域网(WAN)—连接到用户计算机，或者，可以连接到外部计算机(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。在一些实施例中，通过利用计算机可读程序指令的状态信息来个性化定制电子电路，例如可编程逻辑电路、现场可编程门阵列(FPGA)或可编程逻辑阵列(PLA)，该电子电路可以执行计算机可读程序指令，从而实现本发明的各个方面。
这里参照根据本发明实施例的方法、装置(系统)和计算机程序产品的流程图和/或框图描述了本发明的各个方面。应当理解，流程图和/或框图的每个方框以及流程图和/或框图中各方框的组合，都可以由计算机可读程序指令实现。
这些计算机可读程序指令可以提供给通用计算机、专用计算机或其它可编程数据处理装置的处理器，从而生产出一种机器，使得这些指令在通过计算机或其它可编程数据处理装置的处理器执行时，产生了实现流程图和/或框图中的一个或多个方框中规定的功能/动作的装置。也可以把这些计算机可读程序指令存储在计算机可读存储介质中，这些指令使得计算机、可编程数据处理装置和/或其他设备以特定方式工作，从而，存储有指令的计算机可读介质则包括一个制造品，其包括实现流程图和/或框图中的一个或多个方框中规定的功能/动作的各个方面的指令。
也可以把计算机可读程序指令加载到计算机、其它可编程数据处理装置、或其它设备上，使得在计算机、其它可编程数据处理装置或其它设备上执行一系列操作步骤，以产生计算机实现的过程，从而使得在计算机、其它可编程数据处理装置、或其它设备上执行的指令实现流程图和/或框图中的一个或多个方框中规定的功能/动作。
附图中的流程图和框图显示了根据本发明的多个实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或指令的一部分，所述模块、程序段或指令的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个连续的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或动作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。对于本领域技术人员来说公知的是，通过硬件方式实现、通过软件方式实现以及通过软件和硬件结合的方式实现都是等价的。
以上已经描述了本发明的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。本发明的范围由所附权利要求来限定。

Claims (4)

1.一种用于设置工艺配方数据的方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、获取工艺配方的ID，根据所述工艺配方的ID从下位机中获取所述工艺配方的主体对象；其中，所述工艺配方的主体对象中含有所述工艺配方的类别、容差类型、以及工艺参数的信息；所述工艺配方的类别包括父类别和子类别，所述容差类型包括软硬容差类型和非软硬容差类型，所述工艺配方的工艺参数包括执行所述工艺配方所需的硬件参数；
S2、解析所述工艺配方的主体对象，从所述工艺配方的主体对象中获取工艺步骤，并对每一步工艺步骤生成工艺步骤信息列；如果所述工艺配方的类别为子类别并且容差类型为软硬容差类型，则对于每一步工艺步骤都生成含有软件容差参数和硬件容差参数的工艺步骤信息列；如果所述工艺配方的类别为子类别并且容差类型为非软硬容差类型，则对于每一步工艺步骤都生成不含有软件容差参数和硬件容差参数的工艺步骤信息列；
S3、将生成的每一步工艺步骤信息列都添加到工艺配方表中。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括步骤S4：将所述工艺配方表封装到上位机工艺配方相关程序的远程控制信息中。
3.一种用于设置工艺配方数据的系统，其特征在于，包括以下模块：
主体对象获取模块，用于根据工艺配方的ID从下位机中获取工艺配方的主体对象；其中，所述工艺配方的主体对象中含有所述工艺配方的类别、容差类型、以及工艺参数的信息；所述工艺配方的类别包括父类别和子类别，所述容差类型包括软硬容差类型和非软硬容差类型，所述工艺配方的工艺参数包括执行所述工艺配方所需的硬件参数；
解析模块，用于解析所述工艺配方的主体对象，从所述工艺配方的主体对象中获取工艺步骤，并对每一步工艺步骤生成工艺步骤信息列；如果所述工艺配方的类别为子类别并且容差类型为软硬容差类型，则对于每一步工艺步骤都生成含有软件容差参数和硬件容差参数的工艺步骤信息列；如果所述工艺配方的类别为子类别并且容差类型为非软硬容差类型，则对于每一步工艺步骤都生成不含有软件容差参数和硬件容差参数的工艺步骤信息列；
工艺配方表生成模块，用于将生成的每一步工艺步骤信息列都添加到工艺配方表中。
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述系统还包括远程控制信息封装模块；
所述远程控制信息封装模块用于将所述工艺配方表封装到上位机工艺配方相关程序的远程控制信息中。
CN201610587600.1A 2016-07-22 2016-07-22 用于设置工艺配方数据的方法和系统 Active CN107643732B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610587600.1A CN107643732B (zh) 2016-07-22 2016-07-22 用于设置工艺配方数据的方法和系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610587600.1A CN107643732B (zh) 2016-07-22 2016-07-22 用于设置工艺配方数据的方法和系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107643732A CN107643732A (zh) 2018-01-30
CN107643732B true CN107643732B (zh) 2020-03-31

Family

ID=61109779

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610587600.1A Active CN107643732B (zh) 2016-07-22 2016-07-22 用于设置工艺配方数据的方法和系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107643732B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108983739B (zh) * 2018-09-26 2021-10-08 上海氦豚机器人科技有限公司 基于通讯式控制的现制现售食品多工序制作方法及应用、系统

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101866171B (zh) * 2010-04-28 2012-08-22 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种生产线设备的计时控制方法及装置
CN104750045B (zh) * 2013-12-30 2017-09-01 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 半导体工艺配方加载方法及系统
CN104752269A (zh) * 2013-12-31 2015-07-01 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种半导体工艺配方的加载方法与系统
CN104977857B (zh) * 2014-04-03 2018-01-09 北京北方华创微电子装备有限公司 工艺制程处理方法及系统
CN105787614B (zh) * 2014-12-22 2021-10-15 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体设备中工艺配方的管理方法、管理装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN107643732A (zh) 2018-01-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9176842B2 (en) Control flow analysis utilizing function dominator trees
US9990209B2 (en) Digital assistance device for facilitating multi-stage setup
US9311049B2 (en) System to improve numereical conversions and associated methods
US11029975B2 (en) Automated container image assembly
US8539466B2 (en) Determining suitable insertion points for string sanitizers in a computer code
US20190004781A1 (en) Application push method, and a service device
US10838800B2 (en) Data tuple testing and routing for a streaming application
CN107643732B (zh) 用于设置工艺配方数据的方法和系统
CN109101244A (zh) 一种ios系统一体化自动打包方法
US20130346909A1 (en) Navigation to a data definition in a diff context
US10929265B2 (en) Optimizing automated interactions with web applications
US20170351761A1 (en) Optimizing web crawling through web page pruning
CN107665124B (zh) 模块化JavaScript文件处理方法、设备和服务器
CN109634227B (zh) 工装穴位上料的控制方法、装置及系统
CN115063123A (zh) 智能制造方法、系统及电子设备
CN111626401B (zh) 运算方法及装置
US8621430B2 (en) Method for code transformation supporting temporal abstraction of parameters
CN116136757A (zh) 日志输出方法、装置及电子设备
CN111580789B (zh) 功能块框架生成
CN113781275A (zh) 一种教育资源管理方法及服务器
CN114185318A (zh) 基于人工智能的生产线信息处理方法及系统
CN117909310A (zh) 一种动作日志的记录方法、装置、自动化设备和存储介质
US20160011585A1 (en) System and method for managing industrial processes
CN111104534A (zh) 公开图像训练数据集的整合方法及装置
CN113793058A (zh) 一种工厂生产线监测方法及系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant