CN105787614B - 半导体设备中工艺配方的管理方法、管理装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体设备中工艺配方的管理方法，包括以下步骤：获取用户的用户名，并获取目标工艺配方的配方类型和属性信息；根据当前目标工艺配方的配方类型，判断当前目标工艺配方属于父配方还是属于子配方；属于父配方的操作步骤：当前用户能够编辑自己创建的当前目标工艺配方；属于子配方的操作步骤：当前用户能够编辑自己创建且没有被其他用户的父配方使用的当前目标工艺配方；否则如果当前目标工艺配方被其他用户的父配方使用，则当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。该管理方法通过对工艺配方权限的细化来避免因不同用户对工艺配方任意编辑导致工艺配方错误的问题。本发明还公开了一种半导体设备中工艺配方的管理装置。

Description

半导体设备中工艺配方的管理方法、管理装置

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种半导体设备中工艺配方的管理方法以及一种半导体设备中工艺配方的管理装置。

背景技术

在半导体制造产业中，不同的刻蚀机就会涉及到不同的工艺配方，即对被刻蚀对象进行刻蚀的秘方，其内容包括加工过程中的多个步骤以及各个步骤中的各种工艺参数值和持续时间。

随着刻蚀工艺的发展，刻蚀机在执行自动化工艺时已不再局限于只调用单一工艺配方的子配方这种形式，而是可调用多个工艺配方的父配方来实现硅片的刻蚀，因此，需要编辑越来越多的与之相符的工艺配方的子配方和父配方。

目前，对工艺配方的管理一般是根据用户的角色进行管理，用户的角色通常包括生产人员、工艺工程师等，不同的角色对工艺配方具有不同的操作权限，例如，生产人员只进行固定的生产操作，对刻蚀机的了解程度不高，因此对工艺配方只有浏览的权限，而工艺工程师，需要对设备的工艺配方进行编辑，因此对工艺配方具有读写的权限。但是，一般情况下并没有对工艺工程师的权限进行细化，而是对工艺工程师分配了统一的权限，即只要用户属于工艺工程师的角色，就可以对工艺配方的子配方和父配方进行读写操作，包括修改和删除等操作，这样容易误删或者错误地修改了其他工艺工程师的子配方和父配方，从而导致工艺配方错误，并且当不同用户创建的父配方使用同一个子配方时，如果该子配方的内容被修改了，则会影响到其他用户的父配方，也会导致工艺配方错误。

发明内容

本发明的目的旨在至少解决上述的技术缺陷之一。

为此，本发明的一个目的在于提出一种半导体设备中工艺配方的管理方法，通过对工艺配方权限的细化来避免因不同用户对工艺配方任意编辑导致工艺配方错误的问题。

本发明的另一个目的在于提出一种半导体设备中工艺配方的管理装置。

为达到上述目的，本发明一方面实施例提出了一种半导体设备中工艺配方的管理方法，包括以下步骤：获取用户的用户名，并获取目标工艺配方的配方类型和属性信息；根据当前目标工艺配方的配方类型，判断当前目标工艺配方属于父配方还是属于子配方；属于父配方的操作步骤：当前用户能够编辑自己创建的当前目标工艺配方；属于子配方的操作步骤：当前用户能够编辑自己创建且没有被其他用户的父配方使用的当前目标工艺配方；否则如果当前目标工艺配方被其他用户的父配方使用，则当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。

根据本发明实施例提出的半导体设备中工艺配方的管理方法，如果当前目标工艺配方属于父配方，则当前用户能够编辑自己创建的当前目标工艺配方；如果当前目标工艺配方属于子配方，则当前用户能够编辑自己创建且没有被其他用户的父配方使用的当前目标工艺配方；否则如果当前目标工艺配方被其他用户的父配方使用，则当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。因此，本发明实施例的半导体设备中工艺配方的管理方法通过用户的用户名、目标工艺配方的配方类型和属性信息对目标工艺配方的权限进一步的细化，并对目标工艺配方进行严格管理，防止不同用户对目标工艺配方的子配方和父配方任意编辑而导致工艺配方出现错误的情况，从而可提高半导体设备自动化工艺水平。

根据本发明的一个实施例，所述属于父配方的操作步骤，包括：判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名是否一致，若是，则将当前目标工艺配方的权限开放至当前用户；否则，当前用户不能够对当前目标工艺配方进行编辑。

根据本发明的一个实施例，属于子配方的操作步骤，包括：判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名是否一致，若是，判断当前目标工艺配方的使用次数，其中，如果所述使用次数大于预设阈值，则为所述用户分配第一权限；如果所述使用次数小于或等于所述预设阈值，则为所述用户分配第二权限，其中，所述第二权限大于所述第一权限；否则，当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。

根据本发明的一个实施例，所述第一权限为使用所述目标工艺配方、另存所述目标工艺配方或新建再使用所述目标工艺配方，所述第二权限为编辑所述目标工艺配方。

根据本发明的一个实施例，所述用户名、所述目标工艺配方的配方类型和属性信息存储在XML文件之中。

根据本发明的一个实施例，用户在父配方下增加子配方时，需要遍历保存的所有子配方，如果没有使用过该子配方则将该子配方的使用次数设为1；否则将该子配方的子配方的使用次数+1，并保存。

为达到上述目的，本发明另一方面实施例提出了一种半导体设备中工艺配方的管理装置，包括获取模块和判断模块，其中，所述获取模块用于获取用户的用户名，并获取目标工艺配方的配方类型和属性信息；所述判断模块根据当前目标工艺配方的配方类型判断当前目标工艺配方属于父配方还是子配方，其中，在所述判断模块判断当前目标工艺配方属于父配方时，当前用户能够编辑自己创建的当前目标工艺配方；在所述判断模块判断当前目标工艺配方属于子配方时，当前用户能够编辑自己创建且没有被其他用户的父配方使用的当前目标工艺配方；否则如果所述判断模块判断当前目标工艺配方被其他用户的父配方使用，则当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。

根据本发明实施例提出的半导体设备中工艺配方的管理装置，如果判断模块判断当前目标工艺配方属于父配方，则当前用户能够编辑自己创建的当前目标工艺配方，如果判断模块判断当前目标工艺配方属于子配方，当前用户能够编辑自己创建且没有被其他用户的父配方使用的当前目标工艺配方；否则如果判断模块判断当前目标工艺配方被其他用户的父配方使用，则当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。。因此，判断模块根据获取模块获取的用户的用户名、目标工艺配方的配方类型和属性信息对目标工艺配方的权限进一步的细化，并对目标工艺配方进行严格管理，防止不同用户对目标工艺配方的子配方和父配方任意编辑而导致工艺配方出现错误的情况，从而可提高半导体设备自动化工艺水平。

根据本发明的一个实施例，在判断当前目标工艺配方属于父配方时，所述判断模块判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名是否一致，若是，则将当前目标工艺配方的权限开放至当前用户；否则，当前用户不能够对当前目标工艺配方进行编辑。

根据本发明的一个实施例，在判断当前目标工艺配方属于子配方时，所述判断模块判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名是否一致，若是，所述判断模块判断当前目标工艺配方的使用次数，其中，如果所述使用次数大于预设阈值，所述判断模块则为所述用户分配第一权限；如果所述使用次数小于或等于所述预设阈值，所述判断模块则为所述用户分配第二权限，其中，所述第二权限大于所述第一权限；如果所述判断模块判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名不一致，当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。

根据本发明的一个实施例，所述第一权限为使用所述目标工艺配方、另存所述目标工艺配方或新建再使用所述目标工艺配方，所述第二权限为编辑所述目标工艺配方。

根据本发明的一个实施例，所述用户名、所述目标工艺配方的配方类型和属性信息存储在XML文件之中。

根据本发明的一个实施例，用户在父配方下增加子配方时，所述判断模块需要遍历保存的所有子配方，如果没有使用过该子配方则将该子配方的使用次数设为1；否则将该子配方的子配方的使用次数+1，并保存。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为根据本发明实施例的半导体设备中工艺配方的管理方法的流程图；

图2为根据本发明一个实施例的应用程序的配方名称的界面；以及

图3为根据本发明实施例的半导体设备中工艺配方的管理装置的方框示意图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。另外，以下描述的第一特征在第二特征之“上”的结构可以包括第一和第二特征形成为直接接触的实施例，也可以包括另外的特征形成在第一和第二特征之间的实施例，这样第一和第二特征可能不是直接接触。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

下面参照附图来描述根据本发明实施例提出的半导体设备中工艺配方的管理方法以及半导体设备中工艺配方的管理装置。

图1为根据本发明实施例的半导体设备中工艺配方的管理方法的流程图。如图1所示，该半导体设备中工艺配方的管理方法包括以下步骤：

S1，获取用户的用户名，并获取目标工艺配方的配方类型和属性信息。

S2，根据当前目标工艺配方的配方类型，判断当前目标工艺配方属于父配方还是属于子配方。

S3，属于父配方的操作步骤：当前用户能够编辑自己创建的当前目标工艺配方。

根据本发明的一个实施例，判断当前目标工艺配方属于父配方的操作步骤包括：判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名是否一致，若是，则将当前目标工艺配方的权限开放至当前用户；否则，当前用户不能够对当前目标工艺配方进行编辑。

S4，属于子配方的操作步骤：当前用户能够编辑自己创建且没有被其他用户的父配方使用的当前目标工艺配方；否则如果当前目标工艺配方被其他用户的父配方使用，则当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。

根据本发明的一个实施例，判断当前目标工艺配方属于子配方的操作步骤包括：判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名是否一致，若是，判断当前目标工艺配方的使用次数，其中，如果使用次数大于预设阈值，则为用户分配第一权限；如果使用次数小于或等于预设阈值，则为用户分配第二权限，其中，第二权限大于第一权限；如果判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名不一致，当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。

其中，第一权限为使用目标工艺配方、另存目标工艺配方或新建再使用目标工艺配方，第二权限为编辑目标工艺配方，预设阈值为1。

此外，根据本发明的一个实施例，当用户在父配方下增加子配方时，需要遍历保存的所有子配方，如果没有使用过该子配方则将该子配方的使用次数设为1；否则将该子配方的子配方的使用次数+1，并保存。

在本发明的实施例中，用户名、目标工艺配方的配方类型和属性信息存储在XML文件之中。其中，目标工艺配方的配方类型包括父配方和子配方，属性信息包括目标工艺配方的使用次数。

具体地，根据本发明的一个实施例，当用户新建目标工艺配方的父配方时，XML文件会将新建的目标工艺配方的父配方的名称和新建该工艺配方的父配方的用户名存储到XML文件之中。

当用户在目标工艺配方的父配方下新建目标工艺配方的子配方时，首先遍历存储在XML文件之中的所有子配方，如果新建的目标工艺配方的子配方未使用过，则将目标工艺配方的使用次数Times值设为1；如果新建的目标工艺配方的子配方使用过，则将之前存储在XML文件之中的目标工艺配方的使用次数Times值加1，并存储在XML文件之中。

当用户使用目标工艺配方时，需要根据用户的用户名、目标工艺配方的配方类型和属性信息为用户分配不同的权限，具体而言，就是先获取当前用户的用户名为A，并获取当前目标工艺配方的配方类型和属性信息，然后根据当前目标工艺配方的类型判断当前目标工艺配方是属于父配方还是属于子配方，如果获取的当前目标工艺配方的配方类型属于父配方，则判断当前用户的用户名A与存储在XML文件之中的目标工艺配方对应的用户名是否一致，如果当前用户的用户名A与存储在XML文件之中的目标工艺配方对应的用户名一致，即为用户A，则将目标工艺配方的权限开放至用户A，用户A可以编辑该目标工艺配方的父配方，包括使用自己创建的子配方，也可以使用其他用户创建的子配方，但是不能编辑其他用户创建的子配方；如果当前用户的用户名A与存储在XML文件之中的目标工艺配方对应的用户名不一致，如存储在XML文件之中的目标工艺配方对应的用户名为B，则不将目标工艺配方的权限开放至用户A，即用户A不能够对当前目标工艺配方进行编辑，从而有效防止不同用户对目标工艺配方进行任意编辑而导致工艺配方出现错误的情况。

如果获取的当前目标工艺配方的配方类型属于子配方，同样地，需要判断当前用户的用户名A与当前目标工艺配方对应的用户名是否一致，如果当前用户的用户名A与存储在XML文件之中的目标工艺配方对应的用户名一致，即为用户A，则需要根据当前目标工艺配方的属性信息判断是否将目标工艺配方的权限开放至用户A，即根据当前目标工艺配方的属性信息中的目标工艺配方的使用次数判断是否将目标工艺配方的权限开放至用户A，如果目标工艺配方的使用次数大于预设阈值1，则为用户A分配第一权限，此时，用户A可以使用目标工艺配方、另存目标工艺配方或新建再使用目标工艺配方，但不可以修改该目标工艺配方；如果目标工艺配方的使用次数小于或等于预设阈值1，则为用户分配第二权限，此时，创建该子配方的用户A不仅可以使用目标工艺配方、另存目标工艺配方或新建再使用目标工艺配方，还可以编辑目标工艺配方，包括修改、删除、保存该目标工艺配方等操作。从而有效防止不同用户创建的父配方使用同一个子配方时，因子配方的内容被修改而导致工艺配方出现错误的情况。

进一步地，根据本发明的一个示例，工艺配方Recipe.xml文件包括以下程序：

图2为根据本发明一个实施例的应用程序的配方名称的界面。如图2所示，该应用程序的配方名称的界面分左、右两栏，左栏为工艺配方的整个目录，包括父配方1、父配方2、父配方3、子配方etch1、子配方dryclean和子配方test1，并且父配方和子配方按照目录树层级展开，右栏包含全部的子配方名称，包括a1、a2、aa和aaa等。由图2和上述的程序可知，父配方1的工艺配方为\Etch1\etch，使用的子配方为etch1和dryclean，创建父配方1的用户名为ee1；父配方2的工艺配方为\Etch2\E2_dryclean，使用的子配方为dryclean，创建父配方2的用户名为ee2；父配方3的工艺配方为\Etch3\R1，使用的子配方为test1，创建父配方2的用户名为ee2。其中，用户ee1可以对父配方1进行编辑，用户ee2可以对父配方2和父配方3进行编辑，对于子配方etch1，只有父配方1对其使用，即使用次数Times＝1，因此，只有用户ee1可以对子配方etch1进行编辑，而其他用户只可以使用，对于子配方dryclean，父配方1和父配方2都对其使用，即使用次数Times＝2，因此，所有用户都不可以对子配方dryclean进行编辑。

综上所述，根据本发明实施例提出的半导体设备中工艺配方的管理方法，如果当前目标工艺配方属于父配方，则当前用户能够编辑自己创建的当前目标工艺配方；如果当前目标工艺配方属于子配方，则当前用户能够编辑自己创建且没有被其他用户的父配方使用的当前目标工艺配方；否则如果当前目标工艺配方被其他用户的父配方使用，则当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。因此，本发明实施例的半导体设备中工艺配方的管理方法通过用户的用户名、目标工艺配方的配方类型和属性信息对目标工艺配方的权限进一步的细化，并对目标工艺配方进行严格管理，防止不同用户对目标工艺配方的子配方和父配方任意编辑而导致工艺配方出现错误的情况，从而可提高半导体设备自动化工艺水平。

图3为根据本发明实施例的半导体设备中工艺配方的管理装置的方框示意图。如图3所示，该半导体设备中工艺配方的管理装置包括获取模块10和判断模块20。

其中，获取模块10用于获取用户的用户名，并获取目标工艺配方的配方类型和属性信息。判断模块20根据当前目标工艺配方的配方类型判断当前目标工艺配方属于父配方还是子配方，其中，在判断模块20判断当前目标工艺配方属于父配方时，当前用户能够编辑自己创建的当前目标工艺配方；在判断模块20判断当前目标工艺配方属于子配方时，当前用户能够编辑自己创建且没有被其他用户的父配方使用的当前目标工艺配方；否则如果判断模块20判断当前目标工艺配方被其他用户的父配方使用，则当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。

根据本发明的一个实施例，在判断模块20判断当前目标工艺配方属于父配方时，判断模块20判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名是否一致，若是，则将当前目标工艺配方的权限开放至当前用户；否则，当前用户不能够对当前目标工艺配方进行编辑。

根据本发明的一个实施例，在判断模块20判断当前目标工艺配方属于子配方时，判断模块20判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名是否一致，若是，判断模块20判断当前目标工艺配方的使用次数，其中，如果使用次数大于预设阈值，判断模块20则为用户分配第一权限；如果使用次数小于或等于预设阈值，判断模块20则为用户分配第二权限，其中，第二权限大于第一权限；如果判断模块20判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名不一致，当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。

其中，根据本发明的一个实施例，第一权限为使用目标工艺配方、另存目标工艺配方或新建再使用目标工艺配方，第二权限为编辑目标工艺配方，预设阈值为1。

此外，根据本发明的一个实施例，当用户在父配方下增加子配方时，判断模块20需要遍历保存的所有子配方，如果没有使用过该子配方则将该子配方的使用次数设为1；否则将该子配方的子配方的使用次数+1，并保存。

在本发明的实施例中，用户名、目标工艺配方的配方类型和属性信息存储在XML文件之中。

具体地，根据本发明的一个实施例，当用户新建目标工艺配方的父配方时，XML文件会将新建的目标工艺配方的父配方的名称和新建该工艺配方的父配方的用户名存储到XML文件之中。

当用户在目标工艺配方的父配方下新建目标工艺配方的子配方时，判断模块20首先遍历存储在XML文件之中的所有子配方，如果新建的目标工艺配方的子配方未使用过，则将目标工艺配方的使用次数Times值设为1；如果新建的目标工艺配方的子配方使用过，则将之前存储在XML文件之中的目标工艺配方的使用次数Times值加1，并存储在XML文件之中。

当用户使用目标工艺配方时，判断模块20需要根据获取模块10获取的用户的用户名、目标工艺配方的配方类型和属性信息为用户分配不同的权限，具体而言，就是获取模块10首先获取当前用户的用户名为A，并获取当前目标工艺配方的配方类型和属性信息，然后判断模块20根据当前目标工艺配方的类型判断当前目标工艺配方是属于父配方还是属于子配方，如果获取模块10获取的当前目标工艺配方的配方类型属于父配方，则判断模块20判断当前用户的用户名A与存储在XML文件之中的目标工艺配方对应的用户名是否一致，如果获取模块10获取的当前用户的用户名A与存储在XML文件之中的目标工艺配方对应的用户名一致，即为用户A，则判断模块20将目标工艺配方的权限开放至用户A，用户A可以编辑该目标工艺配方的父配方，包括使用自己创建的子配方，也可以使用其他用户创建的子配方，但是不能编辑其他用户创建的子配方；如果获取模块10获取的当前用户的用户名A与存储在XML文件之中的目标工艺配方对应的用户名不一致，如存储在XML文件之中的目标工艺配方对应的用户名为B，则判断模块20不将目标工艺配方的权限开放至用户A，即用户A不能够对当前目标工艺配方进行编辑，从而有效防止不同用户对目标工艺配方进行任意编辑而导致工艺配方出现错误的情况。

如果获取模块10获取的当前目标工艺配方的配方类型属于子配方，同样地，需要判断模块20判断获取模块10获取的当前用户的用户名A与当前目标工艺配方对应的用户名是否一致，如果获取模块10获取的当前用户的用户名A与存储在XML文件之中的目标工艺配方对应的用户名一致，即为用户A，则需要判断模块20根据当前目标工艺配方的属性信息判断是否将目标工艺配方的权限开放至用户A，即判断模块20根据获取模块10获取的目标工艺配方的属性信息中的目标工艺配方的使用次数判断是否将目标工艺配方的权限开放至用户A，如果获取模块10获取的目标工艺配方的使用次数大于预设阈值1，则判断模块20为用户A分配第一权限，此时，用户A可以使用目标工艺配方、另存目标工艺配方或新建再使用目标工艺配方，但不可以修改该目标工艺配方；如果获取模块10获取的目标工艺配方的使用次数小于或等于预设阈值1，则判断模块20为用户分配第二权限，此时，创建该子配方的用户A不仅可以使用目标工艺配方、另存目标工艺配方或新建再使用目标工艺配方，还可以编辑目标工艺配方，包括修改、删除、保存该目标工艺配方等操作。从而有效防止不同用户创建的父配方使用同一个子配方时，因子配方的内容被修改而导致工艺配方出现错误的情况。

根据本发明实施例提出的半导体设备中工艺配方的管理装置，如果判断模块判断当前目标工艺配方属于父配方，则当前用户能够编辑自己创建的当前目标工艺配方，如果判断模块判断当前目标工艺配方属于子配方，当前用户能够编辑自己创建且没有被其他用户的父配方使用的当前目标工艺配方；否则如果判断模块判断当前目标工艺配方被其他用户的父配方使用，则当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。。因此，判断模块根据获取模块获取的用户的用户名、目标工艺配方的配方类型和属性信息对目标工艺配方的权限进一步的细化，并对目标工艺配方进行严格管理，防止不同用户对目标工艺配方的子配方和父配方任意编辑而导致工艺配方出现错误的情况，从而可提高半导体设备自动化工艺水平。

流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本发明的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本发明的实施例所属技术领域的技术人员所理解。

在流程图中表示或在此以其他方式描述的逻辑和/或步骤，例如，可以被认为是用于实现逻辑功能的可执行指令的定序列表，可以具体实现在任何计算机可读介质中，以供指令执行系统、装置或设备(如基于计算机的系统、包括处理器的系统或其他可以从指令执行系统、装置或设备取指令并执行指令的系统)使用，或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用。就本说明书而言，"计算机可读介质"可以是任何可以包含、存储、通信、传播或传输程序以供指令执行系统、装置或设备或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用的装置。计算机可读介质的更具体的示例(非穷尽性列表)包括以下：具有一个或多个布线的电连接部(电子装置)，便携式计算机盘盒(磁装置)，随机存取存储器(RAM)，只读存储器(ROM)，可擦除可编辑只读存储器(EPROM或闪速存储器)，光纤装置，以及便携式光盘只读存储器(CDROM)。另外，计算机可读介质甚至可以是可在其上打印所述程序的纸或其他合适的介质，因为可以例如通过对纸或其他介质进行光学扫描，接着进行编辑、解译或必要时以其他合适方式进行处理来以电子方式获得所述程序，然后将其存储在计算机存储器中。

应当理解，本发明的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述实施方式中，多个步骤或方法可以用存储在存储器中且由合适的指令执行系统执行的软件或固件来实现。例如，如果用硬件来实现，和在另一实施方式中一样，可用本领域公知的下列技术中的任一项或他们的组合来实现：具有用于对数据信号实现逻辑功能的逻辑门电路的离散逻辑电路，具有合适的组合逻辑门电路的专用集成电路，可编程门阵列(PGA)，现场可编程门阵列(FPGA)等。

本技术领域的普通技术人员可以理解实现上述实施例方法携带的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件完成，所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，该程序在执行时，包括方法实施例的步骤之一或其组合。

此外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理模块中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个模块中。上述集成的模块既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能模块的形式实现。所述集成的模块如果以软件功能模块的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，也可以存储在一个计算机可读取存储介质中。

上述提到的存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同限定。

Claims (12)

1.一种半导体设备中工艺配方的管理方法，其特征在于，包括以下步骤：

获取用户的用户名，并获取目标工艺配方的配方类型和属性信息；

根据当前目标工艺配方的配方类型，判断当前目标工艺配方属于父配方还是属于子配方；

属于父配方的操作步骤：当前用户能够编辑自己创建的当前目标工艺配方；

属于子配方的操作步骤：当前用户能够编辑自己创建且没有被其他用户的父配方使用的当前目标工艺配方；否则如果当前目标工艺配方被其他用户的父配方使用，则当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。

2.如权利要求1所述的半导体设备中工艺配方的管理方法，其特征在于，所述属于父配方的操作步骤，包括：

判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名是否一致，若是，则将当前目标工艺配方的权限开放至当前用户；否则，当前用户不能够对当前目标工艺配方进行编辑。

3.如权利要求1所述的半导体设备中工艺配方的管理方法，其特征在于，属于子配方的操作步骤，包括：

判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名是否一致，若是，判断当前目标工艺配方的使用次数；

如果所述使用次数大于预设阈值，则为所述用户分配第一权限；

如果所述使用次数小于或等于所述预设阈值，则为所述用户分配第二权限，其中，所述第二权限大于所述第一权限；

否则，当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。

4.如权利要求3所述的半导体设备中工艺配方的管理方法，其特征在于，所述第一权限为使用所述目标工艺配方、另存所述目标工艺配方或新建再使用所述目标工艺配方，所述第二权限为编辑所述目标工艺配方。

5.如权利要求1所述的半导体设备中工艺配方的管理方法，其特征在于，所述用户名、所述目标工艺配方的配方类型和属性信息存储在XML文件之中。

6.如权利要求3所述的半导体设备中工艺配方的管理方法，其特征在于，用户在父配方下增加子配方时，需要遍历保存的所有子配方，如果没有使用过该子配方则将该子配方的使用次数设为1；否则将该子配方的子配方的使用次数+1，并保存。

7.一种半导体设备中工艺配方的管理装置，其特征在于，包括获取模块和判断模块，其中，

所述获取模块用于获取用户的用户名，并获取目标工艺配方的配方类型和属性信息；

所述判断模块根据当前目标工艺配方的配方类型判断当前目标工艺配方属于父配方还是子配方，其中，

在所述判断模块判断当前目标工艺配方属于父配方时，当前用户能够编辑自己创建的当前目标工艺配方；

在所述判断模块判断当前目标工艺配方属于子配方时，当前用户能够编辑自己创建且没有被其他用户的父配方使用的当前目标工艺配方；否则如果所述判断模块判断当前目标工艺配方被其他用户的父配方使用，则当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。

8.如权利要求7所述的半导体设备中工艺配方的管理装置，其特征在于，在判断当前目标工艺配方属于父配方时，所述判断模块判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名是否一致，若是，则将当前目标工艺配方的权限开放至当前用户；否则，当前用户不能够对当前目标工艺配方进行编辑。

9.如权利要求7所述的半导体设备中工艺配方的管理装置，其特征在于，在判断当前目标工艺配方属于子配方时，所述判断模块判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名是否一致，若是，所述判断模块判断当前目标工艺配方的使用次数，其中，如果所述使用次数大于预设阈值，所述判断模块则为所述用户分配第一权限；如果所述使用次数小于或等于所述预设阈值，所述判断模块则为所述用户分配第二权限，其中，所述第二权限大于所述第一权限；

如果所述判断模块判断当前用户的用户名与当前目标工艺配方对应的用户名不一致，当前用户仅能够对当前目标工艺配方执行只读操作。

10.如权利要求9所述的半导体设备中工艺配方的管理装置，其特征在于，所述第一权限为使用所述目标工艺配方、另存所述目标工艺配方或新建再使用所述目标工艺配方，所述第二权限为编辑所述目标工艺配方。

11.如权利要求7所述的半导体设备中工艺配方的管理装置，其特征在于，所述用户名、所述目标工艺配方的配方类型和属性信息存储在XML文件之中。

12.如权利要求9所述的半导体设备中工艺配方的管理装置，其特征在于，用户在父配方下增加子配方时，所述判断模块需要遍历保存的所有子配方，如果没有使用过该子配方则将该子配方的使用次数设为1；否则将该子配方的子配方的使用次数+1，并保存。

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