CN107540233A - 一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置，包括向蚀刻机循环泵入酸液的储酸槽，其特征在于，所述储酸槽的上部为圆筒形、下部为倒圆锥形，储酸槽底部通过管道依次连接排渣泵与压滤机，压滤机的出酸口通过出酸管连接至储酸槽的入口；将储酸槽的上、下部分别设计成圆筒形与倒圆锥形，使得酸液进入储酸槽后呈螺旋形旋转，从而使酸液中的玻璃渣受到离心力的作用，沿着储酸槽内壁汇集到储酸槽底部；再由排渣泵将玻璃渣排至压滤机进行压缩过滤后排出，压滤机过滤后的酸液重新进入储酸槽循环使用；本装置有利于玻璃渣的沉积、排出，提高玻璃减薄的质量。

Description

一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置

技术领域

本发明涉及玻璃减薄技术领域，具体是一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置。

背景技术

随着国内外TFT-LCD液晶面板需求量与日俱增以及消费者对各种显示器件轻薄化要求越来越高，TFT-LCD液晶面板制造企业对液晶面板减薄设备的需求也越来越，因此，TFT-LCD液晶面板减薄设备具有十分广阔市场。

顶喷式蚀刻机作为当下最主流的TFT-LCD液晶面板减薄设备之一，在越来越多的减薄厂广泛使用，尤其对于大尺寸液晶面板的减薄具有更明显的优势。

目前，一般由储酸槽向蚀刻机循环泵入酸液，对玻璃进行蚀刻。在蚀刻过程中玻璃渣会跟随酸液流入储酸槽，储酸槽底部为平面，玻璃渣随酸液流动，这就造成玻璃渣不能够有效地在储酸槽内沉积，不能被及时被除去，重新进入喷淋蚀刻，易堵塞喷嘴，影响玻璃减薄的质量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置，该装置有利于玻璃渣的沉积、排出，提高玻璃减薄的质量。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置，循环泵将储酸槽内的酸液泵入蚀刻机，所述储酸槽的上部为圆筒形、下部为倒圆锥形，储酸槽底部通过管道依次连接排渣泵与压滤机，压滤机的出酸口通过出酸管连接至储酸槽的入口。

进一步的，储酸槽的圆筒部内壁设有螺旋形恒温管，螺旋形恒温管与恒温机相连。

本发明的有益效果是，将储酸槽的上、下部分别设计成圆筒形与倒圆锥形，使得酸液进入储酸槽后呈螺旋形旋转，从而使酸液中的玻璃渣受到离心力的作用，沿着储酸槽内壁汇集到储酸槽底部；再由排渣泵将玻璃渣排至压滤机进行压缩过滤后排出，压滤机过滤后的酸液重新进入储酸槽循环使用；本装置有利于玻璃渣的沉积、排出，提高玻璃减薄的质量。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明：

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，本发明提供一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置，循环泵3将酸液泵入蚀刻机1，储酸槽2的上部为圆筒形、下部为倒圆锥形，储酸槽2底部通过进酸管3依次连接排渣泵4与压滤机5，压滤机5的出酸口通过出酸管6连接至储酸槽2的入口。

作为优选的，储酸槽2的圆筒部内壁设有螺旋形恒温管7，螺旋形恒温管7与恒温机8相连，使得储酸槽2内的酸液保持恒温。

储酸槽2的上部为圆筒形，能够使进入储酸槽2的酸液作螺旋形旋转；储酸槽2的下部为倒圆锥形，有利于玻璃渣的汇集。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims (2)

1.一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置，循环泵将储酸槽内的酸液泵入蚀刻机，其特征在于，所述储酸槽的上部为圆筒形、下部为倒圆锥形，储酸槽底部通过管道依次连接排渣泵与压滤机，压滤机的出酸口通过出酸管连接至储酸槽的入口。

2.根据权利要求1所述的一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置，其特征在于，储酸槽的圆筒部内壁设有螺旋形恒温管，螺旋形恒温管与恒温机相连。