CN105200527A - 一种制绒设备及其清洗方法 - Google Patents

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杨福君
王海滨
康健
杜彬
于欣
郑丽娜
田小禾
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State Grid Tianjin Electric Power Co Ltd
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State Grid Tianjin Electric Power Co Ltd
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Abstract

本发明公开了一种制绒设备,包括溶液储液罐、工艺槽、循环泵、回流管和设置于储液罐上并与其内腔贯通的清水管线、硝酸缓冲罐及氢氟酸缓冲罐,工艺槽设置于储液罐上部,两者之间设有回流管;循环泵的进水口设置于储液罐的内部,其出水口设置于工艺槽内部,用于将储液罐内药液抽到工艺槽中;储液罐上还设有与其内部贯通的盐酸缓冲罐。该制绒设备在原有设备上加装盐酸缓冲罐,仅需稍许改动即可实现对制绒设备新的清洗方法;该清洗方法能彻底清除制绒设备内的金属离子,有效提高产品合格率。

Description

一种制绒设备及其清洗方法
技术领域
本发明涉及太阳能电池制造使用设备领域,特别是涉及一种制绒设备及其清洗方法。
背景技术
太阳能电池在制作过程中分别要经过制绒、扩散、湿法刻蚀、PECVD和印刷烧结工艺,其中制绒工艺的主要目的是对表面进行制绒,增加表面积,降低反射率,同时去除硅片表面的金属离子等杂质。在生产过程中随着设备生产产品数量的增加,设备内部不可避免的会沉积大量金属离子,而目前常用设备的自带自清洗程序是用大量纯水进行自我清洗,不能完全有效的将设备内部的杂质清理干净,导致刚刚维护完后所生产的产品不可避免的被设备内残留的金属离子等杂质污染,从而出现大量的表面不合格。
发明内容
为了解决上述技术问题,本发明提供一种制绒设备及其清洗方法,可彻底清除制绒设备内的金属离子,提高产品合格率。
为此,本发明的技术方案如下:
一种制绒设备,包括溶液储液罐、工艺槽、循环泵、回流管和设置于所述储液罐上并与其内腔贯通的清水管线、硝酸缓冲罐及氢氟酸缓冲罐,所述工艺槽设置于所述储液罐上部,两者之间设有回流管;所述循环泵的进水口设置于所述储液罐的内部,其出水口设置于工艺槽内部,用于将储液罐内药液抽到工艺槽中;所述储液罐上还设有与其内部贯通的盐酸缓冲罐。
所述清水管线、硝酸缓冲罐、氢氟酸缓冲罐和盐酸缓冲罐与储液罐之间分别设有截止阀。
所述回流管有两条分别设置于所述工艺槽的两端。
如上所述制绒设备的清洗方法,首先将硝酸缓冲罐或氢氟酸缓冲罐内液体清空或关闭截止阀;其次从盐酸缓冲罐中向储液罐内引入盐酸水溶液,开启循环泵清洗工艺槽及回流管;最后清空盐酸缓冲罐或关闭与盐酸缓冲罐相连的截止阀,从清水管线向储液罐内引入水,开启循环泵清洗工艺槽及回流管。
所述盐酸水溶液的浓度为3~20wt.%。
该制绒设备在原有设备上加装盐酸缓冲罐,仅需稍许改动即可实现对制绒设备新的清洗方法;该清洗方法能彻底清除制绒设备内的金属离子,有效提高产品合格率。
附图说明
图1为现有制绒设备结构示意图;
图2为本发明提供的制绒设备结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式,对本发明的技术方案进行详细描述。
一种制绒设备,包括溶液储液罐1、工艺槽2、循环泵3、回流管4和设置于储液罐1上并与其内腔贯通的清水管线6、硝酸缓冲罐7及氢氟酸缓冲罐8,工艺槽2设置于储液罐1上方,回流管4设有两者之间,优选回流管4有两条,分别设置于工艺槽2的两端;循环泵3的进水口设置于储液罐1的内部,其出水口设置于工艺槽2内部,优选中部,用于将储液罐1内药液抽到工艺槽2中;储液罐1上还设有与其内部贯通的盐酸缓冲罐9。优选,清水管线6、硝酸缓冲罐7、氢氟酸缓冲罐8和盐酸缓冲罐9与储液罐1之间分别设有截止阀。
如上所述制绒设备的清洗方法,首先将硝酸缓冲罐7或氢氟酸缓冲罐8内液体清空或关闭截止阀;其次从盐酸缓冲罐9中向储液罐1内引入盐酸水溶液,开启循环泵3清洗工艺槽2及回流管4;最后清空盐酸缓冲罐8或关闭与盐酸缓冲罐8相连的截止阀,从清水管线6向储液罐1内引入水,开启循环泵3清洗工艺槽2及回流管4;其中,盐酸水溶液的浓度为3~20wt.%。
该制绒设备在原有设备上加装盐酸缓冲罐,仅需稍许改动即可实现对制绒设备新的清洗方法;该清洗方法能彻底清除制绒设备内的金属离子,有效提高产品合格率。

Claims (5)

1.一种制绒设备,包括溶液储液罐(1)、工艺槽(2)、循环泵(3)、回流管(4)和设置于所述储液罐(1)上并与其内腔贯通的清水管线(6)、硝酸缓冲罐(7)及氢氟酸缓冲罐(8),所述工艺槽(2)设置于所述储液罐(1)上方,回流管(4)设有两者之间;所述循环泵(3)的进水口设置于所述储液罐(1)的内部,其出水口设置于工艺槽(2)内部,用于将储液罐(1)内药液抽到工艺槽(2)中;其特征在于:所述储液罐(1)上还设有与其内部贯通的盐酸缓冲罐(9)。
2.如权利要求1所述制绒设备,其特征在于:所述清水管线(6)、硝酸缓冲罐(7)、氢氟酸缓冲罐(8)和盐酸缓冲罐(9)与储液罐(1)之间分别设有截止阀。
3.如权利要求1所述制绒设备,其特征在于:所述回流管(4)有两条分别设置于所述工艺槽(2)的两端。
4.如权利要求1或2所述制绒设备的清洗方法,其特征在于包括以下三步:首先将硝酸缓冲罐(7)或氢氟酸缓冲罐(8)内液体清空或关闭截止阀;其次从盐酸缓冲罐(9)中向储液罐(1)内引入盐酸水溶液,开启循环泵(3)清洗工艺槽(2)及回流管(4);最后清空盐酸缓冲罐(8)或关闭与盐酸缓冲罐(8)相连的截止阀,从清水管线(6)向储液罐(1)内引入水,开启循环泵(3)清洗工艺槽(2)及回流管(4)。
5.如权利要求4所述制绒设备的清洗方法,其特征在于:所述盐酸水溶液的浓度为3~20wt.%。
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