CN107524158B - 一种精密设备使用的隔振基础结构及施工工艺 - Google Patents
一种精密设备使用的隔振基础结构及施工工艺 Download PDFInfo
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Abstract
一种精密设备使用的隔振基础结构及施工工艺包括设备基础坑、设备基础墩、设备基础台；所述设备基础坑浇筑与设备基础坑内，所述设备基础台通过特殊预埋件放置在设备基础墩上。有益效果在于：该套隔振基础结构的应用，既能提供较大的刚度，又不必过重考虑设备重心位置，也能提供一定的阻尼，减小外部振源的影响。
Description
技术领域
本发明属于精密设备隔振技术领域，尤其涉及一种光刻设备使用的隔振基础结构施工工艺。
背景技术
隔振技术被广泛应用于各种精密设备的安装防护领域。
隔震减震技术的应用，一方面能减少外部振源产生的影响，其次能减设备自身运行时惯性力和偏心不平衡产生的扰力而引起设备的非正常工作。
现有的隔振技术通常是利用隔振器等措施连接精密设备，这种连接在长期使用过程中存在一定的技术缺陷：一方面是硬性连接不可避免的将机电设备运行时产生的扰力直接传导至地面，由此噪音消除效果不好且抗震性能一般，其次是硬性连接在长时间使用过程容易形成疲劳性损伤，需要经常维护和检查，耗费较大的人力和物力。
因此，需要一种新的隔振工艺和装置，使其具有优异的隔振控制能力，而且能够避免外界有害介质的侵蚀，具有良好的耐久性能，能够有效降低或消除外部机电设备运行时产生的扰力。
发明内容
本发明针对现有技术的不足，提出了一种精密设备使用的隔振基础结构施工工艺，该施工工艺的应用，既能提供较大的刚度，不必过重考虑设备重心位置，也能提供一定的阻尼，减小外部振源的影响。
一种精密设备隔振基础结构施工工艺，包括如下步骤;
步骤一：隔振基础结构坑处理
按照安装设备地基需求，开挖隔振基础结构土坑，并对土坑壁及坑底进行平整处理；
对坑底进行地基夯实，夯实系数大于等于0.95；
坑底铺设C15素混凝土垫层；
步骤二：在土坑内绑扎钢筋混凝土护壁的U形双层钢筋网，钢筋网内部使用“S”形拉钩稳固U形双层钢筋网；
步骤三：对所述U形双层钢筋网浇筑C30的混凝土并进行养护；
步骤四：在钢筋混凝土护壁底部水平铺填硬质聚丙烯塑料颗粒，在所述硬质聚丙烯塑料颗粒上表面铺设塑料薄膜，在所述塑料薄膜上铺设30mm厚、混凝土等级C30的细石混凝土层；
步骤五：在所述钢筋混凝土护壁四周铺设聚苯乙烯板；
步骤六：在所述细石混凝土层上绑扎设备基础墩钢筋网，所述设备基础墩钢筋网的六个面设置有间距为200mm、直径为12mm的钢筋网片；
在设备基础墩钢筋网上设置支撑设备台座的预埋件，所述支撑设备基础台预埋件数量及方位按照设备基础台安放设计位置确定；
所述支撑设备基础台预埋件呈“π”形，所述支撑设备基础台预埋件由钢板、黄铜片及带弯钩钢筋构成，所述钢板中心位置有一圆孔，所述员孔内设置大小及厚度与之匹配的黄铜片，带弯钩钢筋焊接在钢板上；
步骤七：浇筑设备基础墩混凝土并进行养护；
步骤八：设备基础墩外露面面层处理
在所述设备基础墩外表面按17毫米厚、1：2.5水泥砂浆抹面；
待水泥砂浆抹面干燥后，在水泥砂浆表面涂抹环氧封闭底漆，然后整体打磨并进行吸尘处理；
在设备基础墩外表面铺设导电铜箔并接地处理；
刮涂导电腻子；
环氧抗静电涂料涂覆；
步骤九：预制设备基础台
按照设计要求，绑扎设备基础台钢筋笼；
在设备基础台钢筋笼的上表面绑扎用于固定设备的预埋钢筋；在设备基础台钢筋笼下方绑扎设备基础台支撑预埋件，所述设备基础台支撑预埋件的数量及方位与支撑设备基础台预埋件相互匹配；
所述设备基础台支撑预埋件呈倒“π”形，所述设备基础台支撑预埋件由钢板、避振锥头及带弯钩钢筋构成，所述钢板中心位置设置有带螺纹的圆孔，所述避振锥头通过螺纹固定连接在钢板上，所述带弯钩钢筋焊接在钢板上；
设置设备基础台模板并浇筑混凝土和保养；
步骤十：将预制的设备基础台放置于设备基础墩上，且使预埋在设备基础台的避振锥头位于所述支撑设备基础台预埋件黄铜片的中心位置。
进一步的，所述设备基础墩、设备基础台的混凝土等级至少为C30。
进一步的，所述设备基础墩上根据放置设备需求不同设置多个大小不同的设备基础台。
一种精密设备使用的隔振基础结构包括钢筋混凝土护壁、设备基础墩、设备基础台；
所述设备基础坑内浇筑有凹形钢筋混凝土护壁；所述凹形钢筋混凝土护壁底部依次水平铺设硬质聚丙烯塑料颗粒、塑料薄膜及细石混凝土层；
所述细石混凝土层之上浇筑设备基础墩；
所述凹形钢筋混凝土护壁四周与设备基础墩之间设置有聚苯乙烯板；
所述设备基础墩上表面处设置有支撑设备基础台预埋件，所述支撑设备基础台预埋件数量及方位按照设备基础台安放设计位置确定；
所述支撑设备基础台预埋件呈“π”形，所述支撑设备基础台预埋件由钢板、黄铜片及带弯钩钢筋构成，所述钢板中心位置有一圆孔，所述员孔内设置大小及厚度与之匹配的黄铜片，带弯钩钢筋焊接在钢板上；
所述设备基础台为预制件，在所述设备基础台的上表面设置有用于固定设备的预埋钢筋，在所述设备基础台的下表面设置有设备基础台支撑预埋件，所述设备基础台支撑预埋件的数量及方位与支撑设备基础台预埋件相互匹配；
所述设备基础台支撑预埋件呈倒“π”形，所述设备基础台支撑预埋件由钢板、避振锥头及带弯钩钢筋构成，所述钢板中心位置设置有带螺纹的圆孔，所述避振锥头通过螺纹固定连接在钢板上，所述带弯钩钢筋焊接在钢板上；
所述设备基础台放置于设备基础墩上，且使预埋在设备基础台的避振锥头位于所述支撑设备基础台预埋件黄铜片的中心位置。
进一步，所述避振锥头的材质为40Cr钢。
进一步的，所述支撑设备基础台预埋件和设备基础台支撑预埋件的钢板与带弯钩钢筋焊接方式为T形焊。
进一步的，所述设备基础墩与钢筋混凝土护壁之间在聚苯乙烯板顶部设置有橡胶密封条。
本发明所述技术方案的有益效果在于：相比于减震技术的刚性连接，本发明通过在设备基础墩和设备基础台内预埋特殊的预埋件，使得设备基础墩和设备基础台处于柔性连接，通过在设备基础墩与钢筋混凝土护壁之间设置特殊结构的垫层以及通过对施工工艺的控制三个技术层面的控制，有效减少了精密设备运行产生的扰力，从而能有效降低震动以及提高外力对机电设备安装座的破坏，从而提高实现大型机电设备的减震隔振；另外，该套隔振基础结构的应用，既能提供较大的刚度，又不必过重考虑设备重心位置，也能提供一定的阻尼，减小外部振源的影响;同时，该套隔振基础结构的应用，既能提供较大的刚度，又不必过重考虑设备重心位置，也能提供一定的阻尼，减小外部振源的影响。
附图说明
图1本发明所述隔振基础结构的结构示意图；
图2本发明所述支撑设备基础台预埋件的结构示意图；
图3本发明所述设备基础墩预埋件的结构示意图。
图中：1混凝土垫层、2钢筋混凝土护壁、3设备基础墩、4设备基础台、5硬质聚丙烯塑料颗粒、6塑料薄膜、7细石混凝土层、8支撑设备基础台预埋件、9设备基础台支撑预埋件、10避振锥头、11橡胶密封条、12“S”形拉钩、13设备基础台支撑预埋件的钢板、14设备基础台支撑预埋件的带弯钩钢筋、15黄铜片、16支撑设备基础台预埋件的带弯钩钢筋、17支撑设备基础台预埋件的钢板、18聚苯乙烯板。
具体实施方式
为了使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合具体实施例对本发明作进一步的详细说明。
如图1所示，本发明所述的一种精密设备使用的隔振基础结构包括设备基础坑、设备基础墩3、设备基础台4；
所述设备基础坑内浇筑有凹形钢筋混凝土护壁2；所述凹形钢筋混凝土护壁2底部依次水平铺设硬质聚丙烯塑料颗粒5、塑料薄膜6及细石混凝土层7；
所述细石混凝土层7之上浇筑设备基础墩3；
所述凹形钢筋混凝土护壁2四周与设备基础墩3之间设置有聚苯乙烯板18；
所述设备基础墩3上表面处设置有支撑设备基础台预埋件8，所述支撑设备基础台预埋件数量及方位按照设备基础台4安放设计位置确定；
如图3所示，所述支撑设备基础台预埋件8呈“π”形，所述支撑设备基础台预埋件8由钢板17、黄铜片15及带弯钩钢筋16构成，所述钢板17中心位置有一圆孔，所述圆孔内设置大小及厚度与所述钢板17匹配的黄铜片15，带弯钩钢筋16焊接在钢板上；
所述设备基础台4为预制件，在所述设备基础台4的上表面设置有用于固定设备的预埋钢筋，在所述设备基础台4的下表面设置有设备基础台支撑预埋件9，所述设备基础台支撑预埋件9的数量及方位与支撑设备基础台预埋件8相互匹配；
如图2所示，所述设备基础台支撑预埋件9呈倒“π”形，所述设备基础台支撑预埋件9由钢板13、避振锥头10及带弯钩钢筋14构成，所述钢板13中心位置设置有带螺纹的圆孔，所述避振锥头10通过螺纹固定连接在钢板13上，所述带弯钩钢筋14焊接在钢板13上；
所述设备基础台4放置于设备基础墩3上，且使预埋在设备基础台4的避振锥头10位于所述支撑设备基础台预埋件8黄铜片15的中心位置。
所述避振锥头的材质为40Cr钢。
所述支撑设备基础台预埋件和设备基础台支撑预埋件的钢板与带弯钩钢筋焊接方式为T形焊。
为防止水汽进入隔振沟，所述设备基础墩3与钢筋混凝土护壁2之间在聚苯乙烯板18顶部设置橡胶密封条11。
本发明所述一种精密设备使用的隔振基础结构的施工工艺为：
步骤一：减震隔振基础结构坑处理
按照安装设备地基需求，开挖隔振基础结构基坑，并对基坑壁及坑底进行平整处理；
对坑底进行地基土夯实，压实系数大于等于0.95；
坑底铺设等级至少为C10的混凝土垫层；
步骤二：在土坑内绑扎钢筋混凝土护壁的凹形双层钢筋网，钢筋网内部使用“S”形拉钩加固凹形双层钢筋网；
步骤三：对所述凹形双层钢筋网浇筑等级至少为C30的混凝土并进行养护；
步骤四：在钢筋混凝土护壁底部水平铺填硬质聚丙烯塑料颗粒，在所述硬质聚丙烯塑料颗粒上表面铺设塑料薄膜，在所述塑料薄膜上铺设至少30mm厚、混凝土等级至少为C30的细石混凝土层；
步骤五：在所述钢筋混凝土护壁四周铺设聚苯乙烯板；
步骤六：在所述细石混凝土层上绑扎设备基础墩钢筋网，所述设备基础墩钢筋网的六个面设置有间距为200毫米、直径为12毫米的钢筋；
在设备基础墩钢筋网上绑扎支撑设备基础台预埋件，所述支撑设备基础台预埋件数量及方位按照设备基础台数量及位置确定；
所述支撑设备基础台预埋件呈“π”形，所述支撑设备基础台预埋件由钢板、黄铜片及带弯钩钢筋构成，所述钢板中心位置有一圆孔，所述员孔内设置大小及厚度与之匹配的黄铜片，带弯钩钢筋焊接在钢板上；
步骤七：浇筑设备基础墩混凝土并进行养护；
步骤八：设备基础墩外露面面层处理
在所述设备基础墩外表面按17毫米厚、1：2.5水泥砂浆抹面；
待水泥砂浆抹面干燥后，在水泥砂浆表面涂抹环氧封闭底漆，然后整体打磨并进行吸尘处理；
在设备基础墩外表面铺设导电铜箔并接地处理；
刮涂导电腻子；
环氧抗静电涂料涂覆；
步骤九：预制设备基础台
按照设计要求，绑扎设备基础台钢筋笼；
在设备基础台钢筋笼的上表面绑扎用于固定设备的预埋钢筋；在设备基础台钢筋笼下方绑扎设备基础台支撑预埋件，所述设备基础台支撑预埋件的数量及方位与支撑设备基础台预埋件相互匹配；
所述设备基础台支撑预埋件呈倒“π”形，所述设备基础台支撑预埋件由钢板、避振锥头及带弯钩钢筋构成，所述钢板中心位置设置有带螺纹的圆孔，所述避振锥头通过螺纹固定连接在钢板上，所述带弯钩钢筋焊接在钢板上；
设置设备基础台模板并浇筑混凝土和保养；
步骤十：将预制的设备基础台放置于设备基础墩上，且使预埋在设备基础台的避振锥头位于所述支撑设备基础台预埋件黄铜片的中心位置。
可以通过如下方式解决设备基础台高低不一致的问题：通过将设备基础墩上表面设计成凸形，然后预制预制相互匹配的设备基础台，且使得放置于设备基础墩上的所有设备基础台上表面均处于同一水平面。
以上对本发明所提供的一种精密设备使用的隔振基础结构进行了详细介绍，本文中应用了实施例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。
Claims (7)
1.一种精密设备隔振基础结构施工工艺，其特征在于：所述精密设备隔振基础结构施工工艺包括如下步骤;
步骤一：隔振基础结构坑处理
按照安装设备地基需求，开挖隔振基础结构土坑，并对土坑壁及坑底进行平整处理；
对坑底进行地基夯实，夯实系数大于等于0.95；
坑底铺设C15素混凝土垫层；
步骤二：在土坑内绑扎钢筋混凝土护壁的U形双层钢筋网，钢筋网内部使用“S”形拉钩稳固U形双层钢筋网；
步骤三：对所述U形双层钢筋网浇筑C30的混凝土并进行养护；
步骤四：在钢筋混凝土护壁底部水平铺填硬质聚丙烯塑料颗粒，在所述硬质聚丙烯塑料颗粒上表面铺设塑料薄膜，在所述塑料薄膜上铺设30mm厚、混凝土等级C30的细石混凝土层；
步骤五：在所述钢筋混凝土护壁四周铺设聚苯乙烯板；
步骤六：在所述细石混凝土层上绑扎设备基础墩钢筋网，所述设备基础墩钢筋网的六个面设置有间距为200mm、直径为12mm的钢筋网片；
在设备基础墩钢筋网上设置支撑设备台座的预埋件，所述支撑设备基础台预埋件数量及方位按照设备基础台安放设计位置确定；
所述支撑设备基础台预埋件呈“π”形，所述支撑设备基础台预埋件由钢板、黄铜片及带弯钩钢筋构成，所述钢板中心位置有一圆孔，所述圆孔内设置大小及厚度与之匹配的黄铜片，带弯钩钢筋焊接在钢板上；
步骤七：浇筑设备基础墩混凝土并进行养护；
步骤八：设备基础墩外露面面层处理
在所述设备基础墩外表面按17毫米厚、1：2.5水泥砂浆抹面；
待水泥砂浆抹面干燥后，在水泥砂浆表面涂抹环氧封闭底漆，然后整体打磨并进行吸尘处理；
在设备基础墩外表面铺设导电铜箔并接地处理；
刮涂导电腻子；
环氧抗静电涂料涂覆；
步骤九：预制设备基础台
按照设计要求，绑扎设备基础台钢筋笼；
在设备基础台钢筋笼的上表面绑扎用于固定设备的预埋钢筋；在设备基础台钢筋笼下方绑扎设备基础台支撑预埋件，所述设备基础台支撑预埋件的数量及方位与支撑设备基础台预埋件相互匹配；
所述设备基础台支撑预埋件呈倒“π”形，所述设备基础台支撑预埋件由钢板、避振锥头及带弯钩钢筋构成，所述钢板中心位置设置有带螺纹的圆孔，所述避振锥头通过螺纹固定连接在钢板上，所述带弯钩钢筋焊接在钢板上；
设置设备基础台模板并浇筑混凝土和保养；
步骤十：将预制的设备基础台放置于设备基础墩上，且使预埋在设备基础台的避振锥头位于所述支撑设备基础台预埋件黄铜片的中心位置。
2.如权利要求1所述的一种精密设备隔振基础结构施工工艺，其特征在于：所述设备基础墩、设备基础台的混凝土等级至少为C30。
3.如权利要求1所述的一种精密设备隔振基础结构施工工艺，其特征在于：所述设备基础墩上根据放置设备需求不同设置多个大小不同的设备基础台。
4.利用如权利要求1所述工艺形成的一种精密设备使用的隔振基础结构，其特征在于，所述精密设备使用的隔振基础结构包括钢筋混凝土护壁、设备基础墩、设备基础台；
所述设备基础坑内浇筑有凹形钢筋混凝土护壁；所述凹形钢筋混凝土护壁底部依次水平铺设硬质聚丙烯塑料颗粒、塑料薄膜及细石混凝土层；
所述细石混凝土层之上浇筑设备基础墩；
所述凹形钢筋混凝土护壁四周与设备基础墩之间设置有聚苯乙烯板；
所述设备基础墩上表面处设置有支撑设备基础台预埋件，所述支撑设备基础台预埋件数量及方位按照设备基础台安放设计位置确定；
所述支撑设备基础台预埋件呈“π”形，所述支撑设备基础台预埋件由钢板、黄铜片及带弯钩钢筋构成，所述钢板中心位置有一圆孔，所述圆孔内设置大小及厚度与之匹配的黄铜片，带弯钩钢筋焊接在钢板上；
所述设备基础台为预制件，在所述设备基础台的上表面设置有用于固定设备的预埋钢筋，在所述设备基础台的下表面设置有设备基础台支撑预埋件，所述设备基础台支撑预埋件的数量及方位与支撑设备基础台预埋件相互匹配；
所述设备基础台支撑预埋件呈倒“π”形，所述设备基础台支撑预埋件由钢板、避振锥头及带弯钩钢筋构成，所述钢板中心位置设置有带螺纹的圆孔，所述避振锥头通过螺纹固定连接在钢板上，所述带弯钩钢筋焊接在钢板上；
所述设备基础台放置于设备基础墩上，且使预埋在设备基础台的避振锥头位于所述支撑设备基础台预埋件黄铜片的中心位置。
5.如权利要求4所述的一种精密设备使用的隔振基础结构，其特征在于，所述避振锥头的材质为40Cr钢。
6.如权利要求4所述的一种精密设备使用的隔振基础结构，其特征在于，所述支撑设备基础台预埋件和设备基础台支撑预埋件的钢板与带弯钩钢筋焊接方式为T形焊。
7.如权利要求4所述的一种精密设备使用的隔振基础结构，其特征在于，所述设备基础墩与钢筋混凝土护壁之间在聚苯乙烯板顶部设置有橡胶密封条。
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