CN107487626B - 掩膜板的存储机构、搬运方法及搬运系统 - Google Patents
掩膜板的存储机构、搬运方法及搬运系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107487626B CN107487626B CN201710686940.4A CN201710686940A CN107487626B CN 107487626 B CN107487626 B CN 107487626B CN 201710686940 A CN201710686940 A CN 201710686940A CN 107487626 B CN107487626 B CN 107487626B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- mask plate
- arm
- target
- mechanical arm
- runner shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 16
- 238000011017 operating method Methods 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 6
- 206010044565 Tremor Diseases 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000012163 sequencing technique Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/904—Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with rotary movements only
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
- B65G2201/022—Flat
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本发明公开了一种掩膜板的存储机构、搬运方法及搬运系统，属于显示技术领域。包括：n个手臂组，每个手臂组包括能够承载掩膜板的至少两个手臂本体，至少两个手臂本体存在供机械手臂抓取掩膜板的间隔，n大于或等于1；转轮轴，转轮轴能够围绕转轮轴的轴心自转，n个手臂组沿转轮轴的周向依次排列，且每个手臂本体的一端与转轮轴固定连接；支撑件，转轮轴的两端均设置在支撑件上。本发明解决了采用相关技术中的掩膜板的存储机构时，机械手臂取放掩膜板时操作步骤较复杂，效率比较低的问题。本发明用于掩膜板的存储及搬运。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种掩膜板的存储机构、搬运方法及搬运系统。
背景技术
在显示技术领域，掩膜板是不可或缺的。例如在对有机发光二极管(英文：OrganicLight-Emitting Diode；简称：OLED)显示基板进行镀膜时，需要采用掩膜板进行掩膜以保证镀膜层良好的图案精度；又例如薄膜封装化学气相沉积(英文：Thin FilmEncapsulation Chemical Vapor Deposition；简称：TFE CVD)工艺中也需要采用掩膜板进行掩膜以保证封装的良率。
由于对OLED显示基板进行镀膜时以及薄膜封装化学气相沉积工艺中所采用的掩膜板体积比较大，质量比较大，相关技术中，该掩膜板一般存放在如图1所示的掩膜板的存储机构中，参见图1，该存储机构11可以层叠存储多个掩膜板12，相邻两个掩膜板12之间存在一定距离，一般通过机械手臂从存储机构11中取放掩膜板12。机械手臂取放掩膜板的过程可以包括：在需要抓取掩膜板时，机械手臂伸至对应的掩膜板的下方，上抬该掩膜板然后缩回；在需要放置掩膜板时，机械手臂承载着该掩膜板伸至该掩膜板的存储位置，将掩膜板下放然后缩回。
但是，使用相关技术中的掩膜板的存储机构时，机械手臂取放掩膜板时操作步骤较复杂，效率比较低。
发明内容
为了解决采用相关技术中的掩膜板的存储机构时，机械手臂取放掩膜板时操作步骤较复杂，效率比较低的问题，本发明实施例提供了一种掩膜板的存储机构、搬运方法及搬运系统。所述技术方案如下：
第一方面，提供了一种掩膜板的存储机构，包括：
n个手臂组，每个所述手臂组包括能够承载掩膜板的至少两个手臂本体，所述至少两个手臂本体存在供机械手臂抓取所述掩膜板的间隔，所述n大于或等于1；
转轮轴，所述转轮轴能够围绕所述转轮轴的轴心自转，所述n个手臂组沿所述转轮轴的周向依次排列，且每个所述手臂本体的一端与所述转轮轴固定连接；
支撑件，所述转轮轴的两端均设置在所述支撑件上。
可选的，每个所述手臂本体的承载面上设置有两个定位块，所述两个定位块之间存在能够卡接掩膜板的间隔。
可选的，所述转轮轴设置有空腔，所述空腔内设置有转轮控制箱，所述转轮控制箱与所述转轮轴电连接，所述转轮控制箱能够控制所述转轮轴顺时针转动或逆时针转动。
可选的，每个所述手臂本体内设置有电磁铁，所述电磁铁能够在通电时吸附掩膜板。
可选的，所述支撑件包括：
两个调节组件，所述转轮轴的两端分别与一个所述调节组件连接。
可选的，每个所述调节组件包括丝杠和连接件，所述连接件活动套接在所述丝杠上，所述转轮轴的一端与所述连接件连接。
第二方面，提供了一种掩膜板的搬运系统，包括：机械手臂和第一方面任一所述的掩膜板的存储机构。
第三方面，提供了一种掩膜板的搬运方法，应用于第二方面所述的掩膜板的搬运系统，所述方法包括：
当机械手臂需要抓取掩膜板时，控制所述机械手臂伸长至预设位置，控制所述转轮轴沿第一方向转动，使目标手臂组上承载的目标掩膜板与所述机械手臂接触，并调节所述目标手臂组的位置，使所述目标掩膜板脱离所述目标手臂组；
当机械手臂需要放置掩膜板时，控制所述机械手臂伸长至所述预设位置，控制所述转轮轴沿第二方向转动，使所述机械手臂上的目标掩膜板与所述目标手臂组接触，并调节所述目标手臂组的位置，使所述目标掩膜板脱离所述机械手臂，所述第二方向与所述第一方向相反。
可选的，所述支撑件包括两个调节组件，每个所述调节组件包括丝杠和连接件，所述连接件活动套接在所述丝杠上，所述转轮轴的一端与所述连接件连接，
所述调节所述目标手臂组的位置，使所述目标掩膜板脱离所述目标手臂组，包括：
沿第一预设方向转动所述丝杠，使所述连接件下移，直至所述目标掩膜板脱离所述目标手臂组；
所述调节所述目标手臂组的位置，使所述目标掩膜板脱离所述机械手臂，包括：
沿第二预设方向转动所述丝杠，使所述连接件上移，直至所述目标掩膜板脱离所述机械手臂，所述第二预设方向与所述第一预设方向相反。
可选的，所述调节所述目标手臂组的位置，使所述目标掩膜板脱离所述目标手臂组，包括：
沿所述第一方向转动所述转轮轴，使所述目标掩膜板脱离所述目标手臂组；
所述调节所述目标手臂组的位置，使所述目标掩膜板脱离所述机械手臂，包括：
沿所述第二方向转动所述转轮轴，使所述目标掩膜板脱离所述机械手臂。本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：
本发明实施例提供的掩膜板的存储机构、搬运方法及搬运系统，转轮轴围绕轴心自转时，能够带动与转轮轴固定连接的手臂组转动，机械手臂在抓取目标掩膜板时，只需将机械手臂伸长至预设位置，例如该预设位置可以为目标掩膜板的下方，此时控制转轮轴自转，使目标掩膜板通过手臂本体之间的间隔与机械手臂接触，继续控制转轮轴自转可以使目标掩膜板脱离手臂本体，此时机械手臂缩回，即完成了掩膜板的抓取操作，机械手臂执行掩膜板的放置操作时同理可参考对掩膜板的抓取操作，因此机械手臂在取放掩膜板时，无需执行上抬操作或下放操作，简化了机械手臂的操作步骤，提高了机械手臂的工作效率；另外，由于掩膜板的质量比较大，相关技术中机械手臂在上抬或下放掩膜板的过程中易产生颤动，对机械手臂的损伤较大，而在采用本发明实施例提供的掩膜板的存储机构时，机械手臂无需执行上抬操作或下放操作，因此可以延长机械手臂的使用寿命。
附图说明
图1是相关技术中的一种掩膜板的存储机构的结构示意图；
图2是本发明实施例提供的一种掩膜板的存储机构的结构示意图；
图3是本发明实施例提供的一种手臂组的结构示意图；
图4是本发明实施例提供的另一种手臂组的结构示意图；
图5是本发明实施例提供的一种掩膜板的存储系统的结构示意图；
图6是本发明实施例提供的一种控制转轮轴转动的示意图；
图7是本发明实施例提供的一种机械手臂抓取掩膜板的示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。
本发明实施例提供了一种掩膜板的存储机构，如图2所示，该存储机构可以包括：n个手臂组21，转轮轴22和支撑件23。
每个手臂组21可以包括能够承载掩膜板的至少两个手臂本体211，该至少两个手臂本体存在供机械手臂抓取掩膜板的间隔，其中，n大于或等于1。
转轮轴22能够围绕该转轮轴22的轴心自转，n个手臂组21沿转轮轴22的周向依次排列(也即是n个手臂组21以转轮轴22的轴心为圆心依次圆周排布)，且每个手臂本体211的一端与转轮轴22固定连接。
转轮轴22的两端均设置在支撑件23上。
综上所述，本发明实施例提供的掩膜板的存储机构，转轮轴围绕轴心自转时，能够带动与转轮轴固定连接的手臂组转动，机械手臂在抓取目标掩膜板时，只需将机械手臂伸长至预设位置，例如该预设位置可以为目标掩膜板的下方，此时控制转轮轴自转，使目标掩膜板通过手臂本体之间的间隔与机械手臂接触，继续控制转轮轴自转可以使目标掩膜板脱离手臂本体，此时机械手臂缩回，即完成了掩膜板的抓取操作，机械手臂执行掩膜板的放置操作时同理可参考对掩膜板的抓取操作，因此机械手臂在取放掩膜板时，无需执行上抬操作或下放操作，简化了机械手臂的操作步骤，提高了机械手臂的工作效率；另外，由于掩膜板的质量比较大，相关技术中机械手臂在上抬或下放掩膜板的过程中易产生颤动，对机械手臂的损伤较大，而在采用本发明实施例提供的掩膜板的存储机构时，机械手臂无需执行上抬操作或下放操作，因此可以延长机械手臂的使用寿命。
其中，每个手臂组包括的至少两个手臂本体的承载面共面，以便于较好的承载掩膜板。
示例的，参见图2，每个手臂组21可以包括能够承载掩膜板的两个手臂本体211，该两个手臂本体之间存在间隔，该间隔可以用于机械手臂抓取掩膜板。
需要说明的是，机械手臂的水平位置是固定的，参见图1，相关技术中，掩膜板的存储机构中存储有九层掩膜板，该九层掩膜板包括第一层掩膜板12a和第九层掩膜板12b，在采用该掩膜板的存储机构时，当机械手臂需要抓取第一层掩膜板12a时，需要下移该掩膜板的存储机构直至第一层掩膜板12a位于机械手臂的抓取位置；当机械手臂需要抓取第九层掩膜板12b时，需要上移存储机构直至第九层掩膜板12b位于机械手臂的抓取位置，可见相关技术中的掩膜板的存储机构需在竖直方向上占用较大的空间，这限制了掩膜板的存储机构存储掩膜板的数量，而采用本发明实施例提供的掩膜板的存储机构，只需转动转轮轴即可使目标掩膜板到达机械手臂的抓取位置，节省了掩膜板的存储机构的占用空间，从而使存储机构能够存储更多的掩膜板。
可选的，参见图2，支撑件23可以包括：两个调节组件231，转轮轴22的两端分别与一个调节组件231连接。
其中，每个调节组件231可以包括丝杠23a和连接件23b，该连接件23b活动套接在丝杠23a上，转轮轴22的一端与连接件23b连接。
需要说明的是，丝杠23a上设置有螺纹，连接件23b与丝杠23a的接触面上设置有与丝杠23a上的螺纹相匹配的螺纹(可以将丝杠视为螺栓，将连接件视为螺母)。当丝杠沿第一预设方向转动时，连接件可以下移；当丝杠沿第二预设方向转动时，连接件可以上移，第二预设方向与第一预设方向相反，例如第一预设方向为顺时针方向，则第二预设方向为逆时针方向。
可选的，存储机构还可以包括连接杆，该连接杆穿透转轮轴，且连接杆的轴心与转轮轴的轴心重合，该连接杆的两端分别与一连接件连接，也即是转轮轴可以通过该连接杆与连接件连接，转轮轴可以围绕连接杆转动。
图3为本发明实施例提供的一种手臂组的结构示意图，参见图3，手臂本体211的一端与转轮轴22固定连接，每个手臂本体211的承载面上设置有两个定位块，该两个定位块包括定位块a和定位块b，定位块a和定位块b之间存在能够卡接掩膜板的间隔。
可选的，转轮轴可以设置有空腔，该空腔内可以设置有转轮控制箱，转轮控制箱与转轮轴电连接，该转轮控制箱能够控制转轮轴顺时针转动或逆时针转动。
在本发明实施例中，可以由工作人员通过转轮控制箱控制转轮轴的转动，也可以由转轮控制箱自动控制转轮轴的转动，具体内容包括：
一方面，若由工作人员通过转轮控制箱控制转轮轴的转动，则该转轮控制箱仅起到电机的作用。例如，该转轮控制箱可以外连若干个控制按钮。当工作人员按下按钮1时，该转轮控制箱控制转轮轴顺时针转动；当工作人员按下按钮2时，该转轮控制箱控制转轮轴逆时针转动；当工作人员按下按钮3时，该转轮控制箱控制转轮轴停止转动。
另一方面，若由转轮控制箱自动控制转轮轴的转动，则该转轮轴或手臂组上还可以设置有检测装置，该检测装置与转轮控制箱电连接，此时该转轮控制箱可以外连两个按钮，其中一个按钮(例如按钮4)用于触发转轮控制箱控制转轮轴转动以使机械手臂完成抓取操作，另一个按钮用于触发转轮控制箱控制转轮轴转动以使机械手臂完成放置操作。
示例的，当工作人员按下按钮4时，转轮控制箱接收触发指令，该触发指令用于触发转轮控制箱控制转轮轴转动，以使机械手臂完成抓取目标掩膜板的操作。转轮控制箱根据该触发指令控制转轮轴转动，使承载有目标掩膜板的目标手臂组到达目标位置，然后控制转轮轴停止转动以等待机械手臂伸长至预设位置。当检测装置检测到机械手臂到达该预设位置时，转轮控制箱控制转轮轴转动使目标掩膜板与机械手臂接触。当检测装置检测到目标掩膜板脱离目标手臂组时，转轮控制箱控制转轮轴停止转动，此时机械手臂收缩即可完成对目标掩膜板的抓取操作。当机械手臂需要放置目标掩膜板时，转轮控制箱自动控制转轮轴转动以使机械手臂完成对目标掩膜板的放置操作的过程，可以参考上述转轮控制箱自动控制转轮轴转动使机械手臂完成对目标掩膜板的抓取操作的过程，本发明实施例在此不做赘述。
进一步的，参见图4，每个手臂本体211内可以设置有电磁铁c，该电磁铁能够在通电时吸附掩膜板。该电磁铁c可以包括阵列排布在定位块a和定位块b之间的子电磁铁。
可选的，手臂本体中的电磁铁可以与转轮控制箱电连接，由转轮控制箱控制电磁铁的通断电；手臂本体中的电磁铁的供电线也可以通过转轮轴的空腔向外走线，外连单独的控制电源以控制电磁铁的通断电。本发明实施例对控制电磁铁通断电的方式不做限定。
综上所述，本发明实施例提供的掩膜板的存储机构，转轮轴围绕轴心自转时，能够带动与转轮轴固定连接的手臂组转动，机械手臂在抓取目标掩膜板时，只需将机械手臂伸长至预设位置，例如该预设位置可以为目标掩膜板的下方，此时控制转轮轴自转，使目标掩膜板通过手臂本体之间的间隔与机械手臂接触，继续控制转轮轴自转可以使目标掩膜板脱离手臂本体，此时机械手臂缩回，即完成了掩膜板的抓取操作，机械手臂执行掩膜板的放置操作时同理可参考对掩膜板的抓取操作，因此机械手臂在取放掩膜板时，无需执行上抬操作或下放操作，简化了机械手臂的操作步骤，提高了机械手臂的工作效率；另外，由于掩膜板的质量比较大，相关技术中机械手臂在上抬或下放掩膜板的过程中易产生颤动，对机械手臂的损伤较大，而在采用本发明实施例提供的掩膜板的存储机构时，机械手臂无需执行上抬操作或下放操作，因此可以延长机械手臂的使用寿命。
本发明实施例提供了一种掩膜板的搬运系统，如图5所示，包括：机械手臂30和掩膜板的存储机构，该掩膜板的存储机构可以为图2所示的掩膜板的存储机构。
参见图5，机械手臂30的承载面上可以设置有两个定位块301，该两个定位块用于机械手臂承载掩膜板时卡接掩膜板，以防止掩膜板滑落。
需要说明的是，为了图示清楚，在图5中未画出支撑件。
目标手臂组上承载有目标掩膜板40，机械手臂30可以抓取目标手臂组上的目标掩膜板40。
综上所述，本发明实施例提供的掩膜板的搬运系统，转轮轴围绕轴心自转时，能够带动与转轮轴固定连接的手臂组转动，机械手臂在抓取目标掩膜板时，只需将机械手臂伸长至预设位置，例如该预设位置可以为目标掩膜板的下方，此时控制转轮轴自转，使目标掩膜板通过手臂本体之间的间隔与机械手臂接触，继续控制转轮轴自转可以使目标掩膜板脱离手臂本体，此时机械手臂缩回，即完成了掩膜板的抓取操作，机械手臂执行掩膜板的放置操作时同理可参考对掩膜板的抓取操作，因此机械手臂在取放掩膜板时，无需执行上抬操作或下放操作，简化了机械手臂的操作步骤，提高了机械手臂的工作效率；另外，由于掩膜板的质量比较大，相关技术中机械手臂在上抬或下放掩膜板的过程中易产生颤动，对机械手臂的损伤较大，而在采用本发明实施例提供的掩膜板的存储机构时，机械手臂无需执行上抬操作或下放操作，因此可以延长机械手臂的使用寿命。
本发明实施例提供了一种掩膜板的搬运方法，该方法可以应用于如图5所示的掩膜板的搬运系统，该方法可以包括：
当机械手臂需要抓取掩膜板时，控制机械手臂伸长至预设位置，控制转轮轴沿第一方向转动，使目标手臂组上承载的目标掩膜板与机械手臂接触，并调节目标手臂组的位置，使目标掩膜板脱离目标手臂组。
当机械手臂需要放置掩膜板时，控制机械手臂伸长至预设位置，控制转轮轴沿第二方向转动，使机械手臂上的目标掩膜板与目标手臂组接触，并调节目标手臂组的位置，使目标掩膜板脱离机械手臂，该第二方向与第一方向相反。
可选的，第一方向为顺时针方向，则第二方向为逆时针方向；或者，第一方向为逆时针方向，则第二方向为顺时针方向。
综上所述，本发明实施例提供的掩膜板的搬运方法，转轮轴围绕轴心自转时，能够带动与转轮轴固定连接的手臂组转动，机械手臂在抓取目标掩膜板时，只需将机械手臂伸长至预设位置，例如该预设位置可以为目标掩膜板的下方，此时控制转轮轴自转，使目标掩膜板通过手臂本体之间的间隔与机械手臂接触，继续控制转轮轴自转可以使目标掩膜板脱离手臂本体，此时机械手臂缩回，即完成了掩膜板的抓取操作，机械手臂执行掩膜板的放置操作时同理可参考对掩膜板的抓取操作，因此机械手臂在取放掩膜板时，无需执行上抬操作或下放操作，简化了机械手臂的操作步骤，提高了机械手臂的工作效率；另外，由于掩膜板的质量比较大，相关技术中机械手臂在上抬或下放掩膜板的过程中易产生颤动，对机械手臂的损伤较大，而在采用本发明实施例提供的掩膜板的存储机构时，机械手臂无需执行上抬操作或下放操作，因此可以延长机械手臂的使用寿命。
在本发明实施例中，可以通过支撑件调节目标手臂组的位置，也可以通过转轴轮围绕轴心自转来调节目标手臂组的位置。
第一种调节目标手臂组的位置的方式，包括：通过支撑件调节目标手臂组的位置。
可选的，参见图2，支撑件23可以包括：两个调节组件231，转轮轴22的两端分别与一个调节组件231连接。其中，每个调节组件231可以包括丝杠23a和连接件23b，该连接件23b活动套接在丝杠23a上，转轮轴22的一端与连接件23b连接。
需要说明的是，丝杠23a上设置有螺纹，连接件23b与丝杠23a的接触面上设置有与丝杠23a上的螺纹相匹配的螺纹(可以将丝杠视为螺栓，将连接件视为螺母)，当丝杠沿第一预设方向转动时，连接件可以下移；当丝杠沿第二预设方向转动时，连接件可以上移。第二预设方向与第一预设方向相反，例如第一预设方向为顺时针方向，则第二预设方向为逆时针方向。
相应的，调节目标手臂组的位置，使目标掩膜板脱离目标手臂组，包括：
沿第一预设方向转动丝杠，使连接件下移，直至目标掩膜板脱离目标手臂组。
相应的，调节目标手臂组的位置，使目标掩膜板脱离机械手臂，包括：
沿第二预设方向转动丝杠，使连接件上移，直至目标掩膜板脱离机械手臂，第二预设方向与第一预设方向相反。
第二种调节目标手臂组的位置的方式，包括：通过转轴轮围绕轴心自转来调节目标手臂组的位置。
相应的，调节目标手臂组的位置，使目标掩膜板脱离目标手臂组，包括：
沿第一方向转动转轮轴，使目标掩膜板脱离目标手臂组。
相应的，调节目标手臂组的位置，使目标掩膜板脱离机械手臂，包括：
沿第二方向转动转轮轴，使目标掩膜板脱离机械手臂。
进一步说明，当每个手臂本体内设置有电磁铁，该电磁铁能够在通电时吸附掩膜板，在调节目标手臂组的位置，使目标掩膜板脱离目标手臂组之前，该方法还包括：
禁止目标手臂组的手臂本体内的电磁铁通电，以解除电磁铁对目标掩膜板的吸附。
示例的，本发明实施例以机械手臂抓取目标掩膜板为例进行图示说明，包括：
参见图6，先控制转轮轴转动，使承载有目标掩膜板40的目标手臂组移动至目标位置，然后控制机械手臂30伸长至预设位置，接着控制转轮轴沿第一方向转动，参见图7，使目标手臂组上承载的目标掩膜板40与机械手臂30接触，再调节目标手臂组的位置，使目标掩膜板40脱离目标手臂组。
需要说明的是，本发明实施例提供的掩膜板的搬运方法步骤的先后顺序可以进行适当调整，步骤也可以根据情况进行相应增减，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化的方法，都应涵盖在本发明的保护范围之内，因此不再赘述。
综上所述，本发明实施例提供的掩膜板的搬运方法，该方法中，转轮轴围绕轴心自转时，能够带动与转轮轴固定连接的手臂组转动，机械手臂在抓取目标掩膜板时，只需将机械手臂伸长至预设位置，例如该预设位置可以为目标掩膜板的下方，此时控制转轮轴自转，使目标掩膜板通过手臂本体之间的间隔与机械手臂接触，继续控制转轮轴自转可以使目标掩膜板脱离手臂本体，此时机械手臂缩回，即完成了掩膜板的抓取操作，机械手臂执行掩膜板的放置操作时同理可参考对掩膜板的抓取操作，因此机械手臂在取放掩膜板时，无需执行上抬操作或下放操作，简化了机械手臂的操作步骤，提高了机械手臂的工作效率；另外，由于掩膜板的质量比较大，相关技术中机械手臂在上抬或下放掩膜板的过程中易产生颤动，对机械手臂的损伤较大，而在采用本发明实施例提供的掩膜板的存储机构时，机械手臂无需执行上抬操作或下放操作，因此可以延长机械手臂的使用寿命。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述方法实施例中的过程，可以参考前述装置实施例中各个模块的具体工作过程，在此不再赘述。
以上所述仅为本发明的可选实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种掩膜板的存储机构，其特征在于，包括：
n个手臂组，每个所述手臂组包括能够承载掩膜板的至少两个手臂本体，所述至少两个手臂本体存在供机械手臂抓取所述掩膜板的间隔，所述n大于或等于1；
转轮轴，所述转轮轴能够围绕所述转轮轴的轴心自转，所述n个手臂组沿所述转轮轴的周向依次排列，且每个所述手臂本体的一端与所述转轮轴固定连接；
支撑件，所述支撑件包括两个调节组件，所述转轮轴的两端分别与一个所述调节组件连接。
2.根据权利要求1所述的存储机构，其特征在于，每个所述手臂本体的承载面上设置有两个定位块，所述两个定位块之间存在能够卡接掩膜板的间隔。
3.根据权利要求1所述的存储机构，其特征在于，所述转轮轴设置有空腔，所述空腔内设置有转轮控制箱，所述转轮控制箱与所述转轮轴电连接，所述转轮控制箱能够控制所述转轮轴顺时针转动或逆时针转动。
4.根据权利要求3所述的存储机构，其特征在于，每个所述手臂本体内设置有电磁铁，所述电磁铁能够在通电时吸附掩膜板。
5.根据权利要求1所述的存储机构，其特征在于，
每个所述调节组件包括丝杠和连接件，所述连接件活动套接在所述丝杠上，所述转轮轴的一端与所述连接件连接。
6.一种掩膜板的搬运系统，其特征在于，包括：机械手臂和权利要求1至5任一所述的掩膜板的存储机构。
7.一种掩膜板的搬运方法，其特征在于，应用于权利要求6所述的掩膜板的搬运系统，所述方法包括：
当机械手臂需要抓取掩膜板时，控制所述机械手臂伸长至预设位置，控制所述转轮轴沿第一方向转动，使目标手臂组上承载的目标掩膜板与所述机械手臂接触，并调节所述目标手臂组的位置，使所述目标掩膜板脱离所述目标手臂组；
当机械手臂需要放置掩膜板时，控制所述机械手臂伸长至所述预设位置，控制所述转轮轴沿第二方向转动，使所述机械手臂上的目标掩膜板与所述目标手臂组接触，并调节所述目标手臂组的位置，使所述目标掩膜板脱离所述机械手臂，所述第二方向与所述第一方向相反。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述支撑件包括两个调节组件，每个所述调节组件包括丝杠和连接件，所述连接件活动套接在所述丝杠上，所述转轮轴的一端与所述连接件连接，
所述调节所述目标手臂组的位置，使所述目标掩膜板脱离所述目标手臂组，包括：
沿第一预设方向转动所述丝杠，使所述连接件下移，直至所述目标掩膜板脱离所述目标手臂组；
所述调节所述目标手臂组的位置，使所述目标掩膜板脱离所述机械手臂，包括：
沿第二预设方向转动所述丝杠，使所述连接件上移，直至所述目标掩膜板脱离所述机械手臂，所述第二预设方向与所述第一预设方向相反。
9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，
所述调节所述目标手臂组的位置，使所述目标掩膜板脱离所述目标手臂组，包括：
沿所述第一方向转动所述转轮轴，使所述目标掩膜板脱离所述目标手臂组；
所述调节所述目标手臂组的位置，使所述目标掩膜板脱离所述机械手臂，包括：
沿所述第二方向转动所述转轮轴，使所述目标掩膜板脱离所述机械手臂。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710686940.4A CN107487626B (zh) | 2017-08-11 | 2017-08-11 | 掩膜板的存储机构、搬运方法及搬运系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710686940.4A CN107487626B (zh) | 2017-08-11 | 2017-08-11 | 掩膜板的存储机构、搬运方法及搬运系统 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107487626A CN107487626A (zh) | 2017-12-19 |
| CN107487626B true CN107487626B (zh) | 2019-06-21 |
Family
ID=60643558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710686940.4A Expired - Fee Related CN107487626B (zh) | 2017-08-11 | 2017-08-11 | 掩膜板的存储机构、搬运方法及搬运系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107487626B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108792598B (zh) * | 2018-06-27 | 2019-12-10 | 电子科技大学 | 一种物流运输中资源箱的搬运装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2630374B2 (ja) * | 1989-06-16 | 1997-07-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置及び搬送方法及び処理装置及び処理方法 |
| US6447232B1 (en) * | 1994-04-28 | 2002-09-10 | Semitool, Inc. | Semiconductor wafer processing apparatus having improved wafer input/output handling system |
| DK0913349T3 (da) * | 1997-10-14 | 2003-05-26 | Exper Automation S P A | Indretning til overføring af genstande |
| US20010014268A1 (en) * | 1998-10-28 | 2001-08-16 | Charles S. Bryson | Multi-axis transfer arm with an extensible tracked carriage |
| US6135698A (en) * | 1999-04-30 | 2000-10-24 | Asyst Technologies, Inc. | Universal tool interface and/or workpiece transfer apparatus for SMIF and open pod applications |
| DE102007047772B4 (de) * | 2007-10-05 | 2011-07-21 | Multitest elektronische Systeme GmbH, 83026 | Temperierkammer zum Temperieren von elektronischen Bauelementen, insbesondere IC's |
| CN101209554A (zh) * | 2007-12-25 | 2008-07-02 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 半导体专用设备晶片抓取装置 |
| CN106158713A (zh) * | 2015-03-26 | 2016-11-23 | 上海微电子装备有限公司 | 一种硅片快速交接装置 |
-
2017
- 2017-08-11 CN CN201710686940.4A patent/CN107487626B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN107487626A (zh) | 2017-12-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6354791B1 (en) | Water lift mechanism with electrostatic pickup and method for transferring a workpiece | |
| US8920103B2 (en) | Multi-cell rotary end effector mechanism with slip ring | |
| JP6621874B2 (ja) | 独立駆動式フィルム分離機構 | |
| CN107487626B (zh) | 掩膜板的存储机构、搬运方法及搬运系统 | |
| KR20080082905A (ko) | 기판처리장치 | |
| WO2010126726A2 (en) | Magnetic rotational hardstop for robot | |
| US10886133B2 (en) | Substrate processing method and substrate processing device | |
| CN108630566B (zh) | 基板保持旋转装置及具备该装置的基板处理装置及方法 | |
| JP2010147207A (ja) | 真空処理装置及び真空搬送装置 | |
| CN103287847B (zh) | 基板传输机构和具有它的基板传输系统 | |
| WO2015195230A1 (en) | Thin end effector with ability to hold wafer during motion | |
| US9669552B2 (en) | System and method for quick-swap of multiple substrates | |
| JP2014179508A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
| CN107267920B (zh) | 蒸镀设备、坩埚及蒸镀方法 | |
| US8991461B2 (en) | Film lamination apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the film lamination apparatus | |
| TW201939570A (zh) | 等離子處理系統及等離子處理系統的執行方法 | |
| CN214782097U (zh) | 一种蒸镀设备 | |
| US9299957B2 (en) | Method of manufacturing organic light emitting display apparatus by performing plasma surface process using target sputtering apparatus | |
| JP7382932B2 (ja) | 基板搬送ロボット及びその制御方法 | |
| CN105448788A (zh) | 一种反应腔室、晶片传输方法及等离子体加工设备 | |
| TWI679160B (zh) | 搬送裝置及其控制方法，以及基板處理系統 | |
| CN112538605B (zh) | 一种蒸镀设备 | |
| CN118123797A (zh) | 不对称双末端执行器机械臂 | |
| CN205241779U (zh) | 一种高真空三室三掩模库薄膜沉积装置的掩模库组件 | |
| CN216548118U (zh) | 一种360°的多工位转盘运载机构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20190621 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |