CN118123797A - 不对称双末端执行器机械臂 - Google Patents

Abstract

本公开的一个或多个实施例涉及不对称双末端执行器机械臂。一种装置包括：包括具有第一末端执行器的不等连杆连杆机构的第一臂；包括具有第二末端执行器的等连杆连杆机构的第二臂；以及耦合到第一臂和第二臂的驱动单元，驱动单元被配置为移动第一臂和第二臂。第一末端执行器与第二末端执行器不对称。第一末端执行器相对于第二末端执行器成角度使得第一末端执行器上的第一基板支撑部分没有定位在第二末端执行器上的第二基板支撑部分之上或之下。

Description

不对称双末端执行器机械臂

本申请是PCT国际申请号PCT/US2020/022004、国际申请日2020年03月11日，发明名称为“ASYMMETRIC DUAL END EFFECTOR ROBOT ARM”，于2021年10月21日进入中国国家阶段的中文发明名称为“不对称双末端执行器机械臂”、申请号为202080030409.1的专利申请的分案申请。

技术领域

本文中公开的示例和非限制性实施例总体上涉及一种机械臂，并且更具体地涉及一种具有两个或更多个臂的机器人，其中臂上的末端执行器相对于彼此偏移。

背景技术

用于制造半导体、LED、太阳能、MEMS、或其他器件的工艺利用机器人技术和其他形式的自动化来将基板和与基板相关联的载体在存储位置、处理位置或其他位置之间来回传送。基板的这种传送可以包括移动个体基板、基板组，其中使用单个臂传送一个或多个基板，或者使用多个臂，每个臂传送一个或多个基板。例如，与半导体制造相关联的大部分制造是在真空环境中完成的，其中占地面积和体积非常重要。此外，进行大部分自动化传送是为了在工作空间体积内获取基板移动的最大效率。因此，需要提供基板传送自动化，该自动化利用最小占地面积和工作空间体积用于给定范围的传送应用，并且具有最大移动效率。

发明内容

以下概述仅旨在作为示例。概述并非旨在限制权利要求的范围。

根据一个方面，一种示例装置包括：包括具有第一末端执行器的不等连杆连杆机构的第一臂；包括具有第二末端执行器的等连杆连杆机构的第二臂；以及耦合到第一臂和第二臂的驱动单元，驱动单元被配置为移动第一臂和第二臂。第一末端执行器与第二末端执行器不对称。第一末端执行器相对于第二末端执行器成角度使得第一末端执行器上的第一基板支撑部分没有定位在第二末端执行器上的第二基板支撑部分之上或之下。

根据另一方面，一种用于承载至少两个基板的示例基板传送装置包括：包括不等长度的两个连杆和下端执行器的下臂；包括相等长度的两个连杆和上端执行器的上臂；以及耦合到下臂和上臂的驱动单元，驱动单元被配置为旋转和伸展下臂和上臂。下端执行器与上端执行器不对称并且相对于上端执行器成角度使得下端执行器的远端没有定位在上端执行器的远端之下，并且使得在下臂或上臂移动时，下端执行器的远端没有在上端执行器的远端之下行进。

根据另一方面，一种传送第一基板和第二基板的示例方法包括：围绕驱动单元的轴旋转第一臂，第一臂包括具有第一末端执行器的第一连杆机构，第一末端执行器被配置为传送第一基板；以及相对于包括具有第二末端执行器的第二连杆机构的第二臂伸展第一连杆机构，第二末端执行器与第一末端执行器不对称并且相对于第一末端执行器成角度，第二末端执行器被配置为传送第二基板。在停歇位置，第一基板没有定位在第二基板之上或之下。在伸展第一连杆机构时，第一基板没有在第二基板之上或之下行进。

根据另一方面，一种组装基板传送装置的示例方法包括：将第一连杆机构臂的上连杆连接到驱动单元的可旋转轴；在第一肘关节处将第一连杆机构臂的下连杆连接到第一连杆机构臂的上连杆；在第一腕关节处将第一末端执行器连接到第一连杆机构臂的下连杆；将第二连杆机构臂的上连杆连接到驱动单元的可旋转轴；在第二肘关节处将第二连杆机构臂的下连杆连接到第二连杆机构臂的上连杆；以及在第二腕关节处将第二末端执行器连接到第二连杆机构臂的下连杆。至少第一连杆机构臂的上连杆机构与第一连杆机构臂的下连杆机构具有不等长度。第一末端执行器相对于第二末端执行器成角度使得第一末端执行器的远端处的第一基板支撑部分没有在第二末端执行器的远端处的第二基板支撑部分之上或之下。

根据另一方面，一种示例装置包括：至少一个处理器；以及包括计算机程序代码的至少一个非暂态存储器，至少一个存储器和计算机程序代码被配置为与至少一个处理器一起引起该装置至少执行：围绕驱动单元的轴旋转第一臂，第一臂包括具有第一末端执行器的第一连杆机构，第一末端执行器被配置为传送第一基板；以及相对于包括具有第二末端执行器的第二连杆机构的第二臂伸展第一连杆机构，第二末端执行器与第一末端执行器不对称并且相对于第一末端执行器成角度，第二末端执行器被配置为传送第二基板。在停歇位置，第一基板没有定位在第二基板之上或之下。在伸展第一连杆机构时，第一基板没有在第二基板之上或之下行进。

附图说明

结合附图在以下描述中解释上述方面和其他特征，在附图中：

图1A是用于移动基板的机器人的立体图，该机器人具有等连杆连杆机构臂和不等连杆连杆机构臂并且其中臂上的末端执行器以堆叠配置布置；

图1B是图1A的机器人的侧视图；

图1C和1D示出了包括如本文所述的特征的基板处理系统中的基板移动的示例；

图2A是图1A和1B的机器人的基板传送装置的透视图，示出了处于停歇位置的堆叠的末端执行器；

图2B和2C是图2A的机器人的基板传送装置的透视图，示出了一个末端执行器相对于另一末端执行器移动；

图3是其中末端执行器未堆叠的基板传送装置的立体图；

图4是图3的基板传送装置的俯视图；

图5A是处于停歇位置的图3的基板传送装置的透视图；

图5B和5C是图5A的装置的透视图，示出了装置的不等连杆连杆机构的伸展；

图6A是处于停歇位置的图3的基板传送装置的透视图；

图6B和6C是图6A的装置的透视图，示出了装置的等连杆连杆机构的伸展；

图7是具有不对称双臂并且使用非圆形带轮并且处于缩回位置的传送装置的示意图；

图8A-8C是传送装置的非偏斜末端执行器从缩回位置到伸展位置的伸展的示意图；以及

图9A-9C是图8A-8C的传送装置的偏斜末端执行器从缩回位置到伸展位置的伸展的示意图。

具体实施方式

参考图1A和1B，用于基板传送的装置可以包括如总体上以10示出的机器人。机器人10包括被配置为在例如基板处理室与装载锁之间传送基板14a、14b的基板传送装置12(下文中称为“传送装置12”)。机器人10还包括驱动单元16(其可以包括例如一个或多个电机或任何其他合适的驱动装置)，驱动单元16被配置为驱动传送装置12的臂和多个执行器，从而引起基板的传送。例如，具有多个末端执行器的机器人在于2018年2月15日提交的题为“Material-Handling Robot With Multiple End-Effectors”的美国专利申请号15/897,374中有描述，该申请通过引用整体并入本文。

传送装置12包括多个臂，每个臂经由驱动单元16可伸展和可旋转。在一个示例实施例中，多个臂包括由非圆形带轮可驱动的至少一个不等连杆连杆机构20。不等连杆连杆机构20具有上臂31和下臂32，上臂31在肩部处连接到驱动单元16，并且下臂32在肘部处连接到上臂31。第一末端执行器22在腕部处连接到下臂32，第一末端执行器22具有腿部和位于腿部的远端处的用于支撑下基板14a的基板支撑部分。多个臂还包括具有上臂33和下臂34的至少一个等连杆连杆机构24，上臂33在肩部处连接到驱动单元，并且下臂34在肘部处连接到上臂33。第二末端执行器26在腕部处连接到下臂34，第二末端执行器26具有腿部和位于腿部的远端处的用于支撑上基板14b的基板支撑部分。

第一末端执行器22和第二末端执行器26是不对称的。如图所示，第一末端执行器22的腿部弯曲或以其他方式成角度或卷曲，而第二末端执行器26的腿部是直的。然而，在一些示例实施例中，第一末端执行器22的腿部和第二末端执行器26的腿部都可以弯曲。每个末端执行器22、26的腿部关于对应连杆机构22、24将基板支撑部分连接到末端执行器的腕关节，其中腿部具有连接到腕关节的第一部分和连接到基板支撑部分的第二部分。在腿部弯曲的第一末端执行器22中，第一部分和第二部分以在大约90度至大约120度之间的角度彼此连接。例如，具有其中末端执行器的腿部弯曲或以其他方式成角度的臂的机器人在于2015年10月6日发布的题为“Robot Having Arm With Unequal Link Lengths”的美国专利号9,149,936中有描述，该专利通过引用整体并入本文。

如图1B所示，不等连杆连杆机构20位于距地面28达距离D或更大的位置处。传送装置12的配置从给定容纳直径提供最大径向范围。例如，具有不等连杆机构长度的手臂的机器人在于2015年10月6日发布的题为“Robot Having Arm With Unequal Link Lengths”的美国专利号9,149,936中有描述，该专利通过引用整体并入本文。

参考图1C和1D，示例基板处理系统或半导体晶片处理系统总体上以1000示出并且在下文中称为“系统1000”。系统1000可以包括例如一个或多个径向站1012和一个或多个偏移站1014。可以提供机器人10以在站1012、1014或连接到环境室1013的其他模块/站(未示出)之间移动一个或多个基板S。环境室1013可以提供例如真空环境，并且具有通过室1013的底壁伸展到至少部分由室1013限定的环境中的机器人10。机器人10和站1012、1014连接到至少一个控制器1015，该控制器1015包括至少一个处理器1017和至少一个存储器1019，该存储器1019包括用于控制系统1000的操作的软件1021。系统1000可以提供例如以下晶片处理操作：(a)从/向单个径向站1012拾取/放置1016单个晶片或基板S，如图1C中示意性地所示；(b)同时从/向一对堆叠径向站1012拾取/放置1018一对晶片或基板S，如图1D中示意性地所示。涉及偏移站1014的其他操作是可能的。

参考图2A-2C，传送装置12的初始位置是如下配置：其中第二末端执行器26的一部分定位在第一末端执行器22(图2A)的一部分之上使得上基板14b以堆叠配置定位在下基板14a之上。在支撑下基板14a(图2B)的第一末端执行器22的伸展时，不等连杆连杆机构20(下臂)上的腕部30经过等连杆连杆机构24(上臂)上的肩部40。在同一末端执行器的缩回过程中会发生类似的移动。在支撑下基板14a的第一末端执行器22的完全伸展时并且在等连杆连杆机构24(图2C)没有移动的情况下，等连杆连杆机构24的行程长度允许腕部和最大行程的限制。

参考图3，示出了一种用于基板处理并且具有末端执行器的基板传送装置，其中至少一个末端执行器成角度或弯曲，使得末端执行器上的基板支撑部分彼此偏移或在停歇位置相对于彼此偏斜，总体上在112处示出并且在下文中称为“传送装置112”。在一个示例实施例中，传送装置112包括下臂和上臂，下臂包括不等连杆连杆机构120和第一末端执行器122，上臂包括等连杆连杆机构124和第二末端执行器126，臂例如通过驱动单元116(一个或多个电机)可伸展和可旋转。第一末端执行器122与第二末端执行器126不对称，但也相对于第二末端执行器126成角度或弯曲或卷曲使得基板支撑部分彼此偏移或在停歇位置相对彼此偏斜(未堆叠)。如上所述，每个末端执行器122、126的腿部将基板支撑部分连接到腕关节，其中腿部具有连接到腕关节的第一部分和连接到基板支撑部分的第二部分。在末端执行器成角度或弯曲的情况下，腿部的第一部分和第二部分以在大约90度至大约120度之间的角度彼此连接。如本文所示，第一末端执行器122相对于第二末端执行器126成角度使得初始在停歇位置期间，支撑在上臂的等连杆连杆机构124的基板支撑部分上的上基板114b没有定位在支撑在不等连杆连杆机构120的基板支撑部分上的下基板114a之上。此外，在由不等连杆连杆机构120限定的下臂和由等连杆连杆机构124限定的上臂中的一者或两者移动期间，上基板114b没有在下基板114a之上行进。类似于机器人10，传送装置112或合并有传送装置112的机器人可以连接到至少一个控制器，该控制器包括至少一个处理器和至少一个存储器，该存储器包括用于控制系统的操作的软件。

参考图4，连杆机构围绕驱动单元116的轴旋转以将第二末端执行器126上的晶片(基板114b)远离第一末端执行器122上的晶片(基板114a)移动。等连杆连杆机构124的部分被铰接以将等连杆连杆机构124的肘部远离不等连杆连杆机构120的腕部移动。不等连杆连杆机构120的连杆机构可以通过位于不等连杆连杆机构120的关节(例如，腕部、肘部、和/或不等连杆连杆机构120与驱动单元116的肩部连接)处的一个或多个带轮121伸展或以其他方式移动，带轮是圆形的或非圆形的。在一些示例实施例中，等连杆连杆机构124的连杆机构可以类似地与圆形或非圆形的带轮125一起移动。

参考图5A，在停歇位置，具有偏移或偏斜基板支撑部分的不对称末端执行器122、126的配置引起承载在第二末端执行器126上的晶片(基板114b)没有在第一末端执行器122上的晶片(基板114a)之上。

参考图5B，当不等连杆连杆机构120被驱动单元116旋转时，不等连杆连杆机构120伸展，并且第一末端执行器122远离第二末端执行器126移动。

参考图5C，随着不等连杆连杆机构120进一步伸展，第一末端执行器122更远离第二末端执行器126移动。

参考图6A，在停歇位置，具有偏移或偏斜基板支撑部分的不对称末端执行器的配置引起承载在第二末端执行器126上的晶片(基板114b)没有在第一末端执行器122(也参见图5A)上的晶片(基板114a)之上。

参考图6B，随着等连杆连杆机构124被驱动单元116旋转，等连杆连杆机构120伸展，并且第二末端执行器126远离第一末端执行器122移动。

参考图6C，随着等连杆连杆机构124进一步伸展，第二末端执行器126更远离第一末端执行器122移动。

参考图7，不等连杆连杆机构120和等连杆连杆机构124可以用圆形或非圆形带轮被移动。末端执行器122、126从径向取向旋转以在每个末端执行器122、126之间以及在每个连杆机构120、124的至少肘部之间实现附加间隙。

参考图8A-8C，对于等连杆连杆机构124的伸展，在初始阶段(图8A，缩回位置)，基板114b没有定位在基板114a之上。

如图8B所示，在连杆在连杆上的(link-over-link)位置，末端执行器122、126的取向随着末端执行器126沿着直线127移动而改变。更具体地，当等连杆连杆机构124的腕部直接定位在等连杆连杆机构124连接到驱动单元116的点(肩部)之上时，末端执行器122、126的取向随着基板114b的中心沿着直线127移动而改变。

如图8C所示，在末端执行器126(以及因此基板114b)处于伸展位置的最终阶段，末端执行器122、126的取向是恒定的，并且基板114b的中心继续沿着直线127移动。

参考图9A-9C，对于不等连杆连杆机构120的伸展，在初始阶段(图9A，缩回位置)，基板114b再次没有定位在基板114a之上。如图9B所示，在连杆在连杆上的位置，末端执行器122、126的取向随着基板114a的中心沿着直线移动而改变。如图9C所示，在基板114a处于伸展位置的最终阶段，末端执行器122、126的取向是恒定的，并且基板114a的中心继续沿着直线移动。

在任何实施例中，本文中描述的机械臂的上臂(例如，上臂31和上臂33)可以直接附接到驱动单元的第一轴。下臂(例如，下臂32和下臂34)可以经由旋转肘关节耦合到对应上臂并且使用带布置由驱动单元的第二轴致动，第二轴与第一轴同轴。带布置可以包括：可以附接到驱动单元的第三轴的肩部带轮、可以附接到上臂的肘部带轮、以及可以在这两个带轮之间传递运动的带子、带或缆索(或任何其他合适的装置)。带布置可以具有恒定或可变传动比。例如，可变传动比可以被选择为使得上臂与末端执行器的取向以预定义方式根据上臂和驱动单元的驱动轴的相对位置而改变。然而，可以使用任何其他合适的布置。

在一个示例实施例中，一种装置包括：包括具有第一末端执行器的不等连杆连杆机构的第一臂；包括具有第二末端执行器的等连杆连杆机构的第二臂；以及耦合到第一臂和第二臂的驱动单元，驱动单元被配置为移动第一臂和第二臂。第一末端执行器与第二末端执行器不对称。第一末端执行器相对于第二末端执行器成角度使得第一末端执行器上的第一基板支撑部分没有定位在第二末端执行器上的第二基板支撑部分之上或之下。

在第一臂或第二臂移动时，第一末端执行器上的第一基板支撑部分或第二末端执行器上的第二基板支撑部分中的一者可以没有在第一末端执行器上的第一基板支撑部分或第二末端执行器上的第二基板支撑部分中的另一者之上或之下行进。等连杆连杆机构和不等连杆连杆机构中的一者或两者的连杆机构可以与至少一个非圆形带轮一起移动。第一臂和第二臂可以被配置为使得在第一臂的伸展运动时，第一末端执行器远离第二末端执行器移动。第一臂和第二臂可以被配置为使得在第二臂的伸展运动时，第二末端执行器远离第一末端执行器移动。在等连杆连杆机构的连杆在连杆上的位置中，第一末端执行器和第二末端执行器的取向可以随着第二末端执行器沿着直线移动而改变。当第二末端执行器处于伸展位置时，第一末端执行器和第二末端执行器的取向可以是恒定的，并且第二末端执行器可以继续沿着直线移动。在不等连杆连杆机构的连杆在连杆上的位置中，第一末端执行器和第二末端执行器的取向可以随着第一末端执行器沿着直线移动而改变。当第一末端执行器处于伸展位置时，第一末端执行器和第二末端执行器的取向可以是恒定的，并且第一末端执行器可以继续沿着直线移动。

在另一示例实施例中，一种用于承载至少两个基板的基板传送装置包括：包括不等长度的两个连杆和下端执行器的下臂；包括相等长度的两个连杆和上端执行器的上臂；以及耦合到下臂和上臂的驱动单元，驱动单元被配置为旋转和伸展下臂和上臂。下端执行器与上端执行器不对称并且相对于上端执行器成角度使得下端执行器的远端没有定位在上端执行器的远端之下，并且使得在下臂或上臂移动时，下端执行器的远端没有在上端执行器的远端之下行进。

基板传送装置还可以包括位于下臂的连杆的关节处和上臂的连杆的关节处的带轮，每个臂的带轮可操作地耦合到驱动单元和同一臂的其他带轮使得驱动单元的操作引起下臂的移动和/或上臂的移动。带轮中的至少一个带轮可以是非圆形带轮。下臂和上臂每个可以被配置为使得在下臂的伸展运动时，下端执行器远离上端执行器移动，并且使得在上臂的伸展运动时，上端执行器远离下端执行器移动。在上臂的连杆在连杆上的位置，上端执行器和下端执行器的取向可以随着下端执行器沿着直线移动而改变，并且在下臂的连杆在连杆上的位置，下端执行器和上端执行器的取向可以随着上端执行器沿着直线移动而改变。

在另一示例实施例中，一种传送第一基板和第二基板的方法包括：围绕驱动单元的轴旋转第一臂，第一臂包括具有第一末端执行器的第一连杆机构，第一末端执行器被配置为支撑和传送第一基板；以及相对于包括具有第二末端执行器的第二连杆机构的第二臂伸展第一连杆机构，第二末端执行器与第一末端执行器不对称并且相对于第一末端执行器成角度，第二末端执行器被配置为支撑和传送第二基板。在停歇位置，第一基板没有定位在第二基板之上或之下。在伸展第一连杆机构时，第一基板没有在第二基板之上或之下行进。

第一连杆机构可以使用至少一个非圆形带轮被伸展。第一臂和第二臂可以被配置为使得在伸展第一连杆机构时，第一末端执行器远离第二末端执行器移动。在第一连杆机构的连杆在连杆上的位置中，第一末端执行器和第二末端执行器的取向可以随着第一末端执行器沿着直线移动而改变。当第一末端执行器移动到伸展位置时，第一末端执行器和第二末端执行器的取向可以是恒定的并且第一末端执行器可以继续沿着直线移动。

在另一示例实施例中，一种组装基板传送装置的方法包括：将第一连杆机构臂的上连杆连接到驱动单元的可旋转轴；在第一肘关节处将第一连杆机构臂的下连杆连接到第一连杆机构臂的上连杆；在第一腕关节处将第一末端执行器连接到第一连杆机构臂的下连杆；将第二连杆机构臂的上连杆连接到驱动单元的可旋转轴；在第二肘关节处将第二连杆机构臂的下连杆连接到第二连杆机构臂的上连杆；以及在第二腕关节处将第二末端执行器连接到第二连杆机构臂的下连杆。至少第一连杆机构臂的上连杆与第一连杆机构臂的下连杆具有不等长度。第一末端执行器相对于第二末端执行器成角度使得第一末端执行器的远端处的第一基板支撑部分没有在第二末端执行器的远端处的第二基板支撑部分之上或之下。

在另一示例实施例中，一种装置包括：至少一个处理器；以及包括计算机程序代码的至少一个非暂态存储器，至少一个存储器和计算机程序代码被配置为与至少一个处理器一起引起该装置至少执行：围绕驱动单元的轴旋转第一臂，第一臂包括具有第一末端执行器的第一连杆机构，第一末端执行器被配置为支撑和传送第一基板；以及相对于包括具有第二末端执行器的第二连杆机构的第二臂伸展第一连杆机构，第二末端执行器与第一末端执行器不对称并且相对于第一末端执行器成角度，第二末端执行器被配置为支撑和传送第二基板。在停歇位置，第一基板没有定位在第二基板之上或之下。在伸展第一连杆机构时，第一基板没有在第二基板之上或之下行进。

应当理解，前述描述仅是说明性的。本领域技术人员可以设计各种替代和修改。例如，各种从属权利要求中记载的特征可以以任何合适的组合彼此组合。此外，上述不同实施例的特征可以选择性地组合成新的实施例。因此，该描述旨在包括所有这样的替代、修改和变化。

Claims (10)

1.一种装置，包括：

至少一个壁，所述至少一个壁限定腔室；

至少两个基板处理站，所述至少两个基板处理站被限定在所述至少一个壁中并且所述腔室的内部中；

机器人，所述机器人至少部分地延伸穿过所述腔室的所述至少一个壁，所述机器人包括，

第一臂，所述第一臂包括具有两个不等长连杆并且具有第一末端执行器的连杆机构，

第二臂，所述第二臂包括具有两个等长连杆并且具有第二末端执行器的连杆机构，以及

驱动单元，所述驱动单元被耦合到所述第一臂和所述第二臂，所述驱动单元被配置为移动所述第一臂和所述第二臂，

其中所述第一末端执行器与所述第二末端执行器是不对称的，并且

其中所述第一末端执行器相对于所述第二末端执行器成角度，使得所述第一末端执行器上的第一基板支撑部分没有被定位在所述第二末端执行器上的第二基板支撑部分之上或之下；以及

至少一个控制器，所述至少一个控制器被连接到所述机器人和所述至少两个处理站，所述至少一个控制器包括至少一个处理器和至少一个存储器，所述至少一个存储器包括被配置为控制所述装置的至少所述第一臂相对于所述第二臂的协调操作的软件。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述腔室限定真空环境。

3.根据权利要求1所述的装置，其中进入所述至少两个基板处理站中的第一基板处理站的入口被定向成与进入所述至少两个基板处理站中的第二基板处理站的入口正交。

4.根据权利要求1所述的装置，其中当所述机器人的所述第一臂或所述机器人的所述第二臂移动时，所述第一末端执行器上的所述第一基板支撑部分或所述第二末端执行器上的所述第二基板支撑部分中的一者没有在所述第一末端执行器上的所述第一基板支撑部分或所述第二末端执行器上的所述第二基板支撑部分中的另一者之上或之下行进。

5.根据权利要求1所述的装置，其中具有所述两个等长连杆的连杆机构和具有所述两个不等长连杆的连杆机构中的一者或两者的连杆机构与至少一个非圆形带轮一起移动。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述机器人的所述第一臂和所述机器人的所述第二臂被配置为使得在所述第一臂的伸展运动时，所述第一末端执行器远离所述第二末端执行器移动。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述机器人的所述第一臂和所述机器人的所述第二臂被配置为使得在所述第二臂的伸展运动时，所述第二末端执行器远离所述第一末端执行器移动。

8.根据权利要求1所述的装置，其中在具有所述两个等长连杆的连杆机构的位置中、其中所述两个等长连杆中的一个被定位在所述两个等长连杆中的另一个之上时，所述第一末端执行器和所述第二末端执行器的取向随着所述第二末端执行器沿着直线移动而改变。

9.根据权利要求1所述的装置，其中在具有所述两个不等长连杆的连杆机构的位置中、其中所述两个不等长连杆中的一个定位在所述两个不等长连杆中的另一个之上时，所述第一末端执行器和所述第二末端执行器的取向随着所述第一末端执行器沿直线移动而改变。

10.一种在第一站和第二站之间传送至少一个基板的方法，所述方法包括：

提供由至少一个壁限定的腔室，所述腔室的内部限定至少所述第一站和所述第二站；

提供至少部分地延伸到所述腔室中的机器人，所述机器人包括，

第一臂，所述第一臂包括具有两个不等长连杆并且具有第一末端执行器的连杆机构，

第二臂，所述第二臂包括具有两个等长连杆并且具有第二末端执行器的连杆机构，以及

驱动单元，所述驱动单元被耦合到所述第一臂和所述第二臂，所述驱动单元被配置为移动所述第一臂和所述第二臂，

其中所述第一末端执行器与所述第二末端执行器是不对称的，并且

其中所述第一末端执行器相对于所述第二末端执行器成角度，使得所述第一末端执行器上的第一基板支撑部分没有被定位在所述第二末端执行器上的第二基板支撑部分之上或之下；以及

以协调的操作使所述第一臂或所述第二臂中的一个或多个围绕所述驱动单元的轴旋转，以使所述第一末端执行器或所述第二末端执行器从第一站拾取所述至少一个基板并将所述至少一个基板放置到所述第二站中。