CN107457079A - 溶剂分离方法以及装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种对于已汽化的溶剂既能抑制其与电极接触又能在由电场吸引的同时使其集中于溶剂分离部内的单侧来分离后排出的溶剂分离方法以及装置。对于四角型筒状的溶剂分离部(103)的两侧的第1电极(116)和第2电极(117)，交替地施加如溶剂(114)被吸引至各个第2电极(117)侧的电场(120、130)，由此使排气氛围气体(108)中的已汽化的溶剂(114)在振动运动的同时集中于溶剂分离部(103)内的一对第2电极(117)间的空间，将该溶剂(114)与周边的一部分排气氛围气体一起排出至分离装置外。

Description

溶剂分离方法以及装置
技术领域
本发明涉及从包含已汽化的溶剂的气体之中除去溶剂来净化的溶剂分离方法以及装置。
背景技术
近年来，在各种工业产品或家电的组装制造工序、或成为这些产品的构成部件的各种电子部件、各种电池、或者基板等的设备制造工序中，也在涂敷了具有各种功能的膏状的材料之后，通过各种热处理装置来进行加热处理。在此，各种热处理装置例如有干燥炉、烧成炉、固化炉、或在电子部件的安装工序等中用于焊接的回流焊炉等。在各自的膏状的材料中，除了最终产品所需的固体成分等之外，为了将它们涂于各种基板或者基材等，还根据各自的目的或者需要而混入水或者有机溶剂等各种溶剂来实施粘度调整或者性能调整。
这些溶剂在热处理装置中的加热工序之中，经由汽化以及脱溶剂的工序，从膏状的材料释放到装置内。由此，在连续性地实施加热处理的情况下，在装置内溶剂连续性地汽化并释放，其结果，装置内氛围气体中的溶剂浓度上升，有可能导致各种不良状况。例如，随着装置内氛围气体中的溶剂浓度变高而装置内温度下的氛围气体中能够存在的溶剂的量接近饱和状态，从而难以实现热处理对象物的干燥，或者，在是具有爆炸性的溶剂的情况下，即便未达到饱和蒸汽压，也有可能会超过汽化溶剂浓度的爆炸界限。因而，需要从装置外向装置内定期或者连续地供给外部气体，或者在需要氮气或其他氛围气体(氛围气的气体)的情况下，需要从装置外供给这些氛围气体。进而，同时采用将溶剂浓度上升后的装置内的氛围气体释放到装置外的机构。
图8是说明氛围气体的供给和排气的图。通过送风鼓风机2向热处理装置1的内部供给外部气体。通过排气鼓风机3将包括在热处理装置1内汽化的溶剂的热处理装置1内的氛围气体的一部分排出到装置外。包含在排气中且已汽化的溶剂除去方式例如已知有专利文献1的方式。
图9是专利文献1的简要构成图。专利文献1中公开的构成是如下的构成。在溶剂分离部4的第1壁面5a设置有电极6，能够从电压施加装置7施加电压。此外，关于与第1壁面5a相对的第2壁面5b，与电极6绝缘且被接地。而且，溶剂分离部4的出口侧构成为分支成第1排气导管8和第2排气导管9，第1排气导管8配置为在第1壁面5a延伸。通过如此构成，从而第2壁面5b和与第2壁面5b对置的第1壁面5a配置的电极6之间产生电位差，在溶剂分离部4内产生电场10。由此，若从热处理装置1排出并供给到溶剂分离部4内的排气氛围气体12中包含的溶剂11到达电场10的影响区域内，则通过静电吸引而朝着电极6的方向被吸引。由此，包括集中于电极6侧的溶剂11的第1排气氛围气体13从第1排气导管8排出，另一方面，不含溶剂11的被净化的第2排气氛围气体14从第2排气导管9排出。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2015-142898号公报
然而，在上述专利文献1的构成中，由于在一个方向上施加电场，因此溶剂会与电极接触而不从溶剂分离部内排出，从而会污染电极。若电极的污染发展下去，则会导致溶剂的捕获效率下降，因此需要定期地实施电极的维护。
发明内容
发明要解决的课题
本发明鉴于上述点，其目的在于，提供一种对于已汽化的溶剂既能抑制其与电极接触又能在由电场吸引的同时使其集中于溶剂分离部内的单侧来分离后排出的溶剂分离方法以及装置。
用于解决课题的手段
为了实现上述目的，本发明的一个形态所涉及的溶剂分离方法是从包含已汽化的溶剂的气体之中分离所述溶剂的方法，使溶剂分离装置执行下述步骤，
所述溶剂分离装置具有：
四角型筒状构造的框体；
一对第1电极，配置为与所述框体绝缘且覆盖所述框体内的对置的一对内壁面整体；和
一对第2电极，在所述框体内与所述框体以及所述第1电极绝缘，在所述第1电极的内侧与所述第1电极分离且与所述第1电极平行地配置，并且高度为所述内壁面的高度的一半以下，
在与分别从所述第2电极到所述框体内的中心线为止的距离相比，分别从所述第2电极到最接近该第2电极的所述第1电极为止的距离更短的位置，相对于所述框体的所述中心线对称地配置了所述一对第1电极和所述一对第2电极，
上述步骤包括：
使所述溶剂在流入所述框体之前带电；
向所述一对第2电极之中的一个所述第2电极施加极性与所述溶剂的极性相反的电压，向所述一对第1电极和所述一对第2电极之中的另一个所述第2电极施加极性与所述溶剂的极性相同的电压；
每当经过一定时间时，调换施加于所述一对第2电极的电压的极性，从而使所述溶剂集中于所述框体内的一定区域内；和
使包含所集中的所述溶剂的气体与在所述框体内的所述一定区域以外的区域存在的不含所述溶剂的气体分离后排出。
本发明的另一形态所涉及的溶剂分离装置从包含已汽化的溶剂的气体之中分离所述溶剂，所述溶剂分离装置具有：
四角型筒状构造的框体；
一对第1电极，配置为与所述框体绝缘且覆盖所述框体内的对置的一对内壁面整体；
一对第2电极，在所述框体内与所述框体以及所述第1电极绝缘，在所述第1电极的内侧与所述第1电极分离且与所述第1电极平行地配置，并且高度为所述内壁面的高度的一半以下；
流入口，宽度在与所述一对第2电极间的宽度相同的宽度以下；
带电部，设置于使包含已汽化的溶剂的气体向所述框体流入的流路；和
第1排气流路以及第2排气流路，在所述框体的下游侧相对于所述一对第1电极间在垂直方向上分支而成，
在与分别从所述第2电极到所述框体内的中心线为止的距离相比，分别从所述第2电极到最接近该第2电极的所述第1电极为止的距离更短的位置，相对于所述框体的所述中心线对称地配置了所述一对第1电极和所述一对第2电极，所述第2电极配置为向所述第2排气流路延伸，并且，
所述溶剂分离装置还具有：
电压施加装置，向所述一对第2电极之中的一个所述第2电极施加极性与所述溶剂的极性相反的电压，向两侧的所述第1电极和所述一对第2电极之中的另一个所述第2电极施加极性与所述溶剂的极性相同的电压；和
控制部，控制所述电压施加装置的驱动，使得每当经过一定时间时调换施加于两侧的所述一对第2电极的电压的极性。
发明效果
如以上，根据本发明的上述形态的溶剂分离方法以及装置，在从热处理装置等排气产生装置排出的包含已汽化的溶剂的排气氛围气体之中除去溶剂的过程中，在溶剂分离部内交替地施加如溶剂被吸引至两侧的第2电极侧的电场。而且，通过交替地施加电场，从而使溶剂振动运动的同时集中于溶剂分离部内的一对第2电极间的空间，并从分支的排气流路排出，由此既能抑制溶剂与电极接触又能从排气氛围气体分离包含溶剂的气体。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式中的溶剂分离装置的简要构成图。
图2是带电部的简要图。
图3A是本发明的第1实施方式中的溶剂分离部的构成图。
图3B是本发明的第1实施方式中的溶剂分离部的构成图。
图3C是施加于第1电极和第2电极的电压的图表。
图3D是施加于第1电极和第2电极的电压的图表。
图4是本发明的第2实施方式中的溶剂分离部的构成图。
图5是本发明的第3实施方式中的溶剂分离部的构成图。
图6A是本发明的第4实施方式中的溶剂分离部的构成图。
图6B是本发明的第4实施方式中的溶剂分离部的构成图。
图6C是本发明的第4实施方式中的溶剂分离部的构成图。
图7是本发明的第5实施方式中的溶剂分离部的构成图。
图8是说明以往的氛围气体的供给和排气的简要构成图。
图9是以往的溶剂分离装置的简要构成图。
符号说明
1 热处理装置
2 送风鼓风机
3 排气鼓风机
4 溶剂分离部
5a 第1壁面
5b 第2壁面
6 电极
7 电压施加装置
8 第1排气导管
9 第2排气导管
10 电场
11 溶剂
12 排气氛围气体
13 第1排气氛围气体
14 第2排气氛围气体
101 排气导管
102 带电部
103、103B、103C、103D、103E 溶剂分离部
104 第1排气导管
105 第2排气导管
106 第1排气鼓风机
107 第2排气鼓风机
108 排气氛围气体
109 第1排气氛围气体
110 第2排气氛围气体
111 溶剂分离装置
112 平板电极
113 放电电极
114 溶剂
115 四角型筒状构件
116 第1电极
117 第2电极
118 隔断构件
119 角度
120 电场
121 流入口
122 第3电极
123a 电压
123b 电压
123c 电压
124a 电压
124b 电压
130 电场
135 带电用电压施加装置
136 第1电压施加装置
137 第2电压施加装置
138 控制部
139 第1电极与第2电极之间的空间(区域)
140 中心线
141 宽度与一对第2电极间的宽度相同的空间(区域)
142 一对第2电极间的空间(区域)
143 一对第2电极间的空间(区域)以外的空间(区域)
145 绝缘构件
D1 从第2电极到第1电极的距离
D2 从第2电极到中心线的距离
D3 第2电极与第1电极之间的距离
D4 流入口与第2电极之间的距离
H 第2电极的下端面距溶剂分离部的壁面的高度
W 一对第2电极间的宽度
W2 溶剂分离部的流入口的流路宽度
具体实施方式
以下，参照附图来说明本发明的实施方式。
(第1实施方式)
图1是本发明的第1实施方式中的溶剂分离装置111的简要构成图。溶剂分离装置111与作为排气产生装置的一例的热处理装置1连结，具备：带电部102、排气导管101、溶剂分离部103、作为第1排气流路的一例发挥功能的第1排气导管104、作为第2排气流路的一例发挥功能的第2排气导管105、第1排气鼓风机106以及第2排气鼓风机107。
热处理装置1例如是烧成炉、干燥炉、固化炉或者回流焊炉等进行加热处理的炉。在该加热处理中，实施与加热对象的各种材料或者构件相应的加热，通过加热，溶剂在热处理装置1内的氛围气体(气体)中汽化。包含已汽化的溶剂的热处理装置内氛围气体的一部分被引导至配置为与热处理装置1连通的排气导管101。
在排气导管101的下游侧，经由带电部102而连接为连通溶剂分离部103，以便在使溶剂流入溶剂分离部103之前由带电部102使之带电。在该溶剂分离部103内，从热处理装置1经由排气导管101而送入排气氛围气体108。然后，详细如后述，排气氛围气体108中的已汽化的溶剂的气体分子通过带电部102而带电为正或者负，由于溶剂分离部103内的电场的影响所引起的静电吸引而与排气氛围气体108中的除溶剂以外的气体分子分离。其结果，被分离为不含溶剂的部分的第1排气氛围气体109、和包含溶剂的部分的第2排气氛围气体110，从而在排气氛围气体中产生溶剂浓度的偏重。在此，所谓静电吸引，是指带电为正电荷的物质被负电荷吸引，带电为负电荷的物质被正电荷吸引。
将如此在溶剂分离部103中彼此分离出的不含溶剂的部分的第1排气氛围气体109和包含溶剂的部分的第2排气氛围气体110，分别引导至与溶剂分离部103连通的各个第1排气导管104和第2排气导管105。不含溶剂的第1排气氛围气体109通过第1排气鼓风机106经由第1排气导管104而排出至溶剂分离部103外。另一方面，包含溶剂的第2排气氛围气体110经由第2排气导管105而通过第2排气鼓风机107排出至溶剂分离部103外。
在此，在图2中示出带电部102的构造的一例。如图2，带电部102由已接地的对置的一对平板电极112、和与带电用电压施加装置135连接的放电电极113构成。放电电极113的极性通过带电用电压施加装置135而设定为正或者负，从带电用电压施加装置135施加直流的高电压。通过带电部102的已汽化的溶剂114，由于从放电电极113向平板电极112的电晕放电，在放电电极113为负极时带电为负，在放电电极113为正极时带电为正，由于静电吸引而被正极或者负极吸引。作为带电部102，除此之外还有将离子吹至对象物而使之带电的带电部、或者通过与带电部102的壁面的摩擦而使之带电的带电部。
图3A是本发明的第1实施方式中的溶剂分离装置的构成图。说明使得供给到溶剂分离部103内的排气氛围气体108中包含的溶剂114在溶剂分离部103内分离的功能。
如图3A所示，溶剂分离部103具备：作为四角型筒状构造的框体的一例发挥功能的四角型筒状构件115、长方形平板状的第1电极116、以及长方形平板状的第2电极117。
四角型筒状构件115整体由绝缘材料构成，或者在导体的情况下构成为四角型筒状构件115与第1电极116之间由绝缘材料等绝缘、且四角型筒状构件115与第2电极117之间也由绝缘材料等绝缘。
在溶剂分离部103的下游侧，作为一例而具备配置在上侧的第1排气导管104和配置在下侧的第2排气导管105。即，在四角型筒状构件115的下游侧，第1排气导管104以及第2排气导管105相对于一对第1电极116之间在垂直方向上分支而成。
第1电极116配置为与四角型筒状构件115绝缘且覆盖四角型筒状构件115内的对置的一对长方形的整个内壁面，从溶剂分离部103的入口至少存在到第1排气导管104和第2排气导管105的分支点。
第2电极117配置为：在四角型筒状构件115内与四角型筒状构件115以及第1电极116绝缘，在第1电极116的内侧与第1电极116分离且与第1电极116平行配置，并且具有四角型筒状构件115的内壁面的高度的一半以下的高度，向第2排气导管105延伸。
第1电极116和第2电极117相对于四角型筒状构件115内的中心线140对称地配置。即，在与从各第2电极117到四角型筒状构件115内的中心线140为止的距离D2相比，分别从第2电极117到最接近该第2电极117的第1电极116为止的距离D1更短的位置，相对于中心线140对称地配置了一对第1电极116和一对第2电极117。此外，第1电极116和第2电极117分别配置为与四角型筒状构件115绝缘。
此外，朝向溶剂分离部103的流入口121的宽度被设定为与一对第2电极117间的宽度W相同的宽度。供给到溶剂分离部103内的排气氛围气体108中包含的溶剂114，在溶剂分离部103内被分离为不含溶剂114的第1排气氛围气体109和包含溶剂114的第2排气氛围气体110，不含溶剂114的第1排气氛围气体109从第1排气导管104排出，包含溶剂114的第2排气氛围气体110从第2排气导管105向溶剂分离部103外排出。
以下，关于从第1电压施加装置136和第2电压施加装置137分别向溶剂分离部103内的各电极116、117施加的电压，以溶剂114在带电部102中带电为负的情况为例来进行说明。来自第1电压施加装置136和第2电压施加装置137的电压施加通过控制部138来分别驱动控制。图3B是示出溶剂分离部103的剖面的图。
首先，通过控制部138的控制，从第2电压施加装置137向一个第2电极(例如图3B的右侧的第2电极)117施加负电压，并向另一个第2电极(例如图3B的左侧的第2电极)117施加绝对值与一个第2电极117相同的正电压，从第1电压施加装置136向两侧的第1电极116施加绝对值与施加于一个第2电极117的电压相同的负电压。由此，在溶剂分离部103内，产生将存在于一对第2电极117间的空间(区域)142内且带电为负的溶剂114吸引向施加了正电压的第2电极(例如图3B的左侧的第2电极)117的电场(参照箭头记号120)。于是，存在于所述空间(区域)142内且带电为负的溶剂114由于静电吸引而朝向施加了正电压的第2电极(例如图3B的左侧的第2电极)117侧移动。
接下来，通过控制部138的控制，每当经过一定时间时，通过第2电压施加装置137仅调换分别施加于第2电极117的电压的极性，从而溶剂分离部103内的电场的方向在一对第2电极117间反转。其结果，产生将存在于一对第2电极117间的空间(区域)142内且带电为负的溶剂114吸引向施加了正电压的第2电极(例如图3B的右侧的第2电极)117的电场(参照箭头记号130)。于是，存在于所述空间(区域)内且带电为负的溶剂114由于静电吸引而朝向调换为正电压的第2电极(例如图3B的右侧的第2电极)117侧移动。
在此，图3C的(a)以及(b)是针对从第2电压施加装置137向一对第2电极117分别施加的电压123a、123b而纵轴用电压表示、横轴用时间表示的图表。图3C的(c)是针对从第1电压施加装置136向两侧的一对第1电极116施加的电压123c而纵轴用电压表示、横轴用时间表示的图表。
如此，在控制部138的控制下，以后述的时间间隔由第2电压施加装置137进行第2电极117的电压123a、123b的极性的调换，从而溶剂114在溶剂分离部103内振动运动，即，如箭头记号120和箭头记号130那样交替在不同的方向上移动的同时不断向溶剂分离部103的下游侧流动。此外，溶剂分离部103内的一对第2电极117间的空间(区域)142以外的空间(区域)143中存在的溶剂114，也因来自一对第2电极117间的空间(区域)142内存在的溶剂114的影响而振动运动，同时集中于溶剂分离部103内的一对第2电极117间的空间(区域)142，不断向溶剂分离部103的下游侧流动。
然后，溶剂分离部103的一对第2电极117间集中的、包含溶剂114的第2排气氛围气体110从第2排气导管105向溶剂分离部103外排出。另一方面，不含溶剂114的第1排气氛围气体109从第1排气导管104向溶剂分离部103外排出。
此外，图3D的(a)表示从第2电压施加装置137向一个第2电极117施加的电压123a。图3D的(b)表示从第1电压施加装置136向与施加电压123a的一个第2电极117相同的一侧的一个第1电极116施加的电压124a。图3D的(c)表示从第2电压施加装置137向另一个第2电极117施加的电压123b。图3D的(d)表示从第1电压施加装置136向与施加电压123b的另一个第2电极117相同的一侧的另一个第1电极116施加的电压124b。关于第1电极116的电压，可以仅在向相同的一侧的第2电极117施加正电压的期间内，使电压的绝对值小于向第2电极117施加的电压。不过，可以设为0V，但不能设为正电压。
另外，在溶剂114通过带电部102而带电为正时，相对于上述说明而调换各电极的极性，从而可获得同样的效果。
以下，说明与溶剂分离部103有关的各参数。
从热处理装置1等排气产生装置排出的排气的流速假定为1～10m/s程度。为了将该流速的排气中包含的溶剂114引导至第2电极117间的空间(区域)142侧，分别施加于第1电极116和第2电极117的电压优选设定为：使施加与通过带电部102带电的溶剂114相反的极性的电压的第2电极117、和不是与第2电极117相同的一侧而位于对置的相反的一侧的第1电极116之间的电场强度成为100～500kV/m程度。作为一例，作为一对第2电极117间的距离的基准，考虑15～200mm程度是适当的。关于设置有第1电极116的溶剂分离部103的四角型筒状构件115的壁面的高度，对于溶剂分离部103内的一对第2电极117间的空间(区域)142以外的空间(区域)143中存在的溶剂114，为了施加吸引向各个第2电极117侧的电场，需要设定为相对于一对第2电极117间的距离而为2倍以下。作为溶剂分离部103的流路的长度的一例，为使溶剂114集中于溶剂分离部103内的一对第2电极117间的空间(区域)142侧后从溶剂分离部103排出，若将流体的速度假定为1～10m/s程度，则至少具有10cm以上即可。关于分别施加于第1电极116以及第2电极117的电压的频率，相对于所述电场强度，只要是100Hz～1kHz程度即可，在溶剂分离部103内振动运动的溶剂114的振幅成为几百μm～几mm程度，由于相对于溶剂分离部103的流路宽度而充分小，因此能够抑制对电极116、117的接触，并且也能够引导向各个第2电极117侧。第2电极117的高度若设为在设置有第1电极116的溶剂分离部103的壁面的高度的一半以下，则在从溶剂分离部103的图3B所示的剖面观察时，能够使溶剂114集中于溶剂分离部103整体的一半以下的空间(区域)，能够作为排气氛围气体的一部分而向溶剂分离部103外排出。此外，第2电极117的高度若至少为5mm以上，则能够将溶剂114引导向各个第2电极117侧。
关于两侧的各个第1电极116与第2电极117之间的距离，设为使得施加于第1电极116与第2电极117之间的电场强度成为作为空气的绝缘耐力的2.0×106V/m的一半以下即可。
根据所述第1实施方式所涉及的溶剂分离方法以及装置，并非向第1电极116以及第2电极117沿着一定方向施加电场，而是交替地施加如使溶剂114向各个第2电极117侧移动的电场120、130。而且，使溶剂114振动运动，设定电压或者频率以使得振动运动的溶剂114的振幅比流路宽度小，从而既能抑制溶剂114与第2电极117接触又能效率良好地从排气氛围气体之中分离包含溶剂114的气体。
(第2实施方式)
图4是本发明的第2实施方式中的溶剂分离装置的构成图。在第2实施方式中，取代第1实施方式的溶剂分离部103而配置了具有如下构造的溶剂分离部103B，即，设置有隔断构件118，从溶剂分离部103B内的与一对第2电极117间相同的宽度的空间(区域)141隔断两侧的各个第1电极116与第2电极117之间的空间(区域)139，以使得溶剂114不会通过两侧的各个第1电极116与第2电极117之间。
溶剂分离部103B通过隔断构件118，从溶剂分离部103B内的与一对第2电极117间相同的宽度的空间(区域)141完全隔断了两侧的第2电极117与第1电极116之间的各个空间(区域)139，从而排气氛围气体108无法通过该间隙。故此，能够抑制流入溶剂分离部103B内的、排气氛围气体108中包含的溶剂114的一部分进入两侧的第1电极116与第2电极117之间的间隙空间(区域)139，并被限制在该间隙空间(区域)139中，无法从溶剂分离部103B排出的情形。
在第2实施方式的情况下，除了第1实施方式的作用效果之外，由于溶剂114不会进入两侧的第1电极116与第2电极117之间的间隙空间139，因此能够将导入溶剂分离部103B内的排气氛围气体108中包含的溶剂114可靠地向溶剂分离部103B外排出。
关于隔断构件118，鉴于施加于各电极116、117的电压、和两侧的第2电极117与第1电极116之间的各个距离D3，具有使得他们不短路的程度的绝缘耐力的板状的构件是适当的。若设定为与第1实施方式相同的条件来举例，则有由聚四氟乙烯(绝缘耐力：～2×107V/m)构成的板状的构件等。另外，由于空气的绝缘耐力也充分大，因此也可隔断构件118内仅流入口121侧被遮挡，剩余的部分成为空腔。
(第3实施方式)
图5是本发明的第3实施方式中的溶剂分离装置的构成图。在第3实施方式中，取代第1实施方式的溶剂分离部103而配置了具有如下构造的溶剂分离部103C，即，使溶剂分离部103C的流入口121的流路宽度W2比一对第2电极117间的宽度W窄。在第1实施方式中，当溶剂114流入溶剂分离部103C的流入口121时，在流入口121的端缘的第2电极117附近存在的溶剂114中，由于几乎不具有与第2电极117的距离，因此即便视作溶剂114的振动运动的振幅非常小，也有可能与第2电极117接触。因此，通过使溶剂分离部103C的流入口121的宽度W2比一对第2电极117间的宽度W窄，从而关于从第2电极117附近的流入口121进入的溶剂114，也既能抑制与第2电极117接触又能将其排出。
在第3实施方式的情况下，除了第1实施方式的作用效果之外，由于溶剂114通过距溶剂分离部103C的第2电极117足够远的地方，因此能够进一步抑制溶剂114与第2电极117接触。此外，关于溶剂分离部103C的流入口121与第2电极117之间的距离D4，溶剂114的振动运动的振幅相对于所述电压的频率而为几百μm～几mm程度，即便预测得大些，也只有3mm程度，因此考虑电场的偏差等，认为只要是5mm以上即可。此外，关于流入口121的宽度W2，若考虑与热处理装置1等排气产生装置连接，则为了将流速抑制在1～10m/s程度，认为至少需要5mm以上。
(第4实施方式)
图6A～图6C是本发明的第4实施方式中的溶剂分离装置的构成图，为了易于理解，通过阴影线来使第2电极117和第3电极122区分于其他构件来表示。在第4实施方式中，取代第1实施方式的溶剂分离部103，在与设置第1电极116的溶剂分离部103D的内壁面平行且与两侧的第2电极117为同一平面内，将厚度与第2电极117相同的一对第3电极122与第2电极117相接地配置在第2电极117上。并且呈如下的构造，即，第3电极122的高度从溶剂分离部103D的下游朝向上游而逐渐变高，此外，与相接于第2电极117的面平行的剖面的下游到上游方向的长度随着远离第2电极117而变小。
此外，两侧的第3电极122的电位分别设定为与相同侧的第2电极117为相同电位。
在第4实施方式的情况下，除了第1实施方式的作用效果之外，相对于流经溶剂分离部103D内的一对第2电极117间的空间(区域)(例如图4的空间141)以外的空间(区域)(例如图4的空间139)的溶剂114，由于第3电极122处于近距离，因此也能够将溶剂114吸引向第2电极117间的空间(区域)侧。因而，即便使设置有第1电极116的溶剂分离部103D的壁面的高度大于一对第2电极117间的距离的2倍，溶剂114也能够在溶剂分离部103D内吸引向各个第2电极117侧。
在如图6A那样第3电极122为三角形板状的情况下，第3电极122与流入口121的开口面所成的角度119只要具有10°以上即可，在第1排气导管104与第2排气导管105的分支之前，第3电极122收纳于第2排气导管105内即可。
此外，在如图6B那样第3电极122的上缘为弯曲凹部的曲线状的情况下，在曲线的切线与流入口121的开口面所成的角度119中，当选择了角度119最陡的切线时，角度119只要具有10°以上即可。
在如图6C那样第3电极122的上缘从上游朝向下游呈下行台阶状的情况下，在连结某特定台阶和下一台阶的顶点的直线与流入口121的开口面所成的角度119中，当选择了角度119最陡的直线时，角度119只要具有10°以上即可。
关于设置有第1电极116的溶剂分离部103D的壁面的高度，能够增大到满足所述第3电极122的条件的范围内。另外，第2电极117和第3电极122可以设为一体物。
(第5实施方式)
图7是本发明的第5实施方式中的溶剂分离装置的构成图。在第5实施方式中，取代第1实施方式的溶剂分离部103而配置了具有如下构造的溶剂分离部103E，即，使第2电极117从溶剂分离部103E的四角型筒状构件115的壁面浮置。在第2电极117与溶剂分离部103E的四角型筒状构件115的壁面之间，插入了对第2电极117的高度进行调整的绝缘构件145。
在第5实施方式的情况下，除了第1实施方式的作用效果之外，还能够抑制一对第2电极117间的空间(区域)142的溶剂分离部103E的四角型筒状构件115的壁面附近集中的溶剂114与溶剂分离部103E的四角型筒状构件115的壁面接触。
第2电极117的下端面距溶剂分离部103E的四角型筒状构件115的壁面的高度H只要具有5mm以上即可，能够获得充分的效果。
另外，通过适当组合上述各种实施方式或者变形例之中的任意的实施方式或者变形例，能够起到各自具有的效果。此外，能够实现实施方式彼此的组合或者实施例彼此的组合或者实施方式与实施例的组合，并且也能够实现不同的实施方式或者实施例中的特征彼此的组合。
产业上的可利用性
本发明的上述形态所涉及的溶剂分离方法以及装置既能抑制排气氛围气体中包含的溶剂与电极接触又能效率良好地进行分离，因此作为维护频度少、氛围气体使用量少的溶剂分离方法以及装置，能够应用于工业产品或者家电产品的制造工序或者各种电子部件的制造工序之中的干燥炉、烧成炉、固化炉或者回流焊炉等进行各种热处理的热处理装置等排气产生装置。

Claims (5)

1.一种溶剂分离方法，是从包含已汽化的溶剂的气体之中分离所述溶剂的方法，使溶剂分离装置执行下述步骤，
所述溶剂分离装置具有：
四角型筒状构造的框体；
一对第1电极，配置为与所述框体绝缘且覆盖所述框体内的对置的一对内壁面整体；和
一对第2电极，在所述框体内与所述框体以及所述第1电极绝缘，在所述第1电极的内侧与所述第1电极分离且与所述第1电极平行地配置，并且高度为所述内壁面的高度的一半以下，
在与分别从所述第2电极到所述框体内的中心线为止的距离相比，分别从所述第2电极到最接近该第2电极的所述第1电极为止的距离更短的位置，相对于所述框体的所述中心线对称地配置了所述一对第1电极和所述一对第2电极，
上述步骤包括：
使所述溶剂在流入所述框体之前带电；
向所述一对第2电极之中的一个所述第2电极施加极性与所述溶剂的极性相反的电压，向所述一对第1电极和所述一对第2电极之中的另一个所述第2电极施加极性与所述溶剂的极性相同的电压；
每当经过一定时间时，调换施加于所述一对第2电极的电压的极性，从而使所述溶剂集中于所述框体内的一定区域内；和
使包含所集中的所述溶剂的气体与在所述框体内的所述一定区域以外的区域存在的不含所述溶剂的气体分离后排出。
2.一种溶剂分离装置，从包含已汽化的溶剂的气体之中分离所述溶剂，所述溶剂分离装置具有：
四角型筒状构造的框体；
一对第1电极，配置为与所述框体绝缘且覆盖所述框体内的对置的一对内壁面整体；
一对第2电极，在所述框体内与所述框体以及所述第1电极绝缘，在所述第1电极的内侧与所述第1电极分离且与所述第1电极平行地配置，并且高度为所述内壁面的高度的一半以下；
流入口，宽度在与所述一对第2电极间的宽度相同的宽度以下；
带电部，设置于使包含已汽化的溶剂的气体向所述框体流入的流路；和
第1排气流路以及第2排气流路，在所述框体的下游侧相对于所述一对第1电极间在垂直方向上分支而成，
在与分别从所述第2电极到所述框体内的中心线为止的距离相比，分别从所述第2电极到最接近该第2电极的所述第1电极为止的距离更短的位置，相对于所述框体的所述中心线对称地配置了所述一对第1电极和所述一对第2电极，所述第2电极配置为向所述第2排气流路延伸，并且，所述溶剂分离装置还具有：
电压施加装置，向所述一对第2电极之中的一个所述第2电极施加极性与所述溶剂的极性相反的电压，向两侧的所述第1电极和所述一对第2电极之中的另一个所述第2电极施加极性与所述溶剂的极性相同的电压；和
控制部，控制所述电压施加装置的驱动，使得每当经过一定时间时调换施加于两侧的所述一对第2电极的电压的极性。
3.根据权利要求2所述的溶剂分离装置，其中，
使所述流入口的宽度与所述框体内的所述一对第2电极间的宽度相比两侧各窄5mm以上，并且所述流入口的宽度为5mm以上。
4.根据权利要求2所述的溶剂分离装置，其中，
在与平行于所述一对第1电极的所述一对第2电极为同一平面内，厚度与所述第2电极相同的一对第3电极配置为与所述第2电极相接，
所述第3电极在所述同一平面内的高度从所述框体的下游朝向上游而逐渐变高，所述第3电极的与相接于所述第2电极的面平行的剖面的长度随着远离所述第2电极而变小，并且在所述第1排气流路和所述第2排气流路的分支点，所述第3电极收纳在所述第2排气流路内。
5.根据权利要求3所述的溶剂分离装置，其中，
在与平行于所述一对第1电极的所述一对第2电极为同一平面内，厚度与所述第2电极相同的一对第3电极配置为与所述第2电极相接，
所述第3电极在所述同一平面内的高度从所述框体的下游朝向上游而逐渐变高，所述第3电极的与相接于所述第2电极的面平行的剖面的长度随着远离所述第2电极而变小，并且在所述第1排气流路和所述第2排气流路的分支点，所述第3电极收纳在所述第2排气流路内。
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