CN107441896A - 溶剂分离方法以及溶剂分离装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种溶剂分离方法以及溶剂分离装置，能够效率良好地回收在溶剂的除去工序中被释放的排气氛围气体的热能，从而抑制排气氛围气体的温度下降。溶剂分离方法包括通过配置在凝集部(30)与集尘部(40)之间的电极(92)，在凝集部(30)内的气体(22)与集尘部(40)内的气体(22)之间进行热交换的同时除去溶剂(23)的工序，其中，凝集部(30)沿着第1方向(D1)导入包含已汽化的溶剂(23)的气体(22)，集尘部(40)在凝集部(30)的下游沿着与第1方向(D1)相反的第2方向(D2)导入从凝集部(30)排出的气体(22)。

Description

溶剂分离方法以及溶剂分离装置
技术领域
本发明涉及从包含已汽化的溶剂的气体之中除去溶剂的溶剂分离方法、以及溶剂分离装置。
背景技术
近年来，在家电等各种工业产品的组装制造工序、电子部件、电池或基板等的设备制造工序中，在涂敷了具有各种功能的膏状的材料之后，通过热处理装置来进行加热处理。热处理装置例如有干燥炉、烧成炉、固化炉或回流焊炉等。回流焊炉在电子部件的安装工序等中用于焊接。在膏状的材料中，除了最终产品所需的固体成分等之外还混入水或者有机溶剂等各种溶剂来实施粘度调整或者性能调整。
膏状的材料中包含的溶剂，在热处理装置中的加热工序之中，经由汽化以及脱溶剂的工序，从膏状的材料释放到热处理装置内。若在热处理装置内已汽化的溶剂的浓度上升，则有可能导致各种不良状况。例如，若热处理装置内的氛围气体的溶剂浓度接近饱和状态，则有可能难以实现热处理对象物的干燥。因而，在热处理装置内定期或者连续性地供给外部气体、氮气等氛围气体，并且将溶剂浓度上升后的热处理装置内的氛围气体排出到外部。
排气氛围气体中包含的溶剂从热处理装置排出之后，例如通过专利文献1所记载的方法被除去。图7是专利文献1的说明图。如图7所示，在专利文献1中，相对于热处理装置1的热处理装置内排气导管4而依次连接有冷却器5、热处理装置外排气导管6以及集雾器7。冷却器5通过对从热处理装置1排出的排气氛围气体进行冷却，由此使排气氛围气体中包含的已汽化的溶剂液化。包含已液化的溶剂的排气氛围气体经由热处理装置外排气导管6而送至集雾器7，在集雾器7中捕捉并除去已液化的溶剂。由此，能够从排气氛围气体之中除去溶剂。
图8表示用于从排气氛围气体之中除去已汽化的溶剂的另一构成。在图8的构成中，相对于排气氛围气体122流动的方向，在上游侧配置有放电电极8，在下游侧配置有集尘电极9。排气氛围气体122直线通过放电电极8和集尘电极9。放电电极8对排气氛围气体122施加电场，使已汽化的溶剂带电。集尘电极9对已带电的溶剂进一步施加电场。由集尘电极9施加电场后的溶剂通过静电吸引而附着于集尘电极。由此，能够从排气氛围气体122之中除去溶剂。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2004-301373号公报
然而，在图8所示的构成中，随着排气氛围气体从上游向下游移动，排气氛围气体所具有的热能逐渐被释放。因而，在将已除去溶剂的排气氛围气体返回到热处理装置来进行再利用的情况下，需要对释放热能而温度已下降的排气氛围气体再次赋予热能。
通过在图8的构成中另行设置热交换器来对温度已下降的排气氛围气体再次赋予热能时，也可考虑利用排气氛围气体所具有的热能。然而，在图8的构成中，温度高的区域(上游侧)和温度低的区域(下游侧)远离。因而，若在上游侧和下游侧设置进行热交换的热交换器，则存在如下问题，即，热交换器大型化，并且由于距离较远而无法效率良好地进行热交换。
发明内容
发明要解决的课题
本发明鉴于上述点，其目的在于，提供一种效率良好地回收在溶剂的除去工序中被释放的排气氛围气体的热能来抑制排气氛围气体的温度下降的溶剂分离方法以及溶剂分离装置。
用于解决课题的手段
本发明的第1形态所涉及的溶剂分离方法是如下的溶剂分离方法，包括：通过配置在凝集部与集尘部之间的热交换器，在所述凝集部内的气体与所述集尘部内的所述气体之间进行热交换的同时除去溶剂的工序，其中，所述凝集部沿着第1方向导入包含已汽化的溶剂的所述气体，所述集尘部在所述凝集部的下游沿着与所述第1方向相反的第2方向导入从所述凝集部排出的所述气体。
本发明的第2形态所涉及的溶剂分离方法是如下的溶剂分离方法，在所述第1形态中，在所述凝集部中执行如下工序：通过兼用作所述热交换器的电极，对所述气体施加电场来使所述已汽化的溶剂凝集。
本发明的第3形态所涉及的溶剂分离方法是如下的溶剂分离方法，在所述第1形态或第2形态中，在所述集尘部中执行如下工序：通过兼用作所述热交换器的电极，对所述气体施加电场来分离所述已汽化的溶剂。
此外，本发明的第4形态所涉及的溶剂分离装置是如下的溶剂分离装置，具备：凝集部，沿着第1方向导入包含已汽化的溶剂的气体，对所述气体施加电场来使所述已汽化的溶剂凝集，并向下游排出所述气体；集尘部，在所述凝集部的下游沿着与所述第1方向相反的第2方向导入从所述凝集部排出的所述气体，对所述气体施加电场来分离所述已汽化的溶剂；和热交换部，配置在所述凝集部与所述集尘部之间，在所述凝集部内的所述气体与所述集尘部内的所述气体之间进行热交换。
本发明的第5形态所涉及的溶剂分离装置是如下的溶剂分离装置，在所述第4形态中，所述凝集部具有作为导入所述气体的空间的凝集区域，所述集尘部具有作为导入从所述凝集部排出的所述气体的空间的集尘区域，所述凝集区域与所述集尘区域相邻，并且所述热交换部配置在所述凝集区域与所述集尘区域之间。
本发明的第6形态所涉及的溶剂分离装置是如下的溶剂分离装置，在所述第5形态中，具有包括所述凝集部30以及所述集尘部40的电场单元，所述电场单元包括：构成所述凝集区域以及所述集尘区域的壳体、和分隔所述凝集区域与所述集尘区域的所述热交换部。
本发明的第7形态所涉及的溶剂分离装置是如下的溶剂分离装置，在所述第5形态或者第6形态中，所述凝集部具有：第1电极面，在所述凝集区域露出，并且对所述凝集区域内的所述气体施加所述电场；所述集尘部具有：第2电极面，在所述集尘区域露出，并且对所述集尘区域内的所述气体施加所述电场；所述热交换部包括：电极，具有所述第1电极面以及所述第2电极面。
本发明的第8形态所涉及的溶剂分离装置是如下的溶剂分离装置，在所述第7形态中，所述电极具有第1面以及作为所述第1面的背面的第2面，所述第1面构成所述第1电极面，所述第2面构成所述第2电极面。
本发明的第9形态所涉及的溶剂分离装置是如下的溶剂分离装置，在所述第7形态或第8形态中，在所述第1电极面设置有成为放电电极以及散热器的多个第1突部，在所述第2电极面设置有成为放电电极以及散热器的多个第2突部。
本发明的第10形态所涉及的溶剂分离装置是如下的溶剂分离装置，在所述第4形态至第9形态中的任一形态中，还具备从所述凝集部吸引所述气体并且改变所述气体的流动方向而向所述集尘部送出的送风装置。
本发明的第11形态所涉及的溶剂分离装置是如下的溶剂分离装置，在所述第10形态中，所述送风装置具有：回收面，通过使所述已汽化的溶剂冷却并液化，从所述气体之中分离所述溶剂。
发明效果
根据本发明的所述第1形态至第11形态所涉及的溶剂分离方法以及溶剂分离装置，能够效率良好地回收在溶剂的除去工序中被释放的排气氛围气体的热能，能够抑制排气氛围气体的温度下降。
附图说明
图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的溶剂分离装置的构成的图。
图2是表示电场单元以及送风装置的配置的立体图。
图3是电场单元的俯视截面图。
图4是表示水的分子结构的图。
图5是送风装置的主视截面图。
图6是表示电极的变形例的图。
图7是以往的排气净化装置的说明图。
图8是以往的排气净化装置的说明图。
符号说明
100 溶剂分离装置
10 热处理装置
22 排气氛围气体
23 溶剂
30 凝集部
40 集尘部
60 送风装置
92 电极
D1 第1方向
D2 第2方向
具体实施方式
以下，参照附图来说明本发明的实施方式。
图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的溶剂分离装置100的构成的图。利用图1来说明溶剂分离装置100的整体构成。溶剂分离装置100与作为排气产生装置的一例的热处理装置10连接。溶剂分离装置100具备凝集部30、集尘部40以及送风装置60。在本实施方式中，凝集部30以及集尘部40作为电场单元90而构成为一体。
热处理装置10例如是烧成炉、干燥炉、固化炉或者回流焊炉等进行加热处理的炉。在加热处理中，针对加热对象的各种材料或者构件来进行加热。通过加热处理，溶剂在热处理装置10内的氛围气体(气体)中汽化。包含已汽化的溶剂的氛围气体的一部分被引导至配置为与热处理装置10连通的第1排气导管11。
第1排气导管11与电场单元90的凝集部30连通。在凝集部30内，经由第1排气导管11而朝向第1方向D1导入排气氛围气体。在凝集部30内配置有电极92以及电极38。电极92由导热率高的材料构成。电极92与电压施加装置43连接，电极38被接地。关于电极92以及电极38，通过从电压施加装置43施加电压，由此使得在凝集部30内产生电场。若对排气氛围气体施加电场，则已汽化的溶剂的分子带电，由于静电吸引，成为偏靠电极38侧的状态，在排气氛围气体之中会产生溶剂浓度的偏重。此外，溶剂分子彼此通过库仑力而相互吸引，溶剂分子逐渐凝集。包含已凝集的溶剂分子的排气氛围气体被引导至配置为与凝集部30连通的第2排气导管12。
另外，详细内容将在后面叙述，电极92是在凝集部30与集尘部40中共有的电极。此外，电极92具有作为在电场单元90内分隔凝集部30与集尘部40的隔壁的功能。进而，电极92还具有作为在凝集部30内的排气氛围气体与集尘部40内的排气氛围气体之间进行热交换的热交换部的功能。
送风装置60与第2排气导管12的下游侧连通。第2排气导管12与送风装置60的取入口64连接。在送风装置60的壳体62的内部配置有叶轮71，通过叶轮71旋转，排气氛围气体从取入口64被取入到壳体62内。被取入到壳体62内的排气氛围气体从排出口65向第3排气导管13送出。即，送风装置60吸引从电场单元90(凝集部30)排出的排气氛围气体，改变排气氛围气体的流动方向，朝向电场单元90(集尘部40)再次送出。
在壳体62的内部配置有回收面83。详细内容将在后面叙述，回收面83与被送入到壳体62的内部的排气氛围气体的温度相比成为低温状态。由于回收面83为低温，因此与回收面83接触的排气氛围气体的温度下降，其结果，一部分的溶剂液化。在此，由于溶剂由上游的凝集部30凝集，因此成为易于液化的状态。已液化的溶剂的一部分附着于回收面83而从排气氛围气体之中被除去。
第3排气导管13与电场单元90的集尘部40连通。在集尘部40内，从送风装置60经由第3排气导管13而朝向与第1方向D1相反的第2方向D2导入排气氛围气体。在集尘部40内配置有电极92以及电极48。电极92如上述那样与凝集部30共有，电极48被接地。关于电极92，通过从电压施加装置43施加电压，由此使得在集尘部40内产生电场。若对排气氛围气体施加电场，则残留在排气氛围气体中的溶剂的分子由于静电吸引而成为偏靠电极48侧的状态，排气氛围气体被分离为包含溶剂的部分和不含溶剂的部分。
对于集尘部40，配置为连通循环导管14以及排出导管15。排气氛围气体之中的不含溶剂的部分被引导至循环导管14，返回至热处理装置10。另一方面，包含溶剂的部分被引导至排出导管15，排出到集尘部40外并被回收。在此，集尘部40内的排气氛围气体经由电极92而与凝集部30内的排气氛围气体进行热交换。集尘部40位于凝集部30的下游侧，集尘部40内的排气氛围气体所具有的热能变得低于凝集部30内的排气氛围气体所具有的热能。由于经由电极92来进行热交换，因此被引导至循环导管14的排气氛围气体以从凝集部30的排气氛围气体回收了热能的状态被返回至热处理装置10。
如以上，从热处理装置10排出的排气氛围气体按照凝集部30、送风装置60以及集尘部40的顺序引导，从而返回至热处理装置10。换言之，从热处理装置10排出的排气氛围气体在被电场单元90的凝集部30进行了凝集处理之后，被送风装置60吸引，由送风装置60改变了排气氛围气体的流动方向之后，再次向电场单元90的集尘部40送出来进行集尘处理，从而返回至热处理装置10。在电场单元90内，由于凝集部30内的排气氛围气体的温度是刚刚从热处理装置10排出之后的温度，因此温度比较高，由于集尘部40内的排气氛围气体的温度是溶剂被除去后即将返回热处理装置10之前的温度，因此温度比较低。在电场单元90内，成为凝集部30内的温度比较高的排气氛围气体与集尘部40内的温度比较低的排气氛围气体隔着由导热率高的材料构成的电极92而接触的构成。因而，经由兼作热交换部的电极92而在凝集部30与集尘部40之间进行热交换，从而能够在电场单元90内回收热能并返回至热处理装置10。另外，虽然省略了图示，但电场单元90、送风装置60以及导管11、12、13、14、15构成为分别通过隔热材料而与外部隔热，从而抑制热能向外部的释放。
图2是表示电场单元90以及送风装置60的配置的立体图。在以下的图中，箭头R表示右方向，箭头L表示左方向。箭头U表示上方向，箭头D表示下方向。箭头F表示前方向，箭头B表示后方向。
如图2所示，电场单元90具备壳体91。在壳体91的内部，凝集部30以及集尘部40相邻配置。在壳体91的内部，配置有分隔凝集部30与集尘部40的电极92。对于凝集部30，来自热处理装置10的排气氛围气体经由第1排气导管11而朝向第1方向D1导入。被凝集部30进行了凝集处理的排气氛围气体被送风装置60吸引而从凝集部30排出。送风装置60改变排气氛围气体的流动方向，再次朝向电场单元90(集尘部40)送出。
对于集尘部40，来自送风装置60的排气氛围气体经由第3排气导管13(未图示)而朝向与第1方向D1相反的第2方向D2导入。被集尘部40进行了集尘处理的排气氛围气体之中的不含溶剂的部分被引导至循环导管14，从而返回至热处理装置10。另一方面，包含溶剂的部分被引导至排出导管15，排出到集尘部40外并被回收。
在电场单元90内，成为凝集部30以及集尘部40隔着电极92而相邻的构成。因而，经由兼作热交换部的电极92而在凝集部30内的排气氛围气体与集尘部40内的排气氛围气体之间进行热交换，从而能够在电场单元90内回收热能后再返回至热处理装置10。
图3是电场单元90的俯视截面图。利用图3来详细说明电场单元90的构成。如图3所示，电场单元90具备壳体91。凝集部30以及集尘部40在壳体91的内部相邻配置。壳体91例如为箱形状，具有前面壁91A、后面壁91B、左面壁91C、右面壁91D、上面壁(未图示)以及下面壁(未图示)。前面壁91A以及后面壁91B在前后方向上对置，左面壁91C以及右面壁91D在左右方向上对置，上面壁以及下面壁在上下方向上对置。在壳体91的内部配置有分隔壳体91的内部空间的电极92。电极92被支承壁91F支承。壳体91的内部空间被电极92分隔为凝集区域30B以及集尘区域40B。换言之，凝集区域30B以及集尘区域40B隔着电极92而相邻。电极92相当于本发明的电极以及热交换部的一例。
电极92由导热率高的导电性材料构成。电极92例如由单一的金属板构成，具有第1面921以及作为第1面921的背面的第2面922。第1面921构成本发明的第1电极面的一例，第2面922构成本发明的第2电极面的一例。第1面921面向凝集区域30B，第2面922面向集尘区域40B。在第1面921设置有多个第1突部923，在第2面922设置有多个第2突部924。第2面922的第2突部924设置在与第1面921的第1突部923对应的位置。
第1突部923具有作为在凝集区域30B内放电的电极的功能、以及作为使得易于从凝集区域30B内的排气氛围气体回收热能的散热器的功能。此外，第2突部924具有作为在集尘区域40B内放电的电极的功能、以及作为使得易于将从凝集区域30B内的排气氛围气体回收到的热能供给至集尘区域40B内的排气氛围气体的散热器的功能。即，电极92具有作为在凝集部30与集尘部40中共有的电极的功能、作为在电场单元90内分隔凝集部30与集尘部40的隔壁的功能、以及作为在凝集部30内的排气氛围气体与集尘部40内的排气氛围气体之间进行热交换的热交换部的功能。
凝集部30具备在凝集区域30B内露出的电极92的第1面921、以及电极38。电极38设置在与电极92的第1面921对置的前面壁91A。在右面壁91D设置有入口31C，在左面壁91C设置有出口31D。在入口31C连接有第1排气导管11，在出口31D连接有第2排气导管12。在壳体91内部的凝集区域30B，从入口31C导入的排气氛围气体22朝向出口31D而沿着第1方向D1(图示左方向)导入。电极92的第1面921以及电极38设置为在排气氛围气体22流动的第1方向D1上延伸。
集尘部40具备在集尘区域40B内露出的电极92的第2面922、以及电极48。电极48设置在与电极92的第2面922对置的后面壁91B。在左面壁91C设置有入口41C，在右面壁91D设置有出口41D。在入口41C连接有第3排气导管13。在出口41D，沿着后面壁91B连接有排出导管15，沿着电极92的第2面922连接有循环导管14。即，出口41D侧构成为分支成排出导管15和循环导管14。在壳体91内部的集尘区域40B，从入口41C导入的排气氛围气体22朝向出口41D而沿着与第1方向D1相反的第2方向D2(图示右方向)流动。电极92的第2面922以及电极48设置为在排气氛围气体22流动的第2方向D2上延伸。
对于电极92，被电压施加装置43施加电压。考虑溶剂23的浓度、电极92的配置长度、排气氛围气体22的流速、或者凝集区域30B以及集尘区域40B的容积等来适当决定施加于电极92的电压的大小。
若对电极92施加电压，则在电极92的第1面921与电极38之间产生电位差，在凝集部30内产生电场24。此外，在电极92的第2面922与电极48之间也产生电位差，在集尘部40内产生电场25。在凝集部30以及集尘部40中，电场24以及电场25分别在与排气氛围气体22流动的方向交叉的方向上产生。
接下来，说明凝集部30中的凝集处理。如图3所示，若对从第1排气导管11导入的排气氛围气体22(22A)施加电场24，则分子结构具有极性的溶剂23分子由于静电吸引而成为偏靠电极38侧的状态，在排气氛围气体22之中产生溶剂浓度的偏重。在此，所谓静电吸引，是指带电为正电荷的物质被负电荷吸引，带电为负电荷的物质被正电荷吸引。进而，溶剂23分子的具有正极性的部分和溶剂23分子的具有负极性的其他部分通过库仑力而吸引。由此，溶剂23分子逐渐凝集。包含已凝集的溶剂23分子的排气氛围气体22(22B)被引导至配置在壳体91的出口31D侧的第2排气导管12。另外，电极92具有如下功能，即，使集尘区域40B内的排气氛围气体回收凝集区域30B内的排气氛围气体所具有的热能。即，电极92使凝集区域30B内的排气氛围气体的温度下降。温度越低，则越推进凝集部30中的溶剂23分子的凝集。因而，基于电极92的热交换功能还具有易于推进凝集处理的效果。
在此，说明溶剂23分子的极性。图4是表示水的分子结构的图。如图4所示，水按分子结构的关系而具有极性，因此在电气方面具有偏重。这对于乙醇等其他溶剂也是相同的。关于一般作为溶剂而使用的物质，通过在分子结构的关系上如此具有极性，因此具有能够容易溶融其他物质的性质。即，可以说作为溶剂而使用的物质大部分具有极性。当将这种具有极性的溶剂分子放置在电场中的情况下，无论是产生该电场的电极为正极的情况还是为负极的情况，溶剂分子均由于静电吸引而被电极吸引。其原因在于，在电极为正极的情况下，溶剂分子的具有负极性的部分由于静电吸引而被吸引，在电极为负极的情况下，溶剂分子的具有正极性的一侧由于静电吸引而被吸引。另外，即便在溶剂分子不具有极性的情况下，通过将溶剂分子放置在电场中，也会产生静电极化，从而成为溶剂分子具有极性的状态。因而，即便是溶剂分子不具有极性的情况，通过施加电场，也能够进行与具有极性的溶剂分子的情况相同的动作。
下面，说明集尘部40中的集尘处理。如图3所示，若对从第3排气导管13导入的排气氛围气体22(22C)施加电场25，则分子结构具有极性的溶剂23分子由于静电吸引而成为偏靠电极48侧的状态，在排气氛围气体22之中产生溶剂浓度的偏重。然后，在电极48附近集中的包含溶剂23的排气氛围气体22(22E)被引导至排出导管15而排出到集尘部40外之后，被回收。另一方面，除去了溶剂23的排气氛围气体22(22D)被引导至循环导管14而排出到集尘部40外之后，再次导入到热处理装置10。
接下来，说明送风装置60。图5是送风装置60的主视截面图。如图5所示，送风装置60具有壳体62以及叶轮71。本实施方式的送风装置60是作为离心风扇的一种的西罗科风扇(Sirocco fan)。不过，送风装置60并不限定于西罗科风扇，也可以是同样作为离心风扇的一种的涡轮风扇，或者可以是沿着旋转轴方向送出气体的轴流风扇。
叶轮71具有多个叶片72以及支承板73。多个叶片72是弯曲的板状的构件，围绕旋转轴75而等间隔地排列。多个叶片72的后端部被支承板73支承。支承板73是圆盘状的构件，中心部与旋转轴75连接。旋转轴75贯通壳体62，并且与电机(未图示)连接。叶轮71能够通过电机的驱动力而以旋转轴75为中心沿着箭头R方向旋转。
壳体62具有容纳空间63、取入口64以及排出口65。容纳空间63是容纳叶轮71的空间。取入口64是用于将排气氛围气体22取入到容纳空间63的开口部。在取入口64连接有第2排气导管12。从第2排气导管12导入的排气氛围气体22(22B)沿着与朝向旋转轴75的轴向的方向，即，从前方朝向后方而从取入口64被取入。
排出口65是用于从容纳空间63排出排气氛围气体22(22C)的开口部。排出口65朝向与旋转轴75交叉的方向，在图5中为朝向右方配置。叶轮71沿着箭头R方向旋转，由此从取入口64取入到叶轮71的中心部的排气氛围气体22(22B)在离心力的作用下从叶轮71的中心部通过各叶片72与叶片72之间而朝向半径方向外侧释放。并且，排气氛围气体22(22C)沿着壳体62的侧面板62C按箭头R方向回旋，在离心力的作用下从排出口65被排出。
在壳体62的外表面配置有隔热材料60A。不过，在背面板62B的外表面之中的与回收部81以及回收面83对应的区域并未配置隔热材料60A。因而，回收面83经由壳体62的背面板62B而散热。即便在壳体62的内部被送入高温的排气氛围气体22，回收面83的表面也会因散热而冷却，与排气氛围气体22的温度相比成为低温状态。
回收面83为低温，因此与回收面83接触的排气氛围气体22的温度下降，其结果，溶剂23的饱和蒸汽压力下降，从而溶剂23分子的一部分液化。在此，溶剂23分子由配置在上游部的凝集部30凝集，因此成为易于液化的状态。已液化的溶剂23附着于回收面83而被除去。其结果，排气氛围气体22中包含的溶剂23的一部分被除去，能够使得排气氛围气体22中的溶剂浓度下降。
根据以上说明的第1实施方式，通过电极92从凝集部30内的排气氛围气体相对于集尘部40内的排气氛围气体进行热交换。排气氛围气体导入至凝集部30的第1方向D1与导入至集尘部40的第2方向D2是相反的方向。因而，能够使得温度高的区域(上游侧)和温度低的区域(下游侧)接近。由此，能够在导入至凝集部30内的排气氛围气体与从集尘部40内排出的排气氛围气体之间效率良好地进行热交换，能够效率良好地回收在溶剂的除去工序中被释放的排气氛围气体的热能，从而抑制排气氛围气体的温度下降。此外，由于是经由电极92的热交换，因此能够在不另行设置热交换器的情况下进行热能的回收。
(变形例)
在第1实施方式中，虽然电极92由单一的金属板构成，但是并不限定于此。例如，可以构成为使多个板密接地层叠，或者使多个板隔开间隔地层叠。图6是表示电极的变形例的图。电极192具有第1电极板192A以及第2电极板192B。在第1电极板192A与第2电极板192B之间夹入导热率高的素材例如导热片193。如此，可以通过层叠多个电极板来构成兼作隔壁以及导热部的电极。
此外，为了扩大电极92的表面积，可以实施压纹加工或者瓦楞板加工，来提高电极92的热交换功能。此外，也可以在电极92形成板状体(翘片)或突起部等以使得与导入的排气氛围气体的流动交叉，从而排气氛围气体易于与这些板状体或者突起部等碰撞来进行热交换。
在第1实施方式中，虽然电场单元90由单一的壳体91构成，但是并不限定于此。例如，可以组合多个壳体来构成电场单元90。
可以使得壳体91的前面壁91A以及后面壁91B(参照图3)能够开闭，从而使得能够容易地进行凝集部30以及集尘部40的维护。
在第1实施方式中，虽然在集尘部40设置排出导管15，包含溶剂23的排气氛围气体22(22E)被引导至排出导管15而排出到集尘部40外，但是并不限定于此。例如，也可以使得在集尘部40不设置排出导管15，将溶剂23附着于电极48来除去。
以上，虽然说明了本发明的实施方式，但是上述的实施方式只不过是用于实施本发明的例示。由此，本发明并不限定于上述的实施方式，能够在不脱离其主旨的范围内使上述的实施方式适当变形来实施。例如，通过适当组合上述各种实施方式或者变形例之中的任意的实施方式或者变形例，从而能够起到各自具有的效果。此外，能够实现实施方式彼此的组合或者实施例彼此的组合或者实施方式与实施例的组合，并且也能够实现不同的实施方式或者实施例中的特征彼此的组合。
产业上的可利用性
本发明的上述形态所涉及的溶剂分离方法以及溶剂分离装置能够回收在溶剂的除去工序中被释放的排气氛围气体的热能，能够抑制排气氛围气体的温度下降，因此能够应用于各种工业产品的制造工序或者各种电子部件的制造工序之中的干燥炉、烧成炉、固化炉或者回流焊炉等进行各种热处理的热处理装置等的排气产生装置。

Claims (17)

1.一种溶剂分离方法，包括：
通过配置在凝集部与集尘部之间的热交换器，在所述凝集部内的气体与所述集尘部内的所述气体之间进行热交换的同时除去溶剂的工序，其中，所述凝集部沿着第1方向导入包含已汽化的溶剂的所述气体，所述集尘部在所述凝集部的下游沿着与所述第1方向相反的第2方向导入从所述凝集部排出的所述气体。
2.根据权利要求1所述的溶剂分离方法，其中，
在所述凝集部中执行如下工序：通过兼用作所述热交换器的电极，对所述气体施加电场来使所述已汽化的溶剂凝集。
3.根据权利要求1所述的溶剂分离方法，其中，
在所述集尘部中执行如下工序：通过兼用作所述热交换器的电极，对所述气体施加电场来分离所述已汽化的溶剂。
4.根据权利要求2所述的溶剂分离方法，其中，
在所述集尘部中执行如下工序：通过兼用作所述热交换器的电极，对所述气体施加电场来分离所述已汽化的溶剂。
5.一种溶剂分离装置，具备：
凝集部，沿着第1方向导入包含已汽化的溶剂的气体，对所述气体施加电场来使所述已汽化的溶剂凝集，并向下游排出所述气体；
集尘部，在所述凝集部的下游沿着与所述第1方向相反的第2方向导入从所述凝集部排出的所述气体，对所述气体施加电场来分离所述已汽化的溶剂；和
热交换部，配置在所述凝集部与所述集尘部之间，在所述凝集部内的所述气体与所述集尘部内的所述气体之间进行热交换。
6.根据权利要求5所述的溶剂分离装置，其中，
所述凝集部具有作为导入所述气体的空间的凝集区域，
所述集尘部具有作为导入从所述凝集部排出的所述气体的空间的集尘区域，
所述凝集区域与所述集尘区域相邻，并且所述热交换部配置在所述凝集区域与所述集尘区域之间。
7.根据权利要求6所述的溶剂分离装置，其中，
所述溶剂分离装置具有：电场单元，包括所述凝集部以及所述集尘部，
所述电场单元包括：
壳体，构成所述凝集区域以及所述集尘区域；和
所述热交换部，分隔所述凝集区域与所述集尘区域。
8.根据权利要求6所述的溶剂分离装置，其中，
所述凝集部具有：第1电极面，在所述凝集区域露出，并且对所述凝集区域内的所述气体施加所述电场，
所述集尘部具有：第2电极面，在所述集尘区域露出，并且对所述集尘区域内的所述气体施加所述电场，
所述热交换部包括：电极，具有所述第1电极面以及所述第2电极面。
9.根据权利要求7所述的溶剂分离装置，其中，
所述凝集部具有：第1电极面，在所述凝集区域露出，并且对所述凝集区域内的所述气体施加所述电场，
所述集尘部具有：第2电极面，在所述集尘区域露出，并且对所述集尘区域内的所述气体施加所述电场，
所述热交换部包括：电极，具有所述第1电极面以及所述第2电极面。
10.根据权利要求8所述的溶剂分离装置，其中，
所述电极具有第1面以及作为所述第1面的背面的第2面，所述第1面构成所述第1电极面，所述第2面构成所述第2电极面。
11.根据权利要求9所述的溶剂分离装置，其中，
所述电极具有第1面以及作为所述第1面的背面的第2面，所述第1面构成所述第1电极面，所述第2面构成所述第2电极面。
12.根据权利要求8所述的溶剂分离装置，其中，
在所述第1电极面设置有成为放电电极以及散热器的多个第1突部，
在所述第2电极面设置有成为放电电极以及散热器的多个第2突部。
13.根据权利要求9所述的溶剂分离装置，其中，
在所述第1电极面设置有成为放电电极以及散热器的多个第1突部，
在所述第2电极面设置有成为放电电极以及散热器的多个第2突部。
14.根据权利要求10所述的溶剂分离装置，其中，
在所述第1电极面设置有成为放电电极以及散热器的多个第1突部，
在所述第2电极面设置有成为放电电极以及散热器的多个第2突部。
15.根据权利要求11所述的溶剂分离装置，其中，
在所述第1电极面设置有成为放电电极以及散热器的多个第1突部，
在所述第2电极面设置有成为放电电极以及散热器的多个第2突部。
16.根据权利要求5所述的溶剂分离装置，其中，
所述溶剂分离装置还具备：送风装置，从所述凝集部吸引所述气体，并且改变所述气体的流动方向而向所述集尘部送出。
17.根据权利要求16所述的溶剂分离装置，其中，
所述送风装置具有：回收面，通过使所述已汽化的溶剂冷却并液化，从所述气体之中分离所述溶剂。
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