CN107430027A - 光传感器 - Google Patents

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Abstract

光传感器具备:基板(22),在一面(22a)具有输出与入射光的强度相应的检测信号的多个第一受光元件(28);以及遮光膜(26),配置于基板的一面侧,并且具有多个与各第一受光元件对应的第一开口部(30),规定入射光对各第一受光元件的行进方向。多个第一受光元件被设置成入射光的行进方向与基板的厚度方向不同,且具有入射光的行进方向与厚度方向所形成的入射角度彼此相同的至少1个受光元件组(32)。在厚度方向上投影观察时,构成同一受光元件组的第一受光元件与对应的第一开口部的位置关系,以厚度方向为轴而具有3次以上的旋转对称性。

Description

光传感器
关联申请的相互参照
本申请基于2015年3月3日申请的日本申请号2015-41628号,在此引用其记载内容。
技术领域
本公开涉及一种具备在一面具有多个受光元件的基板以及配置于基板的一面上且规定入射光对各受光元件的行进方向的遮光膜的光传感器。
背景技术
已知一种如专利文献1所记载的那样具备形成有多个受光元件的半导体基板以及规定入射光对各受光元件的行进方向的遮光膜的光传感器。多个受光元件以一面上的规定的中心点为基准排列配置成半圆状。遮光膜具有与各第一受光元件对应的开口部。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2012-103128号公报
发明内容
另外,上述的光传感器相对于挡风玻璃等被安装构件安装成以半导体基板的厚度方向为轴的旋转角度成为规定角度。下面,将以半导体基板的厚度方向为轴的光传感器的旋转角度表示为安装角度。在该安装构造中,根据安装角度,入射光对光传感器的行进方向发生变化。
因此,需要根据安装角度来以使受光元件和开口部成为规定的位置关系的方式设计光传感器。换言之,关于以使受光元件与开口部成为规定的位置关系的方式进行了设计的光传感器,安装角度被固定成规定的角度。
本公开的目的在于提供一种能够提高配置自由度的光传感器。
根据本公开的一个方式,光传感器具备:基板,在一面具有输出与入射光的强度相应的检测信号的多个第一受光元件;以及遮光膜,配置于基板的一面侧,并且具有多个与各第一受光元件对应的第一开口部,规定入射光对各第一受光元件的行进方向。多个第一受光元件被设置成入射光的行进方向与基板的厚度方向不同,且具有入射光的行进方向与厚度方向所形成的入射角度彼此相同的至少1个受光元件组,在厚度方向上投影观察时,构成同一受光元件组的第一受光元件与对应的第一开口部的位置关系,以厚度方向为轴而具有3次以上的旋转对称性。
下面,在将光传感器安装于挡风玻璃等被安装构件的情况下,将以基板的厚度方向为轴的光传感器的旋转角度表示为安装角度。在上述结构中,当使光传感器以厚度方向为轴来旋转时,使第一受光元件与第一开口部的位置关系相同的安装角度有3个以上。换言之,当使光传感器以厚度方向为轴来旋转时,检测特性接近的安装角度有3个以上。因而,安装角度不会被固定为1个,能够提高光传感器的配置自由度。
附图说明
关于本公开的上述目的及其它目的、特征、优点通过参照附图并通过下述的详细描述会变得更明确。
图1是表示第一实施方式所涉及的光传感器的概要结构的侧视图。
图2是表示光传感器的概要结构的俯视图。
图3是表示检测部的详细构造的俯视图。
图4是沿图3的IV-IV线的剖面图。
图5是表示第二实施方式所涉及的光传感器的检测部的详细构造的俯视图,与图3对应。
图6是沿图5的VI-VI线的剖面图。
图7是表示第一变形例所涉及的光传感器的概要结构的俯视图,与图2对应。
图8是表示第二变形例所涉及的光传感器的检测部的详细构造的剖面图,与图4对应。
图9是表示第三变形例所涉及的光传感器的检测部的详细构造的俯视图,与图3对应。
图10是表示第四变形例所涉及的光传感器的检测部的详细构造的俯视图,与图3对应。
图11是表示第五变形例所涉及的光传感器的检测部的详细构造的剖面图,与图3对应。
具体实施方式
下面,参照附图来说明本公开的实施方式。此外,在以下所示的各实施方式中,对共同乃至关联的要素附加相同的符号。将基板的厚度方向表示为Z方向,将与Z方向正交的特定的方向表示为X方向,将与X方向及Z方向正交的方向表示为Y方向。将由X方向和Y方向规定的平面表示为XY平面。将沿XY平面的形状表示为平面形状。
(第一实施方式)
首先,基于图1和图2说明光传感器100的概要结构。
光传感器100是检测入射光的装置。光传感器100输出与入射光的强度及行进方向相应的检测信号。
在本实施方式中,光传感器100是安装于车辆的传感器。光传感器100将检测信号输出到搭载于车辆的外部设备。光传感器100的检测信号是用于控制车辆的状态的信号。
作为光传感器100,能够采用控制前灯的打开和关闭的光传感器。另外,作为光传感器100,例如还能够采用输出用于控制空调的检测信号的日照传感器。在将光传感器100作为日照传感器的例子中,光传感器向空调ECU输出检测信号,空调ECU基于检测信号控制空调。并且,作为光传感器100,例如还能够采用输出用于调整HUD的亮度的检测信号的传感器。下面,将输出用于调整HUD的亮度的检测信号的光传感器100表示为HUD传感器。
并且,还能够采用将光传感器100作为具有日照传感器、光传感器以及HUD传感器的功能中的多个功能的传感器的例子。光传感器100输出与入射光的入射角度相应的检测信号。
还能够采用光传感器100除了检测入射光的检测部20以外还具有检测雨滴的检测部的例子。在该例子中,光传感器100检测入射光,并且检测附着于挡风玻璃200的背面200b的雨滴。
光传感器100安装于车辆的挡风玻璃200。挡风玻璃200具有表面(第一面)200a以及与表面200a相反的背面(第二面)200b。表面200a是车辆室内侧的面,背面200b是车辆外部侧的面。在表面200a安装有光传感器100。
表面200a和背面200b被设为曲面。然而,能够将表面200a中安装光传感器100的部分视为沿XY平面的平面。下面,将表面200a中安装光传感器100的部分表示为表面200a。此外,Y方向被设为沿配置有车辆的路面的方向。将在Y方向的投影观察时表面200a相对于配置有车辆的路面所形成的角度表示为玻璃角度α。入射光经由挡风玻璃200入射到光传感器。光传感器100具备外壳10、检测部20以及连接器40。
外壳10构成光传感器100的外廓,是收容检测部20的构件。外壳10通过未图示的托架被固定于表面200a。例如使用树脂材料来形成外壳10。
检测部20在光传感器100中检测入射光。入射光经由挡风玻璃200入射到检测部20。检测部20输出与入射光的强度及行进方向相应的检测信号。关于检测部20的详细构造,下面进行说明。
连接器40对检测部20与ECU等外部设备之间进行电中继。连接器40与外壳10一体地成形或安装于外壳10。连接器40与检测部20电连接。连接器40与外部设备的连接器嵌合。由此,能够将检测部20的检测信号输出到外部设备。连接器40形成于外壳10的在X方向上的挡风玻璃200的上端侧。
以光传感器100以Z方向为轴相对于规定的基准线的旋转角度成为规定的角度的方式安装光传感器100。下面,以Z方向为轴,将光传感器100相对于基准线的旋转角度表示为安装角度β。将安装角度β设为在从车辆外部侧投影观察时将外壳10的中心与连接器40的中心连结的线以Z方向为轴按顺时针方向相对于基准线所形成的角度。
基准线是在Z方向的投影观察时从外壳10的中心朝向Y方向中的一个方向的线。在本实施方式中,安装角度β被设为90度。此外,安装角度β的范围为0度以上且小于360度。在图2中,将基准线表示为点划线,将外壳10的中心与连接器40的连结线表示为双点划线。
接着,基于图3和图4说明检测部20的详细构造。此外,在图3中,为了明确第一受光元件28的平面形状,对第一受光元件28施有阴影线。
如图3和图4所示,检测部20具有基板22、透光膜24以及遮光膜26。入射光入射到基板22的挡风玻璃200侧的一面22a。在本实施方式中,基板22被设为半导体基板。在基板22的一面22a侧形成有多个第一受光元件28。各第一受光元件28输出与入射光的强度相应的检测信号。
在本实施方式中,第一受光元件28被设为光电二极管。第一受光元件28在基板22中被设为通过离子注入来形成的扩散层。另外,在本实施方式中,4个第一受光元件28形成于基板22。详细地说,在基板22的一面22a侧,作为第一受光元件28形成有第一光电二极管28a、第二光电二极管28b、第三光电二极管28c、第四光电二极管28d。
另外,检测部20具有未图示的放大部和处理部。放大部对各第一受光元件28的检测信号进行放大。处理部对由放大部放大后的检测信号进行累计。由处理部累计得到的信号作为光传感器100的检测信号输出到外部设备。在一面22a上形成有透光膜24。
透光膜24使入射光透过。例如使用丙烯树脂、氧化硅来形成透光膜24。透光膜24配置于一面22a上。在透光膜24中的与基板22相反一侧的背面24a上配置有遮光膜26。
遮光膜26对入射光进行遮光,规定入射光对各第一受光元件28的行进方向。例如使用铝来形成遮光膜26。遮光膜26具有透光膜24侧的一面26a以及与一面26a相反的背面26b。在遮光膜26形成有使入射光通过的第一开口部30。第一开口部30是从一面26a至背面26b形成的贯通孔。与各第一受光元件28对应地形成有多个第一开口部30。
入射光通过第一开口部30,并且透过透光膜24后入射到第一受光元件28。在Z方向的投影观察时,根据第一受光元件28与第一开口部30的位置关系,决定入射光对第一受光元件28的行进方向。详细地说,以使规定的行进方向的入射光入射到第一受光元件28的中心的方式决定在Z方向的投影观察时的第一受光元件28的中心与第一开口部30的中心的相对位置。在本实施方式中,第一开口部30的平面形状被设为正圆形状。
在本实施方式中,作为入射光的入射角度,采用第一角度θ和第二角度φ。第一角度θ是指入射光对第一受光元件28的行进方向相对于沿Z方向的轴所形成的角度。第一角度θ相当于入射角度。将第一角度θ的范围设为0度以上且90度以下。第二角度φ是指在从车辆室外侧的投影观察时入射光对第一受光元件28的行进方向以Z方向为轴按顺时针方向相对于规定的基准方向所形成的角度。将基准方向设为X方向中的从挡风玻璃200的下端朝向上端的方向。将第二角度φ的范围设为0度以上且小于360度。
多个第一受光元件28形成为入射光的行进方向与Z方向不同。即,第一受光元件28与对应的第一开口部30的位置关系形成为第一角度θ大于0度。
多个第一受光元件28至少具有一个第一角度θ彼此相同的受光元件组32。换言之,遮光膜26相对于多个第一受光元件28形成为第一角度θ彼此相同。在本实施方式中,全部的第一受光元件28构成1个受光元件组32。根据在Z方向的投影观察时的第一受光元件28与对应的第一开口部30的距离,决定对于第一受光元件28的第一角度θ。因此,各第一受光元件28与对应的第一开口部30的距离被设为彼此大致相同。
在Z方向的投影观察时,构成同一受光元件组32的第一受光元件28与对应的第一开口部30的位置关系以Z方向为轴而具有3次以上的旋转对称性(rotational symmetry oforder 3or more)。换言之,遮光膜26形成为在Z方向的投影观察时第一角度θ相同的入射光对第一受光元件28的行进方向以Z方向为轴而具有3次以上的旋转对称性。在本实施方式中,第一受光元件28与第一开口部30的位置关系以Z方向为轴而具有4次的旋转对称性(rotational symmetry of order 4)。
对于第一光电二极管28a的第二角度φ被设为0度,对于第二光电二极管28b的第二角度φ被设为90度。对于第三光电二极管28c的第二角度φ被设为180度,对于第四光电二极管28d的第二角度φ被设为270度。在第一受光元件28和第一开口部30具有旋转对称性的结构中,对于构成同一受光元件组32的第一受光元件28的第二角度φ的值在0度以上且小于360度的范围内为等间隔。
在Z方向的投影观察时,入射光对第一光电二极管28a的行进方向被设为X方向中的一个方向,入射光对第三光电二极管28c的行进方向被设为X方向中的另一个方向。另外,在Z方向的投影观察时,入射光对第二光电二极管28b的行进方向被设为Y方向中的一个方向,入射光对第四光电二极管28d的行进方向被设为Y方向中的另一个方向。
在一面22a,多个第一受光元件28配置于呈正圆形状的圆形图案上。在图3中,用双点划线表示圆形图案。下面,将圆形图案的中心表示为中心O。在Z方向的投影观察时,在将中心O与各第一受光元件28连结的线上形成有第一开口部30。
在Z方向的投影观察时,以使第一受光元件28比对应的第一开口部30更远离中心O的方式形成有第一受光元件28和第一开口部30。在Z方向的投影观察时,第一受光元件28与第一开口部30的位置关系以穿过中心O并且沿Z方向的方向为轴而具有4次的旋转对称性。
如上所述,各第一开口部30形成为规定的入射角度的入射光入射到对应的第一受光元件28的中心。对此,第一受光元件28的中心以外的部分也被入射入射光。根据第一受光元件28的平面形状及其面积决定对于第一受光元件28的入射角度的范围。
各第一受光元件28的平面形状被设为以Z方向为轴而相互成旋转对称的形状。在本实施方式中,各第一受光元件28的平面形状被设为以穿过中心O并且沿Z方向的方向为轴而相互成4次的旋转对称的形状。
另外,各第一受光元件28的平面形状呈将圆环等分而成的扇形状。第一受光元件28的平面形状形成为与对应的第一开口部30的中心的最短距离彼此相同。详细地说,在Z方向的投影观察时,第一受光元件28中的扇形状的内周的各部分与第一开口部30的中心的最短距离彼此相同。在Z方向的投影观察时,各第一受光元件28中的扇形状的中心角被设为90度。由此,各第一受光元件28能够受光的第二角度φ的范围被设为90度。
第一光电二极管28a能够受光的第二角度φ的范围被设为0度以上且45度以下以及315度以上且小于360度。第二光电二极管28b能够受光的第二角度φ的范围被设为45度以上且135度以下。第三光电二极管28c能够受光的第二角度φ的范围被设为135度以上且225度以下。第四光电二极管28d能够受光的第二角度φ的范围被设为225度以上且315度以下。
接着,说明上述的光传感器100的效果。
在本实施方式中,构成同一受光元件组32的第一受光元件28与对应的第一开口部30的位置关系以Z方向为轴而具有3次以上的旋转对称性。据此,当使光传感器100以Z方向为轴来旋转时,第一受光元件28与第一开口部30的位置关系相同的安装角度β有3个以上。换言之,当使光传感器100以Z方向为轴来旋转时,检测特性接近的安装角度β有3个以上。因而,安装角度β不会被固定为1个而能够提高光传感器100的配置自由度。
另外,可考虑以Z方向为轴而第一受光元件28与第一开口部30的位置关系中的旋转对称仅为2次的结构。然而,在该结构中,被设为规定的第二角度φ的入射光有可能难以入射到第一受光元件28。与此相对,为了使对于各第一受光元件28的第二角度φ的范围大,可考虑增大第一受光元件28的平面形状的面积的结构。然而,在该结构中,光传感器100难以判别第二角度φ不同的入射光,对于第二角度φ的检测精度有可能降低。
与此相对,在旋转对称性被设为3次以上的本实施方式中,无需增大第一受光元件28的平面形状的面积而能够增大光传感器100的能够检测的第二角度φ的范围。因而,能够在增大光传感器100能够检测的第二角度φ的范围的同时抑制对于第二角度φ的检测精度的降低。
另外,在本实施方式中,各第一受光元件28的平面形状被设为以Z方向为轴而相互成旋转对称的形状。据此,能够使各第一受光元件28中的检测特性更接近。即,能够使以互不相同的安装角度β来安装的光传感器100的检测特性更接近。因此,能够容易地将光传感器100以不同的安装角度β来安装,能够进一步提高光传感器100的配置自由度。
另外,在Z方向的投影观察时,通过第一开口部30的入射光随着从遮光膜26去向基板22而远离第一开口部30。因此,以规定的第一角度θ通过第一开口部30的入射光能够入射到一面22a的范围在Z方向的投影观察时呈圆环形状。在Z方向的投影观察时,该圆环形状的中心与第一开口部的中心一致。
与此相对,在本实施方式中,各第一受光元件的平面形状形成为呈将圆环等分而成的扇形状,并且与对应的第一开口部30的中心的最短距离彼此相同。换言之,第一受光元件28的平面形状被设为将以规定的第一角度θ通过对应的第一开口部30的入射光的能够入射的全部范围合在一起的形状。
据此,使第一角度θ的范围变窄的同时第二角度φ中的全部范围的入射光入射到受光元件组32。因而,在光传感器100中,能够提高第一角度θ的检测精度,且能够以全部安装角度β来进行安装。即,能够在提高第一角度θ的检测精度的同时进一步提高光传感器100的配置自由度。
另外,在本实施方式中,第一受光元件28与对应的第一开口部30的位置关系以Z方向为轴而具有偶数次的旋转对称性。据此,能够使以Z方向为轴使光传感器100旋转180度来配置的情况下的检测特性接近。因此,容易地将光传感器100从规定的安装角度β旋转180度来配置。
(第二实施方式)
在本实施方式中,省略关于与第一实施方式中示出的光传感器100共同的部分的说明。此外,在图5中,为了明确第一受光元件28和第二受光元件34的平面形状,对第一受光元件28和第二受光元件34施有阴影线。
如图5和图6所示,多个第一受光元件28具有多个受光元件组32。对于各受光元件组32的第一角度θ互不相同。在本实施方式中,多个第一受光元件28具有第一受光元件组32a、第二受光元件组32b、第三受光元件组32c来作为受光元件组32。
对于第一受光元件组32a的第一角度θ被设为大于对于第二受光元件组32b的第一角度θ。因此,在Z方向的投影观察时,关于第一受光元件28与第一开口部30的距离而言,第一受光元件组32a比第二受光元件组32b短。对于第二受光元件组32b的第一角度θ被设为大于对于第三受光元件组32c的第一角度θ。因此,在Z方向的投影观察时,关于第一受光元件28与第一开口部30的距离而言,第二受光元件组32b比第三受光元件组32c短。
各受光元件组32包括4个第一受光元件28。在全部的受光元件组32中,Z方向的投影观察时的第一受光元件28与第一开口部30的位置关系以Z方向为轴而具有4次的旋转对称性。换言之,遮光膜26形成为针对每个受光元件组32而言Z方向的投影观察时的对于第一受光元件28的入射光的行进方向以Z方向为轴而具有4次的旋转对称性。
与第一实施方式同样地,在一面22a,多个第一受光元件28形成在呈正圆形状的圆形图案上。按每个受光元件组32,在互不相同的圆形图案上形成有第一受光元件28。各受光元件组32的圆形图案的中心彼此大致一致。第一受光元件组32a的圆形图案的直径比第二受光元件组32b的圆形图案的直径短。第二受光元件组32b的圆形图案的直径比第三受光元件组32c的圆形图案的直径短。
检测部20具有入射光以与对于第一受光元件28的第一角度θ不同的角度入射的第二受光元件34。在基板22的一面22a侧的、与形成有第一受光元件28的部位不同的部位形成有第二受光元件34。在本实施方式中,对于第二受光元件34的第一角度θ被设为0度。第二受光元件34与第一受光元件28同样地,输出与入射光的强度相应的检测信号。在本实施方式中,第二受光元件34被设为光电二极管。第二受光元件34的平面形状被设为正圆形状。
遮光膜26具有与第二受光元件34对应地形成的第二开口部36。在Z方向的投影观察时,第二开口部36形成在与第二受光元件34大致相同的位置。第二受光元件34的平面形状被设为正圆形状。第二开口部36与第一开口部30同样地,是从一面26a至背面26b形成的贯通孔。
另外,在对玻璃角度α互不相同的挡风玻璃200安装光传感器100的结构中,即使是相同的入射光,对于光传感器100的入射角度也不同。据此,关于以使第一受光元件28与第一开口部30成为规定的位置关系的方式进行了设计的光传感器100,能够安装的玻璃角度α被固定。
与此相对,在本实施方式中,多个第一受光元件28具有第一角度θ互不相同的多个受光元件组32。因此,光传感器100能够检测多个第一角度θ的入射光。换言之,即使对玻璃角度α互不相同的挡风玻璃200进行了安装的情况下,也容易地使某一个受光元件组32对入射光进行受光。因而,容易地将光传感器100安装于玻璃角度α互不相同的挡风玻璃200,能够提高光传感器100的配置自由度。
另外,在本实施方式中,入射光以与对于第一受光元件28的第一角度θ不同的第一角度θ入射的第二受光元件34形成在基板22。因此,能够使光传感器100能够检测的第一角度θ的范围大。因而,容易地将光传感器100安装于玻璃角度α互不相同的挡风玻璃200,能够提高光传感器100的配置自由度。
本公开依照实施方式进行了描述,但是应理解本公开不限定于该实施方式、构造。本公开还包括各种变形例、均等范围内的变形。除此以外,各种组合、方式以及对它们仅追加一个要素、其以上或其以下的其它组合、方式也进入本公开的范畴、思想范围。
在上述实施方式中,示出了安装角度β为90度的例子,但是不限定于此。如图7的第一变形例所示,还能够采用安装角度β为270度的例子。在第一变形例中,能够使光传感器100的检测特性接近上述实施方式中的光传感器100的检测特性。
另外,在上述实施方式中,示出了遮光膜26为1个的例子,但是不限定于此。如图8的第二变形例所示,还能够采用检测部20具有多个遮光膜26的例子。在第二变形例中,检测部20具有2个透光膜24和2个遮光膜26。多个透光膜24和多个遮光膜26被相互层叠。另外,在第二变形例中,在基板22上形成有第二受光元件34。
在Z方向中的、从检测部20朝向挡风玻璃200的方向上,按基板22、透光膜24、遮光膜26、透光膜24、遮光膜26的顺序层叠。在各遮光膜26中形成有第一开口部30和第二开口部36。
第一开口部30相对于对应的第一受光元件28形成为第一角度θ成为规定的角度。因此,在Z方向的投影观察时,与彼此相同的第一受光元件28对应的各遮光膜26的第一开口部30形成在不同的位置。第二开口部36相对于对应的第二受光元件34形成为第一角度θ成为0度。因此,在Z方向的投影观察时,与彼此相同的第二受光元件34对应的各遮光膜26的第二开口部36形成在相同的位置。
另外,也能够采用检测部20不具有透光膜24的例子。例如,在一面22a上仅配置遮光膜26,由遮光膜26的第一开口部30规定入射光对各第一受光元件28的行进方向。
另外,在上述实施方式中,示出了第一受光元件28与第一开口部30的位置关系以Z方向为轴而具有4次的旋转对称性的例子,但是不限定于此。如图9的第三变形例所示,也能够采用第一受光元件28与第一开口部30的位置关系以Z方向为轴而具有8次的旋转对称性的例子。另外,如图10的第四变形例所示,也能够采用第一受光元件28与第一开口部30的位置关系以Z方向为轴而具有3次的旋转对称性的例子。
另外,在上述实施方式中,示出了多个第一受光元件28排列形成在圆形图案上的例子,但是不限定于此。对于一面22a中的多个第一受光元件28彼此的相对位置不进行限定。如图11的第五变形例所示,也能够采用多个第一受光元件28沿Y方向排列形成的例子。
在第五变形例中,与第一实施方式同样地,4个第一受光元件28形成在基板22。形成为各第一受光元件28与对应的第一开口部30的位置关系以Z方向为轴而具有4次的旋转对称性。第一受光元件28与第一开口部30的位置关系中的旋转对称性是由Z方向的投影观察时的第一受光元件28与第一开口部30的相对位置即第一角度θ和第二角度φ决定的。
在第五变形例中,对于各第一受光元件28而言,第一角度θ彼此相同,且第二角度φ的值在0度以上且小于360度的范围内为等间隔。因此,第一受光元件28与第一开口部30的位置关系以Z方向为轴而具有旋转对称性。
另外,在上述实施方式中,示出了第一受光元件28的平面形状被设为扇形状的例子,但是不限定于此。也能够采用第一受光元件28的平面形状例如被设为正圆形状、矩形状的例子。另外,在上述实施方式中,示出了各第一受光元件28的平面形状被设为以Z方向为轴而相互成旋转对称的形状的例子,但是不限定于此。

Claims (7)

1.一种光传感器,具备:
基板(22),在一面(22a)具有输出与入射光的强度相应的检测信号的多个第一受光元件(28);以及
遮光膜(26),配置于所述基板的所述一面侧,并且具有多个与各第一受光元件对应的第一开口部(30),规定入射光对各第一受光元件的行进方向,
多个所述第一受光元件被设置成入射光的行进方向与所述基板的厚度方向不同,且具有入射光的行进方向与所述厚度方向所形成的入射角度彼此相同的至少一个受光元件组(32),
在所述厚度方向上投影观察时,构成同一所述受光元件组的所述第一受光元件与对应的所述第一开口部的位置关系,以所述厚度方向为轴而具有3次以上的旋转对称性。
2.根据权利要求1所述的光传感器,其中,
多个所述第一受光元件具有多个所述受光元件组,
对各受光元件组的入射角度互不相同。
3.根据权利要求1或2所述的光传感器,其中,
在所述厚度方向上投影观察时,构成同一所述受光元件组的所述第一受光元件被设为以所述厚度方向为轴而相互成旋转对称的形状。
4.根据权利要求3所述的光传感器,其中,
在所述厚度方向上投影观察时,构成同一所述受光元件组的所述第一受光元件被设置成,呈将圆环等分而成的扇形状,并且与对应的所述第一开口部的中心的最短距离彼此相同。
5.根据权利要求1~4中的任一项所述的光传感器,其中,
在所述厚度方向上投影观察时,构成同一所述受光元件组的所述第一受光元件与对应的所述第一开口部的位置关系被设置成以所述厚度方向为轴而具有偶数次的旋转对称性。
6.根据权利要求1~5中的任一项所述的光传感器,其中,
在所述基板的一面侧上的与设置有所述第一受光元件的部位不同的部位设置有输出与入射光的强度相应的检测信号的第二受光元件(34),
所述遮光膜具有使入射光以与对所述第一受光元件的入射角度不同的入射角度对所述第二受光元件入射的第二开口部(36)。
7.根据权利要求1~6中的任一项所述的光传感器,其中,
具备多个所述遮光膜,
多个所述遮光膜被相互层叠。
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