CN107400861A - 一种自动化连续式电阻蒸发镀膜装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种自动化连续式电阻蒸发镀膜装置，包括真空蒸镀室、蒸发源室、蒸发系统和加液系统，所述真空蒸镀室的腔体和蒸发源室的腔体通过连通管道相连接，并设置一个真空阀门，所述蒸发系统由加热蒸发装置和旋转机构组成；所述加热蒸发装置由膜料载体、电阻加热片、支撑片、弹簧、外引线、绝缘管和支承柱组成，所述旋转机构由转向轴和转向电机组成，膜料载体通过弹簧、支撑片紧贴电阻加热片并固定在支承柱上，而且膜料载体在旋转90°到水平方向时仍紧贴电阻加热片，所述蒸发加热装置上方的蒸发源室顶部设有加液口和真空阀门，本发明结构简单、合理，消除了现有装置存在的弊端，而且膜料载体可以重复使用，降低因使用一次性膜料产生的高成本。

Description

一种自动化连续式电阻蒸发镀膜装置
技术领域
本发明涉及真空镀膜领域，尤其涉及自动化连续式的电阻式蒸发镀膜装置，特别是适用于对液态有机蒸镀材料进行电阻蒸发镀膜装置。
背景技术
对于液态有机材料的真空蒸发镀膜，与固体无机材料的蒸镀不一样，不能直接放入坩埚或镀舟中进行真空蒸镀，需要先将液体有机材料（或与有机溶剂混合）添加到疏松多孔吸附载体中，再将吸附有液态有机材料的载体进行蒸镀。
通常的真空蒸发镀膜设备，膜料或膜料载体为一次性镀膜使用，每镀膜完一炉产品均需要打开镀膜腔体来放置膜料或膜料载体，这样不利于生产稳定性和生产效率的提高；因此，有必要设计出一款能自动化、可连续式生产的真空蒸发镀膜装置。
目前市面上的自动化连续式蒸发镀膜设备，可以采用多个真空室进行连续式生产，同时在镀膜室一次性放置几百颗膜料或膜料载体，并采用自动化交替更换，但是这种设备造价成本很高，结构很复杂，而且膜料或膜料载体最长需要在真空腔体内放置一周左右时间，会影响液态有机材料的镀膜效果。
发明内容
本发明的目的在于提供一种自动化连续式电阻蒸发镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种自动化连续式电阻蒸发镀膜装置，包括真空蒸镀室、蒸发源室、蒸发系统和加液系统，所述真空蒸镀室的腔体和蒸发源室的腔体通过连通管道相连接，并设置一个真空阀门，所述蒸发系统由加热蒸发装置、膜料载体和旋转机构组成；所述加热蒸发装置由膜料载体、电阻加热片、支撑片、弹簧、外引线、绝缘管和支承柱组成，所述旋转机构由转向轴和转向电机组成，所述支承柱内侧垂直设有转向轴，转向轴另一端与转向电机的输出端连接，膜料载体通过弹簧、支撑片紧贴电阻加热片并固定在支承柱上，而且膜料载体在旋转90°到水平方向时仍紧贴电阻加热片，所述蒸发加热装置上方的蒸发源室顶部设有加液口和另一真空阀门，所述加液系统包括滴头，所述滴头位于加液口上方，滴头的进液口通过导液软管连接注射泵。
作为本发明进一步的方案：所述膜料载体为疏松多孔的吸附载体。
作为本发明进一步的方案：所述电阻加热片上连接有外引线，外引线穿有绝缘管。
作为本发明进一步的方案：所述注射泵的进液端设有抽液管，抽液管伸入储液箱内部。
作为本发明进一步的方案：所述转向电机为步进电机。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明结构简单、合理，消除了现有装置存在的弊端，1.可以进行自动化、连续式蒸发镀膜；2.结构简单，成本较低，生产稳定，膜料利用率高；3.能够通过注射泵对液态有机材料进行定量控制；4.膜料载体可以重复使用，降低因使用一次性膜料产生的高成本。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明中旋转机构的结构示意图。
其中：真空蒸镀室1、蒸发源室2、连通管道3、膜料载体4、加液口5、伸缩气缸6、滴头7、导液软管8、注射泵9、抽液管10、储液箱11、加热蒸发装置12、支撑柱13、转向轴14、转向电机15、真空阀门16、真空阀门17。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-2，本发明实施例中，一种自动化连续式电阻蒸发镀膜装置，包括真空蒸镀室1、蒸发源室2、蒸发系统和加液系统，所述真空蒸镀室1的腔体和蒸发源室2的腔体通过连通管道3相连接，并设置一个真空阀门16，所述蒸发系统由加热蒸发装置12、旋转机构组成；所述加热蒸发装置12由膜料载体4、电阻加热片、支撑片、弹簧、外引线、绝缘管和支承柱13组成，所述旋转机构由转向轴（14）和转向电机（15）组成，所述支承柱13内侧垂直设有转向轴14，转向轴14另一端与转向电机15的输出端连接，这里的转向电机15为步进电机，膜料载体通过弹簧、支撑片紧贴电阻加热片并固定在支承柱13上，而且膜料载体4在旋转90°到水平方向时仍紧贴电阻加热片，电阻加热片上连接有外引线，外引线穿有绝缘管，所述蒸发加热装置12上方的蒸发源室2顶部设有加液口5和真空阀门17，所述加液系统包括滴头7，所述滴头7位于加液口5上方，滴头7的进液口通过导液软管8连接注射泵9，注射泵9的进液端设有抽液管10，抽液管10伸入储液箱11内部。
加液过程时，蒸发源室充气至大气状态，打开真空阀门17，通过伸缩气缸6控制滴头7穿过加液口5，进而在膜料载体4上滴液，滴液完成后，通过伸缩气缸6控制滴头7退出加液口，关闭真空阀门17，蒸发源室抽真空至高真空状态。
蒸发过程时，打开真空阀门16，通过转向电机15带动转向轴14转动，转向轴14带动支承柱13转动，从而带动膜料载体4转向90°朝向工件架镀膜，镀膜完成后关闭真空阀门16，膜料载体4反向旋转90°到加液口5位置，这样形成一个自动加液和蒸镀循环过程。
本发明的工作原理是：所述加液系统将液体有机材料沿竖直方向添加到稀疏多孔的吸附膜料载体内，所述膜料载体固定在加热蒸发装置上，然后通过所述旋转机构自动旋转90°朝向竖直工件架，所述加热蒸发装置12再对膜料载体4进行沿水平方向加热蒸发，蒸发完后膜料载体4通过所述旋转机构自动反向旋转90°到加液位置，这样便形成能自动化、可连续式生产的电阻蒸发镀膜装置。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种自动化连续式电阻蒸发镀膜装置，所述包括真空蒸镀室（1）、蒸发源室（2）、蒸发系统和加液系统，其特征在于，所述真空蒸镀室（1）的腔体和蒸发源室（2）的腔体通过连通管道（3）相连接，并设置一个真空阀门（16），所述蒸发系统由加热蒸发装置（12）和旋转机构组成；所述加热蒸发装置（12）由膜料载体（4）、电阻加热片、支撑片、弹簧、外引线、绝缘管和支承柱（13）组成，所述旋转机构由转向轴（14）和转向电机（15）组成，所述支承柱（13）内侧垂直设有转向轴（14），转向轴（14）另一端与转向电机（15）的输出端连接，膜料载体通过弹簧、支撑片紧贴电阻加热片并固定在支承柱（13）上，而且膜料载体（4）在旋转90°到水平方向时仍紧贴电阻加热片，所述蒸发加热装置（12）上方的蒸发源室（2）顶部设有加液口（5）和真空阀门（17），所述加液系统包括滴头（7），所述滴头（7）位于加液口（5）上方，滴头（7）的进液口通过导液软管（8）连接注射泵（9）。
2.根据权利要求1所述的一种自动化连续式电阻蒸发镀膜装置，其特征在于，所述膜料载体为疏松多孔的吸附载体。
3.根据权利要求1所述的一种自动化连续式电阻蒸发镀膜装置，其特征在于，所述电阻加热片上连接有外引线，外引线穿有绝缘管。
4.根据权利要求1所述的一种自动化连续式电阻蒸发镀膜装置，其特征在于，所述注射泵（9）的进液端设有抽液管（10），抽液管（10）伸入储液箱（11）内部。
5.根据权利要求1所述的一种自动化连续式电阻蒸发镀膜装置，其特征在于，所述所述转向电机（15）为步进电机。
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