CN107390481B - 一种烘烤设备及烘烤方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种烘烤设备及烘烤方法，属于显示装置生产技术领域。烘烤设备包括烘烤室和设置在烘烤室内用于承载基板的载台，还包括设置在烘烤室的顶盖上的排气装置以及设置在烘烤室的侧壁上的吹气装置，吹气装置用于在将基板放置到载台过程中，向烘烤室吹入热空气。顶盖上的排气装置，可以完全排除烟气。吹气装置在基板放置到载台过程中，向烘烤室内吹入热空气，可以防止外部冷空气在此过程中进入烘烤室，从而防止烟气凝固。本发明实施例还提出了一种烘烤方法。本发明实施例的烘烤设备及烘烤方法，可以避免烟气在烘烤室内壁上凝固聚集，提升了基板的良率，降低了设备的稼动率，降低了成本。

Description

一种烘烤设备及烘烤方法

技术领域

本发明涉及显示装置生产技术领域，具体涉及一种烘烤设备及烘烤方法。

背景技术

在显示技术领域，液晶显示面板以其体积小、无辐射、分辨率高等优点被广泛应用。在显示面板的制作过程中，需要用到预烘烤设备，以完成对光刻胶的预烘烤。

图1为现有技术中预烘烤设备的俯视结构示意图。预烘烤设备的烘烤室100的前侧设置有挡门201，以便机械手通过挡门201将基板送入烘烤室并放置在载台102上。现有技术中使用的光刻胶，在进行预烘烤时，光刻胶中的易挥发成分挥发生成大量烟气(Fume)。现有的预烘烤设备在靠近挡门201的左右侧均设置了排气管12，且排气管12的尺寸可调。当关闭挡门201对基板进行烘烤时，左右两侧的排气管12不能完全将光刻胶产生的烟气排出烘烤室100，部分烟气凝固在烘烤室的顶盖和左右两侧的排气管。而且，预烘烤设备在挡门201打开并向载台102上放置基板的过程中，排气管12停止排气。挡门201打开使得外部的冷空气进入烘烤室，加速了烘烤室内剩余烟气的凝固。凝固的烟气慢慢聚集，掉落在基板上。当将基板送入曝光机后，异物检查设备检测到基板上的异物超过设定阈值时，便会认定该基板不合格。即使基板上的异物没有超过设定阈值，而进入到掩膜制程，异物也会影响掩膜，从而造成缺陷，使得设备的稼动率提升，降低了基板的良率。

发明内容

本发明实施例所要解决的技术问题是，提供一种烘烤设备及烘烤方法，以解决现有预烘烤设备中烟气无法完全排除以及烟气凝固在烘烤室内壁上的技术问题。

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种烘烤设备，包括烘烤室和设置在烘烤室内用于承载基板的载台，还包括排气装置和吹气装置，所述排气装置设置在所述烘烤室的顶盖上，所述吹气装置设置在所述烘烤室的侧壁上，用于在基板放置到所述载台过程中，向所述烘烤室吹入热空气。

可选地，在烘烤过程中，所述吹气装置向烘烤室吹入热空气。

可选地，所述吹气装置设置成向所述载台与所述排气装置之间的空间吹入热空气。

可选地，所述烘烤设备还包括预热板，所述预热板设置在所述载台与所述排气装置之间，所述预热板与加温装置连接。

可选地，所述预热板为中心朝向所述载台凹陷的凹面板。

可选地，所述烘烤设备还包括与所述排气装置相连的烟气处理装置，所述烟气处理装置包括：

气体入口；

处理室，所述处理室通过所述气体入口与所述排气装置连接，所述处理室内盛放有用于对所述排气装置排出的烟气进行处理的处理液；

过渡室，所述过渡室的底部与所述处理室的底部连通，所述过渡室内盛放有所述处理液，所述过渡室的液面上方与所述处理室的液面上方通过通道连接；

气体出口，其设置在所述过渡室的顶端，用于排出气体。

可选地，所述通道呈弯曲型通道。

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种烘烤方法，包括：

在基板放置到烘烤室内的载台过程中，吹气装置向烘烤室吹入热空气；

在烘烤过程中，排气装置从烘烤室的顶端排出烟气。

可选地，在烘烤过程中，所述吹气装置向烘烤室吹入热空气。

可选地，在烘烤过程中，预热板被加热至与所述载台相同的温度，所述预热板设置在所述载台与所述排气装置之间，所述预热板与加温装置连接。

本发明实施例提供了一种烘烤设备及烘烤方法。该烘烤设备包括烘烤室和设置在烘烤室内用于承载基板的载台，还包括排气装置和吹气装置，排气装置设置在烘烤室的顶盖上，吹气装置设置在烘烤室的侧壁上，用于在将基板放置到载台过程中，向烘烤室吹入热空气。将排气装置设置在顶盖上，可以完全排除烟气。通过在烘烤室侧壁上设置吹气装置，并且在将基板放置到载台过程中，使吹气装置向烘烤室内吹入热空气，可以防止外部冷空气在此过程中进入烘烤室，从而防止烟气凝固。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图用来提供对本发明技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本发明的技术方案，并不构成对本发明技术方案的限制。

图1为现有技术中预烘烤设备的俯视结构示意图；

图2为本发明第一实施例的烘烤设备的结构示意图；

图3为图2的烘烤设备的俯视结构示意图；

图4为本发明第二实施例的烘烤设备的结构示意图；

图5为本发明第三实施例的烟气处理装置的结构示意图。

附图标记说明：

10—基板； 12—排气管； 100—烘烤室；

101—吹气装置； 102—载台； 103—预热板；

106—排气装置； 107—顶盖； 108—吹气方向；

201—挡门； 400—气体入口； 401—处理室；

402—通道； 403—过渡室； 404—气体出口；

405—吸附装置； 406—第一阀门； 407—第二阀门；

408—第一液位传感器； 409—溢流室； 410—导管；

411—第二液位传感器； 412—排液口。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下文中将结合附图对本发明的实施例进行详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。

为了解决现有技术中，光刻胶产生的烟气无法完全排除，以及烟气凝固在烘烤室内壁上的技术问题，本发明实施例提出了一种烘烤设备。该烘烤设备包括烘烤室和设置在烘烤室内用于承载基板的载台，还包括排气装置和吹气装置，排气装置设置在烘烤室的顶盖上，吹气装置设置在烘烤室的侧壁上，用于在基板放置到载台过程中，向烘烤室吹入热空气。将排气装置设置在顶盖上，可以完全排除烟气。通过在烘烤室侧壁上设置吹气装置，并且在将基板放置到载台过程中，使吹气装置向烘烤室内吹入热空气，可以防止外部冷空气在此过程中进入烘烤室，从而防止烟气凝固。

下面将通过具体的实施例详细介绍本发明的技术内容。

第一实施例：

图2为本发明第一实施例的烘烤设备的结构示意图。图3为图2的烘烤设备的俯视结构示意图。从图2和图3中可以看出，本发明实施例的烘烤设备包括烘烤室100，以及设置在烘烤室100内用于承载基板10的载台102。该烘烤装置还包括排气装置106和吹气装置101。排气装置106设置在烘烤室100的顶盖107上。吹气装置设置在烘烤室100的侧壁上，用于在基板10放置到载台102过程中，向烘烤室100吹入热空气。

当基板10放置到载台102上后，载台102对基板10进行烘烤。基板10的上表面上挥发出烟气。烟气在烘烤室内呈上升趋势。将排气装置106设置在顶盖107上，排气装置106产生的负压促使烟气向上运动，更有利于将烟气排出。在基板放置到载台过程中，吹气装置101向烘烤室100吹入热空气，使得烘烤室内的温度和气压高于外部温度和气压，避免了外部冷空气进入烘烤室，避免了烘烤室内残留的烟气凝固。本发明实施例的烘烤设备，可以避免烟气在烘烤室内壁上凝固聚集，提升了基板的良率，降低了设备的稼动率，降低了成本。

进一步，在烘烤过程中，101吹气装置向烘烤室吹入热空气。吹气装置101从两侧向烘烤室100吹入热气，不仅提升了烘烤室内的温度，而且使得烘烤室内的温度更加均衡，有利于提升烘烤效果，防止了烟气在烘烤室的内壁上凝固。而且，在两侧吹气装置101的作用下，烟气运动更加剧烈，不容易发生凝固，促使烟气上升通过排气装置106排出烘烤室。

烟气在烘烤室内呈上浮趋势，为了增大烘烤室内烟气的排出速度，优选地，吹气装置101设置成向载台102与排气装置106之间的空间吹入热空气，如图2所示。

为了促进烘烤室100边缘区域的烟气可以顺畅地进入排气装置106，优选地，烘烤室100的顶盖107自边缘朝向中心向上凸出，排气装置106设置在顶盖107的中心凸出位置，如图2所示。这种结构的顶盖，避免了在顶盖107内壁上产生死角区域，使得基板10边缘区域的烟气可以沿着顶盖107的内壁逐渐上浮并进入排气装置106排出烘烤室，提升了烟气的排出效果。

结合图2和图3，烘烤室100的前侧设置有能够打开和关闭的挡门201。吹气装置101设置在左右两侧的侧壁。

第二实施例：

图4为本发明第二实施例的烘烤设备的结构示意图。与第一实施例的区别在于，本实施例的烘烤设备，还包括预热板103。预热板103设置在载台102和排气装置106之间，并且预热板103与加温装置连接。

在烘烤室100中，温度自载台102向上呈下降趋势。在载台102和排气装置106之间的预热板103，在烘烤过程中，被加温装置加热到与载台102相当的温度，使得烘烤室100上部的温度与底部的温度相当，可以避免上部由于温度过低而出现烟气凝固的现象。

优选地，预热板103为中心朝向载台102凹陷的凹面板，如图4所示。这样，上升的烟气遇到预热板103时，就会沿着预热板103的底面向上越过预热板103进入排气装置106。相比于平板形式，本实施例中的预热板促进了烟气的向上运动，加速了排气速度。实际实施时，预热板103可以是整体结构，也可以由多个预热块组合，多个预热块间隔设置，不仅提升了烘烤室上部的温度，而且烟气还可以通过预热块之间的间隔进入排气装置，提升排气速度。

进一步，本发明实施例的加温装置，不仅可以用于对预热板进行加温，而且还可以对预热板的温度进行实时控制，使预热板的温度始终与载台的烘烤温度相匹配。在加温装置的作用下，预热板也可以保持恒定温度，有效地避免烟气凝固。

第三实施例：

与第一实施例和第二实施例的区别在于，本实施例的烘烤设备还包括与排气装置相连的烟气处置装置。经由排气装置排出的烟气，经过烟气处理装置处理后，大部分烟气被吸收掉。烟气处理装置的设置，改善了烟气在排气装置内凝固，提高了排气装置的使用寿命，同时保护了环境。

图5为本发明第三实施例的烟气处理装置的结构示意图。从图5中可以看出，该烟气处理装置包括气体入口400、处理室401、通道402、过渡室403和气体出口404。气体入口400的一端与排气装置连接，另一端与处理室401连接。处理室401通过气体入口400与排气装置连接。处理室401内盛放有用于对排气装置排出的烟气进行处理的处理液。过渡室403的底部与处理室401的底部连通，过渡室403内同样盛放有处理液，且过渡室403的液面上方与处理室401的液面上方通过通道402连接。气体出口404设置在过渡室403的顶端，用于排出气体。

优选地，盛放在处理室401和过渡室403中的处理液的有效成分包括氢氧化钾(KOH)。经发明人研究发现，氢氧化钾溶液可以有效地去除排气装置排出的烟气。

排气装置排出的烟气经由气体入口400进入处理室401。在处理室401中，烟气冲激在处理液液面上，大部分烟气直接被处理室401中的处理液吸收掉。处理液在气流的作用下，会有一部分被雾化，雾化的处理液随着烟气一起通过通道402进入过渡室403。在过渡室403中，烟气再次与过渡室403中的处理液发生反应，提升了烟气的去除量。被处理后的气体经过过渡室403顶端的气体出口404排出。

优选地，通道402呈弯曲型通道。这样，就能延长烟气从处理室401进入过渡室403的路径，使得烟气可以与雾化的处理液充分反应，进一步增大了烟气的去除量。优选地，通道402呈“S”型通道，如图5所示。

进一步优选地，在过渡室403与气体出口404之间设置有吸附装置405。吸附装置405可以吸附烟气，而且避免雾化的处理液排出。吸附装置405的设置再次降低了排出的烟气含量，提升了烟气的去除量。

处理室401中的处理液在使用一段时间后，其中的有效成分会降低，因此需要定期对处理液进行更换。为了方便处理液的更换，优选地，在处理室401上部设置有用于向处理室401加入处理液的第一阀门406，在处理室底端设置有用于排出处理液的第二阀门407，如图5所示。

进一步优选地，在处理室401内设置有用于检测液位的第一液位传感器408。

当处理液需要更换时，打开第二阀门407，将处理室401和过渡室403中的处理液排出。然后打开第一阀门406，向处理室401中加入处理液。当处理液的液位达到液位传感器408限定的液位时，第一液位传感器408向第一阀门406发出信号，使得第一阀门406关闭，停止添加处理液。由于过渡室403的底部与处理室401底部相连，因此，当向处理室401添加处理液时，过渡室403中同时被加入处理液。

实际实施中，第一液位传感器408有时会出现误报或动作滞后。为了避免由于第一液位传感器408导致的液面过高，优选地，本实施例中的烟气处理装置还包括与过渡室403连接的溢流室409。当过渡室403内的处理液液面超过预设液位时，过渡室403中的处理液流入溢流室409。在本实施例中，溢流室409的顶端通过导管410与过渡室403连接。当第一液位传感器408没有及时发出信号，导致处理室401和过渡室403中的液面超过预设液位时，过渡室403中的处理液通过导管410流入溢流室409，避免处理室401中的液面超过预设液位。

优选地，在溢流室409中设置有用于检测液位的第二液位传感器411。当溢流室409中的液位达到预设液位时，第二液位传感器411向第一阀门406发出信号，使得第一阀门406关闭，停止添加处理液。在溢流室409的底端设置有用于排出溢流室409内液体的排液口412。

第四实施例：

基于上述实施例的发明构思，本发明实施例还提出了一种烘烤方法，采用以上所述的烘烤设备。该烘烤方法包括：

在基板放置到烘烤室内的载台过程中，吹气装置向烘烤室吹入热空气；

在烘烤过程中，排气装置从烘烤室的顶端排出烟气。

进一步，在烘烤过程中，所述吹气装置向烘烤室吹入热空气。

进一步，在烘烤过程中，预热板被加热至与载台相同的温度，预热板设置在载台与排气装置之间，预热板与加温装置连接。

在本发明实施例的描述中，需要理解的是，术语“中部”、“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

虽然本发明所揭露的实施方式如上，但所述的内容仅为便于理解本发明而采用的实施方式，并非用以限定本发明。任何本发明所属领域内的技术人员，在不脱离本发明所揭露的精神和范围的前提下，可以在实施的形式及细节上进行任何的修改与变化，但本发明的专利保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (8)

1.一种烘烤设备，包括烘烤室和设置在烘烤室内用于承载基板的载台，其特征在于，还包括排气装置和吹气装置，所述排气装置设置在所述烘烤室的顶盖上，所述吹气装置设置在所述烘烤室的侧壁上，用于在基板放置到所述载台过程中，向所述烘烤室吹入热空气，

所述烘烤设备还包括预热板，所述预热板设置在所述载台与所述排气装置之间，所述预热板与加温装置连接，所述预热板为中心朝向所述载台凹陷的凹面板。

2.根据权利要求1所述的烘烤设备，其特征在于，在烘烤过程中，所述吹气装置向烘烤室吹入热空气。

3.根据权利要求2所述的烘烤设备，其特征在于，所述吹气装置设置成向所述载台与所述排气装置之间的空间吹入热空气。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的烘烤设备，其特征在于，所述烘烤设备还包括与所述排气装置相连的烟气处理装置，所述烟气处理装置包括：

气体入口；

处理室，所述处理室通过所述气体入口与所述排气装置连接，所述处理室内盛放有用于对所述排气装置排出的烟气进行处理的处理液；

过渡室，所述过渡室的底部与所述处理室的底部连通，所述过渡室内盛放有所述处理液，所述过渡室的液面上方与所述处理室的液面上方通过通道连接；

气体出口，其设置在所述过渡室的顶端，用于排出气体。

5.根据权利要求4所述的烘烤设备，其特征在于，所述通道呈弯曲型通道。

6.一种烘烤方法，其特征在于，采用如权利要求1所述的烘烤设备，所述烘烤方法，包括：

在基板放置到烘烤室内的载台过程中，吹气装置向烘烤室吹入热空气；

在烘烤过程中，排气装置从烘烤室的顶端排出烟气。

7.根据权利要求6所述的烘烤方法，其特征在于，在烘烤过程中，所述吹气装置向烘烤室吹入热空气。

8.根据权利要求6所述的烘烤方法，其特征在于，在烘烤过程中，预热板被加热至与所述载台相同的温度，所述预热板设置在所述载台与所述排气装置之间，所述预热板与加温装置连接。

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