CN107377545A - 对干泵的尾气管道进行清洁的方法及进行清洁的装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种对干泵的尾气管道进行清洁的方法及进行清洁的装置,所述方法包括如下步骤:在所述干泵运行时获取其尾气管道内的压力值；判断所述压力值是否大于压力预设阈值；以及当判断所述压力值大于压力预设阈值时，则启动装设在所述尾气管道中的清理器，使其经由滚动或振动来清洁所述尾气管道。本发明的方法能够控制干泵中用于清洁尾气管道的清理器运行，使其在尾气管道内的压力值超出压力预设阈值时自动启动进行尾气管道的清理，避免尾气管道堵塞。

Description

对干泵的尾气管道进行清洁的方法及进行清洁的装置

技术领域

本发明涉及一种干泵，特别涉及一种对干泵的尾气管道进行清洁的方法及进行清洁的装置。

背景技术

干泵(Dry Pump)作为半导体及相关制造业的一个重要组成设备，尤其是在真空应用设备的需求方面，对保证设备运行的可靠性、稳定性等方面要求极高。以Dry Etcher(干法刻蚀设备)为例，伴随着干泵使用的过程也会出现一些问题，最主要的就是尾气管道清洁的处理。设备生产中和生产完成后会产生大量的如Cl元素副产物和F元素等的副产物，这些副产物在干泵抽气时会形成颗粒状，粘附到干泵尾气管道上，从而发生管道堵塞，造成干泵抽气能力下降等一系列问题。现有技术中当管道堵塞时，需要进行设备停产，关闭干泵，然后拆卸干泵的尾气管道，再通知干泵的厂商来进行处理，最后还需要至少一个工程师在现场全程跟线清洁，耗费了大量的人力物力。而且每次清洁所需的时间较长，造成了大量产能的浪费。

发明内容

本发明所要解决的问题是，设备生产时干泵的尾气管道内会产生大量副产物，这些副产物在干泵进行抽气时会附着到尾气管道上面，从而发生尾气管道堵塞等一系列问题；且在对尾气管道欲进行清洗时整个设备都需要停产配合，干泵也需停泵配合，还要通知厂商来进行处理，浪费了大量财力；另外，由于尾气管道频繁堵塞，导致干泵开泵停泵频繁，这样会减少干泵的使用寿命，使在对尾气管道清理完成后需要开泵时，干泵不能及时启动，只能更换新的干泵，造成经济损失惨重；最后，若恰巧遇到夜间尾气管道堵塞，需要对尾气管道进行清洗时更为棘手，由于还要通知厂商，等待厂商援助，使得浪费了大量的时间，造成产能的严重损耗。

为了解决上述技术问题本发明提供一种用于控制干泵中用于清洁尾气管道的清理器运行的方法及应用该种方法对干泵的尾气管进行清洁的装置清理器。

为了解决上述问题，本发明提供一种对干泵的尾气管道进行清洁的方法,所述方法包括如下步骤:

在所述干泵运行时获取其尾气管道内的压力值；

判断所述压力值是否大于压力预设阈值；以及

当判断所述压力值大于压力预设阈值时，则启动装设在所述尾气管道中的清理器，使其经由滚动或振动来清洁所述尾气管道。

作为优选，在所述干泵运行时获取其尾气管道内的压力值的步骤包括：通过装设在所述尾气管道内的压力传感器检测所述尾气管道内的压力。

作为优选，启动装设在所述尾气管道中的清理器的步骤包括：

由数据采集系统获取所述压力值的信息并传送至可编程控制器(PLC)；

由所述PLC判断所述压力值是否大于压力预设阈值，如果是，则所述PLC生成启动指令并发送给所述清理器。

作为优选，当所述PLC判断所述压力值大于压力预设阈值时，所述PLC生成报警指令并发送给报警器。

作为优选，所述方法在在所述干泵运行时获取其尾气管道内的压力值的同时，将所述压力值发送给显示系统以供实时显示。

本发明同时提供一种对干泵的尾气管道进行清洁的装置,所述装置包括：

控制器，所述控制器被配置为：

在所述干泵运行时获取其尾气管道内的压力值；

判断所述压力值是否大于压力预设阈值；以及

当判断所述压力值大于压力预设阈值时，则启动装设在所述尾气管道中的清理器；和

所述清理器，用于在启动后经由滚动或振动来清洁所述尾气管道。

作为优选，所述装置还包括：

压力传感器，所述压力传感器设置在所述尾气管道内以检测所述压力值，并将所检测的压力值传输给所述控制器。

作为优选，所述控制器为PLC，所述装置还包括数据采集系统，所述数据采集系统获取所述压力值的信息后发送至所述PLC。

作为优选，所述装置还包括报警器，当所述控制器判断所述压力值大于压力预设阈值时，则向所述报警器发送报警指令。

作为优选，所述清理器实现为以下的任何一种或其组合：

所述清理器包括：

电机；和

滚轮毛刷，所述滚轮毛刷由所述电机驱动以清洁所述尾气管道内的附着物；或者

所述清理器包括：

超声波发生器，其用于生成向所述尾气管道内传输的超声波，以便所述尾气管道内的附着物在超声波的作用下分解掉落；或者

所述清理器包括：

永久性磁体，设置在所述尾气管道内；

螺线管，其套设在所述尾气管道的外侧，以能够在交变电流的作用下产生交变的磁场，所述交变的磁场作用于所述永久性磁体以使之振动；以及

清洁刷，其设于所述尾气管道内并与所述永久性磁体相连，以在所述永久性磁体振动时而振动，进而清洁所述尾气管道内的附着物。

本发明的对干泵的尾气管道进行清洁的方法及进行清洁的装置的有益效果在于，能够在生产过程中监控干泵的尾气管道中的压力情况，及时控制清理器清洁干泵的尾气管道中的杂质，避免干泵因尾气管道堵塞而造成抽气能力下降的现象发生，该方法和装置无需拆卸尾气管道中断生产，成本较低。

附图说明

图1为本发明对干泵的尾气管道进行清洁的方法的一实施例的流程图。

图2为本发明的对干泵的尾气管道进行清洁的方法的又一实施例的流程图。

图3为本发明的对干泵的尾气管道进行清洁的装置的结构框图。

图4为本发明的对干泵的尾气管道进行清洁的装置的实施例一的结构图。

图5为本发明的对干泵的尾气管道进行清洁的装置的实施例二的结构图。

附图标记：

1-干泵；2-尾气管道；3-滚轮毛刷；4-永久磁体；5-螺线管；6-清洁刷。

具体实施方式

以下结合附图对本发明进行详细描述。

如图1所示，本发明提供一种控制方法,应用于干泵1中,该控制方法包括:

在干泵1运行时获取其尾气管道2内的压力值(步骤1)；

判断压力值是否大于压力预设阈值(步骤2)；以及

当判断压力值大于压力预设阈值时，则启动装设在尾气管道2中的清理器(步骤3)，以清洁尾气管道2清理器，避免尾气管道2堵塞，影响干泵1的抽气性能。若检测到压力值不大于压力预设阈值时，则返回步骤1继续监控尾气管道2内的压力值，以能够及时发现尾气管道2内压力情况的异常。

进一步地，在获取干泵1在运行时其尾气管道2内的压力值时可通过在尾气管道2内装设压力传感器，利用压力传感器检测尾气管道2内的压力来获取压力值。

进一步地，如图2所示，在启动装设在尾气管道2中的清理器时的步骤清理器具体包括：

压力传感器获取压力值的信息后发送至数据采集系统；

数据采集系统获取压力值的信息后发送至可编程控制器(PLC)中；

由PLC计算出压力值与压力预设阈值间的差值，并判断差值是否大于0，若大于，则生成启动指令，并发送至控制电路中；

控制电路根据启动指令启动清理器运行，以对尾气管道2进行清洁。也即，计算及判断步骤的执行主体为PLC，而对清理器进行直接控制的是控制电路，当然，该控制电路可以集成在PLC中，由此PLC可直接对清理器进行控制。采用该种指令信息的生成与传达方式，可确保指令的传达无误，避免误操作现象的发生。

优选地，为了能够在尾气管道2内的压力值异常时及时通知工作人员，本实施例中于干泵1上或用于控制干泵1对尾气管道2进行清理的装置上还设置有报警器。当PLC判断尾气管道2内的压力值大于压力预设阈值时，则在向清理器发送启动指令的同时向报警器发送报警指令，使报警器发出警报以通知工作人员及时处理。而进一步优选地，为了方便工作人员能够实时监控尾气管道2内的压力，还可在干泵1上或用于控制干泵1对尾气管道2进行清理的装置上装设显示系统，在数据采集系统获取干泵1在运行时其尾气管道2内的压力值之后，可将压力值的信息同时发送至显示系统中，使显示系统实时显示压力值信息。另外，还可将显示系统设置为在显示的压力值大于预设压力值时，显示报警信息，如显示红色的Alarm标识，或闪烁显示Alarm标识等。

如图3所示，本发明同时提供对干泵1的尾气管道2进行清洁的装置,其包括控制器，该控制器被配置为用于获取干泵1在运行时其尾气管道2内的压力值，并判断压力值是否大于压力预设阈值，若大于，则向装设在清理器发送启动指令，使清理器启动以清洁尾气管道2，避免尾气管道2堵塞，影响干泵1的抽气性能。

进一步地，在获取干泵1在运行时其尾气管道2内的压力值时可通过在尾气管道2内装设压力传感器，利用压力传感器检测尾气管道2内的压力来获取压力值。

具体地，本实施例中的控制器为PLC，该装置还包括数据采集系统、报警器、显示系统以及与清理器电性连接的控制电路(控制电路也可不设置，仅通过PLC进行控制)。具体实施时，压力传感器将检测到的压力值的信息发送至数据采集系统中，数据采集系统获取压力值的信息后同时发送至PLC和显示系统中，其中，PLC计算出压力值与压力预设阈值间的差值并在判断差值大于0时生成启动指令并发送至控制电路中，控制电路根据启动指令启动清理器运行，以清洁尾气管道2。同时PLC还生成报警指令，并发送至报警器中，使报警器发出警报，以及时同时工作人员进行处理。而显示系统则在获取压力值的信息后则进行显示，以供工作人员能够通过显示系统实时了解尾气管道2内的压力状态。

进一步地，清理器的具体结构不唯一，以下以三种实施例进行具体说明：

实施例一：

如图4所示，在干泵1的尾气管道2的末端安装连有电机的滚轮毛刷3，接着将滚轮毛刷3的电机与控制电路电性连接。具体实施时，首先在PLC中根据实际需要预设置一压力预设阈值，然后启动干泵1，干泵1启动后向压力传感器发送信号，以启动压力传感器，使压力传感器开始实时检测尾气管道2内的压力值。压力传感器将检测到的压力值信息实时发送至数据采集系统中，由数据采集系统将压力值信息传送至PLC中，PLC接收到压力值信息后将其与预设压力值进行比较，并计算得出差值，接着判断该差值是否大于0，也就是判断尾气管道2内的当前压力值是否大于预设压力值，若大于，则表明当前尾气管道2内的压力过大，恐积聚有产品副产物，需及时清洁，故，PLC便生成一启动指令并发送至控制电路中，使控制电路控制滚轮毛刷3的电机启动，从而开启滚轮毛刷3以清洁尾气管道2。

由于滚动毛刷持续清扫，尾气管道2内副产物均会被带到干泵1尾端的处理洗刷池内，省却了现有技术中由于尾气管道2堵塞而需拆卸尾气管道2以进行清洁所带来的麻烦，且也不需要频繁的停泵开泵等操作，因此会很大程度的延长干泵1的使用寿命，又由于无需再请干泵1厂商进行护理清洁的费用，大大降低了干泵1的维护成本。另外，也给空调科的作业带来了很大的便利，减少了后端的作业频率。

实施例二：

如图5所示，本实施例与实施例一的不同在于，本实施例中的清理器包括安装在尾气管道2内的永久性磁体、设在尾气管道2的外侧的螺线管5和设于尾气管道2内并与永久性磁体相连的清洁刷6，螺线管5与控制电路电性连接，以通过控制电路获得交变电流。具体实施时，首先在PLC中根据实际需要预设置一压力预设阈值，然后启动干泵1，干泵1启动后向压力传感器发送信号，以启动压力传感器，使压力传感器开始实时检测尾气管道2内的压力值。压力传感器将检测到的压力值信息实时发送至数据采集系统中，由数据采集系统将压力值信息传送至PLC中，PLC接收到压力值信息后将其与预设压力值进行比较，并计算得出差值，接着判断该差值是否大于0，若大于，PLC便生成一启动指令并发送至控制电路中，使控制电路向螺线管5输送交变电流，使螺线管5产生交变磁场，该交变磁场作用于永久性磁体，使永久性磁体振动，进而带动与其相连的清洁刷6振动，迫使管道内壁上的附着物掉落并被抖出尾气管道2，进而达到清洁作用。进一步地，在尾气管道2采用金属材料时，螺线管5中通入的交变电流会在尾气管道2中感生涡流从而产生热量，该热量传导给附着在管道内壁上的附着物，会促进附着物的分解。

实施例三：

本实施例与实施例一和实施例二的不同在于，清理器包括超声波发生器，其与控制电路电性连接，以用于生成向尾气管道2内传输的超声波，利用超声波使附着在尾气管道2内的附着物分解掉落。具体实施方式与实施例一和实施例二相似，不再赘述。

以上实施例仅为本发明的示例性实施例，不用于限制本发明，本发明的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本发明的实质和保护范围内，对本发明做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种对干泵的尾气管道进行清洁的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:

在所述干泵运行时获取其尾气管道内的压力值；

判断所述压力值是否大于压力预设阈值；以及

当判断所述压力值大于压力预设阈值时，则启动装设在所述尾气管道中的清理器，使其经由滚动或振动来清洁所述尾气管道。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述干泵运行时获取其尾气管道内的压力值的步骤包括：通过装设在所述尾气管道内的压力传感器检测所述尾气管道内的压力。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，启动装设在所述尾气管道中的清理器的步骤包括：

由数据采集系统获取所述压力值的信息并传送至可编程控制器(PLC)；

由所述PLC判断所述压力值是否大于压力预设阈值，如果是，则所述PLC生成启动指令并发送给所述清理器。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，当所述PLC判断所述压力值大于压力预设阈值时，所述PLC生成报警指令并发送给报警器。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法在在所述干泵运行时获取其尾气管道内的压力值的同时，将所述压力值发送给显示系统以供实时显示。

6.一种对干泵的尾气管道进行清洁的装置,其特征在于,所述装置包括：

控制器，所述控制器被配置为：

在所述干泵运行时获取其尾气管道内的压力值；

判断所述压力值是否大于压力预设阈值；以及

当判断所述压力值大于压力预设阈值时，则启动装设在所述尾气管道中的清理器；和

所述清理器，用于在启动后经由滚动或振动来清洁所述尾气管道。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

压力传感器，所述压力传感器设置在所述尾气管道内以检测所述压力值，并将所检测的压力值传输给所述控制器。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述控制器为PLC，所述装置还包括数据采集系统，所述数据采集系统获取所述压力值的信息后发送至所述PLC。

9.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述装置还包括报警器，当所述控制器判断所述压力值大于压力预设阈值时，则向所述报警器发送报警指令。

10.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述清理器实现为以下的任何一种或其组合：

所述清理器包括：

电机；和

滚轮毛刷，所述滚轮毛刷由所述电机驱动以清洁所述尾气管道内的附着物；或者

所述清理器包括：

超声波发生器，其用于生成向所述尾气管道内传输的超声波，以便所述尾气管道内的附着物在超声波的作用下分解掉落；或者

所述清理器包括：

永久性磁体，设置在所述尾气管道内；

螺线管，其套设在所述尾气管道的外侧，以能够在交变电流的作用下产生交变的磁场，所述交变的磁场作用于所述永久性磁体以使之振动；以及

清洁刷，其设于所述尾气管道内并与所述永久性磁体相连，以在所述永久性磁体振动时而振动，进而清洁所述尾气管道内的附着物。