CN107369699B - 柔性显示装置及其制造方法和柔性导电图案 - Google Patents

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Abstract

提供了一种柔性显示装置及其制造方法和柔性导电图案。柔性显示装置包括柔性基底和导电图案。柔性基底包括弯曲部。导电图案包括第一导电图案层和设置在第一导电图案层上的第二导电图案层，导电图案的至少一部分可以设置在弯曲部上。第一导电图案层具有第一厚度并包括第一材料，第二导电图案层具有比第一厚度小的第二厚度并包括与第一材料不同的第二材料。

Description

柔性显示装置及其制造方法和柔性导电图案
本申请要求于2016年5月13日提交的第10-2016-0059110号韩国专利申请的优先权和权益，出于所有目的，该韩国专利申请通过引用被包含于此，就像在这里被充分地阐述一样。
技术领域
示例性实施例涉及一种柔性显示装置及其制造方法。更具体地，示例性实施例涉及一种能够防止由于弯曲而出现裂缝的柔性显示装置和制造该柔性显示装置的方法。
背景技术
显示装置显示各种图像以向用户提供信息。近年来，已经开发了可弯曲的显示装置。与平板显示装置不同，柔性显示装置像一张纸一样折叠、卷曲或弯曲。具有各种形状的柔性显示装置容易携带并且改善了用户的便利性。
该背景技术部分中公开的上述信息仅用于增强对发明构思的背景的理解，因此，它可以包含不形成对本领域普通技术人员来说在本国中已知的现有技术的信息。
发明内容
示例性实施例提供了一种能够防止由于弯曲变形而出现裂缝的柔性显示装置。
示例性实施例提供了一种制造柔性显示装置的方法，该柔性显示装置防止由于弯曲变形而出现裂缝。
另外的方面将在随后的详细描述中进行阐述，并且部分地通过公开将是明显的，或者可以通过发明构思的实践而获知。
示例性实施例公开了一种柔性显示装置，所述柔性显示装置包括柔性基底和导电图案。柔性基底包括弯曲部。导电图案包括第一导电图案层和设置在第一导电图案层上的第二导电图案层，导电图案的至少一部分可以设置在弯曲部上。第一导电图案层具有第一厚度并包括第一材料，第二导电图案层具有比第一厚度小的第二厚度并包括与第一材料不同的第二材料。
示例性实施例还公开了一种柔性显示装置，所述柔性显示装置包括：柔性显示面板，包括柔性基底、设置在柔性基底上的有机发光元件和设置在有机发光元件上的密封层；以及触摸感测单元，包括触摸弯曲部并设置在密封层上。触摸感测单元包括导电图案，所述导电图案包括第一导电图案层和设置在第一导电图案层上的第二导电图案层并包括在触摸弯曲部中，第一导电图案层具有第一厚度并包括第一材料，第二导电图案层具有比第一厚度小的第二厚度并包括与第一材料不同的第二材料。
示例性实施例还公开了一种制造柔性显示装置的方法，所述方法包括准备柔性基底和在柔性基底上设置导电图案。设置导电图案包括：供应第一气体，以在柔性基底上形成具有第一厚度的第一导电图案层；以及供应与第一气体不同的第二气体，以在第一导电图案层上形成第二导电图案层，第二导电图案层具有比第一厚度小的第二厚度。
示例性实施例还公开了一种柔性导电图案。柔性导电图案包括第一导电图案层，第一导电图案层设置在柔性基底上并包括具有第一厚度的第一材料。第二导电图案层设置在第一导电图案层上并包括与第一材料不同的第二材料，第二材料具有比第一厚度小的第二厚度。
根据柔性显示装置的示例性实施例，可以减少由弯曲造成的裂缝。
根据柔性显示装置的制造方法的示例性实施例，可以制造可减少由弯曲造成的裂缝的柔性显示装置。
上述的大体描述和下面的详细描述是示例性的和解释性的，并且意图提供对要求保护的主题的进一步解释。
附图说明
附图示出了发明构思的示例性实施例，并且与描述一起用来解释发明构思的原理，其中，包括附图以提供对发明构思的进一步的理解，并且附图被并入该说明书中并构成该说明书的一部分。
图1A、图1B和图1C是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置的透视图。
图2A、图2B和图2C是沿图1B的线I-I'截取的剖视图。
图3A是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置的透视图。
图3B和图3C是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的布线的剖视图。
图3D和图3E是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的电极的剖视图。
图4A是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置的透视图。
图4B是沿图4A的线II-II'截取的剖视图。
图4C和图4D是根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的第一布线的剖视图。
图4E和图4F是根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的第二布线的剖视图。
图5A、图5B和图5C是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置的透视图。
图6A是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的像素之中的一个像素的电路图。
图6B是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的像素之中的一个像素的平面图。
图6C是沿图6B的线III-III'截取的剖视图。
图7A是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置的剖视图。
图7B是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的触摸感测单元的平面图。
图8A是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置的剖视图。
图8B是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的触摸感测单元的平面图。
图9A和图9B是示出根据本公开的示例性实施例的触摸感测单元中包括的感测电极的剖视图。
图9C和图9D是示出根据本公开的示例性实施例的触摸感测单元中包括的线的剖视图。
图10A、图10B、图10C、图10D、图10E和图10F是示出根据本公开的示例性实施例的应用柔性显示装置的各种装置的透视图。
图11是示出根据本公开的示例性实施例的制造柔性显示装置的方法的流程图。
图12A是第一示例性实施例、第一对比示例和第三对比示例的SEM图像。
图12B是第一示例性实施例、第二示例性实施例、第一对比示例和第二对比示例的SEM图像。
图13是第一示例性实施例、第二示例性实施例、第一对比示例和第二对比示例的剖面照片。
图14是示出在第一对比示例和第三对比示例中由内弯曲或外弯曲造成的线断开的照片。
具体实施方式
在下面的描述中，出于解释的目的，阐述了许多具体细节以提供对各种示例性实施例的彻底理解。然而，清楚的是，各种示例性实施例可以在没有这些具体细节或者具有一个或更多个等同布置的情况下实施。在其它情况下，为了避免不必要地使各种示例性实施例不清楚，以框图的形式示出了公知的结构和装置。
在附图中，出于清楚和描述性的目的，可以夸大层、膜、面板、区域等的尺寸和相对尺寸。另外，同样的附图标记表示同样的元件。
当元件或层被称作“在”另一元件或层“上”、“连接到”或“结合到”另一元件或层时，该元件或层可以直接在所述另一元件或层上、直接连接到或直接结合到所述另一元件或层，或者可以存在中间元件或层。然而，当元件或层被称作“直接在”另一元件或层“上”、“直接连接到”或“直接结合到”另一元件或层时，不存在中间元件或层。出于本公开的目的，“X、Y和Z中的至少一个(种、者)”和“从由X、Y和Z组成的组中选择的至少一个(种、者)”可以被解释为只有X、只有Y、只有Z，或者X、Y和Z中的两个或更多个的任意组合，诸如以XYZ、XYY、YZ和ZZ为例。同样的附图标记始终表示同样的元件。如这里使用的，术语“和/或”包括一个或更多个相关所列项的任意组合和所有组合。
尽管在这里可以使用术语第一、第二等来描述各种元件、组件、区域、层和/或部分，但是这些元件、组件、区域、层和/或部分不应受这些术语限制。这些术语用于将一个元件、组件、区域、层和/或部分与另一元件、组件、区域、层和/或部分区分开。因此，在不脱离本公开的教导的情况下，以下讨论的第一元件、组件、区域、层和/或部分可以被命名为第二元件、组件、区域、层和/或部分。
出于描述性的目的，在这里可以使用诸如“在……之下”、“在……下方”、“下面的”、“在……上方”、“上面的”等的空间相对术语来描述图中所示出的一个元件或特征与另外的元件或特征的关系。除了在图中描绘的方位之外，空间相对术语还意图包含装置在使用、操作和/或制造中的不同方位。例如，如果图中的装置被翻转，则描述为“在”其它元件或特征“下方”或“之下”的元件随后将被定位为“在”所述其它元件或特征“上方”。因此，示例性术语“在……下方”可以包括上方和下方两种方位。另外，装置可以被另外定位(例如，旋转90度或在其它方位)，如此，相应地解释这里使用的空间相对描述语。
这里使用的术语是为了描述具体实施例的目的，而不是意图成为限制。如这里使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式“一个”、“一种(者)”和“该(所述)”也意图包括复数形式。另外，当术语“包含”和/或“包括”用在该说明书中时，说明存在陈述的特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组，但不排除存在或附加一个或更多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。
在这里参照作为理想的示例性实施例和/或中间结构的示意图的剖视图来描述各种示例性实施例。如此，预计出现例如由制造技术和/或公差引起的图示的形状的变化。因此，这里公开的示例性实施例不应被解释为限于具体示出的区域的形状，而是包括由例如制造导致的形状偏差。例如，示出为矩形的注入区域在其边缘处将通常具有圆形或弯曲的特征和/或注入浓度的梯度，而不是从注入区域到非注入区域的二元变化。同样地，通过注入形成的埋区会导致在埋区和通过其发生注入的表面之间的区域中的一些注入。因此，图中示出的区域实际上是示意性的，它们的形状不意图示出装置的区域的实际形状，也不意图成为限制。
除非另有定义，否则在这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本公开是其一部分的领域的普通技术人员所通常理解的含义相同的含义。除非在此明确这样定义，否则术语(诸如在通用字典中定义的术语)应被解释为具有与相关领域的上下文中它们的含义相一致的含义，将不会以理想化或过于形式化的含义来进行解释。
图1A、图1B和图1C是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置10的透视图。
参照图1A、图1B和图1C，柔性显示装置10可以包括柔性基底FB和导电图案CP。导电图案CP可以在第一方向DR1上设置在柔性基底FB上。如这里使用的，术语“柔性(的)”意味着基底可以被设计为可弯曲的，因此，柔性基底FB可以被完全折叠或被部分地弯曲。柔性基底FB可以包括但不限于塑性材料或有机聚合物，例如，聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚萘二甲酸乙二酯(PEN)、聚酰亚胺、聚醚砜等。考虑到机械强度、热稳定性、透明度、表面平整度、易处理性、防水性等，可以选择用于柔性基底FB的材料。柔性基底FB可以是透明的。如这里使用的，术语“导电图案”可包括由导电材料形成的图案，还可可选地包括由半导体材料形成的图案。
柔性显示装置10可以以第一模式或第二模式操作。柔性基底FB可以包括弯曲部BF和非弯曲部NBF。弯曲部BF可以在第一模式中相对于在第二方向DR2上延伸的弯曲轴BX弯曲，并在第二模式中伸展。弯曲部BF可以连接到非弯曲部NBF。在第一模式和第二模式中，非弯曲部NBF可以不弯曲。导电图案CP的至少一部分可以设置在弯曲部BF上。如这里使用的，术语“弯曲”意味着柔性基底FB可以由于外力而以特定形状弯曲。例如，弯曲部BF可以是刚性的或柔性的。弯曲部可以是这样的概念，其包含弯曲的、可折叠的、可伸展的、可卷曲的和柔性的部分中的所有部分。
参照图1A和图1C，柔性基底FB和导电图案CP的至少一部分可以在第一模式中弯曲。参照图1B，弯曲部BF可以在第二模式中伸展。
第一模式可以包括第一弯曲模式和第二弯曲模式。参照图1A，在第一弯曲模式中，柔性显示装置10可以相对于弯曲轴BX在一个方向上弯曲。即，在第一弯曲模式中，柔性显示装置10可以向内弯曲。在下文中，当柔性显示装置10可以相对于弯曲轴BX弯曲时，下面的状态可以被称作内弯曲：导电图案CP的在导电图案CP可以弯曲之后彼此面对的部分之间的距离可以短于柔性基底FB的在柔性基底FB可以弯曲之后彼此面对的部分之间的距离。在内弯曲状态下，弯曲部BF的表面具有第一曲率半径R1。第一曲率半径R1可以在等于或大于大约1mm且等于或小于大约10mm的范围内。
参照图1C，在第二弯曲模式中，柔性显示装置10可以相对于弯曲轴BX在与图1A中的所述一个方向相反的方向上弯曲。即，在第二弯曲模式中，柔性显示装置10可以向外弯曲。在下文中，当柔性显示装置10可以相对于弯曲轴BX弯曲时，下面的状态可以被称作外弯曲：柔性基底FB的在柔性基底FB可以弯曲之后彼此面对的部分之间的距离可以短于导电图案CP的在导电图案CP可以弯曲之后彼此面对的部分之间的距离。在外弯曲状态下，弯曲部BF的表面可以具有第二曲率半径R2。第二曲率半径R2可以与第一曲率半径R1相同或不同。第二曲率半径R2可以在等于或大于大约1mm且等于或小于大约10mm的范围内。
在图1A和图1C中，当柔性显示装置10可以相对于弯曲轴BX弯曲时，柔性基底FB的彼此面对的部分之间的距离可以是恒定的，但是它不应限于此或受此限制。即，柔性基底FB的彼此面对的部分之间的距离可以不是恒定的。另外，在图1A和图1C中，当柔性显示装置10可以相对于弯曲轴BX弯曲时，弯曲的柔性基底FB的部分中的一个部分的面积可以等于弯曲的柔性基底FB的部分中的另一部分的面积，但是它不应限于此或受此限制。即，弯曲的柔性基底FB的部分中的一个部分的面积可以与弯曲的柔性基底FB的部分中的另一部分的面积不同。
图2A、图2B和图2C是示出沿图1B的线I-I'截取的剖视图。
参照图1A、图1B、图1C和图2A，导电图案CP的至少一部分可以设置在弯曲部BF上。导电图案CP可以包括多个导电图案层。导电图案CP可以包括两个、三个、四个、五个或六个导电图案层，但是它不应限于此或受此限制。即，导电图案CP可以包括七个或更多个导电图案层。每个导电图案层可以包括多个晶粒。所述晶粒是通过规则地布置组分原子而获得的晶粒。
参照图1A、图1B、图1C和图2A，导电图案CP可以包括第一导电图案层CPL1和第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有等于或大于大约100埃且等于或小于大约1500埃的第一厚度t1。当第一导电图案层CPL1的第一厚度t1小于大约100埃时，即使不改变导电图案CP的厚度，导电图案层之间的界面的数量也增加，因此，导电图案层的电阻增大。因此，用于驱动柔性显示装置10的功耗增大。另外，制造和设置第一导电图案层CPL1的工艺的可靠性会劣化。当第一导电图案层CPL1的第一厚度t1超过大约1500埃时，可能难以保证第一导电图案层CPL1的柔性，因此，会在第一导电图案层CPL1中出现裂缝或断开，从而使可靠性劣化。
第一导电图案层CPL1可以包括均具有第一晶粒尺寸的第一晶粒GR1。在下文中，晶粒尺寸可以表示粒径的平均值或最大的粒径。第一导电图案层CPL1的第一晶粒GR1可以具有等于或大于大约100埃且等于或小于大约1000埃的第一晶粒尺寸。更详细地，第一晶粒GR1中的每个的第一晶粒尺寸可以等于或大于大约100埃且等于或小于大约1000埃，第一晶粒GR1的第一晶粒尺寸的平均值可以等于或大于大约100埃且等于或小于大约1000埃，第一晶粒尺寸的代表值可以等于或大于大约100埃且等于或小于大约1000埃。
当第一导电图案层CPL1的第一晶粒GR1的第一晶粒尺寸小于大约100埃时，第一导电图案层CPL1的电阻增大，因此，驱动柔性显示装置10所需要的功耗增大。当第一导电图案层CPL1的第一晶粒GR1的第一晶粒尺寸超过大约1000埃时，由于第一晶粒尺寸会太大，因此可能难以保证第一导电图案层CPL1的弯曲的柔性。因此，在第一导电图案层CPL1中出现裂缝或断开，并会劣化柔性显示装置10的可靠性。
第一导电图案层CPL1可以包括第一材料。第一材料可以包括金属、金属合金、金属氧化物和透明导电氧化物中的至少一种，但是它不应限于此或受此限制。第一材料还可以包括诸如Si的半导体材料。
金属可以包括但不限于Al、Cu、Ti、Mo、Ag、Mg、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir和Cr中的至少一种。
透明导电氧化物可以包括但不限于氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化锌(ZnO)、氧化铟锡锌(ITZO)中的至少一种。
在第一导电图案层CPL1中，在大约1.0平方微米(μm2)的单位面积内布置大约200个晶粒至大约1200个晶粒。术语“在大约1.0平方微米(μm2)的单位面积内”意味着可以在第一导电图案层CPL1的平面上的任意区域中限定所述单位面积。当在大约1.0平方微米(μm2)的单位面积中的第一晶粒GR1的数量少于大约200时，可能难以保证弯曲的柔性。因此，出现第一导电图案层CPL1的裂缝或断开，并会劣化柔性显示装置10的可靠性。另外，当大约1.0平方微米(μm2)的单位面积中的第一晶粒GR1的数量超过大约1200时，第一导电图案层CPL1的电阻增大，因此，驱动柔性显示装置10所需要的功耗增大。
第二导电图案层CPL2可以设置在第一导电图案层CPL1上。第二导电图案层CPL2可以具有等于或大于大约10埃且等于或小于大约100埃的第二厚度t2。第二厚度t2可以比第一厚度t1薄。当第二导电图案层CPL2的第二厚度t2小于大约10埃时，可能难以防止第一导电图案层CPL1的第一晶粒尺寸过度膨胀。另外，制造和设置第二导电图案层CPL2的工艺的可靠性会劣化。当第二导电图案层CPL2的第二厚度t2超过大约100埃时，可能难以保证第二导电图案层CPL2的柔性，因此，在第二导电图案层CPL2中出现裂缝或断开，从而使可靠性劣化。
第二导电图案层CPL2防止第一导电图案层CPL1的第一晶粒GR1连接到第二导电图案层CPL2的第二晶粒GR2。第二导电图案层CPL2可以控制第一导电图案层CPL1的第一晶粒尺寸。例如，第二导电图案层CPL2可以防止第一导电图案层CPL1的第一晶粒尺寸过度增大。
第二导电图案层CPL2可以包括均具有第二晶粒尺寸的第二晶粒GR2。第二导电图案层CPL2的第二晶粒GR2具有等于或大于大约100埃且等于或小于大约1000埃的第二晶粒尺寸。更详细地，第二导电图案层CPL2的第二晶粒GR2的第二晶粒尺寸的平均值可以小于第一导电图案层CPL1的第一晶粒GR1的第一晶粒尺寸的平均值。第二导电图案层CPL2可以包括第二材料。第二材料可以与第一材料不同。第二材料可以包括金属、金属合金、金属氧化物和透明导电氧化物中的至少一种，但是它不应限于此或受此限制。第二材料还可以包括诸如Si的半导体材料。
金属可以包括但不限于Al、Cu、Ti、Mo、Ag、Mg、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir和Cr中的至少一种。
透明导电氧化物可以包括但不限于氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化锌(ZnO)、氧化铟锡锌(ITZO)中的至少一种。
参照图1A、图1B、图1C和图2B，导电图案CP可以包括第一导电图案层CPL1、第二导电图案层CPL2和第三导电图案层CPL3。第二导电图案层CPL2可以设置在第一导电图案层CPL1上。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。
导电图案CP可以包括例如包括铝的第一导电图案层CPL1、设置在第一导电图案层CPL1上并包括钛的第二导电图案层CPL2和设置在第二导电图案层CPL2上并包括铝的第三导电图案层CPL3。在此情况下，第一导电图案层CPL1、第二导电图案层CPL2和第三导电图案层CPL3可以分别具有大约1500埃、大约50埃和大约1500埃的厚度。
导电图案CP可以包括例如包括铝的第一导电图案层CPL1、设置在第一导电图案层CPL1上并包括氧化铝的第二导电图案层CPL2和设置在第二导电图案层CPL2上并包括铝的第三导电图案层CPL3。
第三导电图案层CPL3可以具有等于或大于大约100埃且等于或小于大约1500埃的第三厚度t3。第三厚度t3可以比第二厚度t2厚。第三厚度t3可以与第一厚度t1相同或不同。当第三导电图案层CPL3的第三厚度t3小于大约100埃时，即使不改变导电图案CP的厚度，导电图案层之间的界面的数量也增加，因此，导电图案层的电阻增大。因此，驱动柔性显示装置10所消耗的电力增大。另外，制造和设置第三导电图案层CPL3的工艺的可靠性会劣化。当第三导电图案层CPL3的第三厚度t3超过大约1500埃时，可能难以保证第三导电图案层CPL3的柔性，因此，在第三导电图案层CPL3中出现裂缝或断开，从而使可靠性劣化。
第三导电图案层CPL3可以包括均具有第三晶粒尺寸的第三晶粒GR3。第三导电图案层CPL3的第三晶粒GR3具有等于或大于大约100埃且等于或小于大约1000埃的第三晶粒尺寸。更详细地，第三晶粒GR3中的每个的第三晶粒尺寸可以等于或大于大约100埃且等于或小于大约1000埃，第三晶粒GR3的第三晶粒尺寸的平均值可以等于或大于大约100埃且等于或小于大约1000埃，第三晶粒尺寸的代表值可以等于或大于大约100埃且等于或小于大约1000埃。第三导电图案层CPL3的第三晶粒GR3的第三晶粒尺寸的平均值可以大于第二导电图案层CPL2的第二晶粒GR2的第二晶粒尺寸的平均值。
当第三导电图案层CPL3的第三晶粒尺寸会小于大约100埃时，第三导电图案层CPL3的电阻增大，因此，驱动柔性显示装置10所需要的功耗增大。当第三导电图案层CPL3的第三晶粒尺寸超过大约1000埃时，由于第三晶粒尺寸会太大，因此可能难以保证第三导电图案层CPL3的弯曲的柔性。因此，在第三导电图案层CPL3中出现裂缝或断开，柔性显示装置10的可靠性会劣化。
第三导电图案层CPL3可以包括第三材料。第三材料可以与第二材料不同。第三材料可以与第一材料相同或不同。第三材料可以包括金属、金属合金、金属氧化物和透明导电氧化物中的至少一种，但是它不应限于此或受此限制。第三材料还可以包括诸如Si的半导体材料。
金属可以包括但不限于Al、Cu、Ti、Mo、Ag、Mg、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir和Cr中的至少一种。
透明导电氧化物可以包括但不限于氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化锌(ZnO)、氧化铟锡锌(ITZO)中的至少一种。
在第三导电图案层CPL3中，在大约1.0平方微米(μm2)的单位面积内布置大约200个晶粒至大约1200个晶粒。术语“在大约1.0平方微米(μm2)的单位面积内”意味着可以在第三导电图案层CPL3的平面上的任意区域中限定所述单位面积。当大约1.0平方微米(μm2)的单位面积中的第三晶粒GR3的数量少于大约200时，可能难以保证能够弯曲的柔性。因此，会出现第三导电图案层CPL3的裂缝或断开，柔性显示装置10的可靠性会劣化。另外，当大约1.0平方微米(μm2)的单位面积中的第三晶粒GR3的数量超过大约1200时，第三导电图案层CPL3的电阻会增大，因此，驱动柔性显示装置10所需要的功耗会增大。
参照图2C，导电图案CP可以包括五个堆叠图案，堆叠图案中的每个可以包括第一导电图案层CPL1、设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2和设置在第二导电图案层CPL2上的第三导电图案层CPL3。例如，导电图案CP可以包括包含铝的第一导电图案层CPL1、设置在第一导电图案层CPL1上并包括钛的第二导电图案层CPL2和设置在第二导电图案层CPL2上并包括铝的第三导电图案层CPL3。
通常，当导电图案CP的晶粒尺寸减小时，导电图案CP的电阻增大。因此，用来驱动柔性显示装置10的功耗会增大，然而，可以保证导电图案CP的柔性，柔性显示装置10可以具有改善的柔性。相反，当导电图案CP的晶粒尺寸增大时，导电图案CP的电阻减小。然而，可能难以保证柔性显示装置10的弯曲的柔性，因此，出现裂缝或断开。
根据本示例性实施例的柔性显示装置10的导电图案CP可以包括具有第一厚度t1并包括第一材料的第一导电图案层CPL1，以及具有比第一厚度t1小的第二厚度t2并包括与第一材料不同的第二材料的第二导电图案层CPL2。第二导电图案层CPL2可以防止第一导电图案层CPL1的第一晶粒尺寸过度增大。因此，当与导电图案被构造为仅包括一层的结构相比时，根据本示例性实施例的柔性显示装置10中包括的导电图案CP可以具有足以保证合适的驱动特性的电阻和改善的柔性。
图3A是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置10的透视图。图3B和图3C是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的布线的剖视图。图3D和图3E是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的电极的剖视图。
参照图1A、图1B、图1C、图3A、图3B、图3C、图3D和图3E，柔性显示装置10可以包括柔性基底FB、布线WI和电极EL。布线WI和电极EL中的至少一个可以是导电图案CP。布线WI和电极EL可以包括在触摸感测单元TSU(见图5A)和柔性显示面板DP(见图5A)中。
布线WI可以设置在柔性基底FB上。布线WI的至少一部分可以设置在弯曲部BF上。例如，布线WI可以设置在弯曲部BF上，而不设置在非弯曲部NBF上，但是它不应限于此或受此限制。即，布线WI可以设置在弯曲部BF和非弯曲部NBF上。
参照图1A、图1B、图1C、图3A、图3B和图3C，布线WI可以包括多个布线层。布线WI可以包括两个、三个、四个、五个或六个布线层，但是它不应限于此或受此限制。即，布线WI可以包括七个或更多个布线层。布线WI可以包括第一布线层WIL1和第二布线层WIL2。第一布线层WIL1可以包括均具有第一晶粒尺寸的第一晶粒。第一布线层WIL1可以包括第一材料。第二布线层WIL2可以设置在第一布线层WIL1上。第二布线层WIL2可以包括均具有第二晶粒尺寸的第二晶粒。第二布线层WIL2可以包括第二材料。第二材料可以与第一材料不同。第二布线层WIL2可以具有比第一布线层WIL1的厚度小的厚度。
布线WI还可以包括第三布线层WIL3。第三布线层WIL3可以包括均具有第三晶粒尺寸的第三晶粒。第三布线层WIL3可以包括第三材料。第三材料可以与第二材料不同。第三材料可以与第一材料相同或不同。第三布线层WIL3可以具有比第二布线层WIL2的厚度大的厚度。
参照图1A、图1B、图1C、图3A、图3D和图3E，电极EL可以设置在柔性基底FB上。电极EL的至少一部分可以设置在弯曲部BF上。例如，电极EL可以设置在弯曲部BF上，而不设置在非弯曲部NBF上，但是它不应限于此或受此限制。即，电极EL可以设置在弯曲部BF和非弯曲部NBF上。
电极EL可以电连接到布线WI。电极EL可以与布线WI隔开，但是它不应限于此或受此限制。例如，电极EL可以一体地连接到布线WI。
电极EL和布线WI可以设置在同一层上，但是它不应限于此或受此限制。电极EL和布线WI可以设置在彼此不同的层上。尽管图中未示出，但是中间层可以置于布线WI与电极EL之间。
电极EL可以包括多个电极层。电极EL可以包括两个、三个、四个、五个或六个电极层。电极EL可以包括第一电极层ELL1和第二电极层ELL2。第一电极层ELL1可以包括均具有第一晶粒尺寸的第一晶粒。第一电极层ELL1可以包括第一材料。第二电极层ELL2可以设置在第一电极层ELL1上。第二电极层ELL2可以包括均具有第二晶粒尺寸的第二晶粒。第二电极层ELL2可以包括第二材料。第二材料可以与第一材料不同。第二电极层ELL2可以具有比第一电极层ELL1的厚度小的厚度。
电极EL还可以包括第三电极层ELL3。第三电极层ELL3可以包括均具有第三晶粒尺寸的第三晶粒。第三电极层ELL3可以包括第三材料。第三材料可以与第二材料不同。第三材料可以与第一材料相同或不同。第三电极层ELL3可以具有比第二电极层ELL2的厚度大的厚度。
图4A是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置的透视图。图4B是沿图4A的线II-II'截取的剖视图。图4C和图4D是根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的第一布线的剖视图。图4E和图4F是根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的第二布线的剖视图。
参照图4A、图4B、图4C、图4D、图4E和图4F，布线WI可以包括第一布线WI1和第二布线WI2。绝缘层IL可以设置在第一布线WI1与第二布线WI2之间。第一布线WI1可以设置在柔性基底FB与绝缘层IL之间，第二布线WI2可以设置在绝缘层IL上。绝缘层IL可以包括有机绝缘材料或无机绝缘材料，但是它不应限于此或受此限制。
参照图4A、图4B、图4C和图4D，第一布线WI1可以包括多个子布线层。第一布线WI1可以包括两个、三个、四个、五个或六个子布线层，但是它不应限于此或受此限制。即，第一布线WI1可以包括七个或更多个子布线层。参照图4E和图4F，第二布线WI2可以包括多个子布线层。第二布线WI2可以包括两个、三个、四个、五个或六个子布线层，但是它不应限于此或受此限制。即，第二布线WI2可以包括七个或更多个子布线层。
第一布线WI1可以包括第一子布线层WIL11和第二子布线层WIL12。第一子布线层WIL11可以包括均具有第一晶粒尺寸的第一晶粒。第一子布线层WIL11可以包括第一材料。第二子布线层WIL12可以设置在第一子布线层WIL11上。第二子布线层WIL12可以包括均具有第二晶粒尺寸的第二晶粒。第二子布线层WIL12可以包括第二材料。第二材料可以与第一材料不同。第二子布线层WIL12可以具有比第一子布线层WIL11的厚度小的厚度。
第一布线WI1还可以包括第三子布线层WIL13。第三子布线层WIL13可以包括均具有第三晶粒尺寸的第三晶粒。第三子布线层WIL13可以包括第三材料。第三材料可以与第二材料不同。第三材料可以与第一材料相同或不同。第三子布线层WIL13可以具有比第二子布线层WIL12的厚度大的厚度。
参照图4A、图4E和图4F，第二布线WI2可以包括第四子布线层WIL21和第五子布线层WIL22。第四子布线层WIL21可以包括均具有第一晶粒尺寸的第一晶粒。第四子布线层WIL21可以包括第一材料。第五子布线层WIL22可以设置在第四子布线层WIL21上。第五子布线层WIL22可以包括均具有第二晶粒尺寸的第二晶粒。第五子布线层WIL22可以包括第二材料。第二材料可以与第一材料不同。第五子布线层WIL22可以具有比第四子布线层WIL21的厚度小的厚度。
第二布线WI2还可以包括第六子布线层WIL23。第六子布线层WIL23可以包括均具有第三晶粒尺寸的第三晶粒。第六子布线层WIL23可以包括第三材料。第三材料可以与第二材料不同。第三材料可以与第一材料相同或不同。第六子布线层WIL23可以具有比第五子布线层WIL22的厚度大的厚度。
图5A、图5B和图5C是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置的透视图。
参照图5A、图5B和图5C，柔性显示装置10可以以第一模式或第二模式操作。柔性显示装置10可以包括触摸感测单元TSU和柔性显示面板DP。触摸感测单元TSU可以在第一方向DR1上设置在柔性显示面板DP上。
触摸感测单元TSU可以包括触摸弯曲部BF2和触摸非弯曲部NBF2。触摸弯曲部BF2可以在第一模式中相对于在第二方向DR2上延伸的弯曲轴BX1弯曲，并可以在第二模式中伸展。触摸弯曲部BF2可以连接到触摸非弯曲部NBF2。在第一模式和第二模式中，触摸非弯曲部NBF2可以不弯曲。
柔性显示面板DP可以包括面板弯曲部BF1和面板非弯曲部NBF1。面板弯曲部BF1可以在第一模式中相对于在第二方向DR2上延伸的弯曲轴BX1弯曲，并可以在第二模式中伸展。面板弯曲部BF1可以连接到面板非弯曲部NBF1。在第一模式和第二模式中，面板非弯曲部NBF1可以不弯曲。
参照图5A、图5B和图5C，触摸感测单元TSU和柔性显示面板DP的至少一部分可以在第一模式中弯曲。参照图5B，触摸感测单元TSU的触摸弯曲部BF2和柔性显示面板DP的面板弯曲部BF1在第二模式中伸展。
第一模式可以包括第一弯曲模式和第二弯曲模式。参照图5A，在第一弯曲模式中，柔性显示装置10可以相对于弯曲轴BX1在一个方向上弯曲。在第一弯曲模式中，柔性显示装置10可以向内弯曲。当柔性显示装置10处于内弯曲状态时，弯曲触摸感测单元TSU之后的触摸感测单元TSU的彼此面对的部分之间的距离可以短于可弯曲柔性显示面板DP之后的柔性显示面板DP的彼此面对的部分之间的距离。在内弯曲状态下，触摸感测单元TSU的触摸弯曲部BF2的表面可以具有第三曲率半径R3。第三曲率半径R3可以等于或大于大约1mm且等于或小于大约10mm。
参照图5C，在第二弯曲模式中，柔性显示装置10可以相对于弯曲轴BX1在与图5A的所述一个方向相反的方向上弯曲。在第二弯曲模式中，柔性显示装置10可以向外弯曲。当柔性显示装置10处于外弯曲状态时，弯曲柔性显示面板DP之后的柔性显示面板DP的彼此面对的部分之间的距离可以短于弯曲触摸感测单元TSU之后的触摸感测单元TSU的彼此面对的部分之间的距离。在外弯曲状态下，柔性显示面板DP的面板弯曲部BF1的表面可以具有第四曲率半径R4。第四曲率半径R4可以等于或大于大约1mm且等于或小于大约10mm。
参照图1A、图1B、图1C、图2A、图2B、图5A、图5B和图5C，柔性显示面板DP和触摸感测单元TSU的至少一个可以包括导电图案CP。导电图案CP可以包括在面板弯曲部BF1和触摸弯曲部BF2的至少一个中。
导电图案CP可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。
导电图案CP还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
图6A是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的像素之中的一个像素的电路图。图6B是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的像素之中的一个像素的平面图。图6C是沿图6B的线III-III'截取的剖视图。
在下文中，将描述有机发光显示面板作为柔性显示面板DP，但是柔性显示面板DP不应限于有机发光显示面板。即，柔性显示面板DP可以是液晶显示面板、等离子体显示面板、电泳显示面板、微机电系统显示面板或电浸润显示面板。
参照图1A、图1B、图1C、图2A、图2B、图5A、图5B、图5C、图6A和图6B，柔性显示面板DP可以包括柔性基底FB和设置在柔性基底FB上的导电图案CP。导电图案CP的至少一部分可以包括在面板弯曲部BF1中。导电图案CP可以包括在面板弯曲部BF1中，并可以不包括在面板非弯曲部NBF1中。导电图案CP可以包括在面板弯曲部BF1和面板非弯曲部NBF1的每个中。
导电图案CP可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。
导电图案CP还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
以下描述的栅极线GL、数据线DL、驱动电压线DVL、开关薄膜晶体管TFT1、驱动薄膜晶体管TFT2、电容器Cst、第一半导体图案SM1、第二半导体图案SM2、第一电极EL1和第二电极EL2中的至少一个可以是导电图案CP。驱动薄膜晶体管TFT2可以包括第二栅电极GE2、第二源电极SE2和第二漏电极DE2。电容器Cst可以包括第一共电极CE1和第二共电极CE2。
参照图1A至图1C、图2A、图2B、图6A和图6B，每个像素PX可以连接到线部，包括栅极线GL、数据线DL和驱动电压线DVL。每个像素PX可以包括连接到线部的薄膜晶体管TFT1和TFT2、连接到薄膜晶体管TFT1和TFT2的有机发光元件OEL，以及电容器Cst。
在本示例性实施例中，一个像素可以连接到一条栅极线、一条数据线和一条驱动电压线，但是它不应限于此或受此限制。即，多个像素可以连接到一条栅极线、一条数据线和一条驱动电压线。另外，一个像素可以连接到至少一条栅极线、至少一条数据线和至少一条驱动电压线。
栅极线GL在第三方向DR3上延伸。数据线DL在第四方向DR4上延伸以与栅极线GL交叉。驱动电压线DVL在与数据线DL相同的方向(即，第四方向DR4)上延伸。栅极线GL将扫描信号施加到薄膜晶体管TFT1和TFT2，数据线DL将数据信号施加到薄膜晶体管TFT1和TFT2，驱动电压线DVL将驱动电压施加到薄膜晶体管TFT1和TFT2。
栅极线GL、数据线DL和驱动电压线DVL中的至少一个可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。
栅极线GL、数据线DL和驱动电压线DVL中的至少一个还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
每个像素PX可以发射具有特定颜色的光，例如，红光、绿光或蓝光，但是光的颜色不应限于此或受此限制。例如，每个像素可以发射白色光、青色光、品红色光或黄色光。
薄膜晶体管TFT1和TFT2可以包括控制有机发光元件OEL的驱动薄膜晶体管TFT2和对驱动薄膜晶体管TFT2进行开关的开关薄膜晶体管TFT1。在本示例性实施例中，每个像素PX可以包括两个薄膜晶体管TFT1和TFT2，但是包括在每个像素PX中的晶体管的数量不应限制为两个。即，每个像素PX可以包括一个薄膜晶体管和一个电容器，或者可以包括三个或更多个薄膜晶体管和两个或更多个电容器。
开关薄膜晶体管TFT1、驱动薄膜晶体管TFT2和电容器Cst中的至少一个可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。
开关薄膜晶体管TFT1、驱动薄膜晶体管TFT2和电容器Cst中的至少一个还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
开关薄膜晶体管TFT1可以包括第一栅电极GE1、第一源电极SE1和第一漏电极DE1。第一栅电极GE1可以连接到栅极线GL，第一源电极SE1可以连接到数据线DL。第一漏电极DE1可以通过第五接触孔CH5连接到第一共电极CE1。开关薄膜晶体管TFT1响应于通过栅极线GL提供的扫描信号而将通过数据线DL提供的数据信号施加到驱动薄膜晶体管TFT2。
第一栅电极GE1、第一源电极SE1和第一漏电极DE1中的至少一个可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。
第一栅电极GE1、第一源电极SE1和第一漏电极DE1中的至少一个还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
驱动薄膜晶体管TFT2可以包括第二栅电极GE2、第二源电极SE2和第二漏电极DE2。第二栅电极GE2可以连接到第一共电极CE1。第二源电极SE2可以连接到驱动电压线DVL。第二漏电极DE2可以通过第三接触孔CH3连接到第一电极EL1。
第二栅电极GE2、第二源电极SE2和第二漏电极DE2中的至少一个可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。
第二栅电极GE2、第二源电极SE2和第二漏电极DE2中的至少一个还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
第一电极EL1可以连接到驱动薄膜晶体管TFT2的第二漏电极DE2。第二电极可以施加有共电压，发光层EML响应于来自驱动薄膜晶体管TFT2的输出信号而发射蓝光，以显示图像。将在后面详细地描述第一电极EL1和第二电极EL2。
电容器Cst可以连接在驱动薄膜晶体管TFT2的第二栅电极GE2与第二源电极SE2之间，并可以充有施加到驱动薄膜晶体管TFT2的第二栅电极GE2的数据信号。电容器Cst可以包括通过第六接触孔CH6连接到第一漏电极DE1的第一共电极CE1和连接到驱动电压线DVL的第二共电极CE2。
第一共电极CE1和第二共电极CE2中的至少一个可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。
第一共电极CE1和第二共电极CE2中的至少一个还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
参照图6A、图6B和图6C，第一柔性基底FB1可以包括但不限于塑性材料或有机聚合物，例如，聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚萘二甲酸乙二酯(PEN)、聚酰亚胺、聚醚砜等。考虑到机械强度、热稳定性、透明度、表面平整度、易处理性、防水性等，可以选择用于第一柔性基底FB1的材料。第一柔性基底FB1可以是透明的。
基底缓冲层(未示出)可以设置在第一柔性基底FB1上。基底缓冲层可以防止杂质扩散到开关薄膜晶体管TFT1和驱动薄膜晶体管TFT2中。基底缓冲层可以由氮化硅(SiNx)、氧化硅(SiOx)或氮氧化硅(SiOxNy)形成，根据第一柔性基底FB1的材料和工艺条件可省略基底缓冲层。
第一半导体图案SM1和第二半导体图案SM2可以设置在第一柔性基底FB1上。第一半导体图案SM1和第二半导体图案SM2可以由半导体材料形成，并分别用作开关薄膜晶体管TFT1和驱动薄膜晶体管TFT2的有源层。第一半导体图案SM1和第二半导体图案SM2中的每个可以包括源极部SA、漏极部DA和设置在源极部SA与漏极部DA之间的沟道部CA。第一半导体图案SM1和第二半导体图案SM2中的每个可以由无机半导体或有机半导体形成。源极部SA和漏极部DA掺杂有n型杂质或p型杂质。
第一半导体图案SM1和第二半导体图案SM2中的至少一个可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。
第一半导体图案SM1和第二半导体图案SM2中的至少一个还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
栅极绝缘层GI可以设置在第一半导体图案SM1和第二半导体图案SM2上。栅极绝缘层GI可以覆盖第一半导体图案SM1和第二半导体图案SM2。栅极绝缘层GI可以包括有机绝缘材料或无机绝缘材料。
第一栅电极GE1和第二栅电极GE2可以设置在栅极绝缘层GI上。第一栅电极GE1和第二栅电极GE2可以设置为分别覆盖与第一半导体图案SM1和第二半导体图案SM2的沟道部CA对应的部分。
第一绝缘层IL1可以设置在第一栅电极GE1和第二栅电极GE2上。第一绝缘层IL1可以覆盖第一栅电极GE1和第二栅电极GE2。第一绝缘层IL1可以包括有机绝缘材料或无机绝缘材料。
第一源电极SE1、第一漏电极DE1、第二源电极SE2和第二漏电极DE2可以设置在第一绝缘层IL1上。第二漏电极DE2可以通过穿过栅极绝缘层GI和第一绝缘层IL1形成的第一接触孔CH1与第二半导体图案SM2的漏极部DA接触，第二源电极SE2通过穿过栅极绝缘层GI和第一绝缘层IL1形成的第二接触孔CH2与第二半导体图案SM2的源极部SA接触。第一源电极SE1可以通过穿过栅极绝缘层GI和第一绝缘层IL1形成的第四接触孔CH4与第一半导体图案SM1的源极部(未示出)接触，第一漏电极DE1通过穿过栅极绝缘层GI和第一绝缘层IL1形成的第五接触孔CH5与第一半导体图案SM1的漏极部(未示出)接触。
钝化层PL可以设置在第一源电极SE1、第一漏电极DE1、第二源电极SE2和第二漏电极DE2上。钝化层PL用作保护层以保护开关薄膜晶体管TFT1和驱动薄膜晶体管TFT2，或者用作平坦化层以使开关薄膜晶体管TFT1和驱动薄膜晶体管TFT2的上表面平坦化。
第一电极EL1可以设置在钝化层PL上。第一电极EL1可以是正电极。第一电极EL1可以通过穿过钝化层PL形成的第三接触孔CH3连接到驱动薄膜晶体管TFT2的第二漏电极DE2。
像素限定层PDL可以设置在钝化层PL上，以对应于每个像素PX划分发光层EML。像素限定层PDL可以暴露第一电极EL1的上表面，并可以从第一柔性基底FB1突出。像素限定层PDL可以包括但不限于金属氟化物离子化合物，例如，LiF、BaF2或CsF。当金属氟化物离子化合物具有预定的厚度时，金属氟化物离子化合物可以具有绝缘性质。像素限定层PDL可以具有等于或大于大约10nm且等于或小于大约100nm的厚度。后面将详细地描述像素限定层PDL。
有机发光元件OEL可以设置在被像素限定层PDL围绕的区域中。有机发光元件OEL可以包括第一电极EL1、空穴传输区域HTR、发光层EML、电子传输区域ETR和第二电极EL2。
第一电极EL1可以具有导电性。第一电极EL1可以是像素电极或正电极。第一电极EL1可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。第一电极EL1还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
第一电极EL1可以是透射电极、透反射电极或反射电极。当第一电极EL1可以是透射电极时，第一电极EL1可以包括透明金属氧化物，例如，氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化锌(ZnO)、氧化铟锡锌(ITZO)等。当第一电极EL1可以是透反射电极或反射电极时，第一电极EL1可以包括Al、Cu、Ti、Mo、Ag、Mg、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir和Cr中的至少一种。
有机层可以设置在第一电极EL1上。有机层可以包括发光层EML。有机层还可以包括空穴传输区域HTR和电子传输区域ETR。
空穴传输区域HTR可以设置在第一电极EL1上。空穴传输区域HTR可以包括空穴注入层、空穴传输层、缓冲层和电子阻挡层中的至少一个。
空穴传输区域HTR可以具有单种材料的单层结构、不同材料的单层结构或不同材料的多个层的多层结构。
例如，空穴传输区域HTR可以具有由彼此不同的材料形成的单层彼此堆叠的结构，或者空穴注入层/空穴传输层、空穴注入层/空穴传输层/缓冲层、空穴注入层/缓冲层、空穴传输层/缓冲层或空穴注入层/空穴传输层/电子阻挡层的结构。
可以使用各种方法(例如，真空沉积法、旋涂法、浇铸法、朗格缪尔-布洛杰特法、喷墨印刷法、激光印刷法和激光诱导热成像(LITI)法等)来形成空穴传输区域HTR。
当空穴传输区域HTR可以包括空穴注入层时，空穴传输区域HTR可以包括但不限于诸如铜酞菁的酞菁化合物、DNTPD(N,N'-二苯基-N,N'-双-[4-(苯基-间甲苯基-氨基)-苯基]-联苯-4,4'-二胺)、m-MTDATA(4,4',4"-三(3-甲基苯基苯基氨基)三苯胺)、TDATA(4,4',4"-三(N,N-二苯基氨基)三苯胺)、2TNATA(4,4',4"-三{N-(2-萘基)-N-苯基氨基}三苯胺)、PEDOT/PSS(聚(3,4-乙撑二氧噻吩)/聚(4-苯乙烯磺酸盐))、PANI/DBSA(聚苯胺/十二烷基苯磺酸)、PANI/CSA(聚苯胺/樟脑磺酸)、PANI/PSS(聚苯胺/聚(4-苯乙烯磺酸盐))等。
当空穴传输区域HTR可以包括空穴传输层时，空穴传输区域HTR可以包括但不限于咔唑类衍生物(例如，N-苯基咔唑、聚乙烯基咔唑等)、氟类衍生物、三苯胺类衍生物(例如，TPD(N,N'-双(3-甲基苯基)-N,N'-二苯基-[1,1-联苯]-4,4'-二胺)、TCTA(4,4',4"-三(N-咔唑基)三苯胺)等)、NPB(N,N'-二(1-萘基)-N,N'-二苯基联苯胺)、TAPC(4,4'-亚环己基-双[N,N-双(4-甲基苯基)苯胺])等。
空穴传输区域HTR还可以包括电荷生成材料。电荷生成材料可以均匀地或非均匀地分布在空穴传输区域HTR中。电荷生成材料可以是但不限于p掺杂剂。p掺杂剂可以是醌衍生物、金属氧化物材料和包含氰基的化合物中的一种，但是它不应限于此或受此限制。例如，p掺杂剂可以包括醌衍生物(诸如TCNQ(四氰基醌二甲烷)、F4-TCNQ(2,3,5,6-四氟-四氰基醌二甲烷)等)或者金属氧化物材料(诸如氧化钨材料、氧化钼材料等)，但是它不应限于此或受此限制。
发光层EML可以设置在空穴传输区域HTR上。发光层EML可以包括具有红色、绿色和蓝色的发光材料，并可以包括荧光材料或磷光材料。另外，发光层EML可以包括主体和掺杂剂。
作为主体，例如，可以使用Alq3(三(8-羟基喹啉)铝)、CBP(4,4'-双(N-咔唑基)-1,1'-联苯)、PVK(聚(N-乙烯基咔唑))、ADN(9,10-二(萘-2-基)蒽)、TCTA(4,4',4”-三(咔唑-9-基)-三苯胺)、TPBi(1,3,5-三(N-苯基苯并咪唑-2-基)苯)、TBADN(3-叔丁基-9,10-二(萘-2-基)蒽)、DSA(二苯乙烯基亚芳基化合物)、CDBP(4,4'-双(9-咔唑基)-2,2'-二甲基-联苯)、MADN(2-甲基-9,10-双(萘-2-基)蒽)，然而，它不应限于此或受此限制。
当发光层EML发射具有红颜色的光时，例如，发光层EML可以包括荧光材料，其包括PBD:Eu(DBM)3(Phen)(三(二苯甲酰甲烷)菲咯啉铕)或苝。当发光层EML发射具有红颜色的光时，包括在发光层EML中的掺杂剂可以选自于金属配合物(诸如PIQIr(acac)(双(1-苯基异喹啉)乙酰丙酮合铱)、PQIr(acac)(双(1-苯基喹啉)乙酰丙酮合铱)、PQIr(三(1-苯基喹啉)合铱)、PtOEP(八乙基卟啉铂)等)或有机金属配合物。
当发光层EML发射具有绿颜色的光时，例如，发光层EML可以包括荧光材料，其包括Alq3(三(8-羟基喹啉)铝)。当发光层EML发射具有绿颜色的光时，包括在发光层EML中的掺杂剂可以选自于诸如Ir(ppy)3(面式-三(2-苯基吡啶)合铱)的金属配合物或有机金属配合物。
当发光层EML发射具有蓝颜色的光时，例如，发光层EML可以包括荧光材料，荧光材料包括从由螺DPVBi、螺6P、DSB(二苯乙烯基苯)、DSA(二苯乙烯基亚芳基化合物)、PFO(聚芴)类聚合物和PPV(聚对亚苯基亚乙烯基)类聚合物组成的组中选择的任何一种。当发光层EML发射具有蓝颜色的光时，包括在发光层EML中的掺杂剂可以选自于诸如(4,6-F2ppy)2Irpic的金属配合物或有机金属配合物。随后将详细地描述发光层EML。
电子传输区域ETR可以设置在发光层EML上。电子传输区域ETR可以包括空穴阻挡层、电子传输层和电子注入层中的至少一个，但是它不应限于此或受此限制。
当电子传输区域ETR可以包括电子传输层时，电子传输区域ETR可以包括Alq3(三(8-羟基喹啉)铝)、TPBi(1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并[d]咪唑-2-基)苯)、BCP(2,9-二甲基-4,7-二苯基-1,10-菲咯啉)、Bphen(4,7-二苯基-1,10-菲咯啉)、TAZ(3-(4-联苯基)-4-苯基-5-叔丁基苯基-1,2,4-三唑)、NTAZ(4-(萘-1-基)-3,5-二苯基-4H-1,2,4-三唑)、tBu-PBD(2-(4-联苯基)-5-(4-叔丁基苯基)-1,3,4-噁二唑)、BAlq(双(2-甲基-8-羟基喹啉-N1,O8)-(1,1'-联苯-4-羟基)铝)、Bebq2(双(苯并喹啉-10-羟基)铍)、ADN(9,10-二(萘-2-基)蒽)或它们的混合物。电子传输层可以具有等于或大于大约100埃且等于或小于大约1000埃的厚度，更优选地，等于或大于大约150埃且等于或小于大约500埃的厚度。当电子传输层的厚度在上面提及的范围中时，可以保证令人满意的电子传输性质而不增大驱动电压。
当电子传输区域ETR可以包括电子注入层时，电子传输区域ETR可以包括LiF、LiQ(羟基喹啉锂)、Li2O、BaO、NaCl、CsF、例如Yb等的镧系金属或金属卤化物(例如，RbCl、RbI等)，但是它不应限于此或受此限制。电子传输层可以包括电子传输材料和具有绝缘性质的有机金属盐的混合物。有机金属盐可以具有大约4eV或更大的能带隙。详细地，有机金属盐可以包括金属乙酸盐、金属苯甲酸盐、金属乙酰乙酸盐、金属乙酰丙酮盐或金属硬脂酸盐。电子注入层可以具有大约1埃至大约100埃的厚度，但是更优选地，大约3埃至大约90埃的厚度。当电子注入层的厚度在上面提及的范围中时，可以保证令人满意的电子注入性质而不增大驱动电压。
如上面所描述的，电子传输区域ETR可以包括空穴阻挡层。空穴阻挡层包括BCP(2,9-二甲基-4,7-二苯基-1,10-菲咯啉)和Bphen(4,7-二苯基-1,10-菲咯啉)中的至少一种，但是它不应限于此或受此限制。
第二电极EL2可以设置在电子传输区域ETR上。第二电极EL2可以是共电极或负电极。第二电极EL2可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。第二电极EL2还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
第二电极EL2可以是透射电极、透反射电极或反射电极。当第二电极EL2可以是透射电极时，第二电极EL2可以包括Li、Ca、LiF/Ca、LiF/Al、Al、Mg、BaF2、Ba、Ag、它们的化合物或它们的混合物，例如，Ag和Mg的混合物。
第二电极EL2可以包括辅助电极。辅助电极可以包括通过沉积材料以面对发光层EML而获得的层，诸如氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化锌(ZnO)、氧化铟锡锌(ITZO)的透明金属氧化物可以设置在该层上。
当第二电极EL2可以是透反射电极或反射电极时，第二电极EL2可以包括Ag、Mg、Cu、Al、Pt、Au、Ni、Nd、Ir、Cr、Li、Ca、LiF/Ca、LiF/Al、Mo、Ti、它们的化合物或它们的混合物，例如，Ag和Mg的混合物。另外，第二电极EL2可以具有由上面提及的材料形成的反射层或透反射层和由氧化铟锡、氧化铟锌、氧化锌或氧化铟锡锌形成的透明导电层的多层结构。
当有机发光元件OEL可以是前表面发光型时，第一电极EL1可以是反射电极，第二电极EL2可以是透射电极或透反射电极。当有机发光元件OEL是后表面发光型时，第一电极EL1可以是透射电极或透反射电极，第二电极EL2可以是反射电极。
当将电压分别施加到有机发光元件OEL中的第一电极EL1和第二电极EL2时，从第一电极EL1注入的空穴可以经过空穴传输区域HTR向发光层EML移动，从第二电极EL2注入的电子可以经过电子传输区域ETR向发光层EML移动。空穴和电子可以在发光层EML中复合以产生激子，有机发光元件OEL可以通过激子从激发态回到基态而发射光。
密封层SL可以设置在第二电极EL2上。密封层SL覆盖第二电极EL2。密封层SL可以包括有机层和无机层中的至少一个。密封层SL可以是薄密封层。密封层SL保护有机发光元件OEL。
图7A是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置的剖视图。图7B是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的触摸感测单元的平面图。
图8A是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置的剖视图。图8B是示出根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置中包括的触摸感测单元的平面图。
参照图7A、图7B、图8A和图8B，触摸感测单元TSU可以设置在柔性显示面板DP上。触摸感测单元TSU可以设置在密封层SL上。触摸感测单元TSU可以识别用户的直接触摸、用户的间接触摸、物体的直接触摸或物体的间接触摸。这里使用的术语“间接触摸”意味着：由于用户或物体与触摸感测单元TSU间隔有触摸感测单元TSU识别用户或物体的触摸的距离，因此，虽然用户或物体不触摸触摸感测单元TSU，但触摸感测单元TSU也识别触摸。
当发生直接触摸或间接触摸时，包括在感测电极TE中的第一感测电极Tx与第二感测电极Rx之间出现静电电容的变化。第一感测电极Tx与第二感测电极Rx可以以网格形状布置。施加到第一感测电极Tx的感测信号会由于静电电容的变化而被延迟，然后施加到第二感测电极Rx。触摸感测单元TSU由感测信号的延迟值而产生触摸坐标。
在根据本示例性实施例的柔性显示装置10中，触摸感测单元TSU可以以静电电容模式操作，但是它不应限于此或受此限制。即，触摸感测单元TSU可以以电阻膜模式、自电容模式或互电容模式操作。
参照图1A、图1B、图1C、图2A、图2B、图5A、图5B、图5C、图7A、图7B、图8A和图8B，导电图案CP的至少一部分可以包括在触摸弯曲部BF2中。导电图案CP可以包括在触摸弯曲部BF2中，而不包括在触摸非弯曲部NBF2中。导电图案CP可以包括在触摸弯曲部BF2和触摸非弯曲部NBF2的每个中。导电图案CP可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。导电图案CP还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
随后将详细地描述的感测电极TE、第一连接线TL1、第二连接线TL2、第一扇出线PO1、第二扇出线PO2、第一桥(bridge)BD1和第二桥BD2中的至少一个可以是导电图案CP。
感测电极TE可以设置在密封层SL上。尽管图中未示出，但是额外的柔性基底可以设置在感测电极TE与密封层SL之间。感测电极TE可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。感测电极TE还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
绝缘层IL2可以设置在第一感测电极Tx上。绝缘层IL2可以包括例如氮化硅，但是根据实施例，绝缘层IL2可以包括有机材料。第二感测电极Rx可以设置在第一感测电极Tx上方。第二感测电极Rx可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。第二感测电极Rx还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
有机层ORL可以设置在第二感测电极Rx上。有机层ORL可以包括有机材料。
第一感测电极Tx和第二感测电极Rx中的至少一个可以是导电图案CP。例如，密封层SL可以包括氮化硅，第一感测电极Tx中的每个可以包括包含钛的第一导电图案层CPL1、包括铝的第二导电图案层CPL2和包括钛的第三导电图案层CPL3。绝缘层IL2可以包括氮化硅，第二感测电极Rx中的每个可以包括包含铝的第一导电图案层CPL1、包括钛的第二导电图案层CPL2和包括铝的第三导电图案层CPL3。
例如，密封层SL可以包括氮化硅，第一感测电极Tx中的每个可以包括包含铝的一个层，绝缘层IL2可以包括有机材料，第二感测电极Rx中的每个可以包括包含铝的第一导电图案层CPL1和包括钛的第二导电图案层CPL2。
参照图8A和图8B，第一感测电极Tx和第二感测电极Rx可以设置在同一层上。第一感测电极Tx和第二感测电极Rx可以设置在密封层SL上。第一感测电极Tx在第五方向DR5和第六方向DR6上布置，以彼此分开。
在第五方向DR5上彼此分开的第一感测电极Tx可以通过第一桥BD1彼此连接。第二感测电极Rx可以在第五方向DR5和第六方向DR6上布置，以彼此分开。在第六方向DR6上彼此分开的第二感测电极Rx可以通过第二桥BD2彼此连接。第二桥BD2可以设置在第一桥BD1上。尽管图中未示出，但是绝缘层可以设置在第一桥BD1与第二桥BD2之间。
第一桥BD1和第二桥BD2中的每个可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。第一桥BD1和第二桥BD2中的每个还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
连接线TL1和TL2可以电连接到感测电极TE。连接线TL1和TL2可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。连接线TL1和TL2还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
连接线TL1和TL2可以包括第一连接线TL1和第二连接线TL2。第一连接线TL1可以连接到第一感测电极Tx和第一扇出线PO1。第二连接线TL2可以连接到第二感测电极Rx和第二扇出线PO2。
扇出线PO1和PO2可以连接到连接线TL1和TL2以及焊盘(pad，或称为“垫”)部PD1和PD2。扇出线PO1和PO2可以包括第一扇出线PO1和第二扇出线PO2。第一扇出线PO1可以连接到第一连接线TL1和第一焊盘部PD1。第二扇出线PO2可以连接到第二连接线TL2和第二焊盘部PD2。
第一焊盘部PD1和第二焊盘部PD2可以电连接到感测电极TE。第一焊盘部PD1和第二焊盘部PD2可以包括第一导电图案层CPL1和设置在第一导电图案层CPL1上的第二导电图案层CPL2。第一导电图案层CPL1可以具有第一厚度t1，并可以包括第一材料。第二导电图案层CPL2可以具有比第一厚度t1小的第二厚度t2，并可以包括与第一材料不同的第二材料。
第一焊盘部PD1和第二焊盘部PD2还可以包括第三导电图案层CPL3。第三导电图案层CPL3可以设置在第二导电图案层CPL2上。第三导电图案层CPL3可以具有比第二厚度t2大的第三厚度t3，并可以包括第三材料。
焊盘部PD1和PD2可以包括第一焊盘部PD1和第二焊盘部PD2。第一焊盘部PD1可以连接到第一扇出线PO1。第一焊盘部PD1可以电连接到第一感测电极Tx。第二焊盘部PD2可以连接到第二扇出线PO2。第二焊盘部PD2可以电连接到第二感测电极Rx。
图9A和图9B是示出根据本公开的示例性实施例的触摸感测单元中包括的感测电极的剖视图。
参照图9A和图9B，感测电极TE可以包括多个感测电极层。感测电极TE可以包括例如两个、三个、四个、五个或六个感测电极层，但是它不应限于此或受此限制。感测电极TE可以包括七个或更多个感测电极层。
感测电极TE可以包括第一感测电极层TEL1和第二感测电极层TEL2。第一感测电极层TEL1可以包括均具有第一晶粒尺寸的第一晶粒。第一感测电极层TEL1可以包括第一材料。第二感测电极层TEL2可以设置在第一感测电极层TEL1上。第二感测电极层TEL2可以包括均具有第二晶粒尺寸的第二晶粒。第二感测电极层TEL2可以包括第二材料。第二材料与第一材料不同。第二感测电极层TEL2可以具有比第一感测电极层TEL1的厚度小的厚度。
感测电极TE还可以包括第三感测电极层TEL3。第三感测电极层TEL3可以包括均具有第三晶粒尺寸的第三晶粒。第三感测电极层TEL3可以包括第三材料。第三材料可以与第二材料不同。第三材料可以与第一材料相同或不同。第三感测电极层TEL3可以具有比第二感测电极层TEL2的厚度大的厚度。
图9C和图9D是示出根据本公开的示例性实施例的触摸感测单元中包括的线的剖视图。
参照图9C和图9D，线TL1、TL2、PO1和PO2包括多个线层。线TL1、TL2、PO1和PO2可以包括两个、三个、四个、五个或六个线层，但是它们不应限于此或受此限制。线TL1、TL2、PO1和PO2可以包括七个或更多个线层。空气层可以设置在线层之间。
线TL1、TL2、PO1和PO2可以包括第一线层TLL1和第二线层TLL2。第一线层TLL1可以包括均具有第一晶粒尺寸的第一晶粒。第一线层TLL1可以包括第一材料。第二线层TLL2可以设置在第一线层TLL1上。第二线层TLL2可以包括均具有第二晶粒尺寸的第二晶粒。第二线层TLL2可以包括第二材料。第二材料与第一材料不同。第二线层TLL2可以具有比第一线层TLL1的厚度小的厚度。
线TL1、TL2、PO1和PO2还可以包括第三线层TLL3。第三线层TLL3可以包括均具有第三晶粒尺寸的第三晶粒。第三线层TLL3可以包括第三材料。第三材料可以与第二材料不同。第三材料可以与第一材料相同或不同。第三线层TLL3可以具有比第二线层TLL2的厚度大的厚度。
图10A、图10B、图10C、图10D、图10E和图10F是示出根据本公开的示例性实施例的可以应用柔性显示装置的各种装置的透视图。
参照图10A、图10B、图10C、图10D、图10E和图10F，根据示例性实施例的柔性显示装置可以应用到各种装置。例如，柔性显示装置可以应用到移动电话、电视机、计算机、可穿戴的显示装置、可卷曲的显示装置、可折叠的显示装置、自动交通工具显示装置或装饰物显示装置等。
图10A示出可应用柔性显示装置的移动电话，图10B示出可应用柔性显示装置的可穿戴的显示装置。只要例如腕表、眼镜、平视显示器等的装置可以穿戴于人体，可穿戴的显示装置就不应限于具体装置。
图10C示出可应用柔性显示装置的可卷曲的显示装置。可卷曲的显示装置表示显示面板可相对于包括在壳体中的卷曲轴而卷曲或伸展的显示装置。图10D示出可应用柔性显示装置的可折叠的显示装置。可折叠的显示装置表示相对于一个折叠轴而折叠或伸展的显示装置。
图10E示出可应用柔性显示装置的自动交通工具显示装置。自动交通工具显示装置表示例如汽车、飞机、船舶、火车等的交通工具中的显示装置。自动交通工具显示装置可以是可折叠的显示装置或可卷曲的显示装置，只要其可以安装在交通工具中。
图10F示出可应用柔性显示装置的装饰物显示装置。图10F示出放置在建筑物的部件(例如，柱子)上的显示装置，但是它不应限于此或受此限制。
导电图案的变形程度可以根据位错(dislocation)而变得不同。随着位错增大，导电图案的变形程度提高。即，随着位错增大，导电图案的柔性在弯曲时变得更难。位错随着晶界的密度的增大而减小。因此，为了增大晶界的密度，可能需要减小导电图案中的每个导电图案的晶粒尺寸。
传统的柔性显示装置的导电图案可以形成为具有一个层，因此，可能难以减小导电图案的尺寸。另外，在导电图案包括一个层的情况下，可能难以形成包括具有均匀的晶粒尺寸的晶粒的导电图案。因此，传统的柔性显示装置的导电图案的位错会大，因此，可能难以保证用于导电图案的弯曲的柔性。因此，当可以重复地弯曲柔性显示装置时，在导电图案中出现裂缝或断开，因此，会劣化柔性显示装置的可靠性。
另外，由于可能难以保证用于导电图案的弯曲的柔性，因此，当在一个方向和与所述一个方向相反的方向上重复地弯曲导电图案时，会在导电图案中出现裂缝或断开。如上面所描述的，根据本示例性实施例的柔性显示装置中包括的导电图案可以包括具有第一厚度并包括第一材料的第一导电图案层和具有第二厚度并包括与第一材料不同的第二材料的第二导电图案层。根据本示例性实施例的柔性显示装置中包括的导电图案可以包括包含第二材料的第二导电图案层，以调整第一导电图案层的晶粒尺寸。另外，由于根据本示例性实施例的柔性显示装置中包括的导电图案可以包括包含彼此不同的材料的多个层，因此晶粒的尺寸可以比传统的晶粒的尺寸相对小并且相对更均匀，因此，可以容易地保证用于导电图案的弯曲的柔性。因此，尽管可以重复地弯曲柔性显示装置，但是导电图案的裂缝或断开的发生概率可以明显小于传统的柔性显示装置中包括的导电图案的裂缝或断开的发生概率。因此，可以提高根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置的可靠性。
另外，由于根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置保证了用于弯曲的柔性，因此，即使在一个方向和与所述一个方向相反的方向上可重复地弯曲柔性显示装置，也可以显著降低导电图案的裂缝或断开的发生概率。
在下文中，描述根据本公开的示例性实施例的制造柔性显示装置的方法。在下面的柔性显示装置的制造方法的描述中，将主要描述与柔性显示装置的描述的特征不同的特征。
图11是示出根据本公开的示例性实施例的制造柔性显示装置的方法的流程图。
参照图1A、图1B、图1C、图2A、图2B和图11，柔性显示装置10的制造方法可以包括准备柔性基底FB(S100)和在柔性基底FB上设置导电图案CP。
柔性基底FB可以包括但不限于塑性材料或有机聚合物，例如，聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚萘二甲酸乙二酯(PEN)、聚酰亚胺、聚醚砜等。考虑到机械强度、热稳定性、透明度、表面平整度、易处理性、防水性等，可以选择用于柔性基底FB的材料。柔性基底FB可以是透明的。
可以在柔性基底FB上设置导电图案CP。设置导电图案CP可以包括设置具有第一厚度t1的第一导电图案层CPL1(S200)和在第一导电图案层CPL1上设置具有第二厚度t2的第二导电图案层CPL2(S300)。可以通过提供第一气体并在柔性基底FB上设置具有第一厚度t1的第一导电图案层CPL1来执行设置第一导电图案层CPL1(S200)的步骤。可以通过提供与第一气体不同的第二气体并在第一导电图案层CPL1上设置具有比第一厚度t1小的第二厚度t2的第二导电图案层CPL2来执行设置第二导电图案层CPL2(S300)的步骤。
第一导电图案层CPL1可以具有等于或大于大约100埃且等于或小于大约1500埃的第一厚度t1。第一导电图案层CPL1可以包括均具有第一晶粒尺寸的第一晶粒GR1。第一导电图案层CPL1的第一晶粒GR1具有等于或大于大约100埃且等于或小于大约1000埃的第一晶粒尺寸。第一导电图案层CPL1可以包括第一材料。第一材料可以包括金属、金属合金、金属氧化物和透明导电氧化物中的至少一种，但是它不应限于此或受此限制。在第一导电图案层CPL1中，在大约1.0平方微米(μm2)的单位面积内布置大约200个晶粒至大约1200个晶粒。
第二导电图案层CPL2可以防止第一导电图案层CPL1的第一晶粒GR1连接到第二导电图案层CPL2的第二晶粒GR2。第二导电图案层CPL2可以控制第一导电图案层CPL1的第一晶粒尺寸。例如，第二导电图案层CPL2可以防止第一导电图案层CPL1的第一晶粒尺寸过度增大。
第二导电图案层CPL2可以具有等于或大于大约10埃且等于或小于大约100埃的第二厚度t2。第二厚度t2可以比第一厚度t1小。第二导电图案层CPL2可以包括均具有第二晶粒尺寸的第二晶粒GR2。第二导电图案层CPL2可以包括第二材料。第二材料可以与第一材料不同。第二材料可以包括金属、金属合金、金属氧化物和透明导电氧化物中的至少一种，但是它不应限于此或受此限制。
可以通过溅射金属、金属合金、金属氧化物和透明导电氧化物中的至少一种来执行设置第一导电图案层CPL1(S200)和设置第二导电图案层CPL2(S300)中的至少一个步骤。例如，可以通过在等于或长于大约一分钟且等于或短于大约三分钟的时间段期间在室温下执行的溅射工艺来形成第一导电图案层CPL1和第二导电图案层CPL2中的至少一个。例如，可以通过在等于或长于大约一分钟且等于或短于大约三分钟的时间段期间在等于或大于大约50度且等于或小于大约60度的温度下执行的溅射工艺来形成第一导电图案层CPL1和第二导电图案层CPL2中的至少一个。
金属可以包括但不限于Al、Cu、Ti、Mo、Ag、Mg、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir和Cr中的至少一种。
透明导电氧化物可以包括但不限于氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化锌(ZnO)、氧化铟锡锌(ITZO)中的至少一种。
设置导电图案CP还可以包括在第二导电图案层CPL2上设置第三导电图案层CPL3。可以通过提供与第二气体不同的第三气体并在第二导电图案层CPL2上设置具有第三厚度t3的第三导电图案层CPL3来执行设置第三导电图案层CPL3的步骤。
第三导电图案层CPL3可以具有等于或大于大约100埃且等于或小于大约1500埃的第三厚度t3。第三导电图案层CPL3可以包括均具有第三晶粒尺寸的第三晶粒GR3。第三导电图案层CPL3的第三晶粒GR3具有等于或大于大约100埃且等于或小于大约1000埃的第三晶粒尺寸。第三导电图案层CPL3可以包括第三材料。第三材料可以与第二材料不同。第三材料可以与第一材料相同或不同。第三材料可以包括金属、金属合金、金属氧化物和透明导电氧化物中的至少一种，但是它不应限于此或受此限制。在第三导电图案层CPL3中，在大约1.0平方微米(μm2)的单位面积内布置大约200个晶粒至大约1200个晶粒。
可以在没有等离子体的情况下执行设置第一导电图案层CPL1(S200)、设置第二导电图案层CPL2(S300)和设置第三导电图案层CPL3中的每个步骤。
可以通过使用铝气体来执行设置第一导电图案层CPL1(S200)的步骤，可以通过使用钛气体来执行设置第二导电图案层CPL2(S300)的步骤，可以通过使用铝气体来执行设置第三导电图案层CPL3的步骤。在此情况下，第一导电图案层CPL1、第二导电图案层CPL2和第三导电图案层CPL3可以分别具有大约1500埃、大约50埃和大约1500埃的厚度。
当通过使用铝气体来执行设置第一导电图案层CPL1(S200)的步骤时，可以通过使用钛气体来执行设置第二导电图案层CPL2(S300)的步骤，并可以通过使用铝气体来执行设置第三导电图案层CPL3的步骤，设置第一导电图案层CPL1(S200)、设置第二导电图案层CPL2(S300)和设置第三导电图案层中的每个步骤可以执行五次。
可以通过使用铝气体来执行设置第一导电图案层CPL1(S200)的步骤，可以通过使用氧气来执行设置第二导电图案层CPL2(S300)的步骤，可以通过使用铝气体来执行设置第三导电图案层CPL3的步骤。
导电图案CP的设置可以被构造为包括使用第一气体以形成第一层、使用与第一气体不同的第二气体以形成第二层、使用与第二气体不同的第三气体以形成第三层，并蚀刻第一层、第二层和第三层以形成第一导电图案层CPL1、第二导电图案层CPL2和第三导电图案层CPL3。
作为另一示例，导电图案CP的设置可以被构造为包括使用第一气体以形成第一层，使用第一掩模蚀刻第一层以形成第一导电图案层CPL1，使用与第一气体不同的第二气体以形成第二层，使用第二掩模蚀刻第二层以形成第二导电图案层CPL2，使用与第二气体不同的第三气体以形成第三层和使用第三掩模蚀刻第三层以形成第三导电图案层CPL3。
导电图案的变形程度根据位错而变得不同。随着位错增大，导电图案的变形程度提高。即，随着位错增大，导电图案的柔性在弯曲时变得更难。位错随着晶界的密度的增大而减小。因此，可能需要减小导电图案中的每个导电图案的晶粒尺寸，以增大晶界的密度。
传统的柔性显示装置的导电图案被形成为具有一个层，因此，难以减小导电图案的尺寸。另外，在导电图案包括一个层的情况下，难以形成包括具有均匀的晶粒尺寸的晶粒的导电图案。因此，传统的柔性显示装置的导电图案的位错大，因此，难以保证用于导电图案的弯曲的柔性。因此，当重复地弯曲柔性显示装置时，在导电图案中出现裂缝或断开，因此，会劣化柔性显示装置的可靠性。
另外，由于难以保证用于导电图案的弯曲的柔性，因此，当在一个方向和与所述一个方向相反的方向上重复地弯曲导电图案时，在导电图案中出现裂缝或断开。如上面所描述的，通过根据本示例性实施例的制造方法制造的柔性显示装置中包括的导电图案可以包括具有第一厚度并包括第一材料的第一导电图案层和具有第二厚度并包括与第一材料不同的第二材料的第二导电图案层。通过根据本示例性实施例的制造方法制造的柔性显示装置中包括的导电图案可以包括包含第二材料的第二导电图案层，以调整第一导电图案层的晶粒尺寸。另外，由于通过根据本示例性实施例的制造方法制造的柔性显示装置中包括的导电图案可以包括包含彼此不同的材料的多个层，因此晶粒的尺寸可以比传统的晶粒的尺寸相对小并且相对更均匀，因此，可以容易地保证用于导电图案的弯曲的柔性。因此，尽管可以重复地弯曲柔性显示装置，但是导电图案的裂缝或断开的发生概率可以明显小于传统的柔性显示装置中包括的导电图案的裂缝或断开的发生概率。因此，可以提高根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置的可靠性。
另外，由于根据本公开的示例性实施例的柔性显示装置保证用于弯曲的柔性，因此，即使在一个方向和与所述一个方向相反的方向上可重复地弯曲柔性显示装置，也可以显著降低导电图案的裂缝或断开的发生概率。
在下文中，将参照各种实施例示例详细地描述根据本公开的柔性显示装置。
实施例示例1：
通过在大约两分钟期间在大约60℃的温度下在聚碳酸酯(PC)基底上溅射铝来形成具有大约50nm的厚度的铝导电图案层，将该工艺执行六次，并在铝导电图案层之间形成氧化铝导电层。形成了导电图案，其包括六个铝导电图案层和与铝导电图案层交替地堆叠的五个氧化铝导电层。
实施例示例2：
除了在大约20℃而不是大约60℃的温度下执行溅射工艺之外，通过与实施例示例1中示出的工艺相同的工艺来形成导电图案。
实施例示例3：
在PC基底上溅射铝，以形成具有大约150nm的厚度的第一铝导电图案层，在第一铝导电图案层上溅射钛，以形成具有大约5nm的厚度的钛导电图案层，在钛导电图案层上溅射铝，以形成具有大约150nm的厚度的第二铝导电图案层。
对比示例1：
除了在两分钟期间在大约60℃的温度下在PC基底上溅射铝之外，通过与实施例示例1中示出的工艺相同的工艺形成具有大约300nm的厚度的导电图案。
对比示例2：
除了在大约20℃而不是大约60℃的温度下执行溅射工艺之外，通过与对比示例1中示出的工艺相同的工艺来形成导电图案。
对比示例3：
除了通过在聚碳酸酯(PC)基底上溅射铝形成的导电图案具有大约200nm的厚度之外，通过与实施例示例1中示出的工艺相同的工艺来形成导电图案。
1、测量
1)晶粒尺寸的测量：
通过采集实施例示例1至实施例示例3、对比示例1至对比示例3的剖面的扫描电子显微镜(SEM)图像来测量晶粒尺寸。使用Helios 450(FEI公司)来采集SEM图像。实施例示例1、对比示例1和对比示例3的SEM图像示出在图12A中，实施例示例1、实施例示例2、对比示例1和对比示例2的SEM图像示出在图12B中，晶粒尺寸可以由下面的表1给出。另外，实施例示例1、实施例示例2、对比示例1和对比示例2的剖面的SEM图像示出在图13中。
表1
晶粒尺寸(nm)
实施例示例1 32
实施例示例3 97.7
对比示例1 196
对比示例2 119
2)检查是否由于内弯曲和外弯曲而发生断开
检查实施例示例1至实施例示例3、对比示例1和对比示例3的由于内弯曲和外弯曲而导致的断开。对比示例1和对比示例3中由于内弯曲而导致的断开示出在图14中。
3)测量由于内弯曲和外弯曲而导致的电阻变化
测量实施例示例1至实施例示例3、对比示例1和对比示例3中由于内弯曲而导致的电阻变化以及实施例示例1至实施例示例3、对比示例1和对比示例3中由于外弯曲而导致的电阻变化。由于内弯曲而导致的电阻变化由下面的表2给出，由于外弯曲而导致的电阻变化由下面的表3给出。
表2
Figure BDA0001293135580000361
表3
Figure BDA0001293135580000371
2、测量结果
1)晶粒尺寸的测量：
参照图12A、图12B、图13和表1，实施例示例1至实施例示例3中的每个实施例示例的晶粒尺寸小于对比示例1至对比示例3中的每个对比示例的晶粒尺寸。
2)检查是否由于内弯曲和外弯曲而发生断开
实施例示例1至实施例示例3中不发生由于内弯曲和外弯曲而导致的断开，但是在对比示例1和对比示例3中发生由于内弯曲和外弯曲而导致的断开，如图14中所示。
3)测量由内弯曲和外弯曲造成的电阻变化
参照表2和表3，在实施例示例1至实施例示例3中，由于内弯曲和外弯曲而导致的电阻变化相对小，但是在对比示例1和对比示例3中，由于内弯曲和外弯曲而导致的电阻变化相对大。
尽管在这里已经描述了特定示例性实施例和实施方式，但是通过该描述，其它实施例和修改将是明显的。因此，发明构思不限于这样的实施例，而是延及给出的权利要求书和各种明显的修改和等同布置的更宽范围。

Claims (33)

1.一种柔性显示装置，所述柔性显示装置包括：
柔性基底，包括弯曲部；以及
导电图案，包括第一导电图案层和设置在所述第一导电图案层上的第二导电图案层，其中，
所述导电图案的至少一部分设置在所述弯曲部上，
所述第一导电图案层具有第一厚度，并包括第一材料，
所述第二导电图案层具有比所述第一厚度小的第二厚度，并包括与所述第一材料不同的第二材料，
其中，所述第一厚度等于或大于100埃且等于或小于1500埃，所述第二厚度等于或大于10埃且等于或小于100埃，并且
其中，所述第二导电图案层控制所述第一导电图案层的晶粒尺寸。
2.根据权利要求1所述的柔性显示装置，其中，所述第一材料和所述第二材料中的每种包括金属、所述金属的合金、所述金属的氧化物和透明导电氧化物中的至少一种。
3.根据权利要求2所述的柔性显示装置，其中，所述金属包括Al、Cu、Ti、Mo、Ag、Mg、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir和Cr中的至少一种。
4.根据权利要求2所述的柔性显示装置，其中，所述透明导电氧化物包括氧化铟锡、氧化铟锌、氧化锌和氧化铟锡锌中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的柔性显示装置，其中，所述第一导电图案层具有第一晶粒尺寸，所述第二导电图案层具有第二晶粒尺寸，所述第一导电图案层的平均晶粒尺寸大于所述第二导电图案层的平均晶粒尺寸。
6.根据权利要求5所述的柔性显示装置，其中，所述第一晶粒尺寸和所述第二晶粒尺寸中的每个等于或大于100埃且等于或小于1000埃。
7.根据权利要求1所述的柔性显示装置，其中，所述导电图案还包括设置在所述第二导电图案层上的第三导电图案层，所述第三导电图案层具有比所述第二厚度大的第三厚度并包括第三材料。
8.根据权利要求7所述的柔性显示装置，其中，所述第三厚度等于或大于100埃且等于或小于1500埃。
9.根据权利要求7所述的柔性显示装置，其中，所述第三材料与所述第二材料不同。
10.根据权利要求7所述的柔性显示装置，其中，所述第一材料包括铝，所述第二材料包括钛，所述第三材料包括铝。
11.根据权利要求10所述的柔性显示装置，其中，所述导电图案包括五个堆叠图案，所述堆叠图案中的每个包括：
所述第一导电图案层；
所述第二导电图案层，设置在所述第一导电图案层上；以及
所述第三导电图案层，设置在所述第二导电图案层上。
12.根据权利要求10所述的柔性显示装置，其中，所述第一厚度为1500埃，所述第二厚度为50埃，所述第三厚度为1500埃。
13.根据权利要求7所述的柔性显示装置，其中，所述第一材料包括铝，所述第二材料包括氧化铝，所述第三材料包括铝。
14.根据权利要求1所述的柔性显示装置，所述柔性显示装置还包括设置在所述柔性基底上的布线和电极，其中，所述布线和所述电极中的至少一个包括所述导电图案。
15.根据权利要求14所述的柔性显示装置，其中，所述布线包括栅极线、数据线、扇出线和连接到扇出线的连接线中的至少一个。
16.根据权利要求1所述的柔性显示装置，所述柔性显示装置还包括：
绝缘层，设置在所述柔性基底上；
第一布线，设置在所述柔性基底与所述绝缘层之间；以及
第二布线，设置在所述绝缘层上，其中，所述第一布线和所述第二布线中的至少一个包括所述导电图案。
17.根据权利要求1所述的柔性显示装置，其中，所述柔性显示装置选自于移动电话、电视机、计算机、可穿戴的显示装置、可卷曲的显示装置、可折叠的显示装置、自动交通工具显示装置和装饰物显示装置。
18.根据权利要求1所述的柔性显示装置，其中，所述柔性显示装置被构造为以第一模式或以第二模式操作，其中，在所述第一模式中所述柔性基底和所述导电图案的至少一部分弯曲，在所述第二模式中所述柔性基底和所述导电图案的所述至少一部分伸展。
19.根据权利要求18所述的柔性显示装置，其中，所述第一模式包括：
第一弯曲模式，在所述第一弯曲模式中所述柔性基底和所述导电图案的所述至少一部分相对于弯曲轴在一个方向上弯曲；以及
第二弯曲模式，在所述第二弯曲模式中所述柔性基底和所述导电图案的所述至少一部分相对于所述弯曲轴在与所述一个方向相反的方向上弯曲。
20.一种柔性显示装置，所述柔性显示装置包括：
柔性显示面板，包括柔性基底、设置在所述柔性基底上的有机发光元件和设置在所述有机发光元件上的密封层；以及
触摸感测单元，包括触摸弯曲部并设置在所述密封层上，其中，
所述触摸感测单元包括导电图案，所述导电图案包括第一导电图案层和设置在所述第一导电图案层上的第二导电图案层并包括在所述触摸弯曲部中，
所述第一导电图案层具有第一厚度并包括第一材料，
所述第二导电图案层具有比所述第一厚度小的第二厚度，并包括与所述第一材料不同的第二材料，
其中，所述第一厚度等于或大于100埃且等于或小于1500埃，所述第二厚度等于或大于10埃且等于或小于100埃，并且
其中，所述第二导电图案层控制所述第一导电图案层的晶粒尺寸。
21.根据权利要求20所述的柔性显示装置，其中，所述触摸感测单元包括：
感测电极；
焊盘部，电连接到所述感测电极；
连接线，连接到所述感测电极；以及
扇出线，连接到所述连接线和所述焊盘部，所述感测电极、所述焊盘部、所述连接线和所述扇出线中的至少一个包括所述导电图案。
22.根据权利要求21所述的柔性显示装置，其中，所述感测电极具有网格形状。
23.一种制造柔性显示装置的方法，所述方法包括：
准备柔性基底；以及
在所述柔性基底上设置导电图案，设置所述导电图案包括：供应第一气体，以在所述柔性基底上形成具有第一厚度的第一导电图案层；以及供应与所述第一气体不同的第二气体，以在所述第一导电图案层上形成具有比所述第一厚度小的第二厚度的第二导电图案层，
其中，所述第一厚度等于或大于100埃且等于或小于1500埃，所述第二厚度等于或大于10埃且等于或小于100埃，并且
其中，所述第二导电图案层控制所述第一导电图案层的晶粒尺寸。
24.根据权利要求23所述的方法，其中，通过溅射金属、所述金属的合金、所述金属的氧化物和透明导电氧化物中的至少一种来执行形成所述第一导电图案层和形成所述第二导电图案层中的至少一个步骤。
25.根据权利要求23所述的方法，其中，设置所述导电图案还包括供应与所述第二气体不同的第三气体，以在所述第二导电图案层上形成第三导电图案层，所述第三导电图案层具有比所述第二厚度大的第三厚度。
26.根据权利要求25所述的方法，其中，在没有等离子体的情况下执行形成所述第一导电图案层、形成所述第二导电图案层和形成所述第三导电图案层中的每个步骤。
27.根据权利要求25所述的方法，其中，通过使用铝气体执行形成所述第一导电图案层的步骤，通过使用钛气体执行形成所述第二导电图案层的步骤，通过使用铝气体执行形成所述第三导电图案层的步骤。
28.根据权利要求27所述的方法，其中，形成所述第一导电图案层、形成所述第二导电图案层和形成所述第三导电图案层中的每个步骤执行五次。
29.根据权利要求25所述的方法，其中，通过使用铝气体执行形成所述第一导电图案层的步骤，通过使用氧气执行形成所述第二导电图案层的步骤，通过使用铝气体执行形成所述第三导电图案层的步骤。
30.一种柔性导电图案，所述柔性导电图案包括：
第一导电图案层，设置在柔性基底上，并包括具有第一厚度的第一材料；以及
第二导电图案层，设置在所述第一导电图案层上，并包括与所述第一材料不同的第二材料，所述第二材料具有比所述第一厚度小的第二厚度，
其中，所述第一厚度等于或大于100埃且等于或小于1500埃，所述第二厚度等于或大于10埃且等于或小于100埃，并且
其中，所述第二导电图案层控制所述第一导电图案层的晶粒尺寸。
31.根据权利要求30所述的柔性导电图案，所述柔性导电图案还包括第三导电图案层，所述第三导电图案层设置在所述第二导电图案层上并包括第三材料，所述第三材料具有比所述第二厚度大的第三厚度。
32.根据权利要求31所述的柔性导电图案，其中，所述第三厚度等于或大于100埃且等于或小于1500埃。
33.根据权利要求30所述的柔性导电图案，其中，所述第一导电图案层具有第一晶粒尺寸，所述第二导电图案层具有第二晶粒尺寸，所述第一导电图案层的平均晶粒尺寸大于所述第二导电图案层的平均晶粒尺寸。
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