CN107344146A - 液态纯化材料的设备 - Google Patents

液态纯化材料的设备 Download PDF

Info

Publication number
CN107344146A
CN107344146A CN201610297290.XA CN201610297290A CN107344146A CN 107344146 A CN107344146 A CN 107344146A CN 201610297290 A CN201610297290 A CN 201610297290A CN 107344146 A CN107344146 A CN 107344146A
Authority
CN
China
Prior art keywords
poly
purified liquid
equipment
ring
liquid material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201610297290.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN107344146B (zh
Inventor
尹安和
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xinmi (Xiamen) Semiconductor Equipment Co., Ltd.
Original Assignee
HUIZHU EXPLOITURE CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HUIZHU EXPLOITURE CO Ltd filed Critical HUIZHU EXPLOITURE CO Ltd
Priority to CN201610297290.XA priority Critical patent/CN107344146B/zh
Publication of CN107344146A publication Critical patent/CN107344146A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107344146B publication Critical patent/CN107344146B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B04—CENTRIFUGAL APPARATUS OR MACHINES FOR CARRYING-OUT PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES
    • B04B—CENTRIFUGES
    • B04B5/00—Other centrifuges
    • B04B5/12—Centrifuges in which rotors other than bowls generate centrifugal effects in stationary containers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B04—CENTRIFUGAL APPARATUS OR MACHINES FOR CARRYING-OUT PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES
    • B04B—CENTRIFUGES
    • B04B7/00—Elements of centrifuges

Landscapes

  • Centrifugal Separators (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

本发明提供一种液态纯化材料的设备，包括：机体、离心单元、驱动源及集料元件。该机体凭借上盖封设，该上盖具有材料的输入口、抽气口及输出口，该离心单元具有转盘及枢设于该机体底部以驱动该转盘旋转的转轴，该转盘的表面环形分布有复数叶片，该复数叶片将该转盘表面界定出一材料注入空间，该驱动源系驱动该转轴旋转，该集料元件环设于该复数叶片的外周，使附着于该叶片形成滴状或薄膜状的已纯化的液态材料向外甩，并附着在该集料元件表面再向下积于该机体并由机体的出口导出，具高效率的纯化效果。

Description

液态纯化材料的设备
技术领域
本发明涉及一种纯化材料的设备，特别涉及一种超重力旋转外甩，使气体与液体分离的纯化液态材料的设备。
背景技术
现有美国专利第5616245号提出一种超重力分离器以分离固体，主要系以超重力分离器除去水中的氧气或其它气体。依照电子多晶硅是可以从除去不纯物如硼、磷的三氯硅烷或三氯硅烷与四氯化硅的混合物而获得，然而大多数不纯物可用分馏法除去，硼、磷等微量不纯物通常是以BCl3、pcl3、B2H6或PH3的形式存在，但以分馏减少这些污染至可接受的低水准需几道连续分馏手续，因此非常费时费事，导致纯化效率不高，主要是不纯物气体的气泡不易自液态的三氯硅烷及四氯化硅抽离出来，并且不纯物气体可能溶于液体中。还有的原因是BCl3的沸点12.5℃及PCl3的沸点74.2℃不够高也不够低，在温度高于32℃提取三氯硅烷时可能与三氯硅烷一起跑出来。
美国专利第4283225号提出一种旋转机台于两种液体具高效率质传作用的制程，然而却无一种技术设备是利用旋转机台凭借离心力甩出以除去硅原料的不纯物并且可以达到高效率的设备。
发明内容
爰此，本发明的主要目的，在于提供一种能彻底解决现有采分馏纯化方式及设备需要几道连续分馏手续，费时费事造成纯化效率无法提升问题的液态纯化材料的设备。
为达上述目的，本发明提供一种液态纯化材料的设备，其特征在于，包括：
一机体，具一腔室、一材料的输入口、一抽气口及一输出口；
一离心单元，具有一转盘及一将该转盘枢设于该机体的底部的转轴，该转盘的表面环形分布有复数叶片，该复数叶片将该转盘表面界定出一材料注入空间；
一驱动源，与该转轴连接以驱动该转轴旋转；及
一集料元件，组装在该腔室内，具有至少一锥形的聚料环，该聚料环环设于该复数叶片的外周，使附着于该叶片形成滴状或薄膜状的已纯化的液态材料向外甩，并附着在该聚料环的表面再向下积于该机体并由该输出口导出。
所述的液态纯化材料的设备，其中，该注入空间的中心具有随该转轴旋转呈锥形的一甩料头，该甩料头的顶部低于该转盘的顶部。
所述的液态纯化材料的设备，其中，该机体具有与该腔室相通的一开口，该开口凭借一上盖封设，该材料的输入口、该抽气口、该输出口设于该上盖。
所述的液态纯化材料的设备，其中，该上盖设有环形的一第二空间，该第二空间连通该上盖的一冷却用的第二循环管路，该第二循环管路具有一第二入口及一第二出口，使冷却水由该第二循环管路的第二入口进入该第二空间再由该第二出口导出。
所述的液态纯化材料的设备，其中，该机体与该上盖之间设有环形的具有弹性的一密封条。
所述的液态纯化材料的设备，其中，该机体的外周壁为双层而具有环形的一第一空间，该第一空间连通该机体的一冷却用的第一循环管路，该第一循环管路具有一第一入口及一第一出口，该第一入口衔接冷却水进入该第一空间内，并由该第一出口导出。
所述的液态纯化材料的设备，其中，该集料元件具有复数聚料环，该复数聚料环呈上下排列连接并环设于该复数叶片的外周侧，位在最上方的该聚料环高出于该复数叶片，该聚料环的大圆径端临近于该腔室的底部，且上一个聚料环属大圆径的底端含盖着下一个聚料环的小圆径的顶端。
所述的液态纯化材料的设备，其中，该复数叶片是弧形弯曲并以同一方向等距环形排列于该转盘的表面，相邻两个该叶片之间形成一间距。
所述的液态纯化材料的设备，其中，该输入口末端连接一喷嘴，使通过该喷嘴的液态硅材料呈雾状喷出。
所述的液态纯化材料的设备，其中，该机体的底部设有至少一支撑脚，该驱动源位于该机体底部的中央位置。
如此，本发明使液态硅材料与氧气输入于机体的腔室内，凭借该离心单元的转盘旋转，当液态硅材料进入转盘的注入空间，随着转盘旋转朝外被甩出，于外甩途中使纯化的液态硅材料呈滴状或薄膜状附着于叶片表面，因此气态不纯物可与液体分离，并被超重力甩出附着于该集料元件的聚料环表面，再往下滴落于该机体的腔室底部，经由抽气口被抽取出来，使液态硅原料中无任何气泡也无气体溶于其中而能达到纯化目的。
由于集料元件的聚料环系以复数个依序套接环设在该离心单元的叶片外周，复数聚料环构成的集料元件的高度高于该复数叶片的高度，且该聚料环大圆径的一端朝向该腔室的底部，小圆径的一端邻近该上盖方向，得以锥形由下向上缩合以罩着该集料元件的该复数叶片，如此附着于叶片表面呈滴状或薄膜状被甩出的液态硅材料，可被聚料环罩着挡下，而附着于该聚料环的内表面，并顺着聚料环的锥度下滑积于该机体的腔室，可聚集已纯化的液态硅材料往下积于该腔室的底部。
另外，本发明离心单元的该复数叶片的弯曲方向顺着该转轴旋转方向弧形弯曲，并以同一方向等距环形排列于该转盘的表面，具有较大的表面以供纯化的液态硅材料附着，并使附着于叶片表面的纯化的液态硅材料能顺着叶片曲线方向外甩，以导引附着于该集料元件的聚料环表面，可防止已纯化的液态硅材料外甩时任意喷溅问题。
附图说明
图1为本发明实施例的分解立体图。
图2为本发明实施例的组合纵向剖视图。
图3为本发明实施例的组合横向剖视图。
图4为本发明实施例显示输入口装有喷嘴的组合纵向剖视图。
附图标记说明：a-第一间距；b-第二间距；c-滴状；d-雾状；10-机体；11-腔室；12-上盖；121-输入口；122-抽气口；123-第二空间；124-第二循环管路；124a-第二入口；124b-第二出口；125-喷嘴；13-密封条；14-第一空间；15-第一循环管路；151-第一入口；152-第一出口；16-输出口；20-离心单元；21-动力源；22-转盘；23-转轴；24-叶片；25-注入空间；26-甩料头；30-集料元件；31-聚料环。
具体实施方式
兹有关本发明的详细内容及技术说明，现以实施例来作进一步说明，但应了解的是，所述的这些实施例仅为例示说明之用，而不应被解释为本发明实施的限制。
请参阅图1～图3，本发明揭示一种液态纯化材料的设备，包括：一机体10、一离心单元20、一驱动源21及一集料元件30。
该机体10，具一腔室11、一材料的输入口121及与外面相通的至少一抽气口122及一输出口16，于本实施例中，该机体10具有与该腔室11相通的一开口，该开口凭借一上盖12封设，该输入口121与该抽气口122设于该上盖12并与该腔室11相通，该机体10与该上盖12之间设有环形具弹性的一密封条13，又该机体10的外周壁为双层而具有环形的一第一空间14，该第一空间14连通该机体10的一冷却的第一循环管路15，该第一循环管路15具有一第一入口151及一第一出口152，该第一入口151衔接冷却水进入该第一空间14内，再由第一出口152导出，该上盖12设有环形的一第二空间123，该第二空间123连通该上盖12的一冷却的第二循环管路124，该第二循环管路124具有一第二入口124a及一第二出口124b，该第二入口124a衔接冷却水进入该第二循环管路124再由该第二出口124b导出，使该机体10维持在预定温度，该机体10的底部设有至少一支撑脚17，于本实施例中该机体10的底部等距环形排列有三根支撑脚17，使机体10能架设于地面上，使距离地面有相当的高度距离。
该离心单元20，包含该动力源21如一马达、一圆形的转盘22及一转轴23连接于该转盘22的底部并枢设于该机体10的底部，该转盘22的表面环形分布有复数叶片24，该复数叶片24是弧形弯曲并以同一方向等距环形排列于该转盘22的表面，相邻二该叶片24之间形成一第一间距a，该复数叶片24将该转盘22表面界定出一材料的注入空间25，该注入空间25的中心具有锥形的一甩料头26随该转轴23旋转，该甩料头26的顶部低于该转盘22的顶部，该动力源21与该转轴23连接以驱动该离心单元20的转轴23旋转，进而驱动该转盘22产生旋转，该动力源21位于该机体10底部的中央位置，并使该三根支撑脚17围绕在该动力源21的外周，使该动力源21离地有合适距离。
该集料元件30，系组装在该腔室11内，具有至少一个锥形的聚料环31，于本实施例中，该集料元件30由三个聚料环31以上下排列焊接套设连接有预定的高度而环设于该复数叶片24的外周侧，使位在最上方的该聚料环31高出于该复数叶片24的高度，该聚料环31的大圆径端临近于该腔室11的底部，且上一个聚料环31属大圆径的底端含盖着下一个聚料环31的小圆径的顶端有相当长度，上下相邻的两该聚料环31之间具有一第二间距b，使附着于该叶片24形成滴状或薄膜状的已纯化的液态材料向外甩出，并附着在该集料元件30表面，再向下积存于该机体10的腔室11的底部并由该输出口16导出。
请再参阅图4，系显示上盖12的材料的输入口121末端连接一喷嘴125。
凭借上述的结构，请再参阅图3，操作时启动该动力源21以驱动离心单元20的转轴23旋转，进而带动该转盘22产生旋转，该输入口121可输入液态硅材料(如三氯硅烷、四氯化硅或三氯硅烷与四氯化硅的混合物)及气体如氧气于该机体10的腔室11内，使由该输入口121末端输出的液态硅材料被氧气带出呈滴状c而落入离心单元20的注入空间25，该转盘22的转轴23以约1500rpm的转速旋转时，输入的液态硅材料于注入空间25会凭借甩料头26的导引，向下且向外快速以超重力向外甩出，于向外甩出的途中液体被转盘22的叶片24阻挡，而形成小滴状或呈薄膜状附着于该叶片24的表面，因此气态不纯物可与液体分离经由抽气口被抽取出来，使液态硅原料中无任何气泡也无气体溶于其中。而如图4，液态硅材料(如三氯硅烷、四氯化硅或三氯硅烷与四氯化硅的混合物)及气体如(氧气)由该输入口121再导入该喷嘴125，可使液态硅材料呈雾状d喷出于离心单元20的注入空间25。
由于机体10的第一空间14连接冷却的第一循环管路15，使冷却水由第一入口151进入第一空间14再由第一出口152导出，该上盖12的第二空间123连通冷却的第二循环管路124，使冷却水由该第二循环管路124的第二入口124a进入第二空间123再由第二出口124b导出，以控制本体10使腔室11温度在预定的低温状态，促使腔室11内的氧气在较低温下因质传而与三氯硅烷内的Si-H健反应而形成SiOH粒子(species)进而与存在于三氯硅烷内的不纯物复合，形成不纯物的氢氧化硅复合物。已纯化的液态硅材料可朝外甩出附着于该集料元件30的聚料环31的表面，再往下汇聚在该机体10的底部并由该机体的输出口16导出已纯化的液态硅材料，该抽气口122连接一抽气泵浦(图未示)用以抽出腔室11内的气态不纯物。
如此，本发明系使液态硅材料与氧气共同输入于机体10的腔室11内，凭借该离心单元20的转盘22快速旋转，使液态硅材料进入转盘22，随着转盘22旋转朝外被甩出，于外甩途中，使纯化的液态硅材料呈滴状或薄膜状附着于叶片24表面，因此气态不纯物可与液体分离，并被超重力甩出附着于该集料元件30的该复数聚料环31的表面，再往下滴落于该机体10的腔室11底部，经由抽气口被抽取出来，使液态硅原料中无任何气泡也无气体溶于其中达到纯化目的。
值得一提的是，本发明集料元件30的聚料环31系以复数个依序套接环设在该离心单元20的叶片24外周，复数聚料环31以上下排列构成的集料元件30的高度高于该复数叶片24的高度，且该聚料环31大圆径的一端系朝向该腔室的底部，小圆径的一端邻近该上盖12方向，以锥形罩着该集料元件30的该复数叶片24，如此附着于叶片24表面呈滴状或薄膜状被甩出的液态硅材料，可被聚料环31挡下，而附着于该聚料环31的内表面，并顺着聚料环31的锥度下滑积于该机体10的腔室11，可聚集已纯化的液态硅材料往下积于该腔室的底部。
另外，本发明离心单元20的该复数叶片24的弯曲方向系顺着该转轴23旋转方向弧形弯曲，并以同一方向等距环形排列于该转盘22的表面，具有较大的表面以供纯化的液态硅材料附着，并使附着于叶片24表面的纯化的液态硅材料能顺着叶片24曲线方向外甩，以导引而附着于该集料元件30的聚料环31表面，可防止已纯化的液态硅材料外甩时任意喷溅。
本发明进行液能纯化的效率高并且结构简单易操作，极具产业的利用性，而在申请的前经查公报及市面并未发现有相同或近似的产品，诚能符合专利新颖性及创造性的要件，爰依专利法的规定向钧局提出发明专利申请。
以上说明对本发明而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种液态纯化材料的设备，其特征在于，包括：
一机体，具一腔室、一材料的输入口、一抽气口及一输出口；
一离心单元，具有一转盘及一将该转盘枢设于该机体的底部的转轴，该转盘的表面环形分布有复数叶片，该复数叶片将该转盘表面界定出一材料注入空间；
一驱动源，与该转轴连接以驱动该转轴旋转；及
一集料元件，组装在该腔室内，具有至少一锥形的聚料环，该聚料环环设于该复数叶片的外周，使附着于该叶片形成滴状或薄膜状的已纯化的液态材料向外甩，并附着在该聚料环的表面再向下积于该机体并由该输出口导出。
2.根据权利要求1所述的液态纯化材料的设备，其特征在于，该注入空间的中心具有随该转轴旋转呈锥形的一甩料头，该甩料头的顶部低于该转盘的顶部。
3.根据权利要求1所述的液态纯化材料的设备，其特征在于，该机体具有与该腔室相通的一开口，该开口凭借一上盖封设，该材料的输入口、该抽气口、该输出口设于该上盖。
4.根据权利要求3所述的液态纯化材料的设备，其特征在于，该上盖设有环形的一第二空间，该第二空间连通该上盖的一冷却用的第二循环管路，该第二循环管路具有一第二入口及一第二出口，使冷却水由该第二循环管路的第二入口进入该第二空间再由该第二出口导出。
5.根据权利要求4所述的液态纯化材料的设备，其特征在于，该机体与该上盖之间设有环形的具有弹性的一密封条。
6.根据权利要求1所述的液态纯化材料的设备，其特征在于，该机体的外周壁为双层而具有环形的一第一空间，该第一空间连通该机体的一冷却用的第一循环管路，该第一循环管路具有一第一入口及一第一出口，该第一入口衔接冷却水进入该第一空间内，并由该第一出口导出。
7.根据权利要求1所述的液态纯化材料的设备，其特征在于，该集料元件具有复数聚料环，该复数聚料环呈上下排列连接并环设于该复数叶片的外周侧，位在最上方的该聚料环高出于该复数叶片，该聚料环的大圆径端临近于该腔室的底部，且上一个聚料环属大圆径的底端含盖着下一个聚料环的小圆径的顶端。
8.根据权利要求1所述的液态纯化材料的设备，其特征在于，该复数叶片是弧形弯曲并以同一方向等距环形排列于该转盘的表面，相邻两个该叶片之间形成一间距。
9.根据权利要求1所述的液态纯化材料的设备，其特征在于，该输入口末端连接一喷嘴，使通过该喷嘴的液态硅材料呈雾状喷出。
10.根据权利要求1所述的液态纯化材料的设备，其特征在于，该机体的底部设有至少一支撑脚，该驱动源位于该机体底部的中央位置。
CN201610297290.XA 2016-05-06 2016-05-06 液态纯化材料的设备 Active CN107344146B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610297290.XA CN107344146B (zh) 2016-05-06 2016-05-06 液态纯化材料的设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610297290.XA CN107344146B (zh) 2016-05-06 2016-05-06 液态纯化材料的设备

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107344146A true CN107344146A (zh) 2017-11-14
CN107344146B CN107344146B (zh) 2019-10-18

Family

ID=60252972

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610297290.XA Active CN107344146B (zh) 2016-05-06 2016-05-06 液态纯化材料的设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107344146B (zh)

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4409195A (en) * 1981-06-15 1983-10-11 Motorola, Inc. Purification of silicon source materials
CN201567238U (zh) * 2009-11-23 2010-09-01 连云港东海硅微粉有限责任公司 制备窄分布球形二氧化硅干凝胶的装置
CN101890250A (zh) * 2010-07-20 2010-11-24 浙江工业大学 一种带多层圆筒式转动液体分布器的超重力旋转床
CN201702031U (zh) * 2010-04-26 2011-01-12 浙江轻机实业有限公司 碟式分离机的水冷式罩壳
CN102083541A (zh) * 2008-04-08 2011-06-01 阿尔法拉瓦尔股份有限公司 分离盘与分离器
CN102188947A (zh) * 2010-03-16 2011-09-21 中国石油化工股份有限公司 一种大直径超重力旋转床传质与反应设备
CN102241402A (zh) * 2010-05-14 2011-11-16 苏翔 以超重力旋转填充床纯化硅原料的制造方法
CN202876414U (zh) * 2012-09-12 2013-04-17 海南大学 一种三相离心传质分离装置
CN202880921U (zh) * 2012-08-03 2013-04-17 云南驰宏锌锗股份有限公司 四氯化锗水解产物分离装置
CN104741063A (zh) * 2013-12-27 2015-07-01 超重力有限公司 旋转填充床装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4409195A (en) * 1981-06-15 1983-10-11 Motorola, Inc. Purification of silicon source materials
CN102083541A (zh) * 2008-04-08 2011-06-01 阿尔法拉瓦尔股份有限公司 分离盘与分离器
CN201567238U (zh) * 2009-11-23 2010-09-01 连云港东海硅微粉有限责任公司 制备窄分布球形二氧化硅干凝胶的装置
CN102188947A (zh) * 2010-03-16 2011-09-21 中国石油化工股份有限公司 一种大直径超重力旋转床传质与反应设备
CN201702031U (zh) * 2010-04-26 2011-01-12 浙江轻机实业有限公司 碟式分离机的水冷式罩壳
CN102241402A (zh) * 2010-05-14 2011-11-16 苏翔 以超重力旋转填充床纯化硅原料的制造方法
CN101890250A (zh) * 2010-07-20 2010-11-24 浙江工业大学 一种带多层圆筒式转动液体分布器的超重力旋转床
CN202880921U (zh) * 2012-08-03 2013-04-17 云南驰宏锌锗股份有限公司 四氯化锗水解产物分离装置
CN202876414U (zh) * 2012-09-12 2013-04-17 海南大学 一种三相离心传质分离装置
CN104741063A (zh) * 2013-12-27 2015-07-01 超重力有限公司 旋转填充床装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN107344146B (zh) 2019-10-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2428241C2 (ru) Центробежный сепаратор
RU2478416C1 (ru) Установка и способ для отделения нефти от газовой смеси
CN105143432B (zh) 用于提取再生细胞的装置和系统以及提取再生细胞的方法
ES2744716T3 (es) Un disco de separación para un separador centrífugo
SE0302463D0 (sv) En apparat för rening av en gas
JP5140143B2 (ja) コンクリートカッター用集塵装置
BR112017016125B1 (pt) Separador centrífugo, e, método para limpar um gás contendo impurezas líquidas
CN110811421B (zh) 一种多级旋风分离集尘装置及吸尘器
CN106659958B (zh) 离心减除设备
CN110005614A (zh) 一种真空设备水气分离装置
CN108067355A (zh) 一种双锥并流卧螺离心机
CN107344146A (zh) 液态纯化材料的设备
SE535115C2 (sv) Anordning för centrifugalseparering av partiklar ur ett gasflöde där två eller flera rotorer är anordnade i ett gemensamt hus
CN101208154B (zh) 具有离心分离器的提取设备
CN102149310B (zh) 吸尘器
WO2012033440A2 (en) Separation disks in a centrifugal separator
CN101678249B (zh) 过滤装置
CN101453932A (zh) 尤其用于真空吸尘器的液-气分离器
CN103960953A (zh) 榨汁机
EP3171960B1 (en) Centrifugal abatement separator
SE464654B (sv) Oljeavskiljare i ett kylmediesystem
SE536493C2 (sv) En modul innefattande en reaktorenhet
WO2022103275A1 (en) System and method for separating particles from polluted gas
CN104399604B (zh) 一种离心机的布料装置
CN104019483B (zh) 离心式油烟净化风机

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
TA01 Transfer of patent application right
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20190409

Address after: No. 6, No. 3, 301, Chunfeng Road, Xiangan Industrial Zone, Xiamen Torch High-tech Zone, Fujian Province

Applicant after: Xinmi (Xiamen) Semiconductor Equipment Co., Ltd.

Address before: Tai Zhongshi

Applicant before: Huizhu Exploiture Co., Ltd.

GR01 Patent grant
GR01 Patent grant