CN107320991A - 一种三甲基镓的精馏系统压力平衡装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种三甲基镓的精馏系统压力平衡装置，其特征在于，包括本体，所述本体包括前馏分装置、成品装置、返工装置和分装装置，所述前馏分装置包括馏分冷凝器和第一液封装置，所述第一液封装置的出口处通过第一气管和第二气管连接第一气罐的进气口，所述第一气管上安装有压力传感器和第一电磁阀，且第二气管上安装有第二电磁阀，所述第一气罐的出口处通过管道连接有第一冷肼和第二冷肼。本发明该中设有七个电磁阀分别安装在不同阶段的设备上，分段控制压力，同时该装置上设有五个压力传感器，能够实时监控整个过程的压力情况，便于及时控制压力平衡，操作简单方便，省时省力，工作效率高。

Description

一种三甲基镓的精馏系统压力平衡装置
技术领域
本发明涉及一种三甲基镓的精馏系统压力平衡装置技术领域，尤其涉及一种三甲基镓的精馏系统压力平衡装置。
背景技术
高纯三甲基镓等金属有机化合物，是金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)、化学束外延(CBE)过程中生长光电子材最重要、用量最大的原料，广泛应用于生长氮化镓(GaN)，铟镓砷氮(InGaAsN)、铟镓磷(InGaP)等化合物半导体薄膜材料。纯净的三甲基镓在室温下为液体，当用于MOCVD时需要将三甲基镓封装在特殊设计制造的不锈钢瓶內，然后控制钢瓶温度，使其蒸汽气压达到一定值，再通过持续流动的载气，将在使用温度下气-液平衡状态下气相中的三甲基镓带入MOCVD或CBE生长系统，现有的三甲基镓的精馏系统中不能很好的控制压力平衡，导致三甲基镓精馏后的效果不好，设备复杂，使用不方便，安全性低。
发明内容
基于背景技术存在的技术问题，本发明提出了一种三甲基镓的精馏系统压力平衡装置。
本发明提出的一种三甲基镓的精馏系统压力平衡装置，包括本体，所述本体包括前馏分装置、成品装置、返工装置和分装装置，所述前馏分装置包括馏分冷凝器和第一液封装置，且馏分冷凝器和第一液封装置之间通过管道连通，所述第一液封装置的出口处通过第一气管和第二气管连接第一气罐的进气口，所述第一气管上安装有压力传感器和第一电磁阀，且第二气管上安装有第二电磁阀，所述第一气罐的出口处通过管道连接有第一冷肼和第二冷肼，且第一气灌和第一冷肼的管道上安装有第三电磁阀，所述第一气罐的出口处通过管道连接有第二液封装置，且第一气灌和第二液封装置之间的管道上安装有第七电磁阀，所述第二液封装置的末端通过管道连接淋洗塔，所述成品装置中包括成品冷凝器，且成品冷凝器通过管道与第一液封装置连通；
所述返工装置包括返工冷凝器、返工气罐、返工第一液封装置和返工第二液封装置，所述返工冷凝器的出口处通过管道连接返工气罐，且返工气罐的出口处通过管道连接返工第一液封装置，所述返工第一液封装置的出口处通过第一通气管连接返工第二液封装置，且第一通气管上安装有压力传感器和第四电磁阀，所述第二液封装置的末端通过管道连接淋洗塔；
所述分装装置包括分装冷凝器、分装气罐、分装第一液封装置和分装第二液封装置，所述分装冷凝器的出口处设有分装气罐，且分装气罐的末端安装有第一液封装置，所述第一液封装置的出口处通过第二通气管连接有分装第二液封装置，且第二通气管上安装有压力传感器和第五电磁阀，所述分装第二液封装置的末端通过管道连接淋洗塔，且淋洗塔的进口处安装有压力传感器和第六电磁阀。
优选地，所述第一气罐的上端连接有压力传感器。
优选地，所述第六电磁阀连接的管道为Φ45不锈钢管，且第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀、第五电磁阀和第七电磁阀连接的管道为Φ 19不锈钢管道。
本发明中的有益效果：该发明在于自动控制精馏过程中的反应体系中的压力平衡，使精馏生产过程中，操作更加简易并增加了安全性，同时避免了接收前馏分时对成品的污染，在精馏过程中，系统压力通过管道传递到压力平衡装置，压力平衡装置根据设定的程序，自动控制系统的阀门开关，从而达到控制精馏系统的压力平衡，该装置中设有七个电磁阀分别安装在不同阶段的设备上，分段控制压力，同时该装置上设有五个压力传感器，能够实时监控整个过程的压力情况，便于及时控制压力平衡，操作简单方便，省时省力，工作效率高。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明提出的结构示意图。
图中：1第一液封装置、2第一气罐、3本体、31前馏分装置、32成品装置、 33返工装置、34分装装置、4第一冷肼、5第二冷肼、6返工气罐、7返工第一液封装置、8返工第二液封装置、9分装气罐、10分装第一液封装置、11分装第二液封装置、12第一电磁阀、13第二电磁阀、14第三电磁阀、15第四电磁阀、 16第五电磁阀、17第六电磁阀、18第七电磁阀、19压力传感器、20第二液封装置、21馏分冷凝器、22成品冷凝器、23返工冷凝器、24分装冷凝器、25第一气管、26第二气管、27第一通气管、28第二通气管。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明作进一步解说。
一种三甲基镓的精馏系统压力平衡装置，包括本体3，所述本体3包括前馏分装置31、成品装置32、返工装置33和分装装置34，所述前馏分装置31包括馏分冷凝器21和第一液封装置1，且馏分冷凝器21和第一液封装置1之间通过管道连通，所述第一液封装置1的出口处通过第一气管25和第二气管26连接第一气罐2的进气口，所述第一气管25上安装有压力传感器19和第一电磁阀12，且第二气管26上安装有第二电磁阀13，所述第一气罐2的出口处通过管道连接有第一冷肼4和第二冷肼5，且第一气灌2和第一冷肼4的管道
上安装有第三电磁阀14，所述第一气罐2的出口处通过管道连接有第二液封装置20，且第一气灌2和第二液封装置20之间的管道上安装有第七电磁阀18，所述第二液封装置20的末端通过管道连接淋洗塔，所述成品装置32中包括成品冷凝器22，且成品冷凝器22通过管道与第一液封装置1连通；
所述返工装置33包括返工冷凝器23、返工气罐6、返工第一液封装置7和返工第二液封装置8，所述返工冷凝器23的出口处通过管道连接返工气罐，6 且返工气罐6的出口处通过管道连接返工第一液封装置7，所述返工第一液封装置7的出口处通过第一通气管27连接返工第二液封装置8，且第一通气管27上安装有压力传感器19和第四电磁阀15，所述返工第二液封装置8的末端通过管道连接淋洗塔；
所述分装装置34包括分装冷凝器24、分装气罐9、分装第一液封装置10 和分装第二液封装置11，所述分装冷凝器24的出口处设有分装气罐9，且分装气罐9的末端安装有第一液封装置10，所述第一液封装置10的出口处通过第二通气管28连接有分装第二液封装置11，且第二通气管28上安装有压力传感器 19和第五电磁阀16，所述分装第二液封装置11的末端通过管道连接淋洗塔，且淋洗塔的进口处安装有压力传感器19和第六电磁阀17。
所述第一气罐2的上端连接有压力传感器19，所述第六电磁阀连17接的管道为Φ45不锈钢管，且第一电磁阀12、第二电磁阀13、第三电磁阀14、第四电磁阀15、第五电磁阀16和第七电磁阀18连接的管道为Φ19不锈钢管道
工作流程：前馏分装置31和成品装置32中反应生成的气体经过第一液封装置1，当第一气管25上的压力值0mbar时，第一电磁阀12自动关闭，当第一气管25上的压力值为10mbar时，第一电磁阀12自动打开气体进入到第一气罐 2中，当第一气罐2上的压力值为0mbar时第二电磁阀13打开，当第一气罐2 上的压力值为10mbar时第二电磁阀13关闭，当第一气罐2上的压力值小于0mbar 时，第七电磁阀18关闭，当第一气罐2上的压力值大于10mbar时，第七电磁阀 18打开，当第一气罐2上的压力值大于200mbar时，第三电磁阀14打开气体进入到第一冷肼4和第二冷肼5中，且第七电磁阀18关闭，当第一气罐2上的压力值小于100mbar时，第三电磁阀14关闭，且第七电磁阀18打开，气体进入到第二液封装置20，当淋洗塔上的压力传感器19检测到压力值大于100mbar时，第六电磁阀17关闭，当淋洗塔上的压力传感器19检测到压力值小于20mbar时，第六电磁阀17打开，当第一通气管27上的压力值小于0mbar，第四电磁阀15 关闭，第一通气管27上的压力值为10mbar，第四电磁阀15打开，第二通气管 28上的压力值小于0mbar，第五电磁阀16关闭，第二通气管28上的压力值为10mbar，第五电磁阀16打开，分段控制不同装置中的压力，通过五个压力传感器实时监控整个压力过程，及时控制压力平衡。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种三甲基镓的精馏系统压力平衡装置，其特征在于，包括本体，所述本体包括前馏分装置、成品装置、返工装置和分装装置，所述前馏分装置包括馏分冷凝器和第一液封装置，且馏分冷凝器和第一液封装置之间通过管道连通，所述第一液封装置的出口处通过第一气管和第二气管连接第一气罐的进气口，所述第一气管上安装有压力传感器和第一电磁阀，且第二气管上安装有第二电磁阀，所述第一气罐的出口处通过管道连接有第一冷肼和第二冷肼，且第一气灌和第一冷肼的管道上安装有第三电磁阀，所述第一气罐的出口处通过管道连接有第二液封装置，且第一气灌和第二液封装置之间的管道上安装有第七电磁阀，所述第二液封装置的末端通过管道连接淋洗塔，所述成品装置中包括成品冷凝器，且成品冷凝器通过管道与第一液封装置连通；
所述返工装置包括返工冷凝器、返工气罐、返工第一液封装置和返工第二液封装置，所述返工冷凝器的出口处通过管道连接返工气罐，且返工气罐的出口处通过管道连接返工第一液封装置，所述返工第一液封装置的出口处通过第一通气管连接返工第二液封装置，且第一通气管上安装有压力传感器和第四电磁阀，所述第二液封装置的末端通过管道连接淋洗塔；
所述分装装置包括分装冷凝器、分装气罐、分装第一液封装置和分装第二液封装置，所述分装冷凝器的出口处设有分装气罐，且分装气罐的末端安装有第一液封装置，所述第一液封装置的出口处通过第二通气管连接有分装第二液封装置，且第二通气管上安装有压力传感器和第五电磁阀，所述分装第二液封装置的末端通过管道连接淋洗塔，且淋洗塔的进口处安装有压力传感器和第六电磁阀。
2.根据权利要求1所述的一种三甲基镓的精馏系统压力平衡装置，其特征在于，所述第一气罐的上端连接有压力传感器。
3.根据权利要求1所述的一种三甲基镓的精馏系统压力平衡装置，其特征在于，所述第六电磁阀连接的管道为Φ45不锈钢管，且第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀、第五电磁阀和第七电磁阀连接的管道为Φ19不锈钢管道。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102167355A (zh) * 2011-03-11 2011-08-31 苏州金宏气体股份有限公司 用精馏分离提取7n电子级超纯氨的方法
CN104117266A (zh) * 2014-08-06 2014-10-29 中国成达工程有限公司 一种多级非平衡吸收方法分离nh3和co2混合气体的装置及其分离工艺
CN105749699A (zh) * 2016-03-31 2016-07-13 四川天采科技有限责任公司 一种全温程变压吸附气体分离提纯与净化的方法
CN205782005U (zh) * 2016-05-10 2016-12-07 苏州复纳电子科技有限公司 一种电子级四氯化硅的分装装置
CN207237331U (zh) * 2017-08-15 2018-04-17 苏州普耀光电材料有限公司 一种三甲基镓的精馏系统压力平衡装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102167355A (zh) * 2011-03-11 2011-08-31 苏州金宏气体股份有限公司 用精馏分离提取7n电子级超纯氨的方法
CN104117266A (zh) * 2014-08-06 2014-10-29 中国成达工程有限公司 一种多级非平衡吸收方法分离nh3和co2混合气体的装置及其分离工艺
CN105749699A (zh) * 2016-03-31 2016-07-13 四川天采科技有限责任公司 一种全温程变压吸附气体分离提纯与净化的方法
CN205782005U (zh) * 2016-05-10 2016-12-07 苏州复纳电子科技有限公司 一种电子级四氯化硅的分装装置
CN207237331U (zh) * 2017-08-15 2018-04-17 苏州普耀光电材料有限公司 一种三甲基镓的精馏系统压力平衡装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
李国涛: "三甲基镓的制备提纯技术研究进展", 《三甲基镓的制备提纯技术研究进展》 *

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