CN107306007A - 激光装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种激光装置，包括：第一激光单元，其发射沿第一方向传播的激光束；至少一个第二激光单元，其发射沿第二方向传播的激光束，所述第二方向不同于第一方向；以及偏振耦合机构，其设置使得该偏振耦合机构能将第一激光单元的沿第一方向偏振的激光束与第二激光单元的沿第二方向偏振的激光束这样耦合，使得通过所述两个激光束的共线叠加能够获得合成的第一激光束。偏振耦合机构构成为偏振耦合棱镜，所述偏振耦合棱镜具有光入射面、反射面和光出射面，并且第二激光单元设置使得第二激光单元的激光束能这样入射到光出射面上，使得该激光束能在所述光出射面上沿如下方向反射，所述方向对应于第一激光单元的在光出射面上折射的激光束的传播方向。

Description

激光装置
技术领域
本发明涉及一种激光装置，所述激光装置包括：第一激光单元，所述第一激光单元在运行期间能发射沿第一方向传播的激光束；至少一个第二激光单元，所述至少一个第二激光单元在运行期间能发射沿第二方向传播的激光束，所述第二方向不同于第一方向并且优选正交于第一方向定向；以及偏振耦合机构，所述偏振耦合机构设置并且构成使得该偏振耦合机构能将第一激光单元的沿第一方向偏振的激光束与第二激光单元的沿第二方向偏振的激光束这样耦合，使得通过所述两个激光束的共线叠加能获得合成的第一激光束。
背景技术
开头所提及的类型的激光装置由现有技术以不同的实施方式已知并且例如具有以激光二极管棒或激光二极管棒堆的形式的半导体激光元件，所述堆通常也称为“堆栈(Stack)”。在所提及的类型的激光装置中，由各个激光二极管棒或激光二极管棒堆发射的被不同地线性偏振的光可以借助偏振耦合机构合并成一个合成的激光束并且随后利用相应的光学装置例如直接聚焦到要加工的工件上或引入到光导纤维中。
在偏振耦合中，至少两个不同地线性偏振的尤其是垂直于彼此偏振的沿两个不同的尤其是彼此正交的空间方向传播的激光束借助偏振耦合机构耦合并且由此共线地叠加成一个合成的激光束。这种偏振耦合机构通常构成为具有介电涂层的镜，所述涂层例如对于垂直于入射面的偏振方向理想地具有反射率Rs＝100％并且对于平行于入射面的偏振方向理想地具有反射率Rp＝0％。
发明内容
本发明的任务是，提供一种开头提及的类型的激光装置，所述激光装置能够以可选的方式实现至少两个不同地线性偏振的激光束的偏振耦合。
该任务的解决方案提供一种开头提及的类型的具有权利要求1特征部分的特征的激光装置。从属权利要求涉及本发明的有利的进一步扩展方案。
按照本发明的激光装置的特征在于，偏振耦合机构构成为偏振耦合棱镜，所述偏振耦合棱镜包括光入射面、反射面和光出射面，第一激光单元的激光束能通过所述光入射面入射到偏振耦合棱镜中，所述反射面相对于光入射面这样设置，使得第一激光单元的激光束以如下角度入射到反射面上，所述角度大于内部全反射的临界角，第一激光单元的激光束在反射面上内部全反射之后能通过所述光出射面从偏振耦合棱镜出射并且在该光出射面上折射，并且第二激光单元相对于偏振耦合棱镜这样设置，使得第二激光单元的激光束能这样入射到光出射面上，使得该激光束能在所述光出射面上沿如下方向反射，所述方向对应于第一激光单元的在光出射面上折射的激光束的传播方向，从而通过所述两个激光束的共线叠加能够获得合成的第一激光束。按照本发明的激光装置能够以可选的方式实现所述至少两个不同地线性偏振的激光束的偏振耦合，借助所述激光束能够在保持光束质量的情况下获得合成的第一激光束，所述第一激光束的功率基本上等于第一激光单元的偏振的激光束和第二激光单元的偏振的激光束的功率的总和。
为了避免或至少减少在第一激光单元的激光束入射到光入射面上时可能的反射损失，在一种有利的实施方式中提出，偏振耦合棱镜的光入射面具有防反射涂层。优选地，在此可以涉及防反射的介电涂层。
在一种特别有利的实施方式中可以规定，偏振耦合棱镜的光出射面具有介电涂层，所述涂层对于第一激光单元的沿第一方向偏振的激光束具有反射率RP＝0％和透射率TP＝100％。通过该措施能够以有利的方式避免在第一激光单元的在反射面上全反射的激光束入射到光出射面上时的反射损失。
在一种有利的实施方式中存在如下可能性，即，介电涂层对于第二激光单元的沿第二方向偏振的激光束具有反射率RS＝100％和透射率TS＝0％。由此能够以有利的方式同样避免在第二激光单元的激光束入射到光出射面上时的透射损失。
优选地，偏振耦合棱镜可以相对于第一激光单元这样设置，使得第一激光单元的激光束平行于表面法线指向地入射到光入射面上。通过使第一激光单元的偏振的激光束这样垂直地入射到光入射面上，对于第一激光单元的该偏振的激光束的光路实现高的透射率。
在一种优选的实施方式中提出，第一激光单元的激光束沿平行于入射面的方向偏振，该激光束在所述入射面中入射到偏振耦合棱镜上。优选地，第二激光单元的激光束可以沿垂直于入射面的方向偏振，该激光束在所述入射面中入射到偏振耦合棱镜上。因此，尤其是所述两个激光束可以彼此正交地偏振。
在一种有利的实施方式中存在如下可能性，即，第一激光单元的激光束具有与第二激光单元的激光束的中心波长λ1相同的中心波长λ1。
在一种特别有利的进一步扩展方案中提出，激光装置包括至少一个第三激光单元并且包括波长耦合机构，所述至少一个第三激光单元在运行期间能发射激光束，所述波长耦合机构在激光装置的光路中这样设置，使得该波长耦合机构能将偏振耦合的合成的第一激光束与第三激光单元的激光束共线地叠加，从而能够获得合成的第二激光束。通过该波长耦合能够进一步提高激光装置的功率。
波长耦合机构优选可以构成为具有多层介电涂层的镜。由此能够实现高效的波长耦合。
在一种优选的实施方式中提出，波长耦合机构、尤其是所述镜这样设置在激光装置的光路中，使得合成的第一激光束和第三激光单元的激光束在入射到波长耦合机构上时相互间形成>90°的角度。
在一种有利的实施方式中提出，第三激光单元的激光束具有与第一激光单元和第二激光单元的激光束的中心波长λ1不同的中心波长λ2。
在一种优选的实施方式中可以规定，所述镜的介电涂层构成使得该涂层对于如下入射角并且对于如下激光束具有透射率Tλ2＝100％和反射率Rλ2＝0％，由第三激光单元发射的该激光束以该入射角入射到所述镜上。通过该措施能够实现由第三激光单元发射的激光束的最大透射。
在一种特别优选的实施方式中存在如下可能性，即，所述镜的介电涂层构成使得该涂层对于如下入射角具有反射率Rλ1＝100％和透射率Tλ1＝0％，偏振耦合的合成的第一激光束以所述入射角入射到所述镜上。由此能够以有利的方式阻止透射损失。
在此介绍的激光装置尤其是能够实现优选构成为镜的波长耦合机构的较简单的构造，该波长耦合机构的介电涂层可以比在常规的波长耦合机构的情况下具有显著更少的层，在该激光装置中，具有中心波长λ1的偏振耦合的合成的第一激光束和第三激光单元的具有中心波长λ2的激光束在入射到波长耦合机构上时优选相互间形成>90°的角度。由此能够减少用于制造波长耦合机构的费用。此外能够以有利的方式减少吸收效应。当镜的介电涂层的层数量相比于常规的用作波长耦合机构的镜不减少时，通过偏振耦合获得的合成的第一激光束能与第三激光单元的激光束耦合，其中，波长差别Δλ＝λ2–λ1可以比在现有技术中小。因此能够以有利的方式耦合较狭窄的波长λ1、λ2。
按照另一方面，本发明涉及一种激光装置，该激光装置包括：第一激光单元，所述第一激光单元在运行期间能发射具有中心波长的沿第一偏振方向偏振的激光束，该激光束沿第一方向传播；至少一个第二激光单元，所述至少一个第二激光单元在运行期间能发射沿第一偏振方向偏振的激光束，该激光束具有与第一激光单元的激光束的中心波长不同的中心波长并且该激光束沿与第一方向且优选正交于第一方向定向不同的第二方向传播；以及波长耦合机构，所述波长耦合机构设置并且构成使得该波长耦合机构能将第一激光单元的激光束和第二激光单元的激光束这样耦合，使得通过所述两个激光束的共线叠加能够获得合成的第一激光束。
为了激光束的波长耦合，在现有技术中通常使用构造成具有介电涂层的镜的波长耦合机构。
此外，本发明的任务是提供一种这种类型的激光装置，该激光装置能够以可选的方式实现两个激光束的波长耦合。
按照权利要求14，另一种按照本发明的激光装置的特征在于，波长耦合机构构成为波长耦合棱镜，所述波长耦合棱镜具有光入射面、反射面和光出射面，第一激光单元的激光束能通过所述光入射面入射到波长耦合棱镜中，所述反射面相对于光入射面这样设置，使得第一激光单元的激光束以如下角度入射到反射面上，所述角度大于内部全反射的临界角，第一激光单元的激光束在反射面上内部全反射之后能通过所述光出射面从波长耦合棱镜出射并且在该光出射面上折射，并且第二激光单元相对于波长耦合棱镜这样设置，使得第二激光单元的激光束能这样入射到光出射面上，使得该激光束能在所述光出射面上沿如下方向反射，所述方向对应于第一激光单元的在光出射面上折射的激光束的传播方向，从而通过所述两个激光束的共线叠加能够获得合成的第一激光束。
按照本发明的激光装置能够以可选的方式实现至少两个相同地偏振的激光束的波长耦合，借助所述激光束能够在保持光束质量的情况下获得合成的第一激光束，所述第一激光束的功率基本上等于第一激光单元的激光束和第二激光单元的激光束的功率的总和。因此，独立权利要求1和14的共同构思在于使用棱镜，所述棱镜按照权利要求1用于两个激光束的偏振耦合并且按照权利要求14用于两个激光束的波长耦合。
在一种有利的进一步扩展方案中提出，激光装置包括至少一个第三激光单元并且包括偏振耦合机构，所述至少一个第三激光单元在运行期间能发射激光束，该激光束沿不同于第一偏振方向的第二偏振方向偏振，所述偏振耦合机构在激光装置的光路中这样设置，使得该偏振耦合机构能将合成的第一激光束与第三激光单元的激光束共线地叠加，从而能够获得合成的第二激光束，其中，偏振耦合机构优选构成为具有多层介电涂层的镜。不同于按照权利要求9的实施变型方案，具有介电涂层的镜当前用于偏振耦合。两个偏振方向优选彼此正交地定向。通过偏振耦合能够进一步提高激光装置的功率。为了避免或至少减少在第一激光单元的激光束入射到波长耦合棱镜的光入射面上时可能的反射损失，在一种有利的实施方式中提出，光入射面具有防反射涂层。优选地，在此可以涉及防反射的介电涂层。
在一种特别有利的实施方式中可以规定，波长耦合棱镜的光出射面具有介电涂层，所述涂层对于第一激光单元的激光束具有反射率Rλ1＝0％和透射率Tλ1＝100％。通过该措施能够以有利的方式避免在第一激光单元的在反射面上全反射的激光束入射到光出射面上时的反射损失。
在一种有利的实施方式中存在如下可能性，即，光出射面的介电涂层对于第二激光单元的激光束具有反射率Rλ2＝100％和透射率Tλ2＝0％。由此能够以有利的方式同样避免在第二激光单元的激光束入射到光出射面上时的透射损失。
波长耦合棱镜优选可以相对于第一激光单元这样设置，使得第一激光单元的激光束平行于表面法线指向地入射到光入射面上。通过使第一激光单元的激光束垂直地入射到光入射面上，对于第一激光单元的激光束的光路实现高的透射率。
在一种优选的实施方式中提出，偏振耦合机构、尤其是镜这样在激光装置的光路中设置，使得合成的第一激光束和第三激光单元的激光束在入射到偏振耦合机构上时相互间形成>90°的角度。
在一种优选的实施方式中可以规定，所述镜的介电涂层构成使得该涂层对于如下入射角并且对于如下激光束具有透射率T＝100％和反射率R＝0％，由第三激光单元发射的该(偏振的)激光束以该入射角入射到所述镜上。通过该措施能够实现由第三激光单元发射的激光束的最大透射。
在一种特别优选的实施方式中存在如下可能性，即，所述镜的介电涂层构成使得该涂层对于如下入射角具有反射率R＝100％和透射率T＝0％，偏振的波长耦合的合成的第一激光束以所述入射角入射到镜上。由此能够以有利的方式阻止透射损失。
附图说明
本发明的其它特征和优点借助以下参考附图1对优选实施例的说明而变得清楚，所述附图示出激光装置1的光学的光路。此外，在图1中附加地标绘笛卡尔坐标系，该笛卡尔坐标系象征第一空间方向(x方向)和正交于第一空间方向延伸的第二空间方向(z方向)。
具体实施方式
激光装置1在该实施例中总共包括三个激光单元2、3、4，所述激光单元分别包括半导体激光元件20、30、40以及配属于所述半导体激光元件的光学机构21、31、41。半导体激光元件20、30、40优选可以构成为激光二极管棒或作为激光二极管棒堆(所谓的“堆栈(Stack)”)。在图1中仅示意性简化地以透镜的形式示出光学机构21、31、41，所述光学机构沿由半导体激光元件20、30、40发射的激光束5、6、7的传播方向设置在半导体激光元件20、30、40下游。光学机构21、31、41尤其是可以包括一个快轴准直透镜、一个或多个慢轴准直透镜以及其它光束成形机构。快轴准直透镜在此用于使由半导体激光元件20、30、40发射的激光束5、6、7沿所谓的快轴方向至少部分地准直，所述激光束沿快轴方向比沿垂直于快轴方向延伸的方向(也称为慢轴方向)具有更大的光束发散。与此对应地，慢轴准直透镜用于使由半导体激光元件20、30、40发射的激光束5、6、7沿慢轴方向至少部分地准直。激光单元2、3、4的光学机构21、31、41的其它光束成形机构例如可以是均匀装置亦或透镜组合，以用于汇合合成的由半导体激光元件20、30、40发射的激光束5、6、7的各个子光束。因此，每个激光单元2、3、4可以构造使得相对良好地准直的、尤其是均匀的并且使得可良好聚焦的激光束5、6、7从所述激光单元出射。
此外，在图1中描绘的激光装置1包括构成为偏振耦合棱镜8的偏振耦合机构。该偏振耦合棱镜8在激光装置1的光路中设置并且构成使得该偏振耦合棱镜能将激光装置1的第一激光单元2的沿平行于入射面的方向偏振的激光束5与第二激光单元3的沿垂直于入射面的方向偏振的激光束6这样耦合，使得通过所述两个激光束5、6的共线叠加能够在保持光束质量的情况下获得合成的第一激光束9，激光束5在所述入射面中入射到偏振耦合棱镜8上。第一激光单元2的激光束5和第二激光单元3的激光束6在此具有相同的中心波长λ1。
偏振耦合棱镜8当前是直的棱镜，该棱镜具有以等腰三角形形式的基面。偏振耦合棱镜8具有光入射面80，第一激光单元2的平行于入射面偏振的(p偏振的)激光束5可以通过所述光入射面沿x方向平行于表面法线N指向地入射到偏振耦合棱镜8中。偏振耦合棱镜8还具有反射面81，所述反射面与光入射面80形成如下角度，这样选择该角度，使得第一激光单元2的沿x方向传播的p偏振的激光束5以大于内部全反射的临界角的角度入射到反射面81上。由此，第一激光单元2的p偏振的激光束5在反射面81上经历无反射损失的内部全反射。通过使第一激光单元2的p偏振的激光束5垂直地入射到光入射面80上，对于第一激光单元2的p偏振的激光束5的光路实现高的透射率。为了此外避免或至少减少在光入射面80上可能的反射损失，就此而言有利的是，光入射面80–如在该实施例中规定的那样–具有防反射涂层800。
此外，偏振耦合棱镜8包括光出射面82，所述光出射面具有介电涂层820，所述涂层对于平行于入射面偏振的光具有反射率RP＝0％和透射率TP＝100％并且对于垂直于入射面偏振的光具有反射率RS＝100％和透射率TS＝0％。通过该措施实现第一激光单元2的在偏振耦合棱镜8的反射面81上全反射的p偏振的激光束5在光出射面82上不反射，而是经历最大透射并且在此折射。
第二激光单元3设置使得由其发射的s偏振的激光束6沿x方向传播并且在如下位置上入射到光出射面82上并且在该光出射面上基于反射率RS＝100％而经历全反射，第一激光单元2的p偏振的激光束5自身在所述位置上从光出射面82出射并且在此折射。s偏振的激光束6在光出射面82上的反射角在此等于p偏振的激光束5在光出射面82上的折射角。以这种方式能够使第一激光单元2的p偏振的激光束5和第二激光单元3的s偏振的激光束6共线地叠加成具有中心波长λ1的合成的第一激光束9。通过该偏振耦合使得第一激光单元2的p偏振的激光束5和第二激光单元3的s偏振的激光束6在不改变光束参数的情况下聚集成一个合成的第一激光束9，所述第一激光束的功率等于p偏振的激光束5和s偏振的激光束6的功率的总和。
由第三激光单元4发射的激光束7具有中心波长λ2，该波长不同于第一激光单元2的p偏振的激光束5和第二激光单元3的s偏振的激光束6的(相同的)中心波长λ1。如在图1中可看出的那样，由第三激光单元4发射的激光束7沿平行于第二激光单元3的s偏振的在偏振耦合棱镜8的光出射面82上反射之前的激光束6的z方向传播。
此外，激光装置1具有波长耦合机构，所述波长耦合机构设置用于将通过偏振耦合获得的合成的第一激光束9与由第三激光单元4发射的激光束7耦合并且共线地聚集成合成的第二激光束11，所述第二激光束当前沿z方向传播。波长耦合机构当前构成为具有多层介电涂层的镜10，借助所述波长耦合机构能够进一步提高激光装置1的功率。如在图1中可看出的那样，镜10关于z方向倾斜地定向，所述z方向不仅形成由第三激光单元4发射的激光束7的传播方向，而且形成合成的第二激光束11的传播方向。镜10的多层介电涂层构成使得该涂层对于由第三激光单元4发射的激光束7的入射角具有透射率Tλ2＝100％和反射率Rλ2＝0％。这样选择合成的第一激光束9到镜10上的入射角，使得合成的第一激光束9能沿由第三激光单元4发射的激光束7的传播方向的方向、当前z方向被镜10反射。由此使得由第三激光单元4发射的激光束7以及在波长耦合机构10上被反射的合成的第一激光束9共线地叠加成合成的沿z方向传播的第二激光束11。镜10的多层介电涂层构成使得该涂层对于如下入射角具有反射率Rλ1＝100％和透射率Tλ1＝0％，合成的第一激光束9以该入射角入射到镜10上。
激光装置1的光学的光路能够实现由三个激光单元2、3、4发射的激光束5、6、7的高效的偏振和波长耦合，而对于偏振耦合无需90°光束偏转装置，该90°光束偏转装置在常规的偏振耦合机构中出现。同时维持如下构思，即，第一激光单元2的p偏振的激光束5和第二激光单元3的s偏振的激光束6在入射到偏振耦合棱镜8上之前彼此正交地传播。由此能够简化第一激光单元2和第二激光单元3激光装置1的光路中的调节。同样有利的是，第三激光单元4的激光7平行于第二激光单元3的入射到偏振耦合棱镜8之前的激光束6传播。
在此介绍的激光装置1尤其是能够实现构成为镜10的波长耦合机构的较简单的构造，所述镜的介电涂层相比于在常规的波长耦合机构的情况下可以具有显著较少的层。由此可以减少用于制造镜10的费用。此外能够以有利的方式减少吸收效应。
当镜10的介电涂层的层数量相比于常规的用作波长耦合机构的镜不减少时，可以将通过偏振耦合获得的合成的第一激光束9与第三激光单元4的激光束7耦合，其中，波长差别Δλ＝λ2–λ1在此可以比在现有技术中小。因此能够以有利的方式实现较狭窄的波长λ1、λ2的耦合。
在图1中示出的构思原则上也能够借助偏振耦合棱镜8实现波长耦合，所述偏振耦合棱镜这时作为波长耦合棱镜起作用。于是，由第一激光单元2发射的激光束5具有与由第二激光单元3发射的激光束6的中心波长λ2不同的中心波长λ1。第一激光单元2和第二激光单元3的两个激光束5、6沿(共同的)第一方向偏振。通过波长耦合又获得合成的第一激光束9。第三激光单元4发射沿不同于第一偏振方向、尤其是正交于第一偏振方向定向的第二偏振方向偏振的激光束7。不同于第一实施变型方案，镜10在该变型方案中没有构成波长耦合机构，而是构成偏振耦合机构。通过合成的第一激光束9与由第三激光单元4发射的激光束7的偏振耦合获得合成的第二激光束11。波长耦合棱镜的光出射面82的介电涂层820优选对于第一中心波长λ1具有反射率Rλ1＝0％和透射率Tλ1＝100％并且对于第二中心波长λ2具有反射率Rλ2＝100％和透射率Tλ2＝0％。镜10的介电涂层构造使得该涂层能反射合成的沿第一偏振方向偏振的第一激光束9并且能透射第三激光单元4的沿第二偏振方向偏振的激光束7，从而能够获得偏振耦合。

Claims (15)

1.激光装置(1)，其包括
第一激光单元(2)，所述第一激光单元在运行期间能发射沿第一方向(x)传播的激光束(5)；
至少一个第二激光单元(3)，所述第二激光单元在运行期间可以发射沿第二方向(z)传播的激光束(6)，所述第二方向不同于第一方向(x)并且优选正交于第一方向(x)定向；以及
偏振耦合机构，所述偏振耦合机构设置并且构成使得该偏振耦合机构能将第一激光单元(2)的沿第一方向偏振的激光束(5)与第二激光单元(3)的沿第二方向偏振的激光束(6)这样耦合，使得通过所述两个激光束(5、6)的共线叠加能够获得合成的第一激光束(9)，
其特征在于，所述偏振耦合机构构成为偏振耦合棱镜(8)，所述偏振耦合棱镜具有光入射面(80)、反射面(81)和光出射面(82)，第一激光单元(2)的激光束(5)通过所述光入射面能入射到偏振耦合棱镜(8)中，所述反射面相对于光入射面(80)这样设置，使得第一激光单元(2)的激光束(5)以大于内部全反射的临界角的角度入射到反射面(81)上，第一激光单元(2)的激光束(5)在反射面(81)上内部全反射之后能通过所述光出射面从偏振耦合棱镜(8)出射并且在该光出射面上折射，并且第二激光单元(3)相对于偏振耦合棱镜(8)这样设置，使得第二激光单元(3)的激光束(6)可以这样入射到光出射面(82)上，使得所述激光束能在所述光出射面上沿如下方向反射，所述方向对应于第一激光单元(2)的在光出射面(82)上折射的激光束(5)的传播方向，从而通过所述两个激光束(5、6)的共线叠加能够获得合成的第一激光束(9)。
2.按照权利要求1所述的激光装置(1)，其特征在于，偏振耦合棱镜(8)的光入射面(80)具有防反射涂层(800)。
3.按照权利要求1或2之一所述的激光装置(1)，其特征在于，偏振耦合棱镜(8)的光出射面(82)具有介电涂层(820)，所述涂层对于第一激光单元(2)的沿第一方向偏振的激光束(5)具有反射率RP＝0％和透射率TP＝100％。
4.按照权利要求3所述的激光装置(1)，其特征在于，所述介电涂层(820)对于第二激光单元(3)的沿第二方向偏振的激光束(6)具有反射率RS＝100％和透射率TS＝0％。
5.按照权利要求1至4之一所述的激光装置(1)，其特征在于，偏振耦合棱镜(8)相对于第一激光单元(2)这样设置，使得第一激光单元(2)的激光束(5)平行于表面法线(N)指向地入射到光入射面(80)上。
6.按照权利要求1至5之一所述的激光装置(1)，其特征在于，第一激光单元(2)的激光束(5)沿平行于入射面的方向偏振，所述激光束(5)在所述入射面中入射到偏振耦合棱镜(8)上。
7.按照权利要求1至6之一所述的激光装置(1)，其特征在于，第二激光单元(3)的激光束(6)沿垂直于入射面的方向偏振，所述激光束(6)在所述入射面中入射到偏振耦合棱镜(8)上。
8.按照权利要求1至7之一所述的激光装置(1)，其特征在于，第一激光单元(2)的激光束(5)具有与第二激光单元(3)激光束(6)的中心波长(λ1)相同的中心波长(λ1)。
9.按照权利要求1至8之一所述的激光装置(1)，其特征在于，激光装置(1)包括至少一个第三激光单元(4)并且包括波长耦合机构，所述第三激光单元在运行期间能发射激光束(7)，所述波长耦合机构在激光装置(1)的光路中这样设置，使得合成的第一激光束(9)能与第三激光单元(4)的激光束(7)共线地叠加，从而能够获得合成的第二激光束(11)，其中，波长耦合机构优选构成为具有多层介电的镜(10)。
10.按照权利要求9所述的激光装置(1)，其特征在于，波长耦合机构、尤其是镜(10)这样设置在激光装置(1)的光路中，使得合成的第一激光束(9)和第三激光单元(4)的激光束(7)在入射到波长耦合机构上时相互间形成>90°的角度。
11.按照权利要求9或10之一所述的激光装置(1)，其特征在于，第三激光单元(4)的激光束(7)具有与第一激光单元(2)和第二激光单元(3)的激光束(5、6)的中心波长(λ1)不同的中心波长(λ2)。
12.按照权利要求9至11之一所述的激光装置(1)，其特征在于，镜(10)的介电涂层这样构成，使得该涂层对于如下入射角并且对于如下激光束(7)具有透射率Tλ2＝100％和反射率Rλ2＝0％，由第三激光单元(4)发射的该激光束(7)以所述入射角入射到镜(10)上。
13.按照权利要求9至12之一所述的激光装置(1)，其特征在于，镜(10)的介电涂层这样构成，使得该涂层对于如下入射角具有反射率Rλ1＝100％和透射率Tλ1＝0％，偏振耦合的合成的第一激光束(9)以所述入射角入射到镜(10)上。
14.激光装置(1)，其包括
第一激光单元(2)，所述第一激光单元在运行期间能发射具有中心波长(λ1)的沿第一偏振方向偏振的激光束(5)，所述激光束沿第一方向(x)传播，
至少一个第二激光单元(3)，所述至少一个第二激光单元在运行期间能发射沿第一偏振方向偏振的激光束(6)，所述激光束具有与第一激光单元(2)的激光束(5)的中心波长(λ1)不同的中心波长(λ2)，并且所述激光束沿不同于第一方向(x)并且优选正交于第一方向(x)定向的第二方向(z)传播，以及
波长耦合机构，所述波长耦合机构设置并且构成使得该波长耦合机构能将第一激光单元(2)的激光束(5)和第二激光单元(3)的激光束(6)这样耦合，使得通过所述两个激光束(5、6)的共线叠加能够获得合成的第一激光束(9)，
其特征在于，波长耦合机构构成为波长耦合棱镜(8)，所述波长耦合棱镜具有光入射面(80)、反射面(81)和光出射面(82)，第一激光单元(2)的激光束(5)能通过所述光入射面入射到波长耦合棱镜(8)中，所述反射面相对于光入射面(80)这样设置，使得第一激光单元(2)的激光束(5)以大于内部的全反射的临界角的角度入射到反射面(81)上，第一激光单元(2)的激光束(5)在反射面(81)上内部全反射之后能通过所述光出射面从波长耦合棱镜(8)出射并且在该光出射面上折射，并且第二激光单元(3)相对于波长耦合棱镜(8)这样设置，使得第二激光单元(3)的激光束(6)能这样入射到光出射面(82)上，使得所述激光束能在所述光出射面上沿如下方向反射，所述方向对应于第一激光单元(2)的在光出射面(82)上折射的激光束(5)的传播方向，从而通过所述两个激光束(5、6)的共线叠加能够获得合成的第一激光束(9)。
15.按照权利要求14所述的激光装置(1)，其特征在于，激光装置(1)包括至少一个第三激光单元(4)并且包括偏振耦合机构，所述至少一个第三激光单元在运行期间能发射沿不同于第一偏振方向的第二偏振方向偏振的激光束(7)，所述偏振耦合机构在激光装置(1)的光路中这样设置，使得该偏振耦合机构能将合成的第一激光束(9)与第三激光单元(4)的激光束(7)共线地叠加，从而能够获得合成的第二激光束(11)，其中，偏振耦合机构优选构成为具有多层介电涂层镜(10)。
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