CN107255571A - 一种激光退火机的状态监控方法 - Google Patents

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许云兰
陈传辉
陈传伟
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Suzhou Jinjusong Mechanical and Electrical Co Ltd
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Suzhou Jinjusong Mechanical and Electrical Co Ltd
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • G01M99/005—Testing of complete machines, e.g. washing-machines or mobile phones

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Abstract

本发明涉及一种激光退火机的状态监控方法，包括以下步骤：测量激光退火机上监控片的颗粒水平获得颗粒测量前值；采用第一激光扫描监控片；测量监控片的颗粒水平获得颗粒测量后值；对比颗粒测量前值和颗粒测量后值以判断退火机机台内部的洁净度；采用快速热退火的方法对监控片进行退火；在监控片上注入过硼；采用第二激光扫描监控片；测量监控片获得方块电阻阻值的测量值；通过对比方块电阻阻值和预设值的差，来判断激光温度的稳定性是否合格。本发明能够在同一监控片上进行颗粒水平测量和方块电阻阻值测量，以判断激光退火机的机台内部的洁净度和激光温度的稳定性是否合格，减少了监控片的使用，在不影响监控效果的前提下，节约制造成本。

Description

一种激光退火机的状态监控方法
技术领域
本发明属于监控方法领域，具体涉及一种激光退火机的状态监控方法。
背景技术
在进行激光退火机的日常监控时，主要监控两项指标，一是颗粒水平，二是监控片上测得的方块电阻阻值。
目前，在做颗粒水平的日常监控时和方块电阻阻值的日常监控时，通常是将两种监控分开进行的，也即是说每一种监控都需要单独消耗监控片，同时做颗粒水平的日常监控时和方块电阻阻值的日常监控时，就需要消耗两个监控片，这样一来就会导致资源浪费。
因此，提出一种激光退火机的状态监控方法是本发明所要研究的课题。
发明内容
为解决现有技术同时做颗粒水平的日常监控时和方块电阻阻值的日常监控时，需要消耗两个监控片，从而导致资源浪费的缺点，从而提供一种激光退火机的状态监控方法，包括以下步骤：
步骤一：测量激光退火机上监控片的颗粒水平，从而获得颗粒测量前值；
步骤二：采用第一激光扫描所述监控片；
步骤三：测量所述监控片的颗粒水平，从而获得颗粒测量后值；
步骤四：对比颗粒测量前值和颗粒测量后值，以判断退火机机台内部的洁净度；
步骤五：采用快速热退火的方法对所述监控片进行退火；
步骤六：在所述监控片上注入过硼；
步骤七：采用第二激光扫描所述监控片；
步骤八：测量所述监控片的方块电阻阻值，获得方块电阻阻值的测量值；
步骤九：通过对比所述方块电阻阻值和预设值的差，来判断所述激光退火机的激光温度的稳定性是否合格。
进一步地，所述颗粒测量前值和颗粒测量后值的差和所述激光退火机的机台内部的洁净度成反比。
进一步地，所述快速热退火的方法为脉冲激光快速退火。
进一步地，所述快速热退火的方法为脉冲电子束快速退火。
进一步地，所述快速热退火的方法为离子束快速退火或者连续波快速激光退火。
进一步地，所述快速热退火的方法分为两段进行操作，第一段对前半部分进行退火，第二段对第二部分进行退火，再通过第一部分和第二部分的温度对第一段和第二段进行温度补偿。
本发明相对于现有技术的有益效果如下：
本发明提供了一种激光退火机的状态监控方法，在同一监控片上进行颗粒水平测量和方块电阻阻值测量，以判断激光退火机的机台内部的洁净度和激光温度的稳定性是否合格，减少了监控片的使用，在不影响监控效果的前提下，节约制造成本。
附图说明
图1是本发明激光退火机的状态监控方法的流程示意图。
具体实施方式
实施例：一种激光退火机的状态监控方法
参见图1，包括以下步骤：
步骤一：测量激光退火机上监控片的颗粒水平，从而获得颗粒测量前值；
步骤二：采用第一激光扫描所述监控片；
步骤三：测量所述监控片的颗粒水平，从而获得颗粒测量后值；
步骤四：对比颗粒测量前值和颗粒测量后值，以判断退火机机台内部的洁净度；
步骤五：采用快速热退火的方法对所述监控片进行退火；
步骤六：在所述监控片上注入过硼；
步骤七：采用第二激光扫描所述监控片；
步骤八：测量所述监控片的方块电阻阻值，获得方块电阻阻值的测量值；
步骤九：通过对比所述方块电阻阻值和预设值的差，来判断所述激光退火机的激光温度的稳定性是否合格。
其中，所述快速热退火的方法分为两段进行操作，第一段对前半部分进行退火，第二段对第二部分进行退火，再通过第一部分和第二部分的温度对第一段和第二段进行温度补偿。
进一步地，所述颗粒测量前值和颗粒测量后值的差和所述激光退火机的机台内部的洁净度成反比。
另外，所述快速热退火的方法为脉冲激光快速退火、脉冲电子束快速退火、离子束快速退火或者连续波快速激光退火。所述第一激光的功率值为900W，第二激光的功率值范围为2700W到3300W。
以上已将本发明做一详细说明，以上所述，仅为本发明之较佳实施例而已，当不能限定本发明实施范围，即凡依本申请范围所作均等变化与修饰，皆应仍属本发明涵盖范围内。

Claims (6)

1.一种激光退火机的状态监控方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤一：测量激光退火机上监控片的颗粒水平，从而获得颗粒测量前值；
步骤二：采用第一激光扫描所述监控片；
步骤三：测量所述监控片的颗粒水平，从而获得颗粒测量后值；
步骤四：对比颗粒测量前值和颗粒测量后值，以判断退火机机台内部的洁净度；
步骤五：采用快速热退火的方法对所述监控片进行退火；
步骤六：在所述监控片上注入过硼；
步骤七：采用第二激光扫描所述监控片；
步骤八：测量所述监控片的方块电阻阻值，获得方块电阻阻值的测量值；
步骤九：通过对比所述方块电阻阻值和预设值的差，来判断所述激光退火机的激光温度的稳定性是否合格。
2.根据权利要求1所述的激光退火机的状态监控方法，其特征在于：所述颗粒测量前值和颗粒测量后值的差和所述激光退火机的机台内部的洁净度成反比。
3.根据权利要求1所述的激光退火机的状态监控方法，其特征在于：所述快速热退火的方法为脉冲激光快速退火。
4.根据权利要求3所述的激光退火机的状态监控方法，其特征在于：所述快速热退火的方法为脉冲电子束快速退火。
5.根据权利要求4所述的激光退火机的状态监控方法，其特征在于：所述快速热退火的方法为离子束快速退火或者连续波快速激光退火。
6.根据权利要求3或4或5所述的激光退火机的状态监控方法，其特征在于：所述快速热退火的方法分为两段进行操作，第一段对前半部分进行退火，第二段对第二部分进行退火，再通过第一部分和第二部分的温度对第一段和第二段进行温度补偿。
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Citations (4)

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CN1230770A (zh) * 1998-04-02 1999-10-06 日本电气株式会社 半导体晶片退火用的灯管退火炉及方法
CN101431005A (zh) * 2007-05-20 2009-05-13 应用材料股份有限公司 可控的退火方法
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