CN107227449B - 用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用 - Google Patents

用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用 Download PDF

Info

Publication number
CN107227449B
CN107227449B CN201710533744.3A CN201710533744A CN107227449B CN 107227449 B CN107227449 B CN 107227449B CN 201710533744 A CN201710533744 A CN 201710533744A CN 107227449 B CN107227449 B CN 107227449B
Authority
CN
China
Prior art keywords
isolation
isolation chamber
chamber
unit
coated glass
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201710533744.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107227449A (zh
Inventor
井治
刘锐
葛治亮
张超群
王程
王贝
邓君
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
China Triumph International Engineering Co Ltd
Original Assignee
China Triumph International Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by China Triumph International Engineering Co Ltd filed Critical China Triumph International Engineering Co Ltd
Priority to CN201710533744.3A priority Critical patent/CN107227449B/zh
Publication of CN107227449A publication Critical patent/CN107227449A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107227449B publication Critical patent/CN107227449B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/568—Transferring the substrates through a series of coating stations
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用，镀膜装置包括传输单元、气体隔离单元、抽真空单元、冷却单元、至少3个隔离腔室、以及阴极靶材；其中3个所述隔离腔室分别为第一隔离腔室，第二隔离腔室、第三隔离腔室，3个所述隔离腔室依次连接，每个隔离腔室的顶部都设置可打开的盖板；每个隔离腔室内的下部都设置传输单元，所述传输单元贯通所有隔离腔室；第一隔离腔室以及第三隔离腔室内设置气体隔离单元；第一隔离腔室以及所述第三隔离腔室的盖板上都设置抽真空单元；所述第二隔离腔室中设置阴极靶材以及冷却单元。本发明使用更加便捷，气体隔离装置隔离性能好，隔离系数高，结构简单。

Description

用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用
技术领域
镀膜装置本发明涉及一种用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用，属于机械领域。
背景技术
镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求。
其生产方法主要是利用磁控溅射镀膜设备在玻璃上进行溅射镀膜。对于磁控溅射镀膜设备来说，包含许多组成部分，其中最主要的就是镀膜装置。镀膜装置内部是处在高真空环境中。镀膜玻璃产品质量的好坏与镀膜装置的配置、内部真空环境、工艺气体稳定性等因素有很大的关系。环境的真空度越高，则镀膜的效果也越好。
现有技术中存在镀膜装置安装复杂，灵活性差，隔离系数低，真空环境差、冷却效果低等问题，例如，每个隔离腔室中所要安装的元件都是固定的，无法随意的拆分，当整个设备需要有所变化时，则无形中给用户增加不必要的人力、物力和时间等成本。隔离系数低、真空环境差、冷却效果低会严重影响制备的膜层质量。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用，用于解决现有技术中镀膜装置无法实现随意安装隔离腔室中的工作单元、隔离系数低，真空环境差等问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜装置，所述镀膜装置包括传输单元、气体隔离单元、抽真空单元、冷却单元、至少3个隔离腔室，以及阴极靶材；
其中3个所述隔离腔室分别为第一隔离腔室，第二隔离腔室、第三隔离腔室，3个所述隔离腔室依次连接，且相邻的两个隔离腔室之间互相连通；每个所述隔离腔室下方都设有进片口；每个隔离腔室的顶部都设置可打开的盖板；每个所述隔离腔室内部的下方设置传输单元；所述第一隔离腔室以及所述第三隔离腔室内设置气体隔离单元；所述第一隔离腔室以及所述第三隔离腔室的盖板上都设置抽真空单元；所述第二隔离腔室中设置阴极靶材以及冷却单元。
当有隔离腔室多于3个时，可以将其他的隔离腔室设置在所述的3个隔离腔室之前或者之后，在其他的隔离腔室中可以根据需要而安装工作单元。
优选地，所述镀膜装置还包括前隔离腔室，所述第一隔离腔室连接前置隔离腔室，所述传输单元也贯通前隔离腔室。
优选地，所述镀膜装置还包括后隔离腔室，所述第三隔离腔室连接后置隔离腔室，所述传输单元也贯通后隔离腔室。
优选地，每个所述隔离腔室都是规则的6面体且大小一致。
优选地，每相邻的两个隔离腔室之间还设置抽气孔。
优选地，每个所述盖板和每个所述隔离腔室之间设有密封圈。
优选地，所述气体隔离单元包括横向设置的横向隔板和纵向设置的纵向隔板，所述横向隔板位于传输单元的上方，所述纵向隔板上端达到隔离腔室的顶部，下端达到横向隔板。气体隔离装置将隔离腔室分为左右两个完全隔离的空间，能将通入的工艺气体相对的密封在隔离空间内，阻止工艺气体间的相互窜动，影响相邻膜层质量。
优选地，所述传输单元采用传输辊道，所述辊道包括若干辊子。
优选地，所述辊子之间设置横截面为T形的T形隔板。
优选地，所述冷却单元包括设置在第二隔离腔室内下方的冷却水管道，所述冷却水管道与外部水源连通。
优选地，所述布水管道采用铜质材料制作，因为铜的导热性能较好，因此具有较好的传递热量的功能。
优选地，所述传输单元为传输辊道，所述传输辊道包括若干辊子。
优选地，所述辊子之间设置横截面为T形的T形隔板。
优选地，所述冷却单元包括设置在第二隔离腔室内下方的冷却水管道，所述冷却水管道与外部水源连通。
本发明的另一方面提供了上述的用于生产镀膜玻璃的镀膜装置用于生产镀膜玻璃的用途。
如上所述，本发明的用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用，具有以下有益效果：
由于每个隔离腔室都是规则的结构，采用标准化设计，因此其内部安装的结构单元可以随意的在任何一个隔离腔室内安装。气体隔离装置隔离性能好，隔离系数高，结构简单。冷却装置安装方便，冷却效果好，使隔离室内维持在一个恒定的温度。
附图说明
图1显示为本发明的整体结构示意图。
元件标号说明
1 前置离腔室
101 抽气口
102 进片口
2 第一隔离腔室
201 纵向隔板
202 横向隔板
203 T形隔板
3 第二隔离腔室
4 第三隔离腔室
5 后置隔离腔室
501 盲盖板
6 辊子
7 靶材固定件
8 抽真空单元
9 冷却水管道
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。
请参阅图1。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。
须知，下列实施例中未具体注明的工艺设备或装置均采用本领域内的常规设备或装置。
此外应理解，本发明中提到的一个或多个方法步骤并不排斥在所述组合步骤前后还可以存在其他方法步骤或在这些明确提到的步骤之间还可以插入其他方法步骤，除非另有说明；还应理解，本发明中提到的一个或多个设备/装置之间的组合连接关系并不排斥在所述组合设备/装置前后还可以存在其他设备/装置或在这些明确提到的两个设备/装置之间还可以插入其他设备/装置，除非另有说明。而且，除非另有说明，各方法步骤的编号仅为鉴别各方法步骤的便利工具，而非为限制各方法步骤的排列次序或限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容的情况下，当亦视为本发明可实施的范畴。
如图1所示，本发明提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜装置，所述镀膜装置包括但不限于：传输单元、气体隔离单元、抽真空单元、冷却单元、5个隔离腔室。
5个所述隔离腔室为形状和大小一致的规则六面体，其长3900mm，宽900mm，高1000mm，分别为前置隔离腔室1，第一隔离腔室2、第二隔离腔室3、第三隔离腔室4以及后置隔离腔室5，5个所述隔离腔室依次连接。当然隔离腔室的个数是不固定的，可以根据需要而进一步增加更多的隔离腔室安装在3个隔离腔室的前方或者后方。
当然，所述隔离腔室的形状也不是固定的。在本发明中每个隔离腔室的大小形状一致保证了每个盖板，以及其他组件可以随意的安装在任何一个隔离腔室中。
每个所述隔离腔室的下方的两边都设有进片口102，使得玻璃能够从进片口进入隔离腔室，并顺利的通过。在隔离腔之间的隔离墙的上方还设有抽气孔101。抽气孔可以保证隔离腔室之间的连通，每个所述隔离腔室正是通过进片口和抽气孔连通的。所述进片口的面积约为0.07m2，所述抽气孔的面积约为0.24m2。
在另一实施例中，每个隔离腔室都是独立的，呈封闭的结构，每个隔离腔室都有其自己的左右两个隔离墙，并不共用。
每个隔离腔室的顶部都设置可打开的盖板。由于每个隔离腔室大小相同，因此盖板的大小也是一样的，任何一个盖板可以适用于任意一个隔离腔室。
较佳地，每个所述盖板和所述隔离腔室之间设有密封圈，所述密封圈是采用弹性的橡胶制成，因此，可以使得盖板更加密闭的封装在隔离腔室上。
每个隔离腔室的内部下方设置传输单元，其主要目的是为了传输物料(玻璃)，将玻璃从隔离腔室的一端运输到另一端。在本实施例中所述传输单元选用的是传输辊道，所述传输辊道包括若干辊子，所述辊子水平的设置在隔离腔室的下方，使得物料从进片口进入隔离腔室后可以在传输辊道上依次通过各个隔离腔室。所述传输辊道利用电机驱动。
在另一优选实施例中传输单元可以采用传输带，同样是置于隔离腔室下方，采用电机驱动。
在本实施例中，所述第一隔离腔室2以及所述第三隔离腔室4内设置气体隔离单元；所述气体隔离单元包括横向设置的横向隔板202和纵向设置的纵向隔板201，所述横向隔板202位于传输单元和进片口的上方，所述纵向隔板201上端达到隔离腔室的顶部，下端达到横向隔板202。气体隔离装置将隔离腔室分为左右两个完全隔离的空间，能将通入的工艺气体相对的密封在隔离空间内，阻止工艺气体间的相互窜动，影响相邻膜层质量。横向隔板202的两端采用螺钉固定在隔离墙上，纵向隔板201采用夹板立在横向隔板上。在本实施例中，所述横向隔板202水平的设置在进片口上方，纵向隔板201位于隔离腔室的中央位置，因此隔离腔室被分割成两个几乎相同大小的隔离空间。
所述第一隔离腔室2以及所述第三隔离腔室4的盖板501上都设置抽真空单元8。在本实施例中所述抽真空单元选用分子泵(市购)。在本实施例中共安装了两个分子泵，一般的可以安装1～6个分子泵。所述分子泵可以将隔离腔室抽成真空状态。
在本实施例中辊子之间设置横截面为T形的T形隔板203。T形隔板的纵向部分插入辊子之间，横向部分位于相邻的两个辊子之间，所述T形隔板将辊子之间的孔隙得以密封，提高整个装置的密封性能。所述T形隔板的水平部分略低于辊子的最高点。
在本实施例中，所述第二隔离腔室盖板的下方设置靶材固定件7。在本实施例中靶材固定件7的主要目的是安装靶材使用。在本实施例中，所述靶材固定件包括4个端头，每两个端头为一组，分别位于盖板的两端将阴极靶材固定。
所述第二隔离腔室3内还设有冷却单元，在本实施例中所述冷却单元包括设置在第二隔离腔室内下方的冷却水管道9，所述冷却水管道9与外部水源连通。所述冷却水管道盘绕在棍子之间。
在另一实施例中，所述冷却水管道采用铜质材料制作，因为铜的导热性能较好，因此具有较好的传递热量的功能。
使用时，将玻璃从进片口放在传输单元上，利用传输辊道运输进入隔离腔室。在隔离腔室中以某一速度匀速前进，经过阴极下方，在玻璃表面制备膜层。
所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (7)

1.一种用于生产镀膜玻璃的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置包括传输单元、气体隔离单元、抽真空单元、冷却单元、至少3个隔离腔室、以及阴极靶材；
其中3个所述隔离腔室分别为第一隔离腔室，第二隔离腔室、第三隔离腔室，3个所述隔离腔室依次连接，每个隔离腔室的顶部都设置可打开的盖板；
每个所述隔离腔室的内部的下部都设置传输单元，所述传输单元贯通所有隔离腔室；所述传输单元采用传输辊道，所述传输辊道包括若干辊子；所述辊子水平的设置在隔离腔室的下方；所述辊子之间设置横截面为T形的T形隔板；所述T形隔板的水平部分略低于辊子的最高点；
所述第一隔离腔室以及所述第三隔离腔室内设置气体隔离单元；所述气体隔离单元包括横向设置的横向隔板和纵向设置的纵向隔板，所述横向隔板位于传输单元的上方，所述纵向隔板上端达到隔离腔室的顶部，下端达到横向隔板；
所述第一隔离腔室以及所述第三隔离腔室的盖板上都设置抽真空单元；
所述第二隔离腔室中设置阴极靶材以及冷却单元。
2.根据权利要求1所述的用于生产镀膜玻璃的镀膜装置，其特征在于：所述镀膜装置还包括前隔离腔室，所述第一隔离腔室连接前置隔离腔室，所述传输单元也贯通前隔离腔室。
3.根据权利要求1所述的用于生产镀膜玻璃的镀膜装置，其特征在于：所述镀膜装置还包括后隔离腔室，所述第三隔离腔室连接后置隔离腔室，所述传输单元也贯通后隔离腔室。
4.根据权利要求1~3任一项所述的用于生产镀膜玻璃的镀膜装置，其特征在于：每个所述隔离腔室都是规则的6面体且大小一致。
5.根据权利要求1所述的用于生产镀膜玻璃的镀膜装置，其特征在于：相邻的两个隔离腔室之间还设置抽气孔，每个所述盖板和每个所述隔离腔室之间设有密封圈。
6.根据权利要求1所述的用于生产镀膜玻璃的镀膜装置，其特征在于：所述冷却单元包括设置在第二隔离腔室内下方的冷却水管道，所述冷却水管道与外部水源连通。
7.如权利要求1~6任一项所述的用于生产镀膜玻璃的镀膜装置用于生产镀膜玻璃的用途。
CN201710533744.3A 2017-07-03 2017-07-03 用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用 Active CN107227449B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710533744.3A CN107227449B (zh) 2017-07-03 2017-07-03 用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710533744.3A CN107227449B (zh) 2017-07-03 2017-07-03 用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107227449A CN107227449A (zh) 2017-10-03
CN107227449B true CN107227449B (zh) 2023-10-03

Family

ID=59955959

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710533744.3A Active CN107227449B (zh) 2017-07-03 2017-07-03 用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107227449B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107841725A (zh) * 2017-12-13 2018-03-27 中国建材国际工程集团有限公司 一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统及其作业方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014089948A1 (zh) * 2012-12-14 2014-06-19 广东志成冠军集团有限公司 多功能连续式磁控溅射镀膜装置
CN204848659U (zh) * 2015-06-23 2015-12-09 中建材（内江）玻璃高新技术有限公司 真空腔室间强隔离装置
CN106282928A (zh) * 2016-08-10 2017-01-04 福建新福兴玻璃有限公司 一种玻璃镀膜生产线
CN207031539U (zh) * 2017-07-03 2018-02-23 中国建材国际工程集团有限公司 用于生产镀膜玻璃的镀膜装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014089948A1 (zh) * 2012-12-14 2014-06-19 广东志成冠军集团有限公司 多功能连续式磁控溅射镀膜装置
CN204848659U (zh) * 2015-06-23 2015-12-09 中建材（内江）玻璃高新技术有限公司 真空腔室间强隔离装置
CN106282928A (zh) * 2016-08-10 2017-01-04 福建新福兴玻璃有限公司 一种玻璃镀膜生产线
CN207031539U (zh) * 2017-07-03 2018-02-23 中国建材国际工程集团有限公司 用于生产镀膜玻璃的镀膜装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN107227449A (zh) 2017-10-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105239051B (zh) 双向进出交替镀膜装置及方法
CN103147053B (zh) 多功能连续式磁控溅射镀膜装置
CN107227449B (zh) 用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用
TW200730268A (en) Tunnel washer system with improved cleaning efficiency
CN1119495C (zh) 一种抽空玻璃腔体的方法及其装置
KR101613161B1 (ko) 2단형 건식 진공펌프
JP2012506490A (ja) 真空処理装置
CN204299835U (zh) 一种真空绝热板生产用抽真空系统
CN108677160B (zh) 一种基于公自转装载托盘的连续镀膜生产线
CN102112646A (zh) 真空处理装置、真空处理方法
KR20130072602A (ko) 마스크 적재 및 기판 반송 챔버와, 마스크 적재 및 기판 반송 챔버의 운용방법
CN207031539U (zh) 用于生产镀膜玻璃的镀膜装置
US10590528B2 (en) Device for coating extra-long sheet-type substrates, in particular glass panes, in a vacuum coating system
CN114481061B (zh) 一种玻璃连续ito镀膜设备
TWI616556B (zh) 一種減少自摻雜的底座及磊晶設備
CN106277816B (zh) 镀膜生产线多级气氛隔离装置
CN212863416U (zh) 一种真空步进传输装置
CN105220126A (zh) 冷却装置、加载腔室及半导体加工设备
CN211601650U (zh) 一种用于生产乳制品的多级蒸发冷凝装置
CN108172531B (zh) 刻蚀设备
CN111322851A (zh) 连续性带式真空烘干机
CN216663218U (zh) 预抽真空装置
CN219861573U (zh) 一种微波等离子体化学气相沉积设备反应腔结构
CN220262366U (zh) 一种pvc印刷膜冷却机构
CN216514101U (zh) 工艺腔室及半导体设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant