CN107175188A - 一种涂布机上胶装置及系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种涂布机上胶装置及系统，该涂布机上胶装置包括：喷嘴，用于向滚轮注入光阻；滚轮槽，设置在所述喷嘴的下方，所述滚轮槽的上方设置有开口，所述喷嘴设置在所述开口上，且所述开口与所述喷嘴之间密封设置；所述滚轮槽内注入有清洗液；滚轮，固定在所述滚轮槽内，所述滚轮的位置与所述喷嘴的位置相对应；所述滚轮部分与所述清洗液接触；刮条部件，用于清洁所述滚轮；真空泵，设置所述滚轮槽的底部，用于在涂布过程中，加速所述清洗液的循环，以快速溶解所述滚轮上的光阻得到溶解液；所述真空泵还用于汽化和液化所述溶解液，以减小所述滚轮槽内的压力。本发明的涂布机上胶装置及系统，能够提高膜厚的均一性。

Description

一种涂布机上胶装置及系统

【技术领域】

本发明涉及显示器技术领域，特别是涉及一种涂布机上胶装置及系统。

【背景技术】

如图1所示，现有的涂布机包括机头11，机头11包括高压泵111和喷嘴112、高压泵111设置在喷嘴112的两侧，在机头11下方设置有滚筒槽12和固定在滚筒槽12上方的滚轮13。

为了确保膜厚的均一性，避免膜层不均，在进行涂布制程前，需要进行一系列的准备工作，比如清洗喷嘴112、清洁滚轮13。由于在光阻涂布前，光阻已经在喷嘴112里停滞了较长一段时间，会慢慢溢出到喷嘴112的表面，因此需要及时清理以防止光阻结晶刮伤基板表面。为了防止滚轮表面残留的光阻结晶，确保光阻预涂的顺利进行，还需要用刮条14清洁滚轮，之后再将喷嘴置于滚轮上进行光阻预涂，确保基板上涂布的光阻为新光阻(未接触空气)，从而保证膜厚的均一性。

但是由于高压泵的注射压力有限，当喷嘴112内光阻停留时间过久时(大于2H)，容易结晶堵塞喷嘴，导致光阻预涂失败，从而使得玻璃基板在涂布时产生不均。其次，滚筒槽12使用一段时间后，会有大量光阻残留在槽体内，且由于滚轮长时间不转动，无法与槽体内的清洗液接触，从而导致光阻结晶附着在滚轮上，此时用刮条不易将滚轮清洁干净。另外现有的刮条数量为单个，且材质比较柔软，无法将滚轮上的结晶完全剔除，导致膜厚不均。

因此，有必要提供一种涂布机上胶装置及系统，以解决现有技术所存在的问题。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种涂布机上胶装置及系统，能够提高膜厚的均一性。

为解决上述技术问题，本发明提供一种涂布机上胶装置，其包括：

喷嘴，用于向滚轮喷出光阻；

滚轮槽，设置在所述喷嘴的下方，所述滚轮槽的上方设置有开口，所述喷嘴设置在所述开口上，且所述开口与所述喷嘴之间密封设置；所述滚轮槽内注入有清洗液；

滚轮，固定在所述滚轮槽内，所述滚轮的位置与所述喷嘴的位置相对应；所述滚轮部分与所述清洗液接触；

刮条部件，用于清洁所述滚轮；

真空泵，设置所述滚轮槽的底部，用于在涂布过程中，加速所述清洗液的循环，以快速溶解所述滚轮上的光阻得到溶解液；所述真空泵还用于汽化和液化所述溶解液，以减小所述滚轮槽内的压力。

在本发明的涂布机上胶装置中，所述刮条部件包括固定件和至少两个刮条，所述至少两个刮条固定在所述固定件内。

在本发明的涂布机上胶装置中，所述刮条部件包括上刮条和下刮条，所述上刮条和所述下刮条层叠设置，所述下刮条中嵌入有硬质材料。

在本发明的涂布机上胶装置中，所述涂布机上胶装置还包括分离部件，所述分离部件与所述真空泵连接；所述分离部件用于将所述溶解液进行气液分离，以回收液体材料。

在本发明的涂布机上胶装置中，所述开口与所述喷嘴之间通过密封胶密封。

在本发明的涂布机上胶装置中，所述真空泵为液环式真空泵。

本发明还提供一种涂布机上胶系统，其包括：涂布机上胶装置，其包括：

喷嘴，用于向滚轮注入光阻；

滚轮槽，设置在所述喷嘴的下方，所述滚轮槽的上方设置有开口，所述喷嘴设置在所述开口上，且所述开口与所述喷嘴之间密封设置；所述滚轮槽内注入有清洗液；

滚轮，固定在所述滚轮槽内，所述滚轮的位置与所述喷嘴的位置相对应；所述滚轮部分与所述清洗液接触；

刮条部件，用于清洁所述滚轮；

真空泵，设置所述滚轮槽的底部，用于在涂布过程中，加速所述清洗液的循环，以快速溶解所述滚轮上的光阻得到溶解液；所述真空泵还用于汽化和液化所述溶解液，以减小所述滚轮槽内的压力。

在本发明的涂布机上胶系统中，所述刮条部件包括固定件和至少两个刮条，所述至少两个刮条固定在所述固定件内。

在本发明的涂布机上胶系统中，所述刮条部件包括上刮条和下刮条，所述上刮条和所述下刮条层叠设置，所述下刮条中嵌入有硬质材料。

在本发明的涂布机上胶系统中，所述涂布机上胶装置还包括分离部件，所述分离部件与所述真空泵连接；所述分离部件用于将所述溶解液进行气液分离，以回收液体材料。

本发明的涂布机上胶装置及系统，通过对现有涂布机上胶装置进行改进，具体在滚轮槽的下方设置真空泵，以加速清洗液的循环，从而快速溶解滚轮上的光阻，防止光阻结晶附着在滚轮上，提高了膜厚的均一性。

【附图说明】

图1为现有涂布机上胶装置的结构示意图；

图2为本发明涂布机上胶装置的结构示意图。

图3为本发明涂布机上胶装置中刮条的结构示意图。

图4为本发明下刮条的结构示意图。

【具体实施方式】

以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。

请参照图2，图2为本发明涂布机上胶装置的结构示意图。

如图2所示，本发明的涂布机上胶装置包括高压泵21、喷嘴22、滚轮槽23、滚轮24、刮条部件25以及真空泵26。本发明的涂布机上胶装置还可包括分离部件27。

该高压泵21位于喷嘴22的两侧，用于向喷嘴22提供动力。该喷嘴22向下喷出光阻，从而使得光阻跌落在滚轮24上。

该滚轮槽23设置在所述喷嘴22的下方，所述滚轮槽23的上方设置有开口231，所述喷嘴22设置在所述开口231上，且所述开口231与所述喷嘴22之间密封设置，也即使得滚轮槽23与喷嘴22形成密封结构。其中在一实施方式中，所述开口231与所述喷嘴22的顶部之间通过密封胶221密封。在所述滚轮槽23内注入有清洗液(图中未示出)。

该滚轮24固定在所述滚轮槽23内，具体地滚轮24的两个端部固定在所述滚轮槽23的侧壁上。所述滚轮24的位置与所述喷嘴22的位置相对应；具体地滚轮24朝上的弧形表面朝向喷嘴22。该滚轮24可进行旋转。滚轮24朝下的弧形表面能够与清洗液接触。

该刮条部件25包括刮条，该刮条的一端与滚轮的外表面相抵接，以清洁所述滚轮24；具体地刮除该滚轮24上的光阻。

该真空泵26设置所述滚轮槽23的底部，用于在涂布过程中，加速清洗液的循环，以快速溶解所述滚轮24上的光阻，防止光阻在滚轮24上结晶，光阻溶解在清洗液中形成溶解液。

真空泵26还用于汽化和液化所述溶解液，以减小所述滚轮槽23内的压力。溶解液在泵体内壁形成一个液环，同时由于泵体内压差不一样，部分溶解液被液汽化，具体地光阻被液化，而清洗液被汽化。在溶解液被液汽化过程中，减小了滚轮槽23的压力，从而加快喷嘴22喷出光阻，防止喷嘴22堵塞，弥补了高压泵21注射压力的不足，提高了膜后的均一性。在一实施方式中，所述真空泵26为液环式真空泵，其中为单级双吸液环式真空泵。

所述分离部件27与真空泵26连接；所述分离部件27用于将溶解液进行气液分离，以回收液体材料。在一实施方式中，可以将液汽化后的溶解液传输到分离部件27中，在分离部件27中进行冷凝分层，从而将液体的光阻回收。

在一实施方式中，如图3所示，该刮条部件25包括固定件(图中未示出)和两个刮条251、252，所述两个刮条251、252固定在所述固定件内。由于将单刮条转换为双刮条，可以增加刮条的硬度，便于将滚轮上的光阻结晶剔除干净，从而提高了膜后的均一性。

所述两个刮条上下重叠，也即为上刮条和下刮条，如图4所示，在一实施方式中，该下刮条252中嵌入有硬质材料31。该硬质材料比如为铁氟龙，由于嵌入铁氟龙(teflon)，从而进一步增加刮条硬度，更加便于将滚轮上的光阻结晶剔除干净。

可以理解的，该刮条部件也可以包括两个以上的刮条。

本发明实施例还提供一种涂布机上胶系统，其包括涂布机上胶装置，如图2所示，该涂布机上胶装置包括高压泵21、喷嘴22、滚轮槽23、滚轮24、刮条部件25以及真空泵26。本发明的涂布机上胶装置还可包括分离部件27。

该高压泵21位于喷嘴22的两侧，用于向喷嘴22提供动力。该喷嘴22向下喷出光阻，从而使得光阻跌落在滚轮24上。

该滚轮槽23设置在所述喷嘴22的下方，所述滚轮槽23的上方设置有开口231，所述喷嘴22设置在所述开口231上，且所述开口231与所述喷嘴22之间密封设置，也即使得滚轮槽23与喷嘴22形成密封结构。其中所述开口231与所述喷嘴22之间通过密封胶密封。在所述滚轮槽23内注入有清洗液(图中未示出)。

该滚轮24固定在所述滚轮槽23内，具体地滚轮24的两个端部固定在所述滚轮槽23的侧壁上。所述滚轮24的位置与所述喷嘴22的位置相对应；具体地滚轮24朝上的弧形表面朝向喷嘴22。滚轮24朝下的弧形表面能够与清洗液接触。

该刮条部件25包括刮条，该刮条的一端与滚轮的外表面相抵接，以清洁所述滚轮24；具体地刮除该滚轮24上的光阻。

该真空泵26设置所述滚轮槽23的底部，用于在涂布过程中，加速清洗液的循环，以快速溶解所述滚轮24上的光阻，防止光阻在滚轮24上结晶，光阻溶解在清洗液中形成溶解液。

真空泵26还用于汽化和液化所述溶解液，以减小所述滚轮槽23内的压力。溶解液在泵体内壁形成一个液环，同时由于泵体内压差不一样，部分溶解液被液汽化，具体地光阻被液化，而清洗液被汽化。在溶解液被液汽化过程中，减小了滚轮槽23的压力，从而加快喷嘴22喷出光阻，防止喷嘴22堵塞，弥补了高压泵21注射压力的不足，提高了膜后的均一性。在一实施方式中，所述真空泵26为液环式真空泵，其中为单级双吸液环式真空泵。

所述分离部件27与真空泵26连接；所述分离部件27用于将溶解液进行气液分离，以回收液体材料。在一实施方式中，可以将液汽化后的溶解液传输到分离部件27中，在分离部件27中进行冷凝分层，从而将液体的光阻回收。

在一实施方式中，如图3所示，该刮条部件25包括固定件(图中未示出)和两个刮条251、252，所述两个刮条251、252固定在所述固定件内。由于将单刮条转换为双刮条，可以增加刮条的硬度，便于将滚轮上的光阻结晶剔除干净，从而提高了膜后的均一性。

所述两个刮条上下重叠，也即为上刮条和下刮条，如图4所示，在一实施方式中，该下刮条252中嵌入有硬质材料31。该硬质材料比如为铁氟龙，由于嵌入铁氟龙(teflon)，从而进一步增加刮条硬度，更加便于将滚轮上的光阻结晶剔除干净。

可以理解的，该刮条部件也可以包括两个以上的刮条

本发明的涂布机上胶装置及系统，通过对现有涂布机上胶装置进行改进，具体在滚轮槽的下方设置真空泵，以加速清洗液的循环，从而快速溶解滚轮上的光阻，防止光阻结晶附着在滚轮上，提高了膜厚的均一性。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种涂布机上胶装置，其特征在于，包括：

喷嘴，用于向滚轮喷出光阻；

滚轮槽，设置在所述喷嘴的下方，所述滚轮槽的上方设置有开口，所述喷嘴设置在所述开口上，且所述开口与所述喷嘴之间密封设置；所述滚轮槽内注入有清洗液；

滚轮，固定在所述滚轮槽内，所述滚轮的位置与所述喷嘴的位置相对应；所述滚轮部分与所述清洗液接触；

刮条部件，用于清洁所述滚轮；

真空泵，设置所述滚轮槽的底部，用于在涂布过程中，加速所述清洗液的循环，以快速溶解所述滚轮上的光阻得到溶解液；所述真空泵还用于汽化和液化所述溶解液，以减小所述滚轮槽内的压力。

2.根据权利要求1所述的涂布机上胶装置，其特征在于，

所述刮条部件包括固定件和至少两个刮条，所述至少两个刮条固定在所述固定件内。

3.根据权利要求2所述的涂布机上胶装置，其特征在于，

所述刮条部件包括上刮条和下刮条，所述上刮条和所述下刮条层叠设置，所述下刮条中嵌入有硬质材料。

4.根据权利要求1所述的涂布机上胶装置，其特征在于，

所述涂布机上胶装置还包括分离部件，所述分离部件与所述真空泵连接；所述分离部件用于将所述溶解液进行气液分离，以回收液体材料。

5.根据权利要求1所述的涂布机上胶装置，其特征在于，所述开口与所述喷嘴之间通过密封胶密封。

6.根据权利要求1所述的涂布机上胶装置，其特征在于，所述真空泵为液环式真空泵。

7.一种涂布机上胶系统，其特征在于，包括：涂布机上胶装置，其包括：

喷嘴，用于向滚轮注入光阻；

滚轮槽，设置在所述喷嘴的下方，所述滚轮槽的上方设置有开口，所述喷嘴设置在所述开口上，且所述开口与所述喷嘴之间密封设置；所述滚轮槽内注入有清洗液；

滚轮，固定在所述滚轮槽内，所述滚轮的位置与所述喷嘴的位置相对应；所述滚轮部分与所述清洗液接触；

刮条部件，用于清洁所述滚轮；

真空泵，设置所述滚轮槽的底部，用于在涂布过程中，加速所述清洗液的循环，以快速溶解所述滚轮上的光阻得到溶解液；所述真空泵还用于汽化和液化所述溶解液，以减小所述滚轮槽内的压力。

8.根据权利要求7所述的涂布机上胶系统，其特征在于，

所述刮条部件包括固定件和至少两个刮条，所述至少两个刮条固定在所述固定件内。

9.根据权利要求8所述的涂布机上胶系统，其特征在于，

所述刮条部件包括上刮条和下刮条，所述上刮条和所述下刮条层叠设置，所述下刮条中嵌入有硬质材料。

10.根据权利要求1所述的涂布机上胶系统，其特征在于，

所述涂布机上胶装置还包括分离部件，所述分离部件与所述真空泵连接；所述分离部件用于将所述溶解液进行气液分离，以回收液体材料。