CN107130216B - 一种旋转铌靶材及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种旋转铌靶材及其制备方法，所述旋转铌靶材为铌材料喷涂二次，所述旋转铌靶材的密度为7.6‑8.2g/cm³，所述旋转铌靶材的氧含量为3000‑6000ppm，所述旋转铌靶材的氮含量为2000‑12000ppm。通过等离子喷涂方法对铌靶材进行制备，提高制备效率，并且减少制备成本，尽量缩小晶粒尺寸，并且便于对使用后的残靶材进行修补，并且通过对铌靶材的氧氮含量进行控制，提升铌靶材的制造质量。

Description

一种旋转铌靶材及其制备方法
技术领域
本发明涉及靶材制造领域，尤其涉及一种旋转铌靶材及其制备方法。
背景技术
铌靶材是光学镀膜中普遍使用的一种靶材，目前制备铌靶材的方法为熔铸，但是由于其制备工艺的限制，其靶材制备时存在以下问题：1、要使用高温设备，制备成本高2、晶粒尺寸较大3、靶材与基体管为一体管，使用后的残靶材不易修复。因此，解决铌靶材制造时出现的成本较大、晶粒尺寸较大及使用后的靶材不易修复的问题就显得尤为重要了。
发明内容
本发明的目的是提供一种旋转铌靶材及其制备方法，通过热喷涂方法对铌靶材进行制备，提高制备效率，并且减少制备成本，晶粒尺寸小，并且便于对使用后的残靶材进行修补。
本发明提供一种旋转铌靶材，所述旋转铌靶材的密度为7.6-8.2g/cm³，所述旋转铌靶材的氧含量为3000-6000ppm，所述旋转铌靶材的氮含量为2000-12000ppm。
进一步改进在于：所述旋转铌靶材的晶粒尺寸≤15μm。
本发明还提供一种旋转铌靶材的制备方法，所述制备方法步骤如下：
步骤一：将基体表面进行清理，并对其进行烘干；
步骤二：使用热喷涂设备将铌材质喷涂在基体表面；
步骤三：对靶材表面进行剖光处理，并对其端头进行机加工处理。
进一步改进在于：所述步骤二中对靶材进行喷涂时使用惰性气体进行保护。
进一步改进在于：所述步骤一中基体为合金管。
进一步改进在于：此旋转靶材经磁控溅射使用后的残靶材，经过表面清洁处理后可继续使用热喷涂的方法进行喷涂修复得到新靶材。
本发明的有益效果是：通过热喷涂方法对铌靶材进行制备，提高制备效率，并且减少制备成本，缩小晶粒尺寸，并且便于对使用后的残靶材进行修补，并且通过对铌靶材的氧氮含量进行控制，提升铌靶材的制造质量。
具体实施方式
为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。
实施例一
本实施例提供了一种旋转铌靶材，所述旋转铌靶材的密度为7.8g/cm³，所述旋转铌靶材的氧含量为5000ppm，所述旋转铌靶材的氮含量为8000ppm。所述旋转铌靶材得晶粒尺寸为3μm。
本实施例还提供一种旋转铌靶材的制备方法，所述制备方法步骤如下：
步骤一：将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；
步骤二：使用热喷涂设备将铌粉末或铌丝喷涂在基体表面；
步骤三：对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理。
所述步骤二中对靶材进行喷涂时使用氮气对靶材进行保护。所述步骤一中基体为不锈钢管。
实施例二
本实施例提供了一种旋转铌靶材，所述旋转铌靶材的密度为7.6g/cm³，所述旋转铌靶材的氧含量为3000ppm，所述旋转铌靶材的氮含量为2000ppm。所述旋转铌靶材得晶粒尺寸为2μm。
本实施例还提供一种旋转铌靶材的制备方法，所述制备方法步骤如下：
步骤一：将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；
步骤二：使用热喷涂设备将铌粉末或铌丝喷涂在基体表面；
步骤三：对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理。
所述步骤二中对靶材进行喷涂时使用氩气对靶材进行保护。所述步骤一中基体为钛管。
实施例三
本实施例提供了一种旋转铌靶材，所述旋转铌靶材的密度为8g/cm³，所述旋转铌靶材的氧含量为6000ppm，所述旋转铌靶材的氮含量为12000ppm。所述旋转铌靶材得晶粒尺寸为10μm。
本实施例还提供一种旋转铌靶材的制备方法，所述制备方法步骤如下：
步骤一：将使用完的铌残靶表面进行清洁处理；
步骤二：使用热喷涂设备将铌粉末或铌丝喷涂在残靶材表面；
步骤三：对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理。
所述步骤二中对靶材进行喷涂时使用氮气对靶材进行保护。

Claims (4)

1.一种旋转铌靶材的制备方法，其特征在于：所述旋转铌靶材的密度为7.6-8.2g/cm3，所述旋转铌靶材的氧含量为3000-6000ppm，所述旋转铌靶材的氮含量为2000-12000ppm，所述旋转铌靶材的晶粒尺寸≤15μm，所述制备方法步骤如下：
步骤一：将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；
步骤二：使用热喷涂设备将铌粉末或铌丝喷涂在基体表面；
步骤三：对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理。
2.如权利要求1所述的一种旋转铌靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤二中对靶材进行喷涂时使用惰性气体做气氛保护。
3.如权利要求1所述的一种旋转铌靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤一中基体为合金管。
4.如权利要求1所述的一种旋转铌靶材的制备方法，其特征在于：此旋转靶材经磁控溅射使用后的残靶材，经过表面清洁处理后可继续使用热喷涂的方法进行喷涂修复得到新靶材。
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