CN107117799A - 连熔法生产半导体行业用法兰的方法 - Google Patents

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陈士斌
周明强
何茂乾
钱卫刚
陈士亮
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    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B20/00—Processes specially adapted for the production of quartz or fused silica articles, not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
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Abstract

一种连熔法生产半导体行业用法兰的方法，其特征是它包括以下步骤：一、投料、二、熔炼、三、成型、四、拉制、五、内外圆打磨和切割等步骤，通过在坩埚外围设置双层加热网，使坩埚内由上至下形成具有稳定温度梯度的热场，石英砂原料逐步熔化，达到最佳的排气效果，如此能够大幅降低产品内部的气泡、气线缺陷，提升产品质量。本发明通过调整坩埚的位置实现厚壁石英管的拉制，具有生产周期短、加工工艺简单、原材料利用率高、生产成本低的优点，同时有利于能源资源的节约与保护。

Description

连熔法生产半导体行业用法兰的方法
技术领域
本发明涉及一种石英冶炼技术，尤其是一种石英玻璃厚壁管制备法兰的方法，具体地说是一种连熔法生产半导体行业用法兰的方法。
背景技术
目前，半导体技术用石英玻璃法兰的生产方法是先通过电熔或火焰熔融的方法生产出大尺寸的石英玻璃锭，再将石英锭经掏孔、打磨、切片等工序加工成石英玻璃法兰。现有技术生产的石英玻璃法兰存在生产周期长、加工工艺复杂、原材料利用率低、生产成本高等问题，不利于能源资源的节约与保护。
发明内容
本发明的目的是针对现有的半导体技术用石英玻璃法兰生产过程存在的生产周期长、加工工艺复杂、原材料利用率低、生产成本高，不利于能源资源的节约与保护问题，发明一种连熔法生产半导体行业用法兰的方法。
本发明的技术方案是：
一种连熔法生产半导体行业用法兰的方法，其特征是它包括以下步骤：
一、投料
加料斗内的石英砂原料通过进料管连续的投入钨坩埚内，此加料管能够保持坩埚内石英砂的料面高度基本稳定；
二 、熔炼
通过在坩埚外围设置双层加热网，使坩埚内由上至下形成具有稳定温度梯度的热场，石英砂原料逐步熔化，达到最佳的排气效果，如此能够大幅降低产品内部的气泡、气线缺陷，提升产品质量；
三、成型
石英玻璃熔体在坩埚内经充分熔炼、均化后，到达坩埚底部出料台、成型器区域，通过调整坩埚的高度将成型区的温度固定在合适的区间，此时石英玻璃熔体具有最佳的成型粘度，便于成型；
四、拉制
由伺服电机控制拉管机，在托住石英玻璃厚壁管不致下滑的同时，匀速缓慢的将熔体从出料口拉出，形成石英玻璃厚壁管；
五、内外圆打磨
通过内外圆磨床，将大尺寸的石英玻璃厚壁管的内外圆进行打磨，使其尺寸及表面质量符合要求；
六、切割
用金刚石砂轮片将打磨好的石英玻璃厚壁管切成圆环状的法兰片。
所述的坩埚的下端安装有辅助加热装置以保证坩埚上升后成型区保持所需的温度。
所述的辅助加热装置对应的辅助加热区的温度可调。
本发明的有益效果：
本发明通过调整坩埚的位置实现厚壁石英管的拉制，具有生产周期短、加工工艺简单、原材料利用率高、生产成本低的优点，同时有利于能源资源的节约与保护。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步的说明。
一种连熔法生产半导体行业用法兰的方法，它包括以下步骤：
一、投料
加料斗内的石英砂原料通过进料管连续的投入钨坩埚内，此加料管能够保持坩埚内石英砂的料面高度基本稳定；
二 、熔炼
通过在坩埚外围设置双层加热网，使坩埚内由上至下形成具有稳定温度梯度的热场，石英砂原料逐步熔化，达到最佳的排气效果，如此能够大幅降低产品内部的气泡、气线缺陷，提升产品质量；
三、成型
石英玻璃熔体在坩埚内经充分熔炼、均化后，到达坩埚底部出料台、成型器区域，通过调整坩埚的高度将成型区的温度固定在合适的区间，此时石英玻璃熔体具有最佳的成型粘度，便于成型；为了保证成型效果，具体实施时最好在坩埚的下端安装有辅助加热装置以保证坩埚上升后成型区保持所需的温度，同时应使辅助加热装置对应的辅助加热区的温度可调。
四、拉制
由伺服电机控制拉管机，在托住石英玻璃厚壁管不致下滑的同时，匀速缓慢的将熔体从出料口拉出，形成石英玻璃厚壁管；
五、内外圆打磨
通过内外圆磨床，将大尺寸的石英玻璃厚壁管的内外圆进行打磨，使其尺寸及表面质量符合要求；
六、切割
用金刚石砂轮片将打磨好的石英玻璃厚壁管切成圆环状的法兰片。
用本发明的方法通过在拉制时调整坩埚的高度实现一炉料拉制出不同尺寸的法兰，满足小批量多品种生产的需要。
本发明未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。

Claims (3)

1.一种连熔法生产半导体行业用法兰的方法，其特征是它包括以下步骤：
一、投料
加料斗内的石英砂原料通过进料管连续的投入钨坩埚内，此加料管能够保持坩埚内石英砂的料面高度基本稳定；
二 、熔炼
通过在坩埚外围设置双层加热网，使坩埚内由上至下形成具有稳定温度梯度的热场，石英砂原料逐步熔化，达到最佳的排气效果，如此能够大幅降低产品内部的气泡、气线缺陷，提升产品质量；
三、成型
石英玻璃熔体在坩埚内经充分熔炼、均化后，到达坩埚底部出料台、成型器区域，通过调整坩埚的高度将成型区的温度固定在合适的区间，此时石英玻璃熔体具有最佳的成型粘度，便于成型；
四、拉制
由伺服电机控制拉管机，在托住石英玻璃厚壁管不致下滑的同时，匀速缓慢的将熔体从出料口拉出，形成石英玻璃厚壁管；
五、内外圆打磨
通过内外圆磨床，将大尺寸的石英玻璃厚壁管的内外圆进行打磨，使其尺寸及表面质量符合要求；
六、切割
用金刚石砂轮片将打磨好的石英玻璃厚壁管切成圆环状的法兰片。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征是所述的坩埚的下端安装有辅助加热装置以保证坩埚上升后成型区保持所需的温度。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征是所述的辅助加热装置对应的辅助加热区的温度可调。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111792821A (zh) * 2020-07-14 2020-10-20 江苏太平洋石英股份有限公司 连熔法生产大尺寸石英筒工艺、石英筒及其应用
CN114455815A (zh) * 2022-01-07 2022-05-10 内蒙古鑫晶新材料有限公司 一种低气泡膨胀石英坩埚制造方法
CN116217054A (zh) * 2022-12-27 2023-06-06 浙江求是半导体设备有限公司 一种石英管的制备方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102603166A (zh) * 2012-03-10 2012-07-25 锦州新世纪石英（集团）有限公司 石英法兰管的加工方法及成型炉
CN102897995A (zh) * 2012-09-19 2013-01-30 江苏太平洋石英股份有限公司 一种石英管、石英棒连熔炉
CN203033872U (zh) * 2012-12-14 2013-07-03 江苏太平洋石英股份有限公司 一种连续生产石英玻璃板的连熔炉
CN105668999A (zh) * 2014-11-19 2016-06-15 南京大学连云港高新技术研究院 一种直接生产低羟基石英管的工艺

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102603166A (zh) * 2012-03-10 2012-07-25 锦州新世纪石英（集团）有限公司 石英法兰管的加工方法及成型炉
CN102897995A (zh) * 2012-09-19 2013-01-30 江苏太平洋石英股份有限公司 一种石英管、石英棒连熔炉
CN203033872U (zh) * 2012-12-14 2013-07-03 江苏太平洋石英股份有限公司 一种连续生产石英玻璃板的连熔炉
CN105668999A (zh) * 2014-11-19 2016-06-15 南京大学连云港高新技术研究院 一种直接生产低羟基石英管的工艺

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111792821A (zh) * 2020-07-14 2020-10-20 江苏太平洋石英股份有限公司 连熔法生产大尺寸石英筒工艺、石英筒及其应用
CN111792821B (zh) * 2020-07-14 2022-10-04 江苏太平洋石英股份有限公司 连熔法生产大尺寸石英筒工艺、石英筒及其应用
CN114455815A (zh) * 2022-01-07 2022-05-10 内蒙古鑫晶新材料有限公司 一种低气泡膨胀石英坩埚制造方法
CN116217054A (zh) * 2022-12-27 2023-06-06 浙江求是半导体设备有限公司 一种石英管的制备方法

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