CN107108208A

CN107108208A - 臭氧生成装置

Info

Publication number: CN107108208A
Application number: CN201680005482.7A
Authority: CN
Inventors: 近川修; 川田秋; 川田秋一
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2015-01-30
Filing date: 2016-01-06
Publication date: 2017-08-29
Anticipated expiration: 2036-01-06
Also published as: CN107108208B; JPWO2016121423A1; JP6350680B2; WO2016121423A1; DE112016000283T5

Abstract

本发明提供一种即便使放电部的宽度变细也能够抑制消耗电力和发热的臭氧生成装置。臭氧生成装置(10)具备：电介质部(11)，具有产生沿面放电的顶面(11A)；以及多个放电部(12A、13A)，由设置在电介质部(11)的导体构成，具有与顶面(11A)靠近并对置的放电端(12C、13C)，并沿着顶面(11A)空开间隔进行排列，在放电部(12A、13A)中，若将放电面方向上的自身的尺寸设为La，并将排列方向上的自身的尺寸设为Lb，则La≥Lb。

Description

臭氧生成装置

技术领域

本发明涉及沿着电介质表面产生沿面放电而用与放电面对置的空间中的氧来生成臭氧的臭氧生成装置。

背景技术

图8是说明以往的臭氧生成装置100(例如，参照专利文献1。)的结构的图。臭氧生成装置100具备平板部101、第一平面导体104、以及第二平面导体105。平板部101具有彼此层叠设置的基层102和表层103。基层102由氧化铝等陶瓷类的电介质材料构成。表层103由玻璃等电介质材料构成。第一平面导体104以及第二平面导体105设置在基层102与表层103的界面。此外，第一平面导体104在俯视下为梳形，具备彼此平行的多个放电部106。第二平面导体105与第一平面导体104同样为梳形，具备彼此平行的多个放电部107。放电部106和放电部107空开间隔交替地排列。

在该臭氧生成装置100中，通过在放电部106与放电部107之间施加交变电场，从而沿着由电介质构成的表层103的表面(放电面)产生沿面放电。通过该沿面放电，用与放电面对置的空间中的氧来生成臭氧。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-220113号公报

发明内容

发明要解决的课题

在像上述那样构成的臭氧生成装置中，能够通过使放电部的间隔变窄来提高电场强度，能够进行驱动电压的低电压化。此外，因为在放电部的相邻的每一对产生沿面放电，所以能够通过使放电部的宽度和相邻间隔变窄来增加每单位面积能够配置的放电部的根数，从而提高臭氧生成效率。

然而，若使放电部的宽度变细，则放电部中的导体电阻会增加，臭氧生成装置的消耗电力和发热将增大。这样，会由于发热而促进臭氧的分解反应，存在设置许多放电部所带来的臭氧生成效率的改善效果被抑制这样的问题。

因此，本发明的目的在于，提供一种即便使放电部的宽度变细也能够抑制消耗电力和发热的臭氧生成装置。

用于解决课题的技术方案

本发明的臭氧生成装置具备：电介质部，具有产生沿面放电的放电面；以及多个放电部，由设置在所述电介质部的导体构成，具有与所述放电面靠近并对置的放电端，并沿着所述放电面空开间隔进行排列，在所述放电部中，若将与所述放电面对置的放电面方向上的自身的尺寸设为La，并将沿着所述放电面排列的排列方向上的自身的尺寸设为Lb，则La≥Lb。

在该结构中，即便使放电部的排列方向上的尺寸变细，也可在放电面方向上确保其以上的尺寸，因此可抑制放电部中的导体电阻的增加。由此，能够抑制臭氧生成装置中的消耗电力和发热。

所述电介质部具备在所述排列方向上层叠的多个电介质层，所述多个放电部分别由设置在电介质层间的平面导体构成。

该结构仅通过在成为电介质层的电介质片形成成为放电部的平面导体并将多个电介质片进行堆积就能够进行制造。因此，即使是放电面方向上的尺寸比排列方向上的尺寸大的放电部，也能够利用丝网印刷那样的工法来形成。而对于以往的结构，若利用丝网印刷那样的加工精度低的工法，则不能将放电部的宽度、间隔做得太窄，此外，由于加工精度的影响，有时会产生放电部间的短路、放电部的断线、由放电部间的间隔变窄的部位的电弧放电造成的损伤等问题。然而，对于上述本申请的结构，能够根据电介质片、平面导体的厚度高精度地设定放电部的宽度、间隔，并能够将放电部的宽度、间隔做得极窄，且还能够减少偏差。因此，几乎不会发生在上述的以往结构中产生的问题。

所述放电面优选由所述多个电介质层的端面构成。由此，与将电介质层设置为覆盖放电端而构成放电面的以往结构相比，臭氧生成装置的制造变得容易。

所述放电面与所述放电端的间隔优选比所述多个放电部相邻的间隔窄。由此，即使是较低的驱动电压，也能够稳定地产生沿面放电。

也可以是如下结构，即，所述电介质部具有包含一个所述放电面的多个外表面，所述放电部具有包含一个所述放电端的多个端部，所述放电端与所述放电面对置的间隔比其它端部与其它外表面对置的间隔窄。

此外，也可以是如下结构，即，所述电介质部具有包含两个以上的放电面的多个外表面，所述放电部具有包含两个以上的放电端的多个端部，各放电端与各放电面对置的间隔均相等。在该情况下，能够将电介质部的两个以上的外表面作为放电面，从而增加放电面的总面积，能够增加臭氧生成量。

此外，也可以是如下结构，即，所述电介质部具有相当于所述放电面的周面，所述放电端在与所述电介质部的周面保持固定的间隔的同时进行延伸。在该情况下，能够将电介质部的周面整个面作为放电面，从而增加放电面的总面积，仍然能够增加臭氧生成量。

优选地，所述臭氧生成装置具备驱动电压源，该驱动电压源输出具有重复的图案和循环的相位差的N(N≥3)相的驱动电压，所述多个放电部按照它们的排列顺序从所述驱动电压源输入第n(1≤n≤N)相的驱动电压。在该结构中，放电面附近的电场强度的分布沿着排列方向循环地变化。由此，在放电面附近，空间中的气体受到电场强度的影响而沿着排列方向移动。因此，可促进氧向放电面的供给和臭氧从放电面的脱离，能够增加臭氧生成量。此外，通过产生气体的流动，从而灰尘等难以吸附在放电面，臭氧生成装置的可靠性也提高。

所述驱动电压优选为矩形波信号或脉冲波信号。由此，与交变信号为正弦波信号的情况相比，能够将开始放电的电压低电压化。

发明效果

根据本发明的臭氧生成装置，即使在使放电部在排列方向上变细那样的情况下，也能够在放电面方向上充分确保放电部的尺寸，能够抑制导体电阻的增加。因此，能够抑制臭氧生成装置中的消耗电力和发热的增加，即使设置许多的放电部来提高臭氧生成效率，也能够防止由于热而促进臭氧分解反应的情况。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式涉及的臭氧生成装置的立体图。

图2是本发明的第一实施方式涉及的臭氧生成装置的左视图、俯视图、右视图以及仰视图。

图3是说明本发明的第一实施方式涉及的臭氧生成装置的制造方法的图。

图4是本发明的第二实施方式涉及的臭氧生成装置的左视图以及主视图。

图5是本发明的第三实施方式涉及的臭氧生成装置的左视图以及俯视图。

图6是本发明的第四实施方式涉及的臭氧生成装置的左视图以及俯视图。

图7是本发明的第五实施方式涉及的臭氧生成装置的布线图以及驱动信号的时间波形图。

图8是以往的臭氧生成装置的立体图。

具体实施方式

《第一实施方式》

图1是本发明的第一实施方式涉及的臭氧生成装置10的立体图。

臭氧生成装置10具备电介质部11、内部平面导体12、13、端子电极14、端子电极15、以及驱动电压源16。

电介质部11是具备顶面11A、底面11B、左侧面11C、右侧面11D、正面11E和背面11F的长方体形状。

内部平面导体12、13分别设置有多个，在电介质部11的内部，从左侧面11C侧到右侧面11D侧交替地排列设置。内部平面导体12在电介质部11的内部为如下形状，即，靠近顶面11A从正面11E侧向背面11F侧延伸，靠近背面11F从顶面11A侧向底面11B侧延伸。内部平面导体13在电介质部11的内部为如下形状，即，靠近顶面11A从背面11F侧向正面11E侧延伸，靠近正面11E从顶面11A侧向底面11B侧延伸。

端子电极14、15设置在底面11B，由从左侧面11C侧向右侧面11D侧延伸的带状的平面导体构成。端子电极14设置为靠近底面11B中的正面11E侧的边，并与多个内部平面导体13连接。端子电极15设置为靠近底面11B中的背面11F侧的边，并与多个内部平面导体12连接。

驱动电压源16在端子电极14与端子电极15之间施加驱动电压，从而使内部平面导体12与内部平面导体13之间产生交变电场。

在该结构中，若从驱动电压源16对端子电极14与端子电极15之间施加驱动电压，则在内部平面导体12和内部平面导体13都靠近的电介质部11的顶面11A，沿着对左侧面11C与右侧面11D之间进行连结的方向产生沿面放电。通过该沿面放电，在电介质部11的顶面11A，用与顶面11A对置的空间中的气体包含的氧来生成臭氧。顶面11A是本发明中的放电面。

在此，对电介质部11的内部构造进行详细说明。以下，将从电介质部11的左侧面11C朝向右侧面11D的方向称为排列方向。此外，将从正面11E朝向背面11F的方向称为延伸方向。此外，将从底面11B朝向顶面11A的方向称为放电面方向。电介质部11的排列方向上的长度例如为3.2mm，延伸方向上的长度例如为2.5mm，放电面方向上的长度例如为2.5mm。

图2(A)是臭氧生成装置10的左视图。图2(B)是臭氧生成装置10的俯视图。图2(C)是臭氧生成装置10的右视图。图2(D)是臭氧生成装置10的主视图。

电介质部11具备多个电介质层21。多个电介质层21分别是将与左侧面11C以及右侧面11D对置的面作为主面的薄的平膜状，从电介质部11的左侧面11C层叠到右侧面11D，从而构成电介质部11。电介质层21的厚度例如为20μm。另外，电介质层21的厚度优选为1μm以上且20μm以下的厚度。

关于各内部平面导体12、13，在电介质部11的内部，在各电介质层21的主面，即，在电介质层21间的层叠面各配置有一个，并按相邻的每个层叠面交替地配置。

内部平面导体12、13具备放电部12A、13A和引出部12B、13B。放电部12A、13A是在延伸方向上延伸的长方体板状的图案部分。引出部12B、13B是在放电面方向上延伸的带状的图案部分。

放电部12A、13A的顶面11A侧的边缘从顶面11A分开固定的尺寸Lc而与顶面11A对置。尺寸Lc例如为10μm。放电部12A、13A的正面11E侧以及背面11F侧的边缘从正面11E或背面11F分开固定的尺寸Le而对置。在此，尺寸Lc小于尺寸Le。即，在放电部12A、13A中，与正面11E侧以及背面11F侧的边缘相比，顶面11A侧的边缘更靠近电介质部11的外表面。在放电部12A、13A之间产生的电场容易泄漏到与放电部12A、13A距离最近的电介质部11的外表面。因此，在该电介质部11中，不是在正面11E、背面11F，而是在顶面11A产生沿面放电。因此，电介质部11的顶面11A作为产生臭氧的放电面发挥功能，放电部12A、13A的顶面11A侧的边缘作为放电端12C、13C发挥功能。另外，在本实施方式中，不会在顶面11A以外进行放电。

此外，放电部12A与放电部13A的配置间隔为尺寸Ld。尺寸Ld例如为20μm。该尺寸Ld根据电介质层21的厚度来决定。在以往的臭氧生成装置100中，通过细线印刷来形成第一平面导体104以及第二平面导体105，因此第一平面导体与第二平面导体的间隔窄的部位容易短路，难以将尺寸Ld形成为50μm以下。但是，因为本实施方式涉及的臭氧生成装置10像上述那样构成，所以能够将放电部12A与放电部13A的配置间隔做得即使与以往结构相比也足够窄。尺寸Ld越窄，越能够降低臭氧生成装置10的放电开始电压。此外，与以往结构相比，能够提高在放电部12A与放电部13A之间产生的交变电场的电场强度。因此，在本实施方式涉及的臭氧生成装置10中，即使与以往相比将驱动电压源16的驱动电压低电压化，也能够在电介质部11的顶面11A稳定地产生沿面放电。

此外，放电部12A、13A在排列方向上具有尺寸Lb。尺寸Lb例如为5μm。该尺寸Lb与内部平面导体12、13的厚度大致相等，关于放电部12A、13A，即使与以往结构相比，也能够将排列方向上的宽度做得足够窄。像这样，因为能够使放电部12A、13A的宽度和配置间隔足够窄，所以在本实施方式涉及的臭氧生成装置10中，能够增多能够与电介质部11的放电面(顶面11A)对置地配置的每单位面积的放电部12A、13A的根数。由此，能够使放电面(顶面11A)中的每单位面积的臭氧生成效率高。

此外，放电部12A、13A在放电面方向上具有尺寸La。尺寸La例如为50μm。在此，该尺寸La为前述的放电部12A、13A的排列方向上的尺寸Lb以上。即，La≥Lb。因此，在放电部12A、13A中，即使排列方向上的尺寸Lb显著地小，也能够将放电面方向上的尺寸La确保为其以上。因此，放电部12A、13A的导体电阻不会变得显著地大。因此，在本实施方式涉及的臭氧生成装置10中，即使为了提高放电部中的每单位面积的臭氧生成效率而使放电部12A、13A的排列方向上的尺寸Lb显著地小，也能够抑制臭氧生成装置10中的消耗电力和发热。由此，能够抑制放电面(顶面11A)处的臭氧分解反应的加剧，能够防止臭氧生成效率由于热的影响而下降。

此外，放电部12A与放电部13A的配置间隔的尺寸Ld大于前述的放电面(顶面11A)与放电部12A、13A的间隔的尺寸Lc。即，关于放电部12A、13A，与彼此相邻的间隔相比，放电部12A、13A与顶面11A的距离更近，因此在放电部12A、13A之间产生的电场成为容易泄漏到顶面11A的状态。由此，在本实施方式涉及的臭氧生成装置10中，也能够降低使电介质部11的顶面11A产生沿面放电所需的驱动电压(放电开始电压)，此外，能够使电介质部11的顶面11A稳定地产生沿面放电。

进而，放电部12A、13A和电介质层21能够高精度地设定各自的厚度(排列方向上的尺寸)。因此，能够使放电部12A、13A的排列方向上的尺寸Lb、以及放电部12A、13A的配置间隔的尺寸Ld在放电面方向上大致均匀。因此，在本实施方式涉及的臭氧生成装置10中，几乎不会发生在以往结构中产生的由加工偏差造成的各种问题。具体地，在本实施方式涉及的臭氧生成装置10中，几乎不会产生放电部12A、13A间的短路、放电部12A、13A的断线、放电部12A、13A间的电弧放电的产生。因此，臭氧生成装置10具有高可靠性。

接着，作为臭氧生成装置10的制造方法的一个例子，对由低温烧成陶瓷基板构成电介质部11的情况下的制造方法进行说明。另外，电介质部11也能够由其它的电介质材料，例如氧化铝等构成。图3是示出臭氧生成装置10的制造工序的一个例子的流程图的图。

在臭氧生成装置10的制造中，首先，进行电介质片形成工序(S1)。在电介质片形成工序中，例如，通过将玻璃粉体、填料粉末、结晶度调整剂、溶剂、分散剂、有机粘合剂、增塑剂等进行混合，从而得到玻璃陶瓷浆料。然后，使用刮刀等用玻璃陶瓷浆料制作后面成为电介质层21的玻璃陶瓷生片。另外，为了一次制造多个臭氧生成装置10，期望与成为单体的臭氧生成装置10的电介质层21的尺寸相比，玻璃陶瓷生片形成为大型。

接着，在臭氧生成装置10的制造中，进行平面导体形成工序(S2)。在平面导体形成工序中，通过将银、铜、钨等金属粉末、溶剂、有机粘合剂等进行混合，并使用辊轧机等进行分散处理，从而得到导体膏。然后，将后面成为内部平面导体12或内部平面导体13的导体膏的图案丝网印刷在玻璃陶瓷生片上。另外，为了一次制造多个臭氧生成装置10，期望不是仅在大型的玻璃陶瓷生片印刷成为单体的臭氧生成装置10的内部平面导体12、13的导体膏的图案，而是印刷多个导体膏的图案。

接着，在臭氧生成装置10的制造中，进行层叠工序(S3)。在层叠工序中，例如，通过堆积多片形成了平面导体的玻璃陶瓷生片并施加压力，从而制作层叠了多层未烧成的平面导体图案和玻璃陶瓷生片的层叠体。

接着，在臭氧生成装置10的制造中，进行烧成工序(S4)。在烧成工序中，例如在氧化环境中对未烧成的层叠体进行烧成，使得成为给定的温度分布。由此，制作电介质部11与内部平面导体12、13的层叠体(臭氧生成装置10)。

通过以上的制造方法，能够制造本实施方式的臭氧生成装置10。另外，为了一次制造多个臭氧生成装置10，期望在烧成工序的前后的任一工序中进行用大型的陶瓷生片的层叠体切出成为多个臭氧生成装置10的单片的工序。

通过采用这样的制造方法，从而即使是具有与排列方向相比在放电面方向上尺寸更大的特殊的截面形状的放电部12A、13A的臭氧生成装置10，也能够仅通过对形成了平面导体的电介质层21的片材进行层叠而容易地制造。

即，根据该制造方法，因为形成在电介质片的平面导体的厚度与平面方向上的尺寸相比极薄，所以即使是丝网印刷工法那样的加工精度低的工法，也能够使放电部12A、13A的排列方向上的宽度极窄。此外，电介质片的厚度与平面方向上的尺寸相比也极薄，因此放电部12A、13A的配置间隔也能够做得极窄。因此，在本实施方式的臭氧生成装置10中，即使使用丝网印刷工法那样的加工精度低的工法，也能够显著提高臭氧生成效率。

进而，根据该制造方法，电介质片、平面导体的厚度以极高精度变得均匀，因此能够格外地抑制放电部12A、13A的排列方向上的放电部12A、13A的宽度、放电部12A、13A的配置间隔的偏差。因此，在本实施方式的臭氧生成装置10中，能够防止在放电部12A、13A产生断线的情况、在放电部12A、13A之间产生短路的情况、由于放电部12A、13A之间的电弧放电而在放电部12A、13A产生破损的情况等。

《第二实施方式》

接着，对本发明的第二实施方式涉及的臭氧生成装置30进行说明。

图4(A)是臭氧生成装置30的左视图。图4(B)是臭氧生成装置30的主视图。

在臭氧生成装置30中，与前述的第一实施方式不同，不仅电介质部的顶面作为放电面发挥功能，而且底面也作为放电面发挥功能。

具体地，本发明的第二实施方式涉及的臭氧生成装置30与第一实施方式的不同点在于，代替内部平面导体12、13以及端子电极14、15，具备内部平面导体32、33和端子电极34、35。关于其它结构则相同，因此标注与第一实施方式相同的附图标记并省略结构说明。

内部平面导体32、33分别设置有多个，在电介质部11的内部，从左侧面11C侧到右侧面11D侧交替地排列设置。内部平面导体32、33具备长方体板状的放电部32A、33A和从放电部32A、33A向正面侧或背面侧延伸的线路状的引出部32B、33B。

端子电极34设置为覆盖正面11E，并与多个内部平面导体32连接。端子电极35设置为覆盖背面11F，并与多个内部平面导体33连接。

在该结构中，内部平面导体32、33相对于电介质部11的顶面11A和底面11B以相同的间隔对置。因此，内部平面导体32、33的顶面11A侧的边缘和底面11B侧的边缘均作为放电端32C、33C发挥功能，电介质部11的顶面11A和底面11B均作为放电面发挥功能。

因此，若在端子电极34与端子电极35之间施加驱动电压，则会在内部平面导体32、33之间产生交变电场，会在与内部平面导体32、33的放电端32C、33C靠近并对置的电介质部11的顶面11A和底面11B的双方产生沿面放电。通过该沿面放电，能够在顶面11A和底面11B处用对置的空间中的气体包含的氧来生成臭氧。像这样，根据本实施方式涉及的臭氧生成装置30，能够增加放电面，因此，能够增加每单位时间的臭氧生成量。

《第三实施方式》

接着，对本发明的第三实施方式涉及的臭氧生成装置40进行说明。

图5(A)是臭氧生成装置40的左视图。图5(B)是臭氧生成装置40的俯视图。

在臭氧生成装置40中，与前述的第一实施方式、第二实施方式不同，将电介质部的顶面、底面、正面以及背面构成为放电面。

具体地，本发明的第三实施方式涉及的臭氧生成装置40与第一实施方式的不同点在于，代替内部平面导体12、13以及端子电极14、15，具备内部平面导体42、43和端子电极44、45。关于其它结构则相同，因此标注与第一实施方式相同的附图标记并省略结构说明。

内部平面导体42、43分别设置有多个，在电介质部11的内部，从左侧面11C侧到右侧面11D侧交替地排列设置。内部平面导体42、43具备矩形环状的放电部42A、43A和在放电部42A、43A的内侧开口延伸的线路状的引出部42B、43B。而且，在放电部42A、43A的内侧开口，与引出部42B、43B连接地设置有层间连接导体42D、43D。

端子电极44设置为覆盖左侧面11C，并经由层间连接导体42D与多个内部平面导体42连接。端子电极45设置为覆盖右侧面11D，并经由层间连接导体43D与多个内部平面导体43连接。

在该结构中，内部平面导体42、43相对于电介质部11的顶面11A、底面11B、正面11E以及背面11F分别以相同的间隔对置。因此，内部平面导体42、43的外周侧的边缘，即，顶面11A侧的边缘、底面11B侧的边缘、正面11E侧的边缘以及背面11F侧的边缘均作为放电端42C、43C发挥功能，电介质部11的顶面11A、底面11B、正面11E以及背面11F均作为放电面发挥功能。

因此，若在端子电极44与端子电极45之间施加驱动电压，则会在内部平面导体42、43间产生交变电场，在与内部平面导体42、43的放电端42C、43C靠近并对置的电介质部11的顶面11A、底面11B、正面11E以及背面11F均产生沿面放电。通过该沿面放电，能够在顶面11A、底面11B、正面11E以及背面11F处用对置的空间中的气体包含的氧来生成臭氧。像这样，根据本实施方式涉及的臭氧生成装置40，能够进一步增加放电面，因此，仍然能够增加每单位时间的臭氧生成量。

《第四实施方式》

接着，对本发明的第四实施方式涉及的臭氧生成装置50进行说明。

图6(A)是臭氧生成装置50的左视图。图6(B)是臭氧生成装置50的俯视图。

在臭氧生成装置50中，与前述的第一至第三实施方式不同，电介质部是具有周面的圆柱状，并将周面的整个面构成为放电面。

具体地，本发明的第四实施方式涉及的臭氧生成装置50与第一实施方式的不同点在于，代替电介质部11、内部平面导体12、13以及端子电极14、15，具备电介质部51、内部平面导体52、53以及端子电极54、55。关于其它结构则相同，因此标注与第一实施方式相同的附图标记并省略结构说明。

电介质部51是柱轴沿着排列方向延伸的圆柱状，作为外表面具有周面51A、左侧面11C以及右侧面11D(未图示)。

内部平面导体52、53分别设置有多个，在电介质部51的内部，从左侧面11C侧到右侧面11D侧交替地排列设置。内部平面导体52、53具备圆环状的放电部52A、53A和在放电部52A、53A的内侧开口延伸的线路状的引出部52B、53B。而且，在放电部52A、53A的内侧开口，与引出部52B、53B连接地设置有层间连接导体52D、53D。

端子电极54设置为覆盖左侧面11C，并经由层间连接导体52D与多个内部平面导体52连接。端子电极55设置为覆盖右侧面11D，并经由层间连接导体53D与多个内部平面导体53连接。

在该结构中，内部平面导体52、53相对于电介质部51的周面51A的整个面以相同的间隔对置。因此，内部平面导体52、53的外周侧的边缘作为放电端52C、53C发挥功能，电介质部51的周面51A的整个面作为放电面发挥功能。

因此，若在端子电极54与端子电极55之间施加驱动电压，则会在内部平面导体52、53间产生交变电场，在与内部平面导体52、53的放电端52C、53C靠近并对置的电介质部51的周面51A的整个面产生沿面放电。通过该沿面放电，能够在周面51A处用对置的空间中的气体包含的氧来生成臭氧。像这样，根据本实施方式涉及的臭氧生成装置50，也能够增加放电面，因此，仍然能够增加每单位时间的臭氧生成量。

《第五实施方式》

接着，对本发明的第五实施方式涉及的臭氧生成装置60进行说明。

图7(A)是臭氧生成装置60的电连接图。

本实施方式涉及的臭氧生成装置60关于概要结构与前述的实施方式的结构相同，具备电介质部61、多个放电部62以及驱动电压源63。多个放电部62划分为4组，各组的放电部62依次进行排列。而且，驱动电压源63构成为输出与组数相同的4相的驱动电压V₁～V₄。构成为，在各组的放电部62输入与组编号对应的相编号的驱动电压V₁～V₄。

图7(B)是驱动电压V₁～V₄的时间波形图。驱动电压V₁～V₄分别具有相同的重复图案，并按照相编号的顺序具有相位差90°。因此，驱动电压V₁～V₄成为相位差按照相编号的顺序进行循环的关系。

由于像这样构成，所以在本实施方式涉及的臭氧生成装置中，放电面附近的电场强度的分布沿着放电部62的排列方向循环地变化。由此，在放电面附近，空间中的气体受到电场强度的影响而沿着排列方向移动。因此，可促进氧向放电面的供给和臭氧从放电面的脱离，能够增加臭氧生成量。此外，通过产生气体的流动，从而灰尘等难以吸附在放电面，臭氧生成装置60的可靠性也提高。

另外，虽然在本实施方式中示出了作为驱动电压V₁～V₄而使用脉冲波信号的例子，但是除此以外，驱动电压V₁～V₄还能够使用正弦波信号、矩形波信号。如果使用脉冲波信号、矩形波信号，则与使用正弦波信号的情况相比，能够将开始放电的电压低电压化，故而更加优选。此外，虽然在本实施方式中示出了将驱动电压的相数设为4的例子，但是，驱动电压的相数只要是3以上，就能够采用任意的整数。此外，虽然在本实施方式中示出了各驱动电压成为相同的图案波形的例子，但是各驱动电压的图案波形也可以不相同。例如也能够使用振幅、重复的周期不同的驱动电压。

另外，上述的各实施方式只是例示，只要是权利要求书的结构，无论是哪种结构均能够得到本发明的作用效果。此外，在各实施方式公开的结构可以任意组合。

附图标记说明

10：臭氧生成装置；

11：电介质部；

11A：顶面；

11B：底面；

11C：左侧面；

11D：右侧面；

11E：正面；

11F：背面；

12、13：内部平面导体；

12A、13A：放电部；

12B、13B：引出部；

12C、13C：放电端；

14、15：端子电极；

16：驱动电压源；

21：电介质层。

Claims

1.一种臭氧生成装置，具备：

电介质部，具有产生沿面放电的放电面；以及

多个放电部，由设置在所述电介质部的导体构成，具有与所述放电面靠近并对置的放电端，并沿着所述放电面空开间隔进行排列，

在所述放电部中，若将与所述放电面对置的放电面方向上的自身的尺寸设为La，并将沿着所述放电面排列的排列方向上的自身的尺寸设为Lb，则La≥Lb。

2.根据权利要求1所述的臭氧生成装置，其中，

所述电介质部具备在所述排列方向上层叠的多个电介质层，

所述多个放电部分别由设置在电介质层间的平面导体构成。

3.根据权利要求2所述的臭氧生成装置，其中，

所述放电面由所述多个电介质层的端面构成。

4.根据权利要求1至权利要求3中的任一项所述的臭氧生成装置，其中，

所述放电面与所述放电端的间隔比所述多个放电部相邻的间隔窄。

5.根据权利要求1至权利要求4中的任一项所述的臭氧生成装置，其中，

所述电介质部具有包含一个所述放电面的多个外表面，

所述放电部具有包含一个所述放电端的多个端部，

所述放电端与所述放电面对置的间隔比其它端部与其它外表面对置的间隔窄。

6.根据权利要求1至权利要求4中的任一项所述的臭氧生成装置，其中，

所述电介质部具有包含两个以上的放电面的多个外表面，

所述放电部具有包含两个以上的放电端的多个端部，

各放电端与各放电面对置的间隔均相等。

7.根据权利要求1至权利要求4中的任一项所述的臭氧生成装置，其中，

所述电介质部具有相当于所述放电面的周面，

所述放电端在与所述电介质部的周面保持固定的间隔的同时进行延伸。

8.根据权利要求1至权利要求7中的任一项所述的臭氧生成装置，其中，

所述臭氧生成装置具备：驱动电压源，输出具有重复的图案和循环的相位差的N相的驱动电压，

所述多个放电部按照它们的排列顺序从所述驱动电压源输入第n相的驱动电压，

其中，N≥3，1≤n≤N。

9.根据权利要求8所述的臭氧生成装置，其中，

所述驱动电压是矩形波信号或脉冲波信号。