CN107098606A - 玻璃贴合方法、制造显示器件的方法和显示器件 - Google Patents

玻璃贴合方法、制造显示器件的方法和显示器件 Download PDF

Info

Publication number
CN107098606A
CN107098606A CN201710272272.0A CN201710272272A CN107098606A CN 107098606 A CN107098606 A CN 107098606A CN 201710272272 A CN201710272272 A CN 201710272272A CN 107098606 A CN107098606 A CN 107098606A
Authority
CN
China
Prior art keywords
glass
carrier
display device
metal oxide
gluing method
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201710272272.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107098606B (zh
Inventor
朱小研
康昭
黄华
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOE Technology Group Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOE Technology Group Co Ltd filed Critical BOE Technology Group Co Ltd
Priority to CN201710272272.0A priority Critical patent/CN107098606B/zh
Publication of CN107098606A publication Critical patent/CN107098606A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107098606B publication Critical patent/CN107098606B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C27/00—Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
    • C03C27/06—Joining glass to glass by processes other than fusing
    • C03C27/10—Joining glass to glass by processes other than fusing with the aid of adhesive specially adapted for that purpose

Abstract

本公开提供了一种玻璃贴合方法、一种制造显示器件的方法和一种显示器件。所述玻璃贴合方法包括：将第一玻璃进行表面处理，使其表面形成具有氧终端的Si‑O悬挂键；在载体玻璃上沉积金属氧化物粘结层，并进行表面处理，使得在金属氧化物粘结层的表面上形成具有氧终端的金属‑O悬挂键；利用H2等离子体轰击第一玻璃和载体玻璃，以在二者的表面均形成氢键；以及在第一玻璃的形成有氢键的表面与载体玻璃的形成有氢键的表面进行贴合，并进行退火处理。

Description

玻璃贴合方法、制造显示器件的方法和显示器件
技术领域
本公开涉及显示技术领域，且更具体地涉及一种玻璃贴合方法、一种制造显示器件的方法和一种显示器件。
背景技术
当前，薄型化是显示器件发展的趋势，而将显示器件所用的玻璃层制得尽可能地薄是将显示器件薄型化的重要手段。在制造显示器件时，采用的玻璃层是超薄玻璃，由于超薄玻璃不仅薄而且软，所以在制造显示器件时需要将超薄玻璃贴附在通常为玻璃的载体上，但是这种方法在实际应用过程中存在着超薄玻璃与载体玻璃不能很好地贴合且在后续工序中难以将超薄玻璃从载体玻璃剥离的问题，从而导致成品良率低。
发明内容
针对上述至少一个问题，本公开提供了一种玻璃贴合方法、一种制造显示器件的方法和一种显示器件，所述玻璃贴合方法能够容易地将超薄玻璃与载体玻璃贴合和剥离，并且剥离后的载体玻璃在经过清洗后能够重复使用。
根据本公开的一方面，提供了一种玻璃贴合方法，其包括：将第一玻璃进行表面处理，使其表面形成具有氧终端的Si-O悬挂键；在载体玻璃上沉积金属氧化物粘结层，并进行表面处理，使得在金属氧化物粘结层的表面上形成具有氧终端的金属-O悬挂键；利用H2等离子体分别轰击第一玻璃和载体玻璃，以在第一玻璃的表面上和在载体玻璃的表面上形成氢键；以及将第一玻璃的形成有氢键的表面与载体玻璃的形成有氢键的表面进行贴合，并进行退火处理。
在一个实施例中，第一玻璃可以是厚度为0.05mm至0.3mm的超薄玻璃。
在一个实施例中，载体玻璃可以具有大于等于0.5mm的厚度。
在一个实施例中，将第一玻璃进行表面处理的步骤可以包括：将第一玻璃进行清洗并利用臭氧来氧化在第一玻璃的表面上的有机物，然后去除在第一玻璃的表面上生成的氧化物。
在一个实施例中，金属氧化物粘结层可以由在利用H2等离子体轰击金属氧化物粘结层的具有金属-O悬挂键的表面时能够形成氢键的金属氧化物来形成。
在一个实施例中，用于形成金属氧化物粘结层的金属氧化物可以选自于由二氧化钛、氧化铟镓锌、氧化锌、氧化铟和氧化镓组成的组。
在一个实施例中，可以在300℃至500℃的温度下进行退火处理达30分钟至2小时。
根据本公开的另一方面，提供了一种制造显示器件的方法，所述方法包括：采用根据上面描述的玻璃贴合方法将第一玻璃与载体玻璃贴合；在第一玻璃上执行薄膜晶体管的形成，并执行对盒工艺；以及采用激光执行激光剥离工艺，使得载体玻璃与第一玻璃分离。
在一个实施例中，第一玻璃可以是厚度为0.05mm至0.3mm的超薄玻璃，载体玻璃可以具有大于等于0.5mm的厚度。
根据本公开的再一方面，提供了一种显示器件，所述显示器件是通过根据上面描述的方法制造的。
通过采用本公开的玻璃贴合方法，可以容易地将超薄玻璃与载波玻璃进行贴合，并且在工艺完成之后可以容易地将它们剥离，从而剥离后的载体玻璃经过清洗之后可以重复使用。因此，可以降低制造成本，并提高显示器件的成品良率。
附图说明
包括附图以提供对本公开的进一步理解，附图并入本申请并组成本申请的一部分，附图示出了本公开的实施例，并与描述一起用于解释本公开的原理。在附图中：
图1是示出根据本公开实施例的在玻璃贴合方法中在超薄玻璃上形成氢键的操作的示意图。
图2是示出根据本公开实施例的在玻璃贴合方法中在载体玻璃上形成氢键的操作的示意图。
图3是示出根据本公开实施例的在玻璃贴合方法中将超薄玻璃与载体进行完全贴合的操作的示意图。
图4是示出根据本公开实施例的将超薄玻璃与载体进行分离的操作的示意图。
具体实施方式
将理解的是，当元件或层被称作在另一元件或层“上”或者“连接到”另一元件或层时，该元件或层可以直接在另一元件或层上、直接连接到或直接结合到另一元件或层，或者也可以存在中间元件或中间层。相反，当元件被称作“直接”在另一元件或层“上”或者“直接连接到”另一元件或层时，不存在中间元件或中间层。同样的标号始终指示同样的元件。如在这里使用的，术语“和/或”包括一个或多个相关所列的项目的任意组合和所有组合。
为了便于描述，在这里可使用空间相对术语，如“下”、“在…上方”、“上”、“在…下方”等来描述如图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。将理解的是，空间相对术语意在包含除了在附图中描述的方位之外的装置在使用或操作中的不同方位。
如这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式的“一个(种)”和“所述(该)”也意图包括复数形式。还将理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，说明存在所述特征、整体、步骤、操作、元件和/或组件，但不排除存在或附加一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。
总体地说，根据本公开实施例的玻璃贴合方法包括：将第一玻璃进行表面处理，使其表面形成具有氧终端的Si-O悬挂键；在载体玻璃上沉积金属氧化物粘结层，并进行表面处理，使得在金属氧化物粘结层的表面上形成具有氧终端的金属-O悬挂键；利用H2等离子体分别轰击第一玻璃和载体玻璃，以在第一玻璃的表面上和在载体玻璃的表面上形成氢键；以及将第一玻璃的形成有氢键的表面与载体玻璃的形成有氢键的表面进行贴合，并进行退火处理。
第一玻璃可以是厚度为0.05mm至0.3mm的超薄玻璃。载体玻璃可以具有大于等于0.5mm的厚度。
将第一玻璃进行表面处理的步骤可以包括：将第一玻璃进行清洗并利用臭氧来氧化在第一玻璃的表面上的有机物，然后去除在第一玻璃的表面上生成的氧化物。
金属氧化物粘结层可以由在利用H2等离子体轰击金属氧化物粘结层的具有金属-O悬挂键的表面时能够形成氢键的金属氧化物来形成。
用于形成金属氧化物粘结层的金属氧化物可以选自于由二氧化钛、氧化铟镓锌、氧化锌、氧化铟和氧化镓组成的组，然而本公开不限于此。
此外，可以在300℃至500℃的温度下进行退火处理达30分钟至2小时。
应当明白，上面总体描述了本公开的玻璃贴合方法的操作步骤，但是这些操作步骤的顺序不限于上面描述的顺序。比如，对超薄玻璃进行处理的步骤可以与对载体玻璃进行玻璃的步骤同时进行、或者顺序地先后进行。
下面将参照图1至图4详细地描述本公开的玻璃贴合方法。
图1是示出根据本公开实施例的在玻璃贴合方法中在超薄玻璃上形成氢键的操作的示意图。图2是示出根据本公开实施例的在玻璃贴合方法中在载体玻璃上形成氢键的操作的示意图。图3是示出根据本公开实施例的在玻璃贴合方法中将超薄玻璃与载体进行完全贴合的操作的示意图。
参照图1，利用水或其他溶剂将超薄玻璃1进行初步清洗，然后利用臭氧来氧化存在于超薄玻璃1的表面上的有机物，再利用HF去除在超薄玻璃1的表面上生成的氧化物。因此，可以在超薄玻璃1的表面上形成裸露的作为网状修饰剂成分的具有氧终端的Si-O悬挂键。
超薄玻璃1的厚度可以为0.05mm至0.3mm，但本公开不限于此。
参照图2，可以利用水或其他溶剂将载体玻璃2进行初步清洗，然后可以利用例如溅射在载体玻璃2上形成金属氧化物粘结层3。然后，利用HF去除在金属氧化物粘结层3的表面上的氧化层，从而在金属氧化物粘结层的表面上形成具有氧终端的金属-O悬挂键。
载体玻璃2可以具有大于等于0.5mm的厚度，但本公开不限于此。
接下来，参照图1和图2，可以将超薄玻璃1和载体玻璃2同时地或分别地送入等离子体增强化学气相沉积室，采用H2等离子体分别轰击第一玻璃和载体玻璃，以在第一玻璃的其上形成有Si-O悬挂键的表面上和在载体玻璃的其上形成有金属-O悬挂键的表面上形成氢键。
总体而言，金属氧化物粘结层3可以由在利用H2等离子体轰击金属氧化物粘结层3的具有金属-O悬挂键的表面时能够形成氢键的金属氧化物来形成。例如，用于形成金属氧化物粘结层的金属氧化物可以选自于由二氧化钛、氧化铟镓锌、氧化锌、氧化铟和氧化镓组成的组，然而本公开不限于此。
参照图1和图3，将超薄玻璃1翻转180°，并与载体玻璃2一起送入真空贴合系统(VAS)中进行初步贴合，从而形成氢键连接的复合基板。
在将超薄玻璃1与载体玻璃2完成初步贴合后，将形成的复合基板运送至炉设备中进行退火处理，从而进行脱水以实现超薄玻璃1与载体玻璃2的完全贴合(即，牢固的贴合)。例如，可以在大约300℃至大约500℃的温度下进行退火处理大约30分钟至大约2小时。
应当明白，上述的退火处理的温度和时间仅是示例，本公开并不限于此。本领域技术人员可以根据实际需要设定退火处理的温度和处理时间。
如图3所示，在退火处理之后，在氢键连接的复合基板之间实现脱水，由此形成通过氧键连接的超薄玻璃1和载体玻璃2。
通过上述操作，实现了超薄玻璃1和载体玻璃2的牢固贴合。
本公开还提供了一种制造显示器件的方法。
总体而言，制造显示器件的方法包括：采用上面描述的玻璃贴合方法将第一玻璃(即，超薄玻璃)1与载体玻璃2贴合；在第一玻璃1上执行薄膜晶体管的形成，并执行对盒工艺；以及采用激光执行激光剥离工艺，使得载体玻璃2与第一玻璃1分离。
具体地说，将超薄玻璃1与载体玻璃2完全贴合，以形成复合基板。然后，在复合基板的超薄玻璃1上进行正常的TFT制程。
参照图4，在成盒工艺完成后，采用例如激光(例如，308nm的激光)进行激光剥离工艺，由于载体玻璃2上的金属-O键(比如，Ti-O键)吸收激光能量而超薄玻璃1上的Si-O键不吸收激光能量，所以金属-O键失活，从而粘结层失去粘结作用。因此，可以通过物理方式容易地实现超薄玻璃1与载体玻璃2的分离，进而可以得到超薄显示器件。
本公开还提供了一种显示器件，其是通过上面描述的方法制造的。
根据本公开，可以容易地将超薄玻璃与载波玻璃进行贴合。此外，在TFT的制造工艺完成之后可以容易地将超薄玻璃与载波玻璃分离，分离后的载体玻璃经过清洗之后可以重复使用。因此，可以降低制造成本，并提高显示器件的成品良率。
已经针对附图给出了对本公开的特定示例性实施例的前面的描述。这些示例性实施例并不意图是穷举性的或者将本公开局限于所公开的精确形式，并且明显的是，在以上教导的启示下，本领域普通技术人员能够做出许多修改和变化。因此，本公开的范围并不意图局限于前述的实施例，而是意图由权利要求和它们的等同物所限定。

Claims (10)

1.一种玻璃贴合方法，其包括：
将第一玻璃进行表面处理，使其表面形成具有氧终端的Si-O悬挂键；
在载体玻璃上沉积金属氧化物粘结层，并进行表面处理，使得在金属氧化物粘结层的表面上形成具有氧终端的金属-O悬挂键；
利用H2等离子体分别轰击第一玻璃和载体玻璃，以在第一玻璃的表面上和在载体玻璃的表面上形成氢键；以及
将第一玻璃的形成有氢键的表面与载体玻璃的形成有氢键的表面进行贴合，并进行退火处理。
2.根据权利要求1所述的玻璃贴合方法，其中，第一玻璃是厚度为0.05mm至0.3mm的超薄玻璃。
3.根据权利要求1所述的玻璃贴合方法，其中，载体玻璃具有大于等于0.5mm的厚度。
4.根据权利要求1所述的玻璃贴合方法，其中，将第一玻璃进行表面处理的步骤包括：将第一玻璃进行清洗并利用臭氧来氧化在第一玻璃的表面上的有机物，然后去除在第一玻璃的表面上生成的氧化物。
5.根据权利要求1所述的玻璃贴合方法，其中，金属氧化物粘结层由在利用H2等离子体轰击金属氧化物粘结层的具有金属-O悬挂键的表面时能够形成氢键的金属氧化物来形成。
6.根据权利要求1所述的玻璃贴合方法，其中，用于形成金属氧化物粘结层的金属氧化物选自于由二氧化钛、氧化铟镓锌、氧化锌、氧化铟和氧化镓组成的组。
7.根据权利要求1所述的玻璃贴合方法，其中，在300℃至500℃的温度下进行退火处理达30分钟至2小时。
8.一种制造显示器件的方法，所述方法包括：
采用根据权利要求1所述的玻璃贴合方法将第一玻璃与载体玻璃贴合；
在第一玻璃上执行薄膜晶体管的形成，并执行对盒工艺；以及
采用激光执行激光剥离工艺，使得载体玻璃与第一玻璃分离。
9.根据权利要求8所述的制造显示器件的方法，其中，第一玻璃是厚度为0.05mm至0.3mm的超薄玻璃，载体玻璃具有大于等于0.5mm的厚度。
10.一种显示器件，所述显示器件是通过根据权利要求8所述的方法制造的。
CN201710272272.0A 2017-04-24 2017-04-24 玻璃贴合方法、制造显示器件的方法和显示器件 Active CN107098606B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710272272.0A CN107098606B (zh) 2017-04-24 2017-04-24 玻璃贴合方法、制造显示器件的方法和显示器件

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710272272.0A CN107098606B (zh) 2017-04-24 2017-04-24 玻璃贴合方法、制造显示器件的方法和显示器件

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107098606A true CN107098606A (zh) 2017-08-29
CN107098606B CN107098606B (zh) 2020-07-07

Family

ID=59656955

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710272272.0A Active CN107098606B (zh) 2017-04-24 2017-04-24 玻璃贴合方法、制造显示器件的方法和显示器件

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107098606B (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105143121A (zh) * 2012-12-13 2015-12-09 康宁股份有限公司 用于控制片材和载体之间的结合的促进的加工
CN105198238A (zh) * 2014-06-13 2015-12-30 光联科技股份有限公司 玻璃贴合方法
CN105683115A (zh) * 2012-12-13 2016-06-15 康宁股份有限公司 用于玻璃片材和载体的受控结合的玻璃制品和方法
CN106104778A (zh) * 2014-01-27 2016-11-09 康宁股份有限公司 用于聚合物表面与载体的受控粘结的制品和方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105143121A (zh) * 2012-12-13 2015-12-09 康宁股份有限公司 用于控制片材和载体之间的结合的促进的加工
CN105683115A (zh) * 2012-12-13 2016-06-15 康宁股份有限公司 用于玻璃片材和载体的受控结合的玻璃制品和方法
CN106104778A (zh) * 2014-01-27 2016-11-09 康宁股份有限公司 用于聚合物表面与载体的受控粘结的制品和方法
CN105198238A (zh) * 2014-06-13 2015-12-30 光联科技股份有限公司 玻璃贴合方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
曾坚贤，彭青松主编: "《化工实习》", 30 June 2014, 中国矿业大学出版社 *
王承遇，陶瑛编著: "《玻璃表面处理技术》", 31 July 2004, 化学工业出版社 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN107098606B (zh) 2020-07-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101620375B1 (ko) 적층, 컷팅공정을 포함하는 초박형 유리 가공방법
EP3306645B1 (en) Method for producing composite wafer provided with oxide single-crystal thin film
JP6814633B2 (ja) 薄型基板およびその製造方法、並びに基板の搬送方法
CN109103079B (zh) 一种纳米级单晶薄膜及其制备方法
WO2006039029A3 (en) A method for forming a thin complete high-permittivity dielectric layer
JP2010245172A (ja) ウェーハの加工方法
JP2009098465A (ja) 偏光板、画像表示装置
WO2010102089A3 (en) Methods for depositing layers having reduced interfacial contamination
CN111446162B (zh) 一种正面切割两次减薄的晶粒生产方法
CA2365902A1 (en) Method for increasing the yield in processes of deposition of thin layers onto a substrate
JP5109287B2 (ja) 半導体基板の製造方法
CN107098606A (zh) 玻璃贴合方法、制造显示器件的方法和显示器件
JP5631343B2 (ja) 積層体の製造方法
JP2008177531A (ja) ダブルプラズマｕｔｂｏｘ
TW200615689A (en) Method of processing substrate and chemical used in the same (Ⅱ)
US20060090691A1 (en) Method for manufacturing bonded wafer with ultra-thin single crystal ferroelectric film
US9328409B2 (en) Coated article, method for making the same and electronic device using the same
US20110031108A1 (en) Sputtering deposition method and apparatus
CN105607427A (zh) 涂覆方法
JP4946780B2 (ja) 接合膜付き偏光板、画像表示装置
CN108193171A (zh) 多通道集成滤光片光隔离结构的制造方法
CN111446160B (zh) 一种晶粒间粘合剂的去除方法
US9577177B1 (en) System and method for fabricating super conducting circuitry on both sides of an ultra-thin layer
US20190093214A1 (en) Native or uncontrolled oxide reduction by a cyclic process of plasma treatment and h* radicals
CN105493232A (zh) 贴合晶圆的制造方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant