CN107088972A - 一种使用金钢线快速切割工艺的单晶硅片切片机 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及硅片加工领域，公开了一种使用金钢线快速切割工艺的单晶硅片切片机，包括两根平行设置的主辊(1)，主辊(1)上绕有金钢线(2)，主辊(1)上方设有水管(308)和冲洗装置(3)，所述冲洗装置(3)包括接入腔(301)、泄压腔(302)，接入腔(301)、泄压腔(302)之间连通，水管(308)通入所述接入腔(301)内，冲洗装置上还设有下涎片(304)，水管(308)内的水流经接入腔(301)、泄压腔(302)、下涎片(304)后流到金钢线(2)上。本发明由于采用了以上技术方案，能够对切片机工作产生的水进行过滤和冷却，回收后再次用于生产，能够节约大量水资源。

Description

一种使用金钢线快速切割工艺的单晶硅片切片机
技术领域
本发明涉及硅片加工领域，尤其涉及了一种单晶硅片切片机。
背景技术
金钢线切片机采用金刚石线单向循环或往复循环运动的方式，使金刚石线与被切割物件间形成相对的磨削运动，从而实现切割的目的。金钢线切片机广泛用于单晶硅片的切割。由于金钢线的高速运动，其在切割时会产生大量的热，因此在切割时需要使用冷却液对金钢线进行冷却。在切割单晶硅片时往往使用水作为冷却液。但是由于硅片切割数量多，需要的水的量也巨大。因此，若不对使用后的水进行回收处理，则会造成较多水浪费。
发明内容
本发明提供了一种金钢线单晶硅片切片机上的水回收再处理装置。
为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：
一种使用金钢线快速切割工艺的单晶硅片切片机，包括两根平行设置的主辊，主辊上绕有金钢线，主辊上方设有水管和冲洗装置，所述冲洗装置包括接入腔、泄压腔，接入腔、泄压腔之间连通，水管通入所述接入腔内，冲洗装置上还设有下涎片，水管内的水流经接入腔、泄压腔、下涎片后流到金钢线上。下涎片可以对水流进行引导。
作为优选，接入腔、泄压腔之间设有通槽，泄压腔上还设有压片。
作为优选，冲洗装置的底部固定设有连接板，所述连接板上设有螺栓和槽孔，螺栓穿过所述槽孔固定在切片机上。通过调整螺栓在连接板上的位置，可以调整冲洗装置的位置。
作为优选，金钢线的下方还设有接水装置，接水装置内设有第一过滤网和第二过滤网，第一过滤网和第二过滤网分别位于接水装置的上层和下层。
作为优选，接水装置的开口处还设有挡板。设置挡板是为了防止水从接水装置中溅起来。
本发明由于采用了以上技术方案，能够对切片机工作产生的水进行过滤和冷却，回收后再次用于生产，能够节约大量水资源。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是冲洗装置的结构示意图。
图3是图2的俯视图。
图4是接水装置的示意图。
附图中各数字标号所指代的部位名称如下：1—主辊、2—金钢线、3—冲洗装置、301—接入腔、302—泄压腔、303—压片、304—下涎片、305—连接板、306—通槽、307—槽孔、308—水管、4—硅柱、5—接水装置、501—挡板、502—第一过滤网、503—第二过滤网。
具体实施方式
下面结合附图与实施例对本发明作进一步详细描述。
实施例1
一种使用金钢线快速切割工艺的单晶硅片切片机，如图1所示，包括两根平行设置的主辊1，主辊1上绕有金钢线2，金钢线2穿过硅柱4把硅柱4切割，主辊1上方设有水管308和冲洗装置。
所述冲洗装置3如图2、图3所示，其包括接入腔301、泄压腔302，接入腔301、泄压腔302之间连通，水管308通入所述接入腔301内，冲洗装置上还设有下涎片304，水管308内的水流经接入腔301、泄压腔302、下涎片304后流到金钢线2上。
接入腔301、泄压腔302之间设有通槽306，泄压腔302上还设有压片303。
冲洗装置的底部固定设有连接板305，所述连接板上设有螺栓和槽孔307，螺栓穿过所述槽孔307固定在切片机上。
金钢线2的下方还设有接水装置5，接水装置5的结构如图4所示，接水装置5内设有第一过滤网502和第二过滤网503，第一过滤网502和第二过滤网503分别位于接水装置5的上层和下层。
接水装置5的开口处还设有挡板501。
总之，以上所述仅为本发明的较佳实施例，凡依本发明申请专利范围所作的均等变化与修饰，皆应属本发明专利的涵盖范围。

Claims (5)

1.一种使用金钢线快速切割工艺的单晶硅片切片机，其特征在于：包括两根平行设置的主辊(1)，主辊(1)上绕有金钢线(2)，主辊(1)上方设有水管(308)和冲洗装置(3)，所述冲洗装置(3)包括接入腔(301)、泄压腔(302)，接入腔(301)、泄压腔(302)之间连通，水管(308)通入所述接入腔(301)内，冲洗装置上还设有下涎片(304)，水管(308)内的水流经接入腔(301)、泄压腔(302)、下涎片(304)后流到金钢线(2)上。
2.根据权利要求1所述的一种使用金钢线快速切割工艺的单晶硅片切片机，其特征在于：接入腔(301)、泄压腔(302)之间设有通槽(306)，泄压腔(302)上还设有压片(303)。
3.根据权利要求1所述的一种使用金钢线快速切割工艺的单晶硅片切片机，其特征在于：冲洗装置(3)的底部固定设有连接板(305)，所述连接板(305)上设有螺栓和槽孔(307)，螺栓穿过所述槽孔(307)固定在切片机上。
4.根据权利要求2所述的一种使用金钢线快速切割工艺的单晶硅片切片机，其特征在于：金钢线(2)的下方还设有接水装置(5)，接水装置(5)内设有第一过滤网(502)和第二过滤网(503)，第一过滤网(502)和第二过滤网(503)分别位于接水装置(5)的上层和下层。
5.根据权利要求4所述的一种使用金钢线快速切割工艺的单晶硅片切片机，其特征在于：接水装置(5)的开口处还设有挡板(501)。
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