CN105233564A - 一种硅片切割机用切削液过滤装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种硅片切割机用切削液过滤装置，解决了现有技术中硅片切割机用切削液过滤系统过滤效果差的不足。本发明提供的一种硅片切割机用切削液过滤装置，在上腔内设置沉淀腔，并且沉淀腔内设有缓冲腔，经进水口进入的水流先经导向管，并由导向管将水流导入缓冲腔内，水流经缓冲腔缓冲后溢入沉淀腔内进行沉淀，最后经沉淀后的水流经过滤网过滤后进入下腔并由出水口排出循环使用；通过在沉淀腔内设置缓冲腔，避免了由进水口进入的水流冲击沉淀腔内的水，优化了沉淀腔的沉淀效果，从而提高了过滤装置的过滤效果，提高了切削液的水质。

Description

一种硅片切割机用切削液过滤装置

技术领域

本发明涉及硅片切割机配件，尤其涉及一种硅片切割机用切削液过滤装置。

背景技术

硅片的生产之前采用的是钢线载砂浆切割，而如今直接用一种特制的金钢线带水切割，此技术不仅大大缩短了生产加工时间，并且使产品的整体质量上了一个台阶，生产成本同时大幅度下降。而金刚线切割技术对于水质的要求也很高，不仅要求用纯水和添加剂，而且要求水中无任何的固体小颗粒。如果水中固体杂物多，在切割时线网容易将杂物带到主辊上，从而引起跳线导致断线概率高，并且固体杂物粘附在硅棒的线缝里使水不能到达切割区域，容易产生断线和大量不良片。

现有技术中用于硅片切割机的过滤水箱结构简单、过滤效果差，通常包括箱体和固定在箱体内的一个过滤网，过滤水箱仅能对切削液进行过滤，切削液在过滤过程中没有沉淀效果，造成过滤水箱过滤效果差、切削液水质下降。

发明内容

本发明提供的一种硅片切割机用切削液过滤装置，旨在克服现有技术中硅片切割机用切削液过滤系统没有沉淀效果，造成过滤系统过滤效果差的不足。

为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：一种硅片切割机用切削液过滤装置，包括具有内腔的壳体，所述壳体上设有与内腔相通的口部，所述壳体上固定有封闭口部的盖子，所述内腔内设有将内腔分为上腔和下腔的过滤网，所述壳体上还设有进水口和出水口，所述进水口与上腔相通，所述出水口与下腔相通，所述上腔内设有沉淀部，所述沉淀部上开设有沉淀腔，所述沉淀腔内设有缓冲腔，所述进水口内设有将进水口内进入的水导入缓冲腔的导流管，所述缓冲腔上端设有将缓冲腔内的水排入沉淀腔的排水口，所述沉淀腔上端具有将沉淀腔内的水排至过滤网的泄水口，所述泄水口的水平高度低于排水口的水平高度，所述上腔的侧壁上设有固定沉淀部的固定块，所述固定块通过螺纹连接固定在上腔的侧壁上，所述固定块上设有对沉淀部进行定位的定位孔，所述沉淀部上设有与定位孔配合的定位柱。

上述技术方案中，通过设置沉淀腔，在沉淀腔内设置缓冲腔，由进水口进入的水流先进入缓冲腔内，水流注满缓冲腔后由排水口溢出并进入沉淀腔内，沉淀腔被水注满后，位于沉淀腔内的水由泄水口溢出，沉淀腔内溢出的水经过滤网过滤后由出水口排出，循环使用，水流在沉淀腔内沉淀后再进行过滤，大大提高了过滤装置的过滤效果，优化了水质。

一种可选的方案，所述缓冲腔的中心线与沉淀腔的中心线重合。缓冲腔内的水由排水口排出时可以均匀地排至沉淀腔内，优化了沉淀腔的沉淀效果。

一种可选的方案，所述缓冲腔由管状的缓冲部与沉淀部组合形成，所述缓冲部通过螺纹连接固定在沉淀腔内，所述沉淀腔内设有具有外螺纹的连接柱，所述缓冲部内设有与连接柱上外螺纹配合的内螺纹。由于缓冲部通过螺纹连接固定在连接柱上，长期使用后，沉积在缓冲腔内的杂质可以方便地进行清洗，操作十分方便。

一种可选的方案，所述壳体的侧壁上固定有固定过滤网的固定环，所述固定环通过锁紧螺钉固定在壳体的侧壁上，所述过滤网包括放置于固定环上的第一滤网和放置于固定环内的第二滤网，所述固定环内设有放置第二滤网的台阶。过滤网包括第一滤网和第二滤网，大大提高了过滤网的过滤效果，进一步优化了切削液的水质。

所述盖子通过螺栓固定在壳体上，所述盖子与壳体之间设有密封垫片。盖子通过螺栓固定在壳体上，便于盖子的装配，降低了操作人员的劳动强度。

与现有技术相比，本发明提供的一种硅片切割机用切削液过滤装置，具有如下优点：在上腔内设置沉淀腔，并且沉淀腔内设有缓冲腔，经进水口进入的水流先经导向管，并由导向管将水流导入缓冲腔内，水流经缓冲腔缓冲后溢入沉淀腔内进行沉淀，最后经沉淀后的水流经过滤网过滤后进入下腔并由出水口排出循环使用；通过在沉淀腔内设置缓冲腔，避免了由进水口进入的水流冲击沉淀腔内的水，优化了沉淀腔的沉淀效果，从而提高了过滤装置的过滤效果，提高了切削液的水质；

另外，固定沉淀部的固定块上设置有定位孔，沉淀部上设置有与定位孔配合的定位柱，沉淀部在固定块上固定可靠，避免了沉淀部错位造成缓冲腔与导流管错位，从而使水流无法进入缓冲腔内；

进一步的，通过设置第一滤网和第二滤网，大大优化了过滤网的过滤效果，进一步提高了切削液的水质，使其更利于硅片的切割。

附图说明

附图1是本发明一种硅片切割机用切削液过滤装置的主视图；

附图2是附图1中A处放大图。

具体实施方式

下面结合附图，对本发明的一种硅片切割机用切削液过滤装置作进一步说明。如图1、图2所示，一种硅片切割机用切削液过滤装置，包括具有内腔2的壳体1，所述壳体1上设有与内腔2相通的口部，所述壳体1上固定有封闭口部的盖子3，所述盖子3通过螺栓固定在壳体1上，盖子3与壳体1之间设有密封垫片24，以使盖子3可以良好的密封口部；所述内腔2内设有将内腔2分为上腔4和下腔5的过滤网6，所述过滤网6包括第一滤网21和第二滤网22，所述壳体1的侧壁上固定有固定过滤网6的固定环20，所述固定环20通过锁紧螺钉固定在壳体1的侧壁上，所述第一滤网21放置于固定环20上由固定环20支撑，所述固定环20内设有放置第二滤网22的台阶23，所述壳体1上还设有进水口7和出水口8，所述进水口7与上腔4相通，所述出水口8与下腔5相通，所述进水口7将需要过滤的切削液输入上腔4内，所述出水口8将过滤后的切削液由下腔5内排出；

参见图1，所述上腔4内设有沉淀部9，所述沉淀部9上开设有沉淀腔10，所述沉淀腔10内设有缓冲腔11，进水口7将切削液引至上腔4内以后，所述进水口7内设有将进水口7内进入的水导入缓冲腔11的导流管12，所述缓冲腔11上端设有将缓冲腔11内的水排入沉淀腔10的排水口13，水流经导流管12由排水口13进入缓冲腔11内，缓冲腔11被水流充满后水流由排水口13溢出，并经过沉淀腔10上端的泄水口14进入沉淀腔10内，所述沉淀腔10上端具有将沉淀腔10内的水排至过滤网6的泄水口14，沉淀腔10内的液体充满后由泄水口14溢出，由泄水口14溢出的水经过滤网6过滤后进入下腔5内，所述泄水口14的水平高度低于排水口13的水平高度，以避免沉淀腔10内的水进入缓冲腔11内；

实际使用过程中，参见图1，导流管12将水引入上腔4内以后，水流经导流管12进入缓冲腔11内，而位于缓冲腔11内的水是由排水口13溢出的，为了使缓冲腔11内的水均匀地进入沉淀腔10内，所述缓冲腔11位于沉淀腔10的中部，所述缓冲腔11的中心线与沉淀腔10的中心线重合，缓冲腔11位于沉淀腔10的中部，排水口13四周都可以溢水；长期使用后，缓冲腔11内可能会积聚较多的杂物，此时，需要对缓冲腔11进行清洗，为了便于缓冲腔11的清洗，所述缓冲腔11由管状的缓冲部18与沉淀部9组合形成，所述缓冲部18通过螺纹连接固定在沉淀腔10内，所述沉淀腔10内设有具有外螺纹的连接柱19，所述缓冲部18内设有与连接柱19上外螺纹配合的内螺纹；由进水口7进入的水先经过缓冲腔11缓冲，然后再经沉淀腔10沉淀，沉淀后经过滤网6过滤，最后才由出水口8排出，大大优化了过滤装置的过滤效果。

沉淀部9可以采用如下方案进行固定：参见图1、图2，所述上腔4的侧壁上设有固定沉淀部9的固定块15，所述固定块15通过螺纹连接固定在上腔4的侧壁上，参见图2，所述固定块15上设有对沉淀部9进行定位的定位孔16，所述沉淀部9上设有与定位孔16配合的定位柱17。装配过程中，先将固定环20装配至壳体1内，然后依次放置第二滤网22、第一滤网21，完成过滤网6的安装；过滤网6安装后再将固定块15固定在上腔4的侧壁上，最后再安装沉淀部9；沉淀部9装配完成后再依次安装缓部部、导向管；盖子3安装在壳体1上以后则完成过滤装置的装配。

以上仅为本发明的优选实施方式，旨在体现本发明的突出技术效果和优势，并非是对本发明的技术方案的限制。本领域技术人员应当了解的是，一切基于本发明技术内容所做出的修改、变化或者替代技术特征，皆应涵盖于本发明所附权利要求主张的技术范畴内。

Claims (5)

1.一种硅片切割机用切削液过滤装置，包括具有内腔(2)的壳体(1)，所述壳体(1)上设有与内腔(2)相通的口部，所述壳体(1)上固定有封闭口部的盖子(3)，所述内腔(2)内设有将内腔(2)分为上腔(4)和下腔(5)的过滤网(6)，所述壳体(1)上还设有进水口(7)和出水口(8)，所述进水口(7)与上腔(4)相通，所述出水口(8)与下腔(5)相通，其特征在于：所述上腔(4)内设有沉淀部(9)，所述沉淀部(9)上开设有沉淀腔(10)，所述沉淀腔(10)内设有缓冲腔(11)，所述进水口(7)内设有将进水口(7)内进入的水导入缓冲腔(11)的导流管(12)，所述缓冲腔(11)上端设有将缓冲腔(11)内的水排入沉淀腔(10)的排水口(13)，所述沉淀腔(10)上端具有将沉淀腔(10)内的水排至过滤网(6)的泄水口(14)，所述泄水口(14)的水平高度低于排水口(13)的水平高度，所述上腔(4)的侧壁上设有固定沉淀部(9)的固定块(15)，所述固定块(15)通过螺纹连接固定在上腔(4)的侧壁上，所述固定块(15)上设有对沉淀部(9)进行定位的定位孔(16)，所述沉淀部(9)上设有与定位孔(16)配合的定位柱(17)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用切削液过滤装置，其特征在于：所述缓冲腔(11)的中心线与沉淀腔(10)的中心线重合。

3.根据权利要求1或2所述的一种硅片切割机用切削液过滤装置，其特征在于：所述缓冲腔(11)由管状的缓冲部(18)与沉淀部(9)组合形成，所述缓冲部(18)通过螺纹连接固定在沉淀腔(10)内，所述沉淀腔(10)内设有具有外螺纹的连接柱(19)，所述缓冲部(18)内设有与连接柱(19)上外螺纹配合的内螺纹。

4.根据权利要求3所述的一种硅片切割机用切削液过滤装置，其特征在于：所述壳体(1)的侧壁上固定有固定过滤网(6)的固定环(20)，所述固定环(20)通过锁紧螺钉固定在壳体(1)的侧壁上，所述过滤网(6)包括放置于固定环(20)上的第一滤网(21)和放置于固定环(20)内的第二滤网(22)，所述固定环(20)内设有放置第二滤网(22)的台阶(23)。

5.根据权利要求1或2或4所述的一种硅片切割机用切削液过滤装置，其特征在于：所述盖子(3)通过螺栓固定在壳体(1)上，所述盖子(3)与壳体(1)之间设有密封垫片(24)。