CN204955166U - 一种硅片切割机用喷水装置 - Google Patents

一种硅片切割机用喷水装置 Download PDF

Info

Publication number
CN204955166U
CN204955166U CN201520770483.3U CN201520770483U CN204955166U CN 204955166 U CN204955166 U CN 204955166U CN 201520770483 U CN201520770483 U CN 201520770483U CN 204955166 U CN204955166 U CN 204955166U
Authority
CN
China
Prior art keywords
sparge pipe
silicon chip
drainage rack
leakage fluid
fluid dram
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201520770483.3U
Other languages
English (en)
Inventor
陈小力
张国华
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang Hui Guang light Limited by Share Ltd
Original Assignee
ZHEJIANG HUIHONG PHOTOELECTRIC ENERGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ZHEJIANG HUIHONG PHOTOELECTRIC ENERGY Co Ltd filed Critical ZHEJIANG HUIHONG PHOTOELECTRIC ENERGY Co Ltd
Priority to CN201520770483.3U priority Critical patent/CN204955166U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN204955166U publication Critical patent/CN204955166U/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种硅片切割机用喷水装置。本实用新型提供的一种硅片切割机用喷水装置,解决了现有技术中喷水装置无法对液体进行过滤,并且喷水管使用寿命短的技术问题。本实用新型提供的一种硅片切割机用喷水装置,通过在喷水管上开设排液口,排液口不容易堵塞,即使排液口被堵塞,堵塞排液口的杂质也很容易被清除,延长了喷水管的使用寿命;另外,喷水管内填充有过滤体,引流架上固定有对排液口排出的液体进行过滤的过滤网,喷水管在供水的过程中还可以对液体进行过滤,优化了液体的质量,提高了硅片的生产效率。

Description

一种硅片切割机用喷水装置
技术领域
本实用新型涉及硅片切割机配件,尤其涉及一种硅片切割机用喷水装置。
背景技术
硅片的生产之前采用的是钢线载砂浆切割,而如今直接用一种特制的金钢线带水切割,此技术不仅大大缩短了生产加工时间,并且使产品的整体质量上了一个台阶,生产成本同时大幅度下降。而金刚线切割技术对于水质的要求也很高,不仅要求用纯水和添加剂,而且要求水中无任何的固体小颗粒。如果水中固体杂物多,在切割时线网容易将杂物带到主辊上,从而引起跳线导致断线概率高,并且固体杂物粘附在硅棒的线缝里使水不能到达切割区域,容易产生断线和大量不良片。
现有技术中用于硅片切割机的喷水装置包括引流架,引流架上固定有具有通孔的喷水管,使用过程中液体进入喷水管以后由通孔排出,然后由引流架将液体引至切割现场;该结构的喷水装置无法对液体进行过滤,导致液体中含有较多的杂质,另外,喷水管上的通孔堵塞后很难疏通,喷水管使用寿命短。
发明内容
本实用新型提供的一种硅片切割机用喷水装置,旨在克服现有技术中用于硅片切割机的喷水装置无法对液体进行过滤,并且喷水管使用寿命短的不足。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:一种硅片切割机用喷水装置,包括引流架,所述引流架上固定有两端开口的喷水管,所述喷水管一端设有供水接口,所述喷水管的另一端设有封闭喷水管的塞子,所述喷水管上开设有至少一条排液口,所述排液口的长度方向与喷水管的轴线平行,所述喷水管内填充有过滤体,所述引流架上固定有对排液口排出的液体进行过滤的过滤网,所述引流架上固定有至少两个固定喷水管的固定座,所述固定座上开设有穿设喷水管的通孔,所述固定座上设有锁紧喷水管的锁紧螺钉,所述底座上设有与锁紧螺钉相配合的锁紧螺孔,所述锁紧螺孔与通孔相通,所述锁紧螺孔的轴线垂直于所述通孔的轴线。
上述构成中的排液口在长期使用后不容易堵塞,并且,喷水管进行清洗时,位于排液口内杂物很容易进行清洁,延长了喷水管的使用寿命;另外,喷水管内设置的过滤体和固定在引流架上的过滤网起到对液体进行过滤的作用,液体过滤后具有更好的使用性能,提高了硅片的切割效率。
一种优选的方案,所述喷水管上设有挡肩,所述挡肩焊接于喷水管上,所述挡肩上还涂设有标识排液口排液方向的标识层,所述引流架上固定有配合挡肩限制喷水管位置的挡板,所述挡板与引流架为一体式结构,所述挡板上开设有使喷水管穿过的U形槽。标识层起到标识排液口排液方向的作用,装配过程中可以方便地将喷水管正确装配;另外,挡肩和挡板起到限制喷水管在引流架上固定位置的作用,装配时通过挡肩、挡板、标识层可以一次将喷水管安装到位,操作方便。
一种可选的方案,所述供水接口通过螺纹连接固定于喷水管上,所述塞子通过螺纹连接固定于喷水管上,所述塞子上设有外螺纹,所述喷水管的内壁上设有与塞子上外螺纹配合的内螺纹。供水接口和塞子均通过可拆连接的方式固定在喷水管上,填充于喷水管内的过滤体可以方便地取出更换或清洗,提高了过滤体的过滤效果。
一种可选的方案,所述过滤网粘接于引流架上,过滤网粘接在引流架上以后,过滤网与引流架围成过滤腔,所述排液口位于过滤腔内。过滤网粘接于引流架上并且与引流架围成过滤腔,优化了过滤网的过滤效果。
所述固定座焊接于引流架上,所述固定座上设置有至少三个锁紧螺钉。喷水管在固定座内固定可靠,提高了喷水管工作时的稳定性能。
与现有技术相比,本实用新型提供的一种硅片切割机用喷水装置,通过在喷水管上开设排液口,排液口不容易堵塞,即使排液口被堵塞,堵塞排液口的杂质也很容易被清除,延长了喷水管的使用寿命;
另外,喷水管内填充有过滤体,引流架上固定有对排液口排出的液体进行过滤的过滤网,喷水管在供水的过程中还可以对液体进行过滤,优化了液体的质量,提高了硅片的生产效率;
供水接口和塞子均通过螺纹连接固定于喷水管上,长期使用后,可以方便地将供水接口和塞子从喷水管上取下,然后对位于喷水管内的过滤体进行更换,过滤体更换操作十分方便。
附图说明
附图1是本实用新型一种硅片切割机用喷水装置的主视图;
附图2是本实用新型一种硅片切割机用喷水装置的左视图;
附图3是本实用新型一种硅片切割机用喷水装置的右视图;
附图4是附图1中A-A处部视图。
具体实施方式
下面结合附图,对本实用新型的一种硅片切割机用喷水装置作进一步说明。如图1、图2、图3、图4所示,一种硅片切割机用喷水装置,包括固定于切割机上的引流架1,所述引流架1上通过固定座8固定有两端开口的喷水管2,所述喷水管2一端设有供水接口3,该供水接口3与切割机的供水系统相接,以实现供水系统向喷水管2内供水,所述喷水管2的另一端设有封闭喷水管2的塞子4,所述喷水管2上开设有至少一条排液口5,所述排液口5与喷水管2的内腔相通,供入喷水管2的液体经排液口5排出,然后被引流架1引导至切割现场,所述排液口5为长条形,所述排液口5的长度方向与喷水管2的轴线平行;
参见图1、图4,液体经供水接口3进入喷水管2内,所述喷水管2内填充有过滤体6,首先对液体进行第一次过滤,液体被过滤体6过滤后由排液口5排出,然后再被固定于引流架1上的过滤网7进行第二次过滤,最后液体经引流架1引导至切割现场;过滤网7可以通过下以设置方式来提高过滤效果:所述过滤网7粘接于引流架1上,过滤网7粘接在引流架1上以后,过滤网7与引流架1围成过滤腔15,所述排液口5位于过滤腔15内;
实际使用过程中,参见图1、图4,引流架1起到对液体进行导向的作用,因此,引流架1与喷水管2应可靠连接,而为了便于对喷水管2进行清洁,喷水管2与引流架1应采用可拆连接方式进行连接,如:所述引流架1上固定有至少两个固定喷水管2的固定座8,所述固定座8上开设有穿设喷水管2的通孔9,所述固定座8上设有至少三个锁紧喷水管2的锁紧螺钉10,所述底座上设有与锁紧螺钉10相配合的锁紧螺孔,所述锁紧螺孔与通孔9相通,所述锁紧螺孔的轴线垂直于所述通孔9的轴线。
底座焊接于引流架1上,装配过程中,松开锁紧螺钉10,然后将喷水管2插入通孔9内,此时,应注意喷水管2上排液口5的位置和喷水管2相对于引流架1的位置;为了便于喷水管2的装配:参见图2,所述喷水管2上设有挡肩11,所述挡肩11焊接于喷水管2上,所述挡肩11上还涂设有标识排液口5排液方向的标识层12,所述引流架1上固定有配合挡肩11限制喷水管2位置的挡板13,所述挡板13与引流架1为一体式结构,所述挡板13上开设有使喷水管2穿过的U形槽14,所述U形槽14的形状也可以为其它形状。结合上述实施方式,为了使过滤网7与引流架1连接可靠,所述过滤网7也可以同时固定于引流架1和挡板13上,以提高过滤网7的固定性能。
参照上述实施方式,为了便于更换位于喷水管2内的过滤体6,所述供水接口3通过螺纹连接固定于喷水管2上,参见图3,所述塞子4通过螺纹连接固定于喷水管2上,所述塞子4上设有外螺纹,所述喷水管2的内壁上设有与塞子4上外螺纹配合的内螺纹。在实际使用过程中,塞子4也可以通过其它连接方式固定于喷水管2上,但应保证塞子4的直径不大于喷水管2的外径,以便于喷水管2装入通孔9内。
上述技术方案中的过滤体6即为现有技术中的普通过滤体6,如海绵块等。
以上仅为本实用新型的优选实施方式,旨在体现本实用新型的突出技术效果和优势,并非是对本实用新型的技术方案的限制。本领域技术人员应当了解的是,一切基于本实用新型技术内容所做出的修改、变化或者替代技术特征,皆应涵盖于本实用新型所附权利要求主张的技术范畴内。

Claims (5)

1.一种硅片切割机用喷水装置,其特征在于:包括引流架(1),所述引流架(1)上固定有两端开口的喷水管(2),所述喷水管(2)一端设有供水接口(3),所述喷水管(2)的另一端设有封闭喷水管(2)的塞子(4),所述喷水管(2)上开设有至少一条排液口(5),所述排液口(5)的长度方向与喷水管(2)的轴线平行,所述喷水管(2)内填充有过滤体(6),所述引流架(1)上固定有对排液口(5)排出的液体进行过滤的过滤网(7),所述引流架(1)上固定有至少两个固定喷水管(2)的固定座(8),所述固定座(8)上开设有穿设喷水管(2)的通孔(9),所述固定座(8)上设有锁紧喷水管(2)的锁紧螺钉(10),所述底座上设有与锁紧螺钉(10)相配合的锁紧螺孔,所述锁紧螺孔与通孔(9)相通,所述锁紧螺孔的轴线垂直于所述通孔(9)的轴线。
2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用喷水装置,其特征在于:所述喷水管(2)上设有挡肩(11),所述挡肩(11)焊接于喷水管(2)上,所述挡肩(11)上还涂设有标识排液口(5)排液方向的标识层(12),所述引流架(1)上固定有配合挡肩(11)限制喷水管(2)位置的挡板(13),所述挡板(13)与引流架(1)为一体式结构,所述挡板(13)上开设有使喷水管(2)穿过的U形槽(14)。
3.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用喷水装置,其特征在于:所述供水接口(3)通过螺纹连接固定于喷水管(2)上,所述塞子(4)通过螺纹连接固定于喷水管(2)上,所述塞子(4)上设有外螺纹,所述喷水管(2)的内壁上设有与塞子(4)上外螺纹配合的内螺纹。
4.根据权利要求1至3任意一项所述的一种硅片切割机用喷水装置,其特征在于:所述过滤网(7)粘接于引流架(1)上,过滤网(7)粘接在引流架(1)上以后,过滤网(7)与引流架(1)围成过滤腔(15),所述排液口(5)位于过滤腔(15)内。
5.根据权利要求4所述的一种硅片切割机用喷水装置,其特征在于:所述固定座(8)焊接于引流架(1)上,所述固定座(8)上设置有至少三个锁紧螺钉(10)。
CN201520770483.3U 2015-09-30 2015-09-30 一种硅片切割机用喷水装置 Expired - Fee Related CN204955166U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201520770483.3U CN204955166U (zh) 2015-09-30 2015-09-30 一种硅片切割机用喷水装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201520770483.3U CN204955166U (zh) 2015-09-30 2015-09-30 一种硅片切割机用喷水装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN204955166U true CN204955166U (zh) 2016-01-13

Family

ID=55050257

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201520770483.3U Expired - Fee Related CN204955166U (zh) 2015-09-30 2015-09-30 一种硅片切割机用喷水装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN204955166U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105235085A (zh) * 2015-09-30 2016-01-13 浙江辉弘光电能源有限公司 一种硅片切割机用喷水装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105235085A (zh) * 2015-09-30 2016-01-13 浙江辉弘光电能源有限公司 一种硅片切割机用喷水装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8128829B2 (en) Cross flow filter device
JPH0128606B2 (zh)
CN204955166U (zh) 一种硅片切割机用喷水装置
JP2010005615A (ja) 中空糸膜モジュールを用いたろ過方法
CN202968209U (zh) 净水装置
US6830684B2 (en) Integrated liquid and gas distribution device for underdrain block laterals
CN110339720A (zh) 一种基于中空纤维膜的垂直错流过滤集成装置
CN207792013U (zh) 一种烟用爆珠收料装置
CN110652879A (zh) 外压式中空纤维膜组件及过滤装置
CN105235085B (zh) 一种硅片切割机用喷水装置
CN105233550A (zh) 一种硅片切割机用过滤水箱
CN204952424U (zh) 一种硅片切割机用过滤水箱
CN104512961B (zh) 散气装置及水处理装置
CN208038156U (zh) 反渗透净水机
CN105233564A (zh) 一种硅片切割机用切削液过滤装置
CN213137070U (zh) 一种多重液渣分离的水切割平台
CN208599287U (zh) 一种淋膜机过滤器换网装置
US20170036168A1 (en) Side Stream Flow Type Reverse Osmosis Membrane Filter
CN211216192U (zh) 外压式中空纤维膜组件及过滤装置
CN209775380U (zh) 注射嘴及具有其的注塑机
CN105235086B (zh) 一种硅片切割机用喷水器
CN104998464A (zh) 一种网袋式过滤系统
CN200991610Y (zh) 净水器
CN202460483U (zh) 过滤装置
CN210885587U (zh) 一种高效的净水器

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C56 Change in the name or address of the patentee
CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: 314200 Jiaxing City, Pinghu Province Economic Development Zone, new road, No. three, No. 899, No.

Patentee after: Zhejiang Hui Guang light Limited by Share Ltd

Address before: 314200 Jiaxing City, Pinghu Province Economic Development Zone, new road, No. three, No. 899, No.

Patentee before: ZHEJIANG HUIHONG PHOTOELECTRIC ENERGY CO., LTD.

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20160113

Termination date: 20190930

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee