CN107065453A - 干燥组件及显影装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种干燥组件及显影装置，属于显示基板制造领域。干燥组件包括：干燥腔室、喷液件和加热件，喷液件设置在干燥腔室内，加热件设置在干燥腔室外，加热件用于对干燥腔室进行加热，喷液件用于向干燥腔室内的基板喷洒预设液体，预设液体能够与水形成共沸物。本发明解决了空气刀对基板的干燥效果较差的问题，达到了能够较好的干燥基板的效果。本发明用于去除基板的水渍。

Description

干燥组件及显影装置

技术领域

本发明涉及显示基板制造领域，特别涉及一种干燥组件及显影装置。

背景技术

在显示基板的制造过程中，需要依次通过光刻胶涂覆、曝光、显影、刻蚀和光刻胶剥离等工艺，以在基板(衬底基板或者形成有一定图形的基板)上形成图形。在显影工艺中，通常需要使用显影装置。

显影装置通常包括显影组件、水洗组件和干燥组件，在对基板进行曝光之后，首先可以由显影组件对曝光后的基板进行显影，然后由水洗组件对显影后的基板进行水洗以清除残留在基板上的显影液，最后由干燥组件对水洗后的基板进行干燥，以清除残留在基板上的水渍。相关技术中，干燥组件通常为空气刀，空气刀包括设置有空腔的空气刀本体，空气刀本体上设置进气口和出气口。在采用空气刀对基板进行干燥时，可以将进气口与空气源连接，将出气口朝向基板，空气源中的空气从进气口进入空气刀本体的空腔并从出气口吹向基板。

在实现本发明的过程中，发明人发现相关技术至少存在以下问题：

光刻胶中含有非离子表面活性剂，非离子表面活性剂中的亲水基团会使得较多的水渍残留在基板上，空气刀采用吹气的方式无法较好的清除水渍，因此，空气刀对基板的干燥效果较差。

发明内容

为了解决空气刀对基板的干燥效果较差的问题，本发明提供一种干燥组件及显影装置。所述技术方案如下：

第一方面，提供一种干燥组件，所述干燥组件包括：干燥腔室、喷液件和加热件，所述喷液件设置在所述干燥腔室内，所述加热件设置在所述干燥腔室外，所述加热件用于对所述干燥腔室进行加热，所述喷液件用于向所述干燥腔室内的基板喷洒预设液体，所述预设液体能够与水形成共沸物。

可选地，所述共沸物的沸点低于水的沸点。

可选地，所述预设液体包括异丙醇、乙酸乙酯、苯、二氯乙烷和乙醇中的至少一种。

可选地，所述干燥组件还包括：吹气件，所述吹气件设置在所述干燥腔室内，用于向所述基板吹气。

可选地，所述喷液件包括导液管和设置在所述导液管的外壁上的至少一个喷嘴，每个所述喷嘴与所述导液管的内腔连通，且每个所述喷嘴朝向所述基板，所述导液管与储液罐连通，所述储液罐内的所述预设液体能够依次通过所述导液管和所述喷嘴喷向所述基板。

可选地，所述吹气件包括导气管，所述导气管上设置有吹气口，且所述导气管与气体源连通，所述气体源的气体能够依次通过所述导气管和所述吹气口吹向所述基板。

可选地，所述干燥组件还包括：温度检测件，所述温度检测件设置在所述干燥腔室内，用于检测所述干燥腔室内的温度。

可选地，所述喷液件的喷洒速率范围为10毫升每秒～30毫升每秒，所述干燥腔室内的温度的范围为50摄氏度～70摄氏度，或者，60摄氏度～80摄氏度；

所述预设液体为摩尔比为0～1.5:1的乙酸乙酯和苯的混合溶液，或者，摩尔比为0～2:1的异丙醇和二氯乙烷的混合溶液。

第二方面，提供一种显影装置，所述显影装置包括：显影组件、水洗组件、传送组件和第一方面所述的干燥组件，所述水洗组件包括水洗腔室，所述干燥组件的干燥腔室的一端与所述水洗腔室连通，另一端开口，所述传送组件用于将所述基板从所述水洗腔室传送至所述干燥腔室，并从所述干燥腔室另一端的开口传送出所述干燥腔室。

可选地，所述干燥组件的喷液件和吹气件按照所述传送组件的传送方向依次设置在所述干燥腔室的上方。

可选地，所述传送组件的传送速率为3000毫米每分钟。

本发明提供的技术方案带来的有益效果是：

本发明提供的干燥组件及显影装置，干燥组件包括干燥腔室、喷液件和加热件，喷液件设置在干燥腔室内，加热件设置在干燥腔室外，加热件用于对干燥腔室进行加热，喷液件用于向干燥腔室内的基板喷洒预设液体，预设液体能够与水形成共沸物。由于干燥组件的喷液件能够向基板喷洒预设液体，加热件能够通过干燥腔室向基板加热，使预设液体与水形成共沸物，进而使得水渍蒸发，因此，可以通过预设液体将水渍带离基板，解决了空气刀对基板的干燥效果较差的问题，达到了能够较好的干燥基板的效果。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本发明。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种干燥组件的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的另一种干燥组件的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的一种喷液件的正视图；

图4是本发明实施例提供的一种喷液件的剖面图；

图5是本发明实施例提供的一种吹气件的正视图；

图6是本发明实施例提供的一种干燥组件干燥基板的示意图；

图7是本发明实施例提供的一种显影装置的结构示意图。

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

目前，在彩膜基板的制造过程中，需要通过构图工艺在基板上形成红绿蓝(英文：Red Green Blue；简称：RGB)滤光单元。其中，RGB滤光单元可以包括R滤光单元、G滤光单元和B滤光单元。以形成R滤光单元为例，具体实施时，可以在先在基板上涂覆一层红色光刻胶，然后采用掩膜板对涂覆有红色光刻胶层的基板进行曝光，之后对曝光后的基板进行显影就可以得到R滤光单元。其中，可以采用显影装置中的显影组件对曝光后的基板进行显影，显影装置中还包括水洗组件和干燥组件，在显影组件显影之后，水洗组件可以对基板进行水洗以清除残留在基板上的显影液，之后干燥组件对水洗之后的基板进行干燥以清除残留在基板上的水渍。在对基板干燥之后，可以将基板送入微观检查机(英文：AutomaticOptic Inspection；简称：AOI)，AOI可以检测基板是否存在不良，当基板存在不良时，AOI会发出报警声并记录该基板，以便于后期对该基板进行修复，AOI发出报警声后产线停止运行，工作人员可以手动操作AOI解除报警，使产线继续运行。

相关技术中，一方面，干燥组件可以为空气刀(又称风刀，英文：Air Knife)，可以采用空气刀向水洗之后的基板吹空气，以清除残留在基板上的水渍。但是，由于光刻胶溶剂中含有丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇甲醚、乙烷基3-乙氧丙酸酯等非离子表面活性剂，非离子表面活性剂中带有含氧的二醚基、羟基、羧酸酯等亲水基团，这些亲水基团会导致较多的水渍残留在基板上，空气刀无法将全部水渍吹干，导致AOI检测出基板存在水渍并发出报警。但是实际应用中，水渍会在空气中自行蒸发，将基板放置在空气中一段时间之后水渍会自行蒸发掉，因此，基板上残留的水渍不属于不良。由于采用空气刀无法将全部水渍吹干，会使得AOI检测出水渍而误以为基板存在不良，也即是，空气刀无法将全部水渍吹干会导致AOI出现误检，后期也会对该误检的基板进行修复，而基板修复需要耗费一定的时间，因此，误检会降低生产节拍和生产效率。

另一方面，可以通过向基板加热来清除残留在基板上的水渍。但是由于水的沸点为100℃(摄氏度)，需要将基板加热至100℃才能使残留在基板上的水渍蒸发，而100℃的高温会导致基板上的光刻胶预固化，造成光刻胶表面粗糙，进而引发显影mura(中文：云纹)。

根据以上描述可知，相关技术中，空气刀对基板的干燥效果较差，会降低生产节拍和生产效率；对基板加热干燥又会引发显影mura。

请参考图1，其示出了本发明实施例提供的一种干燥组件00的结构示意图，该干燥组件00可以是显影装置中的一个组件，用于对水洗之后的基板进行干燥。参见图1，该干燥组件00包括：干燥腔室(英文：Chamber)001、喷液件002和加热件003，喷液件002设置在干燥腔室001内，加热件003设置在干燥腔室001外，加热件003用于对干燥腔室001进行加热，喷液件002用于向干燥腔室001内的基板(图1中未示出)喷洒预设液体，预设液体能够与水形成共沸物。

综上所述，本发明实施例提供的干燥组件，由于喷液件能够向基板喷洒预设液体，加热件能够通过干燥腔室向基板加热，使预设液体与水形成共沸物，进而使得水渍蒸发，因此，可以通过预设液体将水渍带离基板，解决了空气刀对基板的干燥效果较差的问题，达到了能够较好的干燥基板的效果。

可选地，共沸物的沸点低于水的沸点，该共沸物可以为二元共沸物。其中，共沸物的沸点低于水的沸点可以便于在较低温度下使共沸物沸腾，从而使水渍蒸发，避免由于高温导致光刻胶预固化，从而避免基板出现显影mura。

可选地，在本发明实施例中，预设液体可以包括异丙醇、乙酸乙酯、苯、二氯乙烷和乙醇中的至少一种。其中，当预设液体包括异丙醇、乙酸乙酯、苯、二氯乙烷和乙醇中的至少两种时，该预设液体可以是异丙醇、乙酸乙酯、苯、二氯乙烷和乙醇中的至少两种按照一定比例混合的混合溶液，该一定比例可以根据经验设置。示例地，预设液体可以为摩尔比为0～1.5:1的乙酸乙酯和苯的混合溶液，或者，预设液体可以为摩尔比为0～2:1的异丙醇和二氯乙烷的混合溶液，本发明实施例对此不作限定。

请参考图2，其示出了本发明实施例提供的另一种干燥组件00的结构示意图，参见图2，干燥腔室001的一端G1和另一端G2可以分别开口(图2中未示出)，加热件003设置在干燥腔室001外且位于干燥腔室001的下方，加热件003可以为加热器，且加热件003的具体结构可以参考相关技术，本发明实施例对此不作限定。

可选地，如图2所示，该干燥组件00还包括：吹气件004，吹气件004设置在干燥腔室001内，用于向基板10吹气。喷液件002和吹气件004按照第一方向a设置在干燥腔室001内且位于干燥腔室001的上方。

可选地，图3是本发明实施例提供的一种喷液件002的正视图，图4是本发明实施例提供的一种喷液件002的剖面图，请同时参考图2至图4，喷液件002包括导液管0021和设置在导液管0021的外壁上的至少一个喷嘴0022，每个喷嘴0022与导液管0021的内腔O连通，且每个喷嘴0022朝向基板(图2至图4中均未示出)，导液管0021与储液罐(图2至图4中均未示出)连通，储液罐内的预设液体能够依次通过导液管0021和喷嘴0022喷向基板。可选地，在本发明实施例中，如图3所示，导液管0021的一端A开口，另一端B封闭，导液管0021的开口端A与储液罐连通，且导液管0021或者连通导液管0021与储液罐的管道上设置有控制阀(图2至图4中均未示出)，可以通过控制阀控制喷液件002的喷洒速率。具体地，可以通过控制阀控制喷液件002的喷洒速率处于喷洒速率范围10毫升每秒～30毫升每秒内，本发明实施例对此不作限定。

可选地，图5是本发明实施例提供的一种吹气件004的结构示意图，请同时参考图2和图5，吹气件004包括导气管0041，导气管0041上设置有吹气口k，且导气管0041与气体源(图2和图5中均未示出)连通，气体源的气体能够依次通过导气管0041和吹气口k吹向基板(图2和图5中均未示出)。可选地，在本发明实施例中，如图5所示，导气管0041的一端C开口，另一端D封闭，导气管0041的开口端C与气体源连通，且连通导气管0041与气体源的管道上可以设置有控制阀(图2和图5中均未示出)，可以通过控制阀控制吹气件004的吹气速率。需要说明的是，吹气件004还可以为空气刀，空气刀的具体结构可以参考相关技术，本发明实施例在此不再赘述。

可选地，请继续参考图2，该干燥组件00还包括：温度检测件005，温度检测件005设置在干燥腔室001内，温度检测件005用于检测干燥腔室001内的温度。其中，温度检测件005可以设置在干燥腔室001的侧壁上，也可以设置在干燥腔室001的上方，还可以设置在其他位置，温度检测件005可以包括至少一个温度传感器，每个温度传感器可以检测干燥腔室001内的温度，本发明实施例对此不作限定。本发明实施例通过设置温度检测件005，在加热件003对干燥腔室001进行加热的过程中，温度检测件005可以检测干燥腔室001内的温度。在本发明实施例中，显影装置还可以包括控制组件，控制组件可以根据温度检测件005检测的温度，控制加热件003对干燥腔室001进行加热，使干燥腔室001内的温度处于温度范围50摄氏度～70摄氏度内，或者，60摄氏度～80摄氏度内，本发明实施例对此不作限定。

请参考图6，其示出了本发明实施例提供的一种干燥组件干燥基板的示意图，在本发明实施例中，干燥组件位于显影装置(图6中未示出)中，且显影装置还可以包括传送组件(图6中未示出)和水洗组件(图6中未示出)，基板10可以设置在传送组件上，水洗组件对基板10进行水洗之后，传送组件可以按照如图6所示的传送方向a将基板10从干燥腔室001的一端G1的开口(图6中未示出)传入干燥腔室001并继续按照传送方向a传送基板10，基板10进入干燥腔室001后，喷液件002可以向基板10喷洒预设液体，同时加热件003对干燥腔室001加热，使位于干燥腔室001内的基板10的温度升高，预设液体与基板10上的水渍形成共沸物，从而使水渍从基板10蒸发，之后吹气件004可以向基板10吹气，进一步使基板10上的水渍蒸发，对基板10进行干燥。随着传送组件的移动，基板10从干燥腔室001的另一端G2的开口(图6中未示出)传出干燥腔室001进入AOI(图6中未示出)，由AOI对基板10进行检测。

综上所述，本发明实施例提供的干燥组件，由于喷液件能够向基板喷洒预设液体，加热件能够通过干燥腔室向基板加热，使预设液体与水形成共沸物，进而使得水渍蒸发，因此，可以通过预设液体将水渍带离基板，解决了空气刀对基板的干燥效果较差的问题，达到了能够较好的干燥基板的效果。

本发明实施例提供的干燥组件能够对基板进行有效干燥，因此可以避免AOI误检导致的生产节拍和生产效率降低等问题，可以提高产品(基板)良率，缩短生产周期。

由于本发明实施例提供的干燥组件，利用共沸原理，能够在较低的温度下使基板上的水渍蒸发，可以避免光刻胶预固化，进而避免显影mura的产生，提升产品良率。

请参考图7，其示出了本发明实施例提供的一种显影装置0的结构示意图，参见图7，该显影装置0包括干燥组件00、显影组件01、水洗组件02和传送组件03，水洗组件02包括水洗腔室(图7中未标出)，干燥组件00的干燥腔室001的一端与水洗腔室连通，干燥腔室001的另一端开口，传送组件03设置在干燥腔室001和水洗腔室的底面上，传送组件03用于将基板按照传送方向a从水洗腔室传送至干燥腔室001，并从干燥腔室001另一端的开口传送出干燥腔室001。

在本发明实施例中，干燥组件00的喷液件02和吹气件04按照传送组件03的传送方向a依次设置在干燥腔室001的上方。

可选地，传送组件03可以为传送带或传送轮，传送组件03的传送速率为3000毫米每分钟。

可选地，显影装置0还包括控制组件(图7中未示出)，控制组件分别与干燥组件00、显影组件01、水洗组件02和传送组件03电连接，控制组件可以对干燥组件00、显影组件01、水洗组件02和传送组件03进行控制。例如，控制组件对干燥组件00的喷液件002进行控制，使喷液件002的喷洒速率处于喷洒速率范围10毫升每秒～30毫升每秒内，具体地，喷液件002的导液管(图7中未标出)或者连通导液管与储液罐的管道上设置有控制阀，控制阀可以与显影装置0的控制组件电连接，控制组件通过控制控制阀，控制喷液件002的喷洒速率处于喷洒速率范围10毫升每秒～30毫升每秒内；再例如，控制组件可以与干燥组件00的温度检测件005电连接，控制组件可以获取温度检测件005检测的干燥腔室001内的温度，根据温度检测件005检测的干燥腔室001内的温度，控制干燥组件00的加热件003对干燥腔室001进行加热，使干燥腔室001内的温度处于50摄氏度～70摄氏度，或者，60摄氏度～80摄氏度范围内。

需要说明的是，图7所示的显影装置0仅仅是示例性的，并不能用以限制显影装置0的实际结构，实际应用中，干燥组件00、显影组件01、水洗组件02和传送组件03的位置关系等均需要根据实际情况设置，本发明实施例对此不作限定，也不再做赘述。

综上所述，本发明实施例提供的显影装置，由于干燥组件的喷液件能够向基板喷洒预设液体，加热件能够通过干燥腔室向基板加热，使预设液体与水形成共沸物，进而使得水渍蒸发，因此，可以通过预设液体将水渍带离基板，解决了空气刀对基板的干燥效果较差的问题，达到了能够较好的干燥基板的效果。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分步骤可以通过硬件来完成，也可以通过程序来指令相关的硬件完成，所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，上述提到的存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种干燥组件，其特征在于，所述干燥组件包括：干燥腔室、喷液件和加热件，所述喷液件设置在所述干燥腔室内，所述加热件设置在所述干燥腔室外，所述加热件用于对所述干燥腔室进行加热，所述喷液件用于向所述干燥腔室内的基板喷洒预设液体，所述预设液体能够与水形成共沸物。

2.根据权利要求1所述的干燥组件，其特征在于，所述共沸物的沸点低于水的沸点。

3.根据权利要求2所述的干燥组件，其特征在于，所述预设液体包括异丙醇、乙酸乙酯、苯、二氯乙烷和乙醇中的至少一种。

4.根据权利要求1至3任一所述的干燥组件，其特征在于，所述干燥组件还包括：吹气件，所述吹气件设置在所述干燥腔室内，用于向所述基板吹气。

5.根据权利要求4所述的干燥组件，其特征在于，所述喷液件包括导液管和设置在所述导液管的外壁上的至少一个喷嘴，每个所述喷嘴与所述导液管的内腔连通，且每个所述喷嘴朝向所述基板，所述导液管与储液罐连通，所述储液罐内的所述预设液体能够依次通过所述导液管和所述喷嘴喷向所述基板。

6.根据权利要求4所述的干燥组件，其特征在于，所述吹气件包括导气管，所述导气管上设置有吹气口，且所述导气管与气体源连通，所述气体源的气体能够依次通过所述导气管和所述吹气口吹向所述基板。

7.根据权利要求4所述的干燥组件，其特征在于，所述干燥组件还包括：温度检测件，所述温度检测件设置在所述干燥腔室内，用于检测所述干燥腔室内的温度。

8.根据权利要求7所述的干燥组件，其特征在于，

所述喷液件的喷洒速率范围为10毫升每秒～30毫升每秒，所述干燥腔室内的温度的范围为50摄氏度～70摄氏度，或者，60摄氏度～80摄氏度；

所述预设液体为摩尔比为0～1.5∶1的乙酸乙酯和苯的混合溶液，或者，摩尔比为0～2∶1的异丙醇和二氯乙烷的混合溶液。

9.一种显影装置，其特征在于，所述显影装置包括：显影组件、水洗组件、传送组件和权利要求1至8任一所述的干燥组件，所述水洗组件包括水洗腔室，所述干燥组件的干燥腔室的一端与所述水洗腔室连通，另一端开口，所述传送组件用于将所述基板从所述水洗腔室传送至所述干燥腔室，并从所述干燥腔室另一端的开口传送出所述干燥腔室。

10.根据权利要求9所述的显影装置，其特征在于，所述干燥组件的喷液件和吹气件按照所述传送组件的传送方向依次设置在所述干燥腔室的上方。