CN107065053B - 制备滤光片的方法 - Google Patents

制备滤光片的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107065053B
CN107065053B CN201710372420.6A CN201710372420A CN107065053B CN 107065053 B CN107065053 B CN 107065053B CN 201710372420 A CN201710372420 A CN 201710372420A CN 107065053 B CN107065053 B CN 107065053B
Authority
CN
China
Prior art keywords
coated
film layer
optical filter
spin
white glass
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201710372420.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107065053A (zh
Inventor
杨伟
丁维红
肖念恭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xinyang Sunny Optics Co Ltd
Original Assignee
Xinyang Sunny Optics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xinyang Sunny Optics Co Ltd filed Critical Xinyang Sunny Optics Co Ltd
Priority to CN201710372420.6A priority Critical patent/CN107065053B/zh
Publication of CN107065053A publication Critical patent/CN107065053A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107065053B publication Critical patent/CN107065053B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/208Filters for use with infrared or ultraviolet radiation, e.g. for separating visible light from infrared and/or ultraviolet radiation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08Oxides
    • C23C14/083Oxides of refractory metals or yttrium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/10Glass or silica
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/32Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/11Anti-reflection coatings

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

本发明涉及一种制备滤光片的方法,包括步骤:(a)采用超声波清洗工艺清洗白玻璃;(b)采用镀膜设备对白玻璃进行预清洗;(c)在白玻璃的一个面上镀制红外截止膜层;(d)在白玻璃的另一个面上旋涂有机物形成旋涂层;(e)在旋涂层上镀制减反射膜层;其中,红外截止膜层的厚度为400‑680nm时,反射率<2%。通过本方法制备的滤光片耐温性能更好,膜层致密性更好,旋涂层无黑点,结构更加稳定。

Description

制备滤光片的方法
技术领域
本发明涉及一种制备滤光片的方法。
背景技术
中国专利201610305348.0公开了一种混合吸收型红外截止滤光片及其制备方法。该混合吸收型红外截止滤光片包括玻璃基板,设置在玻璃基板上表面的涂覆胶层,设在涂覆胶层之上的减反射膜层以及设置在玻璃基板下表面的红外截止膜层。该滤光片中的涂覆胶层仅有一层,且在镀制过程中,是先涂覆胶层后镀制红外截止膜层和减反射膜层。制备这种混合吸收型红外截止滤光片的方法是对玻璃基板先进行超声波清洗,然后利用匀胶机进行旋涂镀膜,再利用充氮气进行烘烤。利用这种制备方法制备的滤光片的结构不稳定,膜层之间的牢固度偏低,而且利用氮气进行烘烤使得作业难度高,成本也偏高。
中国专利200510080527.0公开了一种滤光片镀膜方法。该滤光片的镀膜方法只是在白玻璃上通过特定的方法镀制IR膜(红外截止膜),而没有镀制AR膜(减反射膜),然后通过检测、切割、超声波清洗和检验步骤完成滤光片的制备。通过这种方法制备的滤光片成像质量差,亮度低,同时耐温性和膜层致密度较差。
目前随着移动通信的快速发展,手机市场也发展迅猛,作为手机摄像模组的主要部件——UV-IRcut滤色片需求也越来越多,为改善模组的成像品质,市场主流使用蓝玻璃的滤色片,但因蓝玻璃的本身强度较低,厚度基本只能做到0.21mm左右。市场开发出一种旋涂有机物+光学玻璃(白玻璃)的方法来达到蓝玻璃相似的光学特性。且白玻璃的强度更优于蓝玻璃,厚度也能做到0.11mm左右,在大角度更好的抑制成像时的偏色效果,因旋涂玻璃的材质是玻璃+有机物质,在耐温度以及基底的致密度需重点改善,基于以上的缺陷,旋涂玻璃的镀膜工艺需重新设计来适应市场需求。
发明内容
本发明的目的在于提供一种制备滤光片的方法,通过该方法制备耐温性能更好,膜层致密性更好,旋涂层无黑点,结构更加稳定的滤光片。
为实现上述目的,本发明提供一种制备滤光片的方法,包括如下步骤:
(a)采用超声波清洗工艺清洗白玻璃;
(b)采用镀膜设备对白玻璃进行预清洗;
(c)在白玻璃的一个面上镀制红外截止膜层;
(d)在白玻璃的另一个面上旋涂有机物形成旋涂层;
(e)在旋涂层上镀制减反射膜层;
其中,红外截止膜层的厚度为400-680nm时,反射率<2%。
根据本发明的一个方面,红外截止膜层的半波值为705±5nm。
根据本发明的一个方面,所述(c)步骤中,采用离子源辅助镀膜,离子源的参数设定为以下数值或数值范围,
根据本发明的一个方面,所述(d)步骤中,旋涂层的温度为100±20℃。
根据本发明的一个方面,所述(e)步骤中,采用离子源辅助镀膜,离子源的参数设定在以下数值或数值范围,
Figure BDA0001303099920000022
Figure BDA0001303099920000031
根据本发明的一个方面,TI3O5材料的蒸发速率为2±0.5埃/秒,SIO2的蒸发速率为6±2埃/秒。
根据本发明的制备滤光片的方法,在镀膜之前,利用镀膜设备对白玻璃进行预清洗,这样可以进一步地去除细微的脏污,增加红外截止膜与白玻璃基板的附着力。
根据本发明的制备滤光片的方法,能够使得滤光片的角度依存性更佳,同时增加了大角度视角时白玻璃的通光量。
根据本发明的制备滤光片的方法,镀制旋涂层的温度为100±20℃,同时控制此温度至镀制减反射膜层完成。这样可以保证膜层之间的牢固度,同时保证旋涂的有机物不会被高温分解,使得滤光片的性能稳定,结构稳定。
根据本发明的制备滤光片的方法,固体TI3O5以及固体SIO2在高真空状态下,经过高温蒸发,分子均匀的沉积在基板表面,因采用离子源辅助镀膜,所以分子排列更加紧密,膜层致密度增加,光学稳定性更佳,这样再将红外截止膜层和减反射膜层镀制在相应的沉积有TI3O5和SIO2的膜层上,这样有效地增强膜层之间的致密度,使得光学稳定性更好,使得折射率稳定且均匀。
根据本发明的制备滤光片的方法,有效地杜绝了旋涂基底受温度以及离子源轰击而分解有机物质,同时增强片源基底的致密度,解决了旋涂液表面产生黑点的技术问题。
附图说明
图1是示意性表示根据本发明的制备滤光片的方法流程图。
具体实施方式
为了更清楚地说明本发明实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员而言,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
在针对本发明的实施方式进行描述时,术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”所表达的方位或位置关系是基于相关附图所示的方位或位置关系,其仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此上述术语不能理解为对本发明的限制。
下面结合附图和具体实施方式对本发明作详细地描述,实施方式不能在此一一赘述,但本发明的实施方式并不因此限定于以下实施方式。
根据本发明的制备滤光片的方法包括以下几个环节:
超声波清洗基片→镀膜前镀膜设备对基片预清洗→在基片的一个面上镀制红外截止膜层→在基片的另一个面上旋涂有机物→在有机物旋涂层上镀制减反射膜层
其中,在本发明中,基片采用白玻璃。
根据本发明,制备滤光片的方法,包括以下步骤:
(a)采用超声波清洗工艺清洗白玻璃。在本步骤中清洗掉白玻璃的待镀制膜层面上的污物以及有机物料等污物,保证白玻璃的表面洁净度良好,有利于提高镀制膜层的质量。
(b)在镀膜之前,利用镀膜设备对白玻璃进行预清洗。在本步骤中是对前步超声波清洗的巩固清洁,进一步地去除细微的脏污,增加红外截止膜与白玻璃基板的附着力。
(c)在白玻璃基板的一个表面上镀制红外截止膜层。在本步骤中,镀制红外截止膜层时使用正常离子源辅助镀膜。在镀制红外截止膜层时,需要控制红外截止膜层的反射率,在本实施方式中,当红外截止膜层的厚度为400-680nm时,反射率需要小于2%。同时,红外截止膜的半波值需要控制在705±5nm范围内。
在本实施方式中,需要采用正常离子源辅助镀制红外截止膜层,而正常的离子源参数如下表1中的数值或者数值范围,
Figure BDA0001303099920000041
Figure BDA0001303099920000051
表1
根据本发明的上述实施方式,能够使得滤光片的角度依存性更佳,同时增加了大角度视角时滤色片的通光量与光源垂直入射时通光量相似。在本发明中,加速电压为直流电压。
(d)在白玻璃的另一个表面上旋涂有机物形成旋涂层。在本步骤中,镀制旋涂层的温度为100±20℃,同时控制此温度至镀制减反射膜层完成。这样可以保证膜层之间的牢固度,同时保证旋涂的有机物不会被高温分解,使得滤光片的性能稳定,结构稳定。
(e)在旋涂层上镀制减反射膜层。在本步骤中,因为上述的镀膜温度较低,所以在旋涂层上镀制减反射膜层需要采用离子源辅助镀膜。这样处理可以有效地增加膜层之间的牢固度。而在镀制减反射膜层时,需要选择适中的电流值和电压值,同时需要降低氧气和氩气的流量,达到降低离子源功率的效果。
此外,更需注意的是,使用了上述离子源辅助镀膜时,还需要配以适当的相关材料的蒸发速率。在本实施方式中,需要降低TI3O5材料的蒸发速率,以配合离子源的氧气流量,防止因材料失氧而产生吸收。在本实施方式中,具体离子源的工艺参数如下表2中的数值或者数值范围,
Figure BDA0001303099920000052
在本实施方式中,TI3O5材料的蒸发速率为2±0.5埃/秒,SIO2的蒸发速率为6±2埃/秒。
在本发明的上述实施方式中,固体TI3O5以及固体SIO2在高真空状态下,经过高温蒸发,分子均匀的沉积在基板表面,因采用离子源辅助镀膜,所以分子排列更加紧密,膜层致密度增加,光学稳定性更佳,这样再将红外截止膜层和减反射膜层镀制在相应的沉积有TI3O5和SIO2的膜层上,这样有效地增强膜层之间的致密度,使得光学稳定性更好,使得折射率稳定且均匀。
根据本发明的上述实施方式,本发明有效地杜绝了旋涂基底受温度以及离子源轰击而分解有机物质,同时增强片源基底的致密度,解决了旋涂液表面产生黑点的技术问题。
上述内容仅为本发明的具体实施方式的例举,对于其中未详尽描述的设备和结构,应当理解为采取本领域已有的通用设备及通用方法来予以实施。
以上所述仅为本发明的一个实施方式而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种制备滤光片的方法,包括如下步骤:
(a)采用超声波清洗工艺清洗白玻璃;
(b)采用镀膜设备对白玻璃进行预清洗,增加白玻璃附着力;
(c)在白玻璃的一个面上镀制红外截止膜层;
(d)在白玻璃的另一个面上旋涂有机物形成旋涂层;
(e)在旋涂层上镀制减反射膜层;
其中,红外截止膜层的厚度为400-680nm时,反射率<2%;
所述(c)步骤中,采用离子源辅助镀膜,离子源的参数设定为以下数值或数值范围,
Figure DEST_PATH_IMAGE001
2.根据权利要求1所述的制备滤光片的方法,其特征在于,红外截止膜层的半波值为705±5nm。
3.根据权利要求1所述的制备滤光片的方法,其特征在于,所述(d)步骤中,旋涂层的温度为100±20℃。
4.根据权利要求3所述的制备滤光片的方法,其特征在于,所述(e)步骤中,采用离子源辅助镀膜,离子源的参数设定在以下数值或数值范围,
5.根据权利要求4所述的制备滤光片的方法,其特征在于,TI3O5材料的蒸发速率为2±0.5埃/秒,SIO2的蒸发速率为6±2埃/秒。
CN201710372420.6A 2017-05-24 2017-05-24 制备滤光片的方法 Active CN107065053B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710372420.6A CN107065053B (zh) 2017-05-24 2017-05-24 制备滤光片的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710372420.6A CN107065053B (zh) 2017-05-24 2017-05-24 制备滤光片的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107065053A CN107065053A (zh) 2017-08-18
CN107065053B true CN107065053B (zh) 2019-10-15

Family

ID=59611117

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710372420.6A Active CN107065053B (zh) 2017-05-24 2017-05-24 制备滤光片的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107065053B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111893434A (zh) * 2020-07-31 2020-11-06 江苏星浪光学仪器有限公司 一种超薄滤光片的蒸发镀膜工艺
CN113307506A (zh) * 2021-06-22 2021-08-27 江苏星浪光学仪器有限公司 一种将旋涂液涂抹基板的新型滤光片制作工艺

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105911625A (zh) * 2016-05-09 2016-08-31 浙江水晶光电科技股份有限公司 一种混合吸收型红外截止滤光片及其制备方法
CN106526733A (zh) * 2016-12-27 2017-03-22 苏州思创源博电子科技有限公司 一种红外滤光片的制备方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5741283B2 (ja) * 2010-12-10 2015-07-01 旭硝子株式会社 赤外光透過フィルタ及びこれを用いた撮像装置
CN106094241A (zh) * 2016-06-22 2016-11-09 温岭市现代晶体有限公司 水晶涂布式光学低通滤波器及制造方法
CN206133053U (zh) * 2016-07-08 2017-04-26 浙江水晶光电科技股份有限公司 一种吸收式光学低通滤波器

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105911625A (zh) * 2016-05-09 2016-08-31 浙江水晶光电科技股份有限公司 一种混合吸收型红外截止滤光片及其制备方法
CN106526733A (zh) * 2016-12-27 2017-03-22 苏州思创源博电子科技有限公司 一种红外滤光片的制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN107065053A (zh) 2017-08-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN206339678U (zh) 红外截止滤光片
TWI547712B (zh) A method for manufacturing anti - blue optical lens
CN107678081A (zh) 一种低雾度红外截止滤光片及其镀膜方法
CN102736138B (zh) 防反射膜以及光学元件
CN105593721B (zh) 近似天然黑的偏光板的制造方法和由其制造的偏光板
CN107065053B (zh) 制备滤光片的方法
CN207352201U (zh) 吸收式近红外线滤光片及影像感测器
CN107113372A (zh) 光学滤波器和摄像装置
JP6307513B2 (ja) モノリシックガラス直線偏光子及びアッテネータ
WO2016176930A1 (zh) 彩色滤光片及其制备方法,以及液晶显示器
CN112415639A (zh) 一种低反射防红外耐高温树脂镜片及其制备方法
CN206804911U (zh) 薄型光学滤光片及影像感测器
CN111381299A (zh) 一种低反射色中性低应力树脂镜片及其制备方法
CN206618874U (zh) 一种防蓝光膜结构和防蓝光镜片
CN106094241A (zh) 水晶涂布式光学低通滤波器及制造方法
CN207232419U (zh) 一种低雾度红外截止滤光片
CN108169825A (zh) 一种高硬度增透膜的成型方法
CN106597590A (zh) 一种低内反射复合基材及其制造方法
CN109143600A (zh) 一种3d镜片及其制备方法
CN203287550U (zh) 一种近红外减反射增透膜
CN106405687A (zh) 一种防蓝光膜结构和防蓝光镜片及其应用
TWI281557B (en) Color filter coating process and product made by same
CN109267034A (zh) 一种屏幕的制作方法
KR101793649B1 (ko) 디스플레이 패널의 반사 방지막 제조 방법
WO2024066779A1 (zh) 一种仿陶瓷结构及其制备方法、电子设备壳体

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant