CN107053009A - 一种蓝宝石晶片磨边冷却装置 - Google Patents
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- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 34
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000007688 edging Methods 0.000 title claims abstract description 16
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 77
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 7
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 22
- 238000000227 grinding Methods 0.000 abstract description 12
- 239000002826 coolant Substances 0.000 abstract description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000013043 chemical agent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910001651 emery Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013467 fragmentation Methods 0.000 description 1
- 238000006062 fragmentation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010327 methods by industry Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
- B24B55/02—Equipment for cooling the grinding surfaces, e.g. devices for feeding coolant
- B24B55/03—Equipment for cooling the grinding surfaces, e.g. devices for feeding coolant designed as a complete equipment for feeding or clarifying coolant
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B24B9/00—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
- B24B9/02—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground
- B24B9/06—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B9/16—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of diamonds; of jewels or the like; Diamond grinders' dops; Dop holders or tongs
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Abstract
一种蓝宝石晶片磨边冷却装置，包括循环泵、储水桶和过滤桶，采用化学冷却液循环冷却的方式对蓝宝石晶片和磨边机内的磨具进行冷却，与传统的RO水直排冷却方式相比，降低了90%‑98%RO水的消耗量，并且化学冷却液直磨边机内的磨具，降低了磨具的磨损量，提高了磨具的使用寿命，采用固定装置将循环泵固定在储水桶上，提高了循环泵的稳定性，防止循环泵从储水桶上掉落无法正常工作甚至损坏，增强了冷却装置的安全性能，过滤桶内设有第一过滤网，循环泵内设有第二过滤网，能够有效的防止蓝宝石粉末通过循环泵进入磨边机内，从而使蓝宝石晶片边缘损伤过大，或者蓝宝石晶片磨边效果不好，增加蓝宝石后续加工成本，降低1%‑5%蓝宝石晶片崩角或者破裂损失比例，冷却装置采用循环冷却法，化学冷却液循环使用不排除，不会对环境造成污染，环保效果好。
Description
技术领域
本发明涉及蓝宝石镜片磨片领域，是一种蓝宝石晶片磨边冷却装置。
背景技术
蓝宝石晶片硬度很高，为莫氏硬度9级，仅次于金刚石，它具有良好的透光性、热传导性和电气绝缘性，力学性能良好，并且具有耐磨和抗风蚀的特点，蓝宝石晶片熔点为2050℃，沸点为3500℃，最高工作温度可达到1900℃，因此蓝宝石晶片经常用于科学技术、国防与民用工业、电子技术等与多领域，现有的蓝宝石晶片加工工程中，研磨和抛光加工过程都会对晶片边缘造成损伤，导致晶片边缘剥落，产生隐裂和崩角，严重的崩角会在后续加工过程中产生破片，造成重大损失，影响整个加工的晶片质量，此外蓝宝石衬底常常采用磨边处理以减少晶片边缘的损伤，磨边机台传统冷却方式有两种：一种采用化学药剂作为磨削冷却液，浓度一般控制在5%—10%之间。使用量较大，排放的污染浓度较高；另一种采用水冷却，水的成本较低但冷却效果差，直接排放的方式造成大量的水资源浪费，磨具的寿命也非常的短，并且随着磨具加工数量的增加，磨轮的磨削能力下降较快，晶片边缘产生的损伤越多，不良损失的比例逐步加大，影响了蓝宝石晶片边缘应力去除的效果，大大增加了蓝宝石后续加工的成本。
发明内容
针对上述问题，本发明提出了一种蓝宝石晶片磨边冷却装置，该装置不仅可以减少蓝宝石晶片的边缘损伤，而且减少了蓝宝石因切割后的边缘应力释放问题，降低蓝宝石晶片的崩角和破损比例，减少了水资源的浪费，提高磨边磨具的使用寿命。
为解决以上技术问题，本发明提供的技术方案是:
一种蓝宝石晶片磨边冷却装置，其特征在于，包括循环泵、储水桶和过滤桶，所述储水桶竖直设置，储水桶呈长方体，储水桶呈中空结构，储水桶上设有进水管，所述进水管一端与储水桶连接，另一端与水源连接，储水桶内设有浮球液位开关，所述浮球液位开关固定设置在储水桶中部，储水桶上设有支撑板，所述支撑板呈长方体，支撑板竖直设置，支撑板设置在出水同一侧，且与储水桶固定连接，所述过滤桶设置在储水桶另一侧，且设置在储水桶上端，过滤桶呈长方体，过滤桶为中空结构，过滤桶上设有第一过滤网，所述第一过滤网设置过滤桶内，且设置在过滤桶中部，过滤桶内设有第三管道，所述第三管道有两个，第三管道对称设置，第三管道一端设置在在过滤桶上，第三管道另一端与磨边机连接；
所述循环泵设置在储水桶一侧，且设置在支撑板上，循环泵上设有固定装置，且通过固定装置与固定在储水桶上，所述固定装置有三个，固定装置设置在循环泵底部，固定装置包括锁紧把手、固定板和外壳，所述外壳呈长方体，外壳竖直设置，外壳一侧设有凹槽，所述锁紧把手设置在外壳上端，锁紧把手一端设置在外壳内，所述固定板呈长方体，固定板水平设置，固定板上端与锁紧把手一端固定连接，循环泵一侧设有第一阀门，所述第一阀门水平设置，第一阀门一端与循环泵连接，另一端与第一管道连接，所述第一管道设置在第一阀门一侧，第一管道另一端与磨边机连接，第一阀门内设有第二过滤网，所述第二过滤网有六个，第二过滤网自由向左排列，循环泵另一端设有第二阀门，所述第二阀门水平设置，第二阀门一端与循环泵连接，另一端与第二管道连接，所述第二管道设置在第二阀门一侧，第二管道另一端与储水桶连接，且设置在储水桶底部；
进一步的，第一过滤网的孔径为60-70目，第二过滤网网孔自右向左依次减小，分别为60-70目、70-80目、80-100目、100-120目、120-140目、140-170目；
进一步的，浮球液位开关控制进水管的开启与关闭。
本发明的有益效果为：
一种蓝宝石晶片磨边冷却装置，包括循环泵、储水桶和过滤桶，采用化学冷却液循环冷却的方式对蓝宝石晶片和磨边机内的磨具进行冷却，与传统的RO水直排冷却方式相比，降低了90%-98%RO水的消耗量，并且化学冷却液直磨边机内的磨具，降低了磨具的磨损量，提高了磨具的使用寿命，采用固定装置将循环泵固定在储水桶上，提高了循环泵的稳定性，防止循环泵从储水桶上掉落无法正常工作甚至损坏，增强了冷却装置的安全性能，过滤桶内设有第一过滤网，循环泵内设有第二过滤网，能够有效的防止蓝宝石粉末通过循环泵进入磨边机内，从而使蓝宝石晶片边缘损伤过大，或者蓝宝石晶片磨边效果不好，增加蓝宝石后续加工成本，降低1%-5%蓝宝石晶片崩角或者破裂损失比例，冷却装置采用循环冷却法，化学冷却液循环使用不排除，不会对环境造成污染，环保效果好。
附图说明
图1为冷却装置主视图。
图2为冷却装置俯视图。
图3为储水缸剖视图。
图4为第二阀门剖视图。
图5为固定装置右视图。
具体实施方式
一种蓝宝石晶片磨边冷却装置，其特征在于，包括循环泵1、储水桶2和过滤桶3，所述储水桶2竖直设置，储水桶2呈长方体，储水桶2呈中空结构，储水桶2上设有进水管4，所述进水管4一端与储水桶2连接，另一端与水源连接，储水桶2内设有浮球液位开关5，所述浮球液位开关5固定设置在储水桶2中部，储水桶2上设有支撑板6，所述支撑板6呈长方体，支撑板6竖直设置，支撑板6设置在出水同一侧，且与储水桶2固定连接，所述过滤桶3设置在储水桶2另一侧，且设置在储水桶2上端，过滤桶3呈长方体，过滤桶3为中空结构，过滤桶3上设有第一过滤网7，所述第一过滤网7设置过滤桶3内，且设置在过滤桶3中部，过滤桶3内设有第三管道8，所述第三管道8有两个，第三管道8对称设置，第三管道8一端设置在在过滤桶3上，第三管道8另一端与磨边机连接；
所述循环泵1设置在储水桶2一侧，且设置在支撑板6上，循环泵1上设有固定装置9，且通过固定装置9与固定在储水桶2上，所述固定装置9有三个，固定装置9设置在循环泵1底部，固定装置9包括锁紧把手10、固定板11和外壳12，所述外壳12呈长方体，外壳12竖直设置，外壳12一侧设有凹槽13，所述锁紧把手10设置在外壳12上端，锁紧把手10一端设置在外壳12内，所述固定板11呈长方体，固定板11水平设置，固定板11上端与锁紧把手10一端固定连接，循环泵1一侧设有第一阀门14，所述第一阀门14水平设置，第一阀门14一端与循环泵1连接，另一端与第一管道15连接，所述第一管道15设置在第一阀门14一侧，第一管道15另一端与磨边机连接，第一阀门14内设有第二过滤网16，所述第二过滤网16有六个，第二过滤网16自由向左排列，循环泵1另一端设有第二阀门17，所述第二阀门17水平设置，第二阀门17一端与循环泵1连接，另一端与第二管道18连接，所述第二管道18设置在第二阀门17一侧，第二管道18另一端与储水桶2连接，且设置在储水桶2底部；
进一步的，第一过滤网7的孔径为60-70目，第二过滤网16网孔自右向左依次减小，分别为60-70目、70-80目、80-100目、100-120目、120-140目、140-170目；
进一步的，浮球液位开关5控制进水管4的开启与关闭；
进一步的，上述固定连接采用焊接、螺丝螺母等常用固定方式固定。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。
Claims (3)
1.一种蓝宝石晶片磨边冷却装置，其特征在于，包括循环泵、储水桶和过滤桶，所述储水桶竖直设置，储水桶呈长方体，储水桶呈中空结构，储水桶上设有进水管，所述进水管一端与储水桶连接，另一端与水源连接，储水桶内设有浮球液位开关，所述浮球液位开关固定设置在储水桶中部，储水桶上设有支撑板，所述支撑板呈长方体，支撑板竖直设置，支撑板设置在出水同一侧，且与储水桶固定连接，所述过滤桶设置在储水桶另一侧，且设置在储水桶上端，过滤桶呈长方体，过滤桶为中空结构，过滤桶上设有第一过滤网，所述第一过滤网设置过滤桶内，且设置在过滤桶中部，过滤桶内设有第三管道，所述第三管道有两个，第三管道对称设置，第三管道一端设置在在过滤桶上，第三管道另一端与磨边机连接；
所述循环泵设置在储水桶一侧，且设置在支撑板上，循环泵上设有固定装置，且通过固定装置与固定在储水桶上，所述固定装置有三个，固定装置设置在循环泵底部，固定装置包括锁紧把手、固定板和外壳，所述外壳呈长方体，外壳竖直设置，外壳一侧设有凹槽，所述锁紧把手设置在外壳上端，锁紧把手一端设置在外壳内，所述固定板呈长方体，固定板水平设置，固定板上端与锁紧把手一端固定连接，循环泵一侧设有第一阀门，所述第一阀门水平设置，第一阀门一端与循环泵连接，另一端与第一管道连接，所述第一管道设置在第一阀门一侧，第一管道另一端与磨边机连接，第一阀门内设有第二过滤网，所述第二过滤网有六个，第二过滤网自由向左排列，循环泵另一端设有第二阀门，所述第二阀门水平设置，第二阀门一端与循环泵连接，另一端与第二管道连接，所述第二管道设置在第二阀门一侧，第二管道另一端与储水桶连接，且设置在储水桶底部。
2.如权利要求1所述的一种蓝宝石晶片磨边冷却装置，其特征在于，第一过滤网的孔径为60-70目，第二过滤网网孔自右向左依次减小，分别为60-70目、70-80目、80-100目、100-120目、120-140目、140-170目。
3.如权利要求1所述的一种蓝宝石晶片磨边冷却装置，其特征在于，浮球液位开关控制进水管的开启与关闭。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710485923.4A CN107053009A (zh) | 2017-06-23 | 2017-06-23 | 一种蓝宝石晶片磨边冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710485923.4A CN107053009A (zh) | 2017-06-23 | 2017-06-23 | 一种蓝宝石晶片磨边冷却装置 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN107053009A true CN107053009A (zh) | 2017-08-18 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710485923.4A Pending CN107053009A (zh) | 2017-06-23 | 2017-06-23 | 一种蓝宝石晶片磨边冷却装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN107053009A (zh) |
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20170818 |