CN107024833A - 一种精细图案的制作方法及显示装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种精细图案的制作方法及显示装置，采用具有与待形成的精细图案一致的特定凸版图形的金属模板制作精细图案，可以不受曝光机的精度限制。在将待固化胶填充至金属模板的凹槽内后，利用待固化胶倒模的方式将待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化待固化胶，以在显示基板的表面形成固化胶，来替代纳米压印过程中使用压力在显示基板上形成压膜图案，可以避免压力不均导致的电性不良的问题。在具有固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层后，采用去除固化胶以去除位于固化胶之上的膜层区域的方式得到精细图案，可以避免形成图形过程中采用蚀刻工艺而影响精细图案的均匀性。

Description

一种精细图案的制作方法及显示装置

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种精细图案的制作方法及显示装置。

背景技术

目前，在显示装置的制作过程中，在制作诸如金属网格触控电极图形这类具有精细图案的图形时，主要采用纳米压印技术或曝光显影技术。

其中，纳米压印技术在实际量产过程中，容易出现在压印过程中压力不均导致图形线路沟道深度不均的问题，从而引起导电材料在印刷后深度较浅的区域导电材料较少而引起电性连接不良的问题；并且，在纳米压印的刮印过程中还容易出现漏印、残留等而导致电性连接不良的问题。

而曝光显影技术会受限于曝光机的精度以及蚀刻均匀性等影响，不易制作超细线宽的图形，因此量产难度较大。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种精细图案的制作方法及显示装置，用以实现超细线宽的精细图案制作。

因此，本发明实施例提供了一种精细图案的制作方法，包括：

在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶，所述特定凸版图形与待形成的精细图案一致；

利用倒模的方式将所述待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化所述待固化胶以在所述显示基板的表面形成固化胶；

在具有所述固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层；

去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域，以利用剩余的所述膜层区域在所述显示基板上形成所需的精细图案。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中，在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶之前，还包括：

在确定所述金属模板的表面与所述待固化胶之间的附着力大于预设阈值时，在所述金属模板的表面形成降低所述金属模板与所述待固化胶之间附着力的疏水涂层。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中，在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶，具体包括：

在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充厚度小于所述凹槽深度的待固化胶。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中，所述利用倒模的方式将所述待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化所述待固化胶以在所述显示基板的表面形成固化胶，具体包括：

在所述金属模板具有特定凸版图形的表面放置待形成精细图案的显示基板；

抽真空使所述金属模板与所述显示基板紧密贴合；

翻转紧密贴合的所述金属模板与所述显示基板，使所述待固化胶转移至所述显示基板的表面；

固化所述待固化胶，以在所述显示基板的表面形成固化胶；

取下所述金属模板。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中，所述固化所述待固化胶，以在所述显示基板的表面形成固化胶，具体包括：

采用特定波长光照射所述待固化胶，以在所述显示基板的表面形成固化胶。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中，所述去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域，具体包括：

采用物理方式撕除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中，在去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域之后，还包括：

采用有机溶剂清洗所述显示基板，去除残留的所述固化胶。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中，还包括：

在衬底基板上涂覆一层光刻胶；

在所述光刻胶上采用激光直写去除与所述特定凸版图形互补的图案，之后对所述光刻胶显影；

在形成有显影后的所述光刻胶的衬底基板上，采用电镀工艺形成所述具有特定凸版图形的金属模板。

另一方面，本发明实施例还提供了一种显示装置，包括：采用本发明实施例提供的上述制作方法制得的精细图案。

在一种可能的实现方式中，在本发明实施例提供的上述显示装置中，所述精细图案为触控电极的金属网格图案。

本发明实施例的有益效果包括：

本发明实施例提供的一种精细图案的制作方法及显示装置，采用具有与待形成的精细图案一致的特定凸版图形的金属模板制作精细图案，可以不受曝光机的精度限制。在将待固化胶填充至金属模板的凹槽内后，利用待固化胶倒模的方式将待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化待固化胶，以在显示基板的表面形成固化胶，来替代纳米压印过程中使用压力在显示基板上形成压膜图案，可以避免压力不均导致的电性不良的问题。在具有固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层后，采用去除固化胶以去除位于固化胶之上的膜层区域的方式得到精细图案，可以避免形成图形过程中采用蚀刻工艺而影响精细图案的均匀性。

附图说明

图1为本发明实施例提供的精细图案的制作方法的流程图之一；

图2为本发明实施例提供的精细图案的制作方法的流程图之二；

图3为本发明实施例提供的精细图案的制作方法的具体流程图；

图4a至图4h分别为图3所示的具体流程中各步骤执行后的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的精细图案的制作方法的流程图之三；

图6a至图6d分别为图5所示的具体流程中各步骤执行后的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本发明实施例提供的精细图案的制作方法及显示装置的具体实施方式进行详细地说明。

本发明实施例提供的一种精细图案的制作方法，如图1所示，具体包括以下步骤：

S101、在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶，其中，特定凸版图形与待形成的精细图案一致；

S102、利用倒模的方式将待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化待固化胶以在显示基板的表面形成固化胶；

S103、在具有固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层；

S104、去除固化胶以及膜层在固化胶上的区域，以利用剩余的膜层区域在显示基板上形成所需的精细图案。

具体他，由于在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中，采用具有与待形成的精细图案一致的特定凸版图形的金属模板制作精细图案，可以不受曝光机的精度限制。在将待固化胶填充至金属模板的凹槽内后，利用待固化胶倒模的方式将待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化待固化胶，以在显示基板的表面形成固化胶，来替代纳米压印过程中使用压力在显示基板上形成压膜图案，可以避免压力不均导致的电性不良的问题。在具有固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层后，采用去除固化胶以去除位于固化胶之上的膜层区域的方式得到精细图案，可以避免形成图形过程中采用蚀刻工艺而影响精细图案的均匀性。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中，为了有利于在后续倒模过程中待固化胶与金属模板之间的分离，增加待固化胶的流动性，如图2所示，步骤S101在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶之前，还可以执行以下步骤：

在确定金属模板的表面与待固化胶之间的附着力大于预设阈值时，在金属模板的表面形成降低金属模板与待固化胶之间附着力的疏水涂层。

具体地，在首次使用金属模板时，在填充待固化胶之前，需要在金属模板的表面涂覆一层厚度均匀的疏水涂层。该疏水涂层在金属模板的表面可以保持一定时长，在金属模板多次使用后，可能存在疏水涂层部分脱落等问题，不足以保证金属模板的表面与待固化胶之间的附着力小于预设阈值，因此，在每次金属模板使用之前，需要先检测金属模板的表面与待固化胶之间的附着力是否大于预设阈值，若是，则需要重新对金属模板的表面涂覆疏水涂层，以降低金属模板与待固化胶之间的附着力，增加待固化胶的流动性。

具体地，疏水涂层的材料可以有多种，例如可以采用AF或其他疏水材料，在此不作限定。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中的步骤S101在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶，具体可以采用如下方式实现：

在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充厚度小于凹槽深度的待固化胶，以保证待固化胶不会流动至凸版图形之上而影响后续精细图案的制作。

具体地，待固化胶的材料可以有多种，例如可以选择诸如水胶的光固化胶，也可以选择热固化胶，在此不做限定。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中的步骤S102利用倒模的方式将待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化待固化胶以在显示基板的表面形成固化胶，如图2所示，具体可以包括以下步骤：

S201、在金属模板具有特定凸版图形的表面放置待形成精细图案的显示基板；在具体实施时，可以先将金属模板放置于平台上，之后在金属模板的上表面盖上显示基板；

S202、抽真空使金属模板与显示基板紧密贴合；

S203、翻转紧密贴合的金属模板与显示基板，使待固化胶转移至显示基板的表面；具体地，在反转金属模板与显示基板之后，利用待固化胶自身的重力和流动性，使待固化胶从金属模板转移至显示基板的表面；

S204、固化待固化胶，以在显示基板的表面形成固化胶，以去除待固化胶的流动性，而在显示基板的表面形成具有一定形状和硬度的固化胶；

S205、取下金属模板。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中的步骤S204固化待固化胶，以在显示基板的表面形成固化胶，具体可以采用如下方式实现：

采用特定波长光照射待固化胶，以在显示基板的表面形成固化胶。具体可以采用紫外光照射待固化胶的方式，即紫外光固化的方式。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中的步骤S104去除固化胶以及膜层在固化胶上的区域，具体可以采用如下方式实现：

采用物理方式撕除固化胶以及膜层在固化胶上的区域，这样可以避免形成图形过程中采用蚀刻工艺而影响精细图案的均匀性。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中的步骤S104在去除固化胶以及膜层在固化胶上的区域之后，还可以包括以下步骤：

采用有机溶剂清洗显示基板，去除残留的固化胶。例如可以选择诸如石油醚等有机溶剂去除残留的固化胶。

下面以一个具体实例说明本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法，如图3所示，具体制作流程如下：

S301、在金属模板100的表面形成降低金属模板100与待固化胶之间附着力的疏水涂层101，如图4a所示；

S302、在具有特定凸版图形的金属模板100的凹槽内填充厚度小于凹槽深度的待固化胶102，如图4b所示；

S303、将金属模板100放置于平台上，之后在金属模板100具有特定凸版图形的表面放置待形成精细图案的显示基板200，如图4c所示；

S304、抽真空使金属模板100与显示基板200紧密贴合；

S305、翻转紧密贴合的金属模板100与显示基板200，使待固化胶102转移至显示基板200的表面，如图4d所示；

S306、采用紫外光照射待固化胶102，以在显示基板200的表面形成固化胶201，如图4e所示；

S307、取下金属模板100，如图4f所示；

S308、在具有固化胶201的显示基板200表面形成整面的待形成精细图案的膜层202，如图4g所示；

S309、采用物理方式撕除固化胶201以及膜层202在固化胶201上的区域，在显示基板200上得到最终的精细图案203，如图4h所示；

S310、采用有机溶剂清洗显示基板200，去除残留的固化胶201。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中，如图5所示，还可以制作金属模板的过程，具体包括以下步骤：

S501、在衬底基板300上涂覆一层光刻胶301，如图6a所示；例如可以在薄膜基板上涂覆光刻胶301；

S502、在光刻胶301上采用激光直写去除与特定凸版图形互补的图案，之后对光刻胶显影，如图6b所示；采用激光直写的方式形成的图案不受精度的显示，可以制作出满足目前超细线宽需求的图案，例如可以制作出线宽在0.7微米左右的图案。

S503、在形成有显影后的光刻胶301的衬底基板300上，采用电镀工艺形成具有特定凸版图形的金属模板100，如图6c所示；具体地，电镀的材料可以选择镍或铜等金属，在此不做限定。将光刻胶301与金属模板100分离后的金属模板如图6d所示，该金属模板可以多次重复使用。

基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种显示装置，包括采用本发明实施例提供的上述制作方法制得的精细图案。具体地，该显示装置可以为：手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。该显示装置的实施可以参见上述制作方法的实施例，重复之处不再赘述。

在具体实施时，在本发明实施例提供的上述显示装置中，利用本发明实施例提供的上述制作方法制得的精细图案可以为触控电极的金属网格图案，也可以为其他图案，诸如金属栅极图案，源漏极图案或触控信号线图案等，在此不做限定。采用本发明实施例提供的上述制作方法制得的精细图案可以达到超细线宽的要求，例如可以制作出0.7微米左右的线宽，以满足目前显示装置的需求。

本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法及显示装置，采用具有与待形成的精细图案一致的特定凸版图形的金属模板制作精细图案，可以不受曝光机的精度限制。在将待固化胶填充至金属模板的凹槽内后，利用待固化胶倒模的方式将待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化待固化胶，以在显示基板的表面形成固化胶，来替代纳米压印过程中使用压力在显示基板上形成压膜图案，可以避免压力不均导致的电性不良的问题。在具有固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层后，采用去除固化胶以去除位于固化胶之上的膜层区域的方式得到精细图案，可以避免形成图形过程中采用蚀刻工艺而影响精细图案的均匀性。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种精细图案的制作方法，其特征在于，包括：

在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶，所述特定凸版图形与待形成的精细图案一致；

利用倒模的方式将所述待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化所述待固化胶以在所述显示基板的表面形成固化胶；

在具有所述固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层；

去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域，以利用剩余的所述膜层区域在所述显示基板上形成所需的精细图案。

2.如权利要求1所述的精细图案的制作方法，其特征在于，在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶之前，还包括：

在确定所述金属模板的表面与所述待固化胶之间的附着力大于预设阈值时，在所述金属模板的表面形成降低所述金属模板与所述待固化胶之间附着力的疏水涂层。

3.如权利要求1所述的精细图案的制作方法，其特征在于，在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶，具体包括：

在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充厚度小于所述凹槽深度的待固化胶。

4.如权利要求1所述的精细图案的制作方法，其特征在于，所述利用倒模的方式将所述待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面，并固化所述待固化胶以在所述显示基板的表面形成固化胶，具体包括：

在所述金属模板具有特定凸版图形的表面放置待形成精细图案的显示基板；

抽真空使所述金属模板与所述显示基板紧密贴合；

翻转紧密贴合的所述金属模板与所述显示基板，使所述待固化胶转移至所述显示基板的表面；

固化所述待固化胶，以在所述显示基板的表面形成固化胶；

取下所述金属模板。

5.如权利要求4所述的精细图案的制作方法，其特征在于，所述固化所述待固化胶，以在所述显示基板的表面形成固化胶，具体包括：

采用特定波长光照射所述待固化胶，以在所述显示基板的表面形成固化胶。

6.如权利要求1所述的精细图案的制作方法，其特征在于，所述去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域，具体包括：

采用物理方式撕除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域。

7.如权利要求6所述的精细图案的制作方法，其特征在于，在去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域之后，还包括：

采用有机溶剂清洗所述显示基板，去除残留的所述固化胶。

8.如权利要求1-7任一项所述的精细图案的制作方法，其特征在于，还包括：

在衬底基板上涂覆一层光刻胶；

在所述光刻胶上采用激光直写去除与所述特定凸版图形互补的图案，之后对所述光刻胶显影；

在形成有显影后的所述光刻胶的衬底基板上，采用电镀工艺形成所述具有特定凸版图形的金属模板。

9.一种显示装置，其特征在于，包括：采用如权利要求1-8任一项所述的制作方法制得的精细图案。

10.如权利要求9所述的显示装置，其特征在于，所述精细图案为触控电极的金属网格图案。