CN106978589B - 用于蒸镀设备的挡板装置及蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于蒸镀设备的挡板装置及蒸镀设备。挡板装置包括：挡板组件，所述挡板组件包括挡板，所述挡板用于在所述蒸镀设备中切换基板时，隔开蒸镀喷射源以及基板；至少一个收集装置，所述收集装置设在所述挡板组件的下方，用于收集从所述挡板上掉落的蒸镀材料，所述收集装置上具有将从所述蒸镀喷射源喷出的蒸镀材料导向所述挡板的导向面。根据本发明的挡板装置，可避免因挡板上的蒸镀材料掉落入蒸镀喷射源的周围而将蒸镀喷射源堵塞，进而避免因蒸镀喷射源被堵塞或部分堵塞而使得基板上镀层的均匀性受到影响。

Description

用于蒸镀设备的挡板装置及蒸镀设备

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其是涉及一种用于蒸镀设备的挡板装置及蒸镀设备。

背景技术

在有机发光面板的制程中，需要在基板上制作有机发光层，真空蒸镀是一种广泛采纳的方法。相关技术中，在蒸镀过程中切换不同的基板时，为了避免蒸镀材料沉积在蒸镀设备的腔体壁上，通常会利用挡板将基板和蒸镀喷射源隔开，等待基板切换完成后，再将挡板移开，继续对新的基板进行蒸镀。然而，在蒸镀过程中，由于挡板重复使用，随着蒸镀时间的增加，挡板上的蒸镀材料极易脱落，存在堵塞蒸镀喷射源的风险，影响有机发光层成膜的均一性，进一步影响了有机发光面板的显示品质。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种用于蒸镀设备的挡板装置，所述挡板装置可避免因挡板上的蒸镀材料脱落而导致的蒸镀喷射源被堵塞。

本发明还提出一种包括上述实施例中的挡板装置的蒸镀设备。

根据本发明实施例的用于蒸镀设备的挡板装置，包括：挡板组件，所述挡板组件包括挡板，所述挡板用于在所述蒸镀设备中切换基板时，隔开蒸镀喷射源以及基板；至少一个收集装置，所述收集装置设在所述挡板组件的下方，用于收集从所述挡板上掉落的蒸镀材料，所述收集装置上具有将从所述蒸镀喷射源喷出的蒸镀材料导向所述挡板的导向面。

根据本发明实施例的用于蒸镀设备的挡板装置，通过设置收集装置，同时使得收集装置具有将从蒸镀喷射源喷出的蒸镀材料导向挡板的导向面，在切换不同的基板时，导向面可将较多的蒸镀材料导向挡板且蒸镀材料可覆在挡板上，这样，挡板上掉落的蒸镀材料可直接被收集装置收集，不会掉入蒸镀腔的除收集装置以外的空间，从而避免因挡板上的蒸镀材料掉落入蒸镀喷射源的周围而将蒸镀喷射源堵塞，进而避免因蒸镀喷射源被堵塞或部分堵塞而使得基板上镀层的均匀性受到影响，继而进一步提高有机发光面板的显示品质，同时还便于对收集装置收集的蒸镀材料的回收和利用，节约成本，且有利于延长挡板的使用寿命。

根据本发明的一些实施例，每个所述收集装置包括：连接杆，所述连接杆的上端连接至所述挡板组件；导向部，所述导向部固定在所述连接杆的下端，所述导向部的上表面限定出用于收集所述蒸镀材料的容纳空间，所述导向部的下表面被构造成所述导向面。

具体地，所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离可调。

可选地，所述收集装置还包括：第一套筒，所述第一套筒可上下移动地套设在所述连接杆上；多个支撑条，每个所述支撑条的内端可枢转地连接至所述连接杆的下端且多个所述支撑条呈放射状分布且支撑在所述导向部的上表面上；多个连接条，多个所述连接条与多个所述支撑条一一对应设置，每个所述连接条的一端可转动地连接至相应的所述支撑条上且另一端可转动地连接至所述第一套筒的下端。

具体地，所述导向部为弹性件，所述收集装置还包括：第二套筒，所述第二套筒可上下移动地套设在所述连接杆上；多个连接板，每个所述连接板的第一端连接至所述第二套筒的下端且多个所述连接板呈放射状分布，每个所述连接板的第二端与所述导向部相连。

进一步地，所述连接杆上设有多个沿所述连接杆的长度方向均匀间隔设置的第一固定孔，所述第一套筒的侧壁上设有第二固定孔，在所述第一套筒相对所述连接杆上下移动时，所述第二固定孔与其中一个所述第一固定孔对应，固定件依次穿过所述第二固定孔和所述第一固定孔以将所述第一套筒固定至所述连接杆。

可选地，所述收集装置为多个，多个所述收集装置包括多个第一收集装置和多个第二收集装置，所述第一收集装置的所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离与所述第二收集装置的所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离不相等，所述第一收集装置和所述第二收集装置交错排布在所述挡板组件上。

可选地，所述收集装置为多个，多个所述收集装置间隔开地设在所述挡板组件上，靠近所述挡板组件的中心的所述收集装置的所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离大于远离所述挡板组件的中心的所述收集装置的所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离。

可选地，所述连接杆可转动地设在所述挡板组件上且所述连接杆与所述挡板组件之间的角度可调。

可选地，所述连接杆和所述导向部偏心设置。

具体地，每个所述收集装置还包括调节杆，所述调节杆的一端固定至所述连接杆，所述调节杆的另一端连接在所述挡板组件上且可沿着连接杆的周向转动，所述调节杆的延伸长度可调。

进一步地，所述调节杆包括：中空的第一调节部，所述第一调节部的一端固定至所述连接杆；和第二调节部，所述第二调节部的一端连接至所述挡板组件且可沿着连接杆的周向转动，所述第二调节部的另一端配合在所述第一调节部内且与所述第一调节部滑动配合。

根据本发明的一些实施例，所述连接杆的长度可调。

具体地，所述导向部形成为大体倒置的锥体形形状或碗形形状。

根据本发明的一些实施例，所述挡板组件还包括固定框，所述挡板设置在所述固定框的顶部，所述固定框上具有多个网格孔，相邻的两个所述网格孔之间通过连接筋间隔开。

根据本发明实施例的蒸镀设备，包括：蒸镀箱，所述蒸镀箱内具有彼此间隔开的蒸镀腔和收纳腔；蒸镀喷射源，所述蒸镀喷射源位于所述蒸镀腔内以用于喷射蒸镀材料；和上述的用于蒸镀设备的挡板装置。

根据本发明实施例的蒸镀设备，通过设置上述的挡板装置，在切换不同的基板时，导向面可将较多的蒸镀材料导向挡板且蒸镀材料可覆在挡板的位于收集装置上方的区域，这样，挡板上掉落的蒸镀材料可直接被收集装置收集，不会掉入蒸镀腔的除收集装置以外的空间，从而避免因挡板上的蒸镀材料掉落入蒸镀喷射源的周围而将蒸镀喷射源堵塞，进而避免因蒸镀喷射源被堵塞或部分堵塞而使得基板的镀层均匀性受到影响，继而进一步提高有机发光面板的显示品质，同时还便于对收集装置收集的蒸镀材料的回收和利用，节约成本，且有利于延长挡板的使用寿命。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明一些实施例的蒸镀设备的部分结构的示意图；

图2是根据本发明另一些实施例的蒸镀设备的部分结构的示意图；

图3是根据本发明又一些实施例的蒸镀设备的部分结构示意图；

图4是根据本发明一些实施例的收集装置的示意图；

图5是根据图4所示的A处的放大后的截面图；

图6根据本发明另一些实施例的收集装置的示意图；

图7是根据本发明又一些实施例的收集装置的示意图；

图8是根据本发明一些实施例的挡板组件的示意图；

图9是根据本发明一些实施例的挡板组件的另一方向的示意图。

附图标记：

蒸镀设备1000；

挡板装置100；挡板组件1；挡板11；固定框12；网格孔121；连接筋122；收集装置2；连接杆21；第一连接段211；第二连接段212；第一固定孔211；导向部22；上表面221；容纳空间221a；下表面/导向面222；第一套筒23；第二固定孔231；支撑条24；连接条25；第二套筒26；第三固定孔261；连接板27；调节杆28；第一调节部281；第二调节部282；固定件29；紧固件30；

蒸镀腔200；

蒸镀喷射源300；

基板400。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“长度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面参考图1-图9描述根据本发明实施例的用于蒸镀设备1000的挡板装置100。

首先，参考图1-图3描述根据本发明实施例的蒸镀设备1000。具体地，如图1-图3所示，蒸镀设备1000包括蒸镀箱、蒸镀喷射源300和挡板装置100，蒸镀箱内具有彼此间隔开的蒸镀腔200和收纳腔(未示出)，也就是说，蒸镀腔200和收纳腔均设在蒸镀箱内且二者彼此间隔开。例如，蒸镀箱内具有隔板(未示出)，隔板竖直设置以将蒸镀箱内的空间分隔成蒸镀腔200和收纳腔。

如图1-图3所示，蒸镀喷射源300位于蒸镀腔200内以用于喷射蒸镀材料，具体而言，当蒸镀设备1000对基板400进行蒸镀时，蒸镀喷射源300喷射的蒸镀材料可镀在基板400的表面上。可选地，蒸镀喷射源300喷射出的蒸镀材料的喷射角度可调，例如，蒸镀喷射源300的喷射口可转动以调整所述喷射角度。或者，在其它实施例中，蒸镀喷射源300可移动例如转动或往复运动以调整喷射角度。由此，有利于提高对基板400的蒸镀效果。

如图1-图3所示，根据本发明实施例的挡板装置100可以包括：挡板组件1和至少一个收集装置2。也就是说，收集装置2可以为一个，也可以为多个。这里，多个是指两个或两个以上。

具体地，如图8-图9所示，挡板组件1包括挡板11，挡板11用于在蒸镀设备1000中切换基板400时隔开蒸镀喷射源300和基板400。例如，在蒸镀基板400时，挡板组件1收纳在收纳腔内，在切换不同的基板400时，挡板组件1从收纳腔移动至蒸镀腔200内以利用挡板11将基板400和蒸镀喷射源300间隔开，从而避免蒸镀喷射源300喷射的蒸镀材料喷射在蒸镀腔200的内壁上。

具体而言，在对基板400的表面进行蒸镀时，挡板组件1收纳在收纳腔内，基板400位于蒸镀喷射源300的上方，这样，蒸镀喷射源300喷射的蒸镀材料可直接喷向基板400以对基板400进行蒸镀。在基板400蒸镀完成且需要切换不同的基板400即需要将蒸镀好的基板400切换成待蒸镀的基板400时，可首先将挡板组件1从收纳腔移动至蒸镀腔200内，在挡板11将蒸镀喷射源300和蒸镀好的基板400间隔开后，可将蒸镀好的基板400切换成待蒸镀的基板400，在待蒸镀的基板400装配好且需要对待蒸镀的基板400进行蒸镀时即在切换完成之后，可将挡板组件1从蒸镀腔200内移动至收纳腔内以便于对待蒸镀的基板400进行蒸镀。

收集装置2设在挡板组件1的下方。这里，收集装置2与挡板组件1之间的固定方式是任意的，例如收集装置2可拆卸地连接在挡板组件1上，或收集装置2不可拆卸地连接在挡板组件1上。

在切换不同的基板400时，收集装置2用于收集从挡板11上掉落的蒸镀材料。具体而言，挡板11由于长期的重复利用，在自身重力或蒸镀喷射源300喷射的气流的冲击力的作用下，挡板11上沉积的蒸镀材料容易脱落，因此在切换不同的基板400时，收集装置2可收集从挡板11上掉落的蒸镀材料，从而避免因挡板11上的蒸镀材料掉落入蒸镀喷射源300的周围而将蒸镀喷射源300堵塞，进而避免因蒸镀喷射源300被堵塞或部分堵塞而使得基板400的镀层的均匀性受到影响，继而进一步提高有机发光面板的显示品质。

如图4和图6所示，每个收集装置2上具有将从蒸镀喷射源300喷出的蒸镀材料导向挡板11的导向面222，由此，利用导向面222将蒸镀喷射源300喷出的蒸镀材料导向挡板11，有利于更多的蒸镀材料覆在挡板11的位于收集装置2上方的区域，这样，即便挡板11上的蒸镀材料掉落下，也会被收集装置2收集，不会堵塞蒸镀喷射源300。

根据本发明实施例的用于蒸镀设备1000的挡板装置100，通过设置收集装置2，同时使得收集装置2具有将从蒸镀喷射源300喷出的蒸镀材料导向挡板11的导向面222，在切换不同的基板400时，导向面222可将较多的蒸镀材料导向挡板11且蒸镀材料可覆在挡板11的位于收集装置2上方的区域，这样，挡板11上掉落的蒸镀材料可直接被收集装置2收集，不会掉入蒸镀腔200的除收集装置2以外的空间，从而避免因挡板11上的蒸镀材料掉落入蒸镀喷射源300的周围而将蒸镀喷射源300堵塞，进而避免因蒸镀喷射源300被堵塞或部分堵塞而使得基板400的镀层均匀性受到影响，继而进一步提高有机发光面板的显示品质，同时还便于对收集装置2收集的蒸镀材料的回收和利用，节约成本，且有利于延长挡板11的使用寿命。

根据本发明实施例的蒸镀设备1000，通过设置上述的挡板装置100，在切换不同的基板400时，导向面222可将较多的蒸镀材料导向挡板11且蒸镀材料可覆在挡板11的位于收集装置2上方的区域，这样，挡板11上掉落的蒸镀材料可直接被收集装置2收集，不会掉入蒸镀腔200的除收集装置2以外的空间，从而避免因挡板11上的蒸镀材料掉落入蒸镀喷射源300的周围而将蒸镀喷射源300堵塞，进而避免因蒸镀喷射源300被堵塞或部分堵塞而使得基板400的镀层均匀性受到影响，继而进一步提高有机发光面板的显示品质，同时还便于对收集装置2收集的蒸镀材料的回收和利用，节约成本，且有利于延长挡板11的使用寿命。

可选地，如图8和图9所示，挡板组件1还包括固定框12，挡板11固定在固定框12上的顶部，固定框12上具有多个网格孔121，相邻的两个网格孔121之间通过连接筋122间隔开。由此，结构简单，而且便于收集装置2固定在固定框12的底部。

具体地，挡板11可抽拉地设在固定框12的顶部，由此，在挡板11长期使用之后可方便地将挡板11从固定框12上拆卸下来，从而便于对挡板11的更换。

可选地，收集装置2可拆卸地固定在固定框12上，由此，结构简单，而且方便对收集装置2的拆装，从而便于收集装置2收集的镀层材料的回收。

根据本发明的一些实施例，如图4、图6和图7所示，每个收集装置2包括：连接杆21和导向部22。具体地，连接杆21的上端连接至挡板组件1，导向部22固定在连接杆21的下端。

例如，连接杆21的上端连接至上述的固定框12，导向部22固定在连接杆21的下端。又如，连接杆21的上端连接至挡板11的底壁上，导向部22固定在连接杆21的下端。

可选地，如图4和图6所示，导向部22与连接杆21同轴设置，或者导向部22的重心位于连接杆21的中轴线上，由此，不但结构简单，而且有利于优化收集装置2的外观。当然，在本发明的其它示例中，导向部22与连接杆21还可以有其它的连接方式，例如如图7所示，导向部22与连接杆21偏心设置。这里，可以理解的是，导向部22与连接杆21的偏心设置是指导向部22与连接杆21不同轴，或者导向部22的重心不在连接杆21的中轴线上。具体地，如图4和图6所示，导向部22的上表面221限定出用于收集蒸镀材料的容纳空间221a，导向部22的下表面222被构造成导向面222，也就是说，导向部22具有上表面221和下表面222，导向部22的上表面221限定出容纳空间221a，该容纳空间221a可用于容纳从挡板11上掉落的蒸镀材料，导向部22的下表面222被构造成导向面222，导向面222可将蒸镀材料导向挡板11。例如，导向部22形成为大体倒置的锥体状(例如圆锥体状)，导向部22具有锥底一侧(与锥顶相对的一侧)敞开的容纳空间221a，导向部22的锥面形成为导向面222。又如，导向部22还可以形成为碗形形状，碗的外侧弧形表面形成为导向面222，碗的内表面限定出容纳空间221a。再如，导向部22还可以形成为具有敞开口的半球形，半球形的外侧球面为导向面222，敞开口一侧的内表面限定出容纳空间221a。

可选地，导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离可调。由此，通过调节导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离，从而调整导向面222的延伸方向以便于较多的蒸镀材料被导向挡板11的位于收集装置2上方的区域，从而提高导向面222的导流效果。此处可以理解的是，当导向部22为大体倒置的锥体状时，导向部22的外周壁为锥面所在的壁。

例如，导向部22形成为圆锥形形状，导向部22与连接杆21同轴设置，导向部22的锥面与导向部22的中心轴线之间的径向距离可调。

当然，可以理解的是，导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离还可以是不可调的，即导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离是固定的。

具体地，如图6所示，收集装置2还包括第一套筒23、多个支撑条24和多个连接条25。其中，第一套筒23可上下移动地套设在连接杆21上，每个支撑条24的内端可枢转地连接至连接杆21的下端且多个支撑条24呈放射状分布且支撑在导向部22的上表面221上，多个连接条25与多个支撑条24一一对应设置，每个连接条25的一端可转动地连接至相应的支撑条24上且另一端可转动地连接至第一套筒23的下端，由此，在第一套筒23相对连接杆21上下移动时，每个连接条25的一端相对支撑条24可转动且另一端相对第一套筒23可转动以调整导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离，从而调整导向面222的延伸方向以便于较多的蒸镀材料被导向挡板11的位于收集装置2上方的区域，提高导向面222的导流效果。

当然，本发明不限于此，在另一些实施例中，对导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离的调节还可以通过其它的方式实现。例如，如图4所示，收集装置2还包括：第二套筒26和多个连接板27，第二套筒26可上下移动地套设在连接杆21上，每个连接板27的第一端连接至第二套筒26的下端且多个连接板27呈放射状分布，每个连接板27的第二端与导向部22相连，这样，当第二套筒26上下移动时，可带动连接板27同步上下移动，从而连接板27的上下移动带动弹性的导向部22的形变，从而调整导向面222的延伸方向以便于较多的蒸镀材料被导向挡板11的位于收集装置2上方的区域，提高导向面222的导流效果。

进一步地，如图6所示，连接杆21上设有多个沿连接杆21的长度方向均匀间隔设置的第一固定孔211，第一套筒23的侧壁上设有第二固定孔231，在第一套筒23相对连接杆21上下移动时，第二固定孔231与其中一个第一固定孔211对应，固定件29依次穿过第二固定孔231和第一固定孔211以将第一套筒23固定至连接杆21。

具体而言，在固定件29与第一固定孔211和第二固定孔231脱离时，第一套筒23可相对连接杆21上下移动，当第一套筒23移动至第二固定孔231与其中一个第一固定孔211对应配合时，通过固定件29依次穿过第二固定孔231和第一固定孔211，从而将第一套筒23固定在连接杆21上以防止第一套筒23相对连接杆21的上下移动以对收集装置2进行定位，在切换基板400时，便于导向部22的导向。由此，不但结构简单，而且方便工人操作。

当然，可以理解的是，第二套筒26与连接杆21之间的固定方式也可与第一套筒23和连接杆21之间的固定方式类似。即，连接杆21上设有多个沿连接杆21的长度方向均匀间隔设置的第一固定孔211，第二套筒26的侧壁上设有第三固定孔261，在第二套筒26相对连接杆21上下移动时，第三固定孔261与其中一个第一固定孔211对应，固定件29依次穿过第三固定孔261和第一固定孔211以将第二套筒26固定至连接杆21。

可选地，连接杆21可转动地设在挡板组件1上且连接杆21与挡板组件1之间的角度可调。例如，连接杆21的上端设有挂钩，连接杆21可挂设在上述固定框12的连接筋122上。又如，上述固定框12的连接筋122上设有枢转孔，连接杆21的上端可转动地配合在枢转孔内。再如，上述挡板11的底壁上设有枢转槽，连接杆21的上端可转动地配合在枢转槽内。由此，通过连接杆21相对挡板组件1的可转动设置，同时使得连接杆21与挡板组件1之间的角度可调，从而调整导向面222的延伸方向，继而调整导向面222的导流效果。

具体地，如图4所示，每个收集装置2还包括调节杆28，调节杆28的一端固定在连接杆21上，调节杆28的另一端连接在挡板组件1上且可沿着连接杆21的周向转动。例如，上述固定框12上设有环形的滑槽，连接杆21的上端连接至滑槽的圆心处，调节杆28的另一端滑动地配合在滑槽内。

调节杆28的延伸长度可调，由此，通过使得调节杆28的另一端沿着连接杆21的周向转动，在调节调节杆28的延伸长度时，可使得连接杆21朝向任意方向倾斜，从而导向部22也会随着连接杆21产生倾斜，继而调节导向面222的导流效果。

优选地，如图4所示，调节杆28包括：中空的第一调节部281和第二调节部282，第一调节部281的一端固定至连接杆21，第二调节部282的一端连接至挡板组件1且可沿着连接杆21的周向转动，第二调节部282的另一端配合在第一调节部281内且与第一调节部281滑动配合，由此，通过第二调节部282与第一调节部281的滑动配合以调节调节杆28的长度，从而调节导向面222的延伸方向，进而调节导向面222的导流效果。当然，本发明不限于此，在另一些实施例中，第一调节部281与第二调节部282还可以是可枢转地配合。

可选地，连接杆21的长度可调。由此，可调整导向部22与挡板11之间的距离，从而起到调整导向部22的导流效果的作用。

例如如图5所示，连接杆21可以包括第一连接段211和第二连接段212，第二连接段212内具有容纳槽，第一连接段211的下端可滑动地配合在容纳槽内，通过调整第一连接段211在容纳槽内的长度，从而调整连接杆21的长度，进而优化导向部22的导流效果。进一步地，在连接杆21的长度固定过后，可通过紧固件30将第一连接段211和第二连接段212固定。

在本发明的一些实施例中，蒸镀设备1000还包括用于对收集装置2进行加热的加热件，由此，通过加热件对收集装置2进行加热，蒸镀材料在经过收集装置2时，收集装置2的热量可传导给蒸镀材料，进而蒸镀材料可继续以气体状态向上流动，最终流向挡板11，避免蒸镀材料覆在收集装置2上，提高导流效果。

在本发明的一些实施例中，收集装置2为多个，多个收集装置2包括多个第一收集装置2a和多个第二收集装置2b。也就是说，多个收集装置2中，一部分为第一收集装置2a，另一部分为第二收集装置2b。

第一收集装置2a的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离与第二收集装置2b的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离不相等。例如，每个收集装置2的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离均可调，可直接将第一收集装置2a的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离与第二收集装置2b的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离调整为不相等。又如，每个收集装置2的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离均不可调，在加工时可直接将第一收集装置2a的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离与第二收集装置2b的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离加工成不相等。再如，第一收集装置2a和第二收集装置2b中其中一个收集装置2的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离可调，第一收集装置2a和第二收集装置2b中的另一个收集装置2的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离不可调，通过调整所述其中一个收集装置2的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离，从而使得第一收集装置2a的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离与第二收集装置2b的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离不相等。

具体而言，如图2所示，当蒸镀喷射源300为多个，且多个蒸镀喷射源300在蒸镀腔200内往复运动时，随着蒸镀喷射源300的移动，挡板11上蒸镀材料膜厚呈现“波浪状”变化，通过使得第一收集装置2a和第二收集装置2b交错排布在挡板组件1上，从而在挡板11的蒸镀材料膜厚较厚的位置处对应的收集装置2的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离较大，在挡板11的蒸镀材料膜厚较薄的位置处对应的收集装置2的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离较小，这有利于提高导流效果和对蒸镀材料的收集效果。

进一步地，如图2所示，第一收集装置2a和第二收集装置2b的连接杆21的长度不同。例如，每个收集装置2的连接杆21的长度可调以使得第一收集装置2a和第二收集装置2b的连接杆21的长度不同。又如，每个收集装置2的连接杆21的长度均不可调，在加工时即加工出具有不同长度连接杆21的第一收集装置2a和第二收集装置2b。

可选地，收集装置2为多个，多个收集装置2间隔开地设在挡板组件1上。

具体而言，点源型蒸镀喷射源300的喷射特点是挡板11的位于蒸镀喷射源300正上方区域的蒸镀材料比偏离所述正上方区域的蒸镀材料密集，即挡板11的位于蒸镀喷射源300正上方的区域蒸镀材料沉积较多，蒸镀材料掉落堵塞风险较大，如图1所示，通过使得靠近挡板组件1的中心的收集装置2的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离大于远离挡板组件1的中心的收集装置2的导向部22的外周壁与连接杆21之间的径向距离，不但有利于提高导流效果，而且更利于避免对蒸镀喷射源300的堵塞。

可选地，当蒸镀喷射源300为多个且多个蒸镀喷射源300分别喷射出不同材质的蒸镀材料时，由于多个蒸镀喷射源300在蒸镀腔200内往复运动且多个蒸镀喷射源300的喷射角度不同，如图3所示，通过使得多个收集装置2的连接杆21的延伸方向均不相同且每个收集装置2的连接杆21与导向部22偏心设置，有利于根据蒸镀喷射源300的喷射角度调整每个收集装置2的导向面222的延伸方向，从而提高导流效果和对蒸镀材料的收集效果。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (15)

1.一种用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，包括：

挡板组件，所述挡板组件包括挡板，所述挡板用于在所述蒸镀设备中切换基板时，隔开蒸镀喷射源以及基板；

至少一个收集装置，所述收集装置设在所述挡板组件的下方，用于收集从所述挡板上掉落的蒸镀材料，所述收集装置上具有将从所述蒸镀喷射源喷出的蒸镀材料导向所述挡板的导向面。

2.根据权利要求1所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，每个所述收集装置包括：

连接杆，所述连接杆的上端连接至所述挡板组件；

导向部，所述导向部固定在所述连接杆的下端，所述导向部的上表面限定出用于收集所述蒸镀材料的容纳空间，所述导向部的下表面被构造成所述导向面。

3.根据权利要求2所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离可调。

4.根据权利要求3所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，所述收集装置还包括：

第一套筒，所述第一套筒可上下移动地套设在所述连接杆上；

多个支撑条，每个所述支撑条的内端可枢转地连接至所述连接杆的下端且多个所述支撑条呈放射状分布且支撑在所述导向部的上表面上；

多个连接条，多个所述连接条与多个所述支撑条一一对应设置，每个所述连接条的一端可转动地连接至相应的所述支撑条上且另一端可转动地连接至所述第一套筒的下端。

5.根据权利要求3所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，所述导向部为弹性件，所述收集装置还包括：

第二套筒，所述第二套筒可上下移动地套设在所述连接杆上；

多个连接板，每个所述连接板的第一端连接至所述第二套筒的下端且多个所述连接板呈放射状分布，每个所述连接板的第二端与所述导向部相连。

6.根据权利要求4所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，所述连接杆上设有多个沿所述连接杆的长度方向均匀间隔设置的第一固定孔，所述第一套筒的侧壁上设有第二固定孔，在所述第一套筒相对所述连接杆上下移动时，所述第二固定孔与其中一个所述第一固定孔对应，固定件依次穿过所述第二固定孔和所述第一固定孔以将所述第一套筒固定至所述连接杆。

7.根据权利要求2所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，所述收集装置为多个，多个所述收集装置包括多个第一收集装置和多个第二收集装置，所述第一收集装置的所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离与所述第二收集装置的所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离不相等，所述第一收集装置和所述第二收集装置交错排布在所述挡板组件上。

8.根据权利要求2所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，所述收集装置为多个，多个所述收集装置间隔开地设在所述挡板组件上，靠近所述挡板组件的中心的所述收集装置的所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离大于远离所述挡板组件的中心的所述收集装置的所述导向部的外周壁与所述连接杆之间的径向距离。

9.根据权利要求2所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，所述连接杆可转动地设在所述挡板组件上且所述连接杆与所述挡板组件之间的角度可调。

10.根据权利要求9所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，每个所述收集装置还包括调节杆，所述调节杆的一端固定至所述连接杆，所述调节杆的另一端连接在所述挡板组件上且可沿着连接杆的周向转动，所述调节杆的延伸长度可调。

11.根据权利要求10所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，所述调节杆包括：

中空的第一调节部，所述第一调节部的一端固定至所述连接杆；和

第二调节部，所述第二调节部的一端连接至所述挡板组件且可沿着连接杆的周向转动，所述第二调节部的另一端配合在所述第一调节部内且与所述第一调节部滑动配合。

12.根据权利要求2所述的用于蒸镀设备的挡板装置，所述连接杆的长度可调。

13.根据权利要求2所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，所述导向部形成为大体倒置的锥体形形状或碗形形状。

14.根据权利要求1-13中任一项所述的用于蒸镀设备的挡板装置，其特征在于，所述挡板组件还包括固定框，所述挡板设置在所述固定框的顶部，所述固定框上具有多个网格孔，相邻的两个所述网格孔之间通过连接筋间隔开。

15.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：

蒸镀箱，所述蒸镀箱内具有彼此间隔开的蒸镀腔和收纳腔；

蒸镀喷射源，所述蒸镀喷射源位于所述蒸镀腔内以用于喷射蒸镀材料；和

根据权利要求1-14中任一项所述的用于蒸镀设备的挡板装置。