CN106908017A - 基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法 - Google Patents

基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106908017A
CN106908017A CN201710104479.7A CN201710104479A CN106908017A CN 106908017 A CN106908017 A CN 106908017A CN 201710104479 A CN201710104479 A CN 201710104479A CN 106908017 A CN106908017 A CN 106908017A
Authority
CN
China
Prior art keywords
testing sample
fluorescence
lymph node
free
metalfluorescent
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201710104479.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106908017B (zh
Inventor
刘俭
刘辰光
李亮
刘妍
谭久彬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Institute of Technology
Original Assignee
Harbin Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Institute of Technology filed Critical Harbin Institute of Technology
Priority to CN201710104479.7A priority Critical patent/CN106908017B/zh
Publication of CN106908017A publication Critical patent/CN106908017A/zh
Priority to DE112018000986.6T priority patent/DE112018000986T5/de
Priority to PCT/CN2018/075939 priority patent/WO2018153282A1/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106908017B publication Critical patent/CN106908017B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

Abstract

基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法，属于光学精密测量技术领域，本发明为解决由于样品表面的荧光中介层的不均匀，导致面形高度误差大的问题。本发明所述基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置的测量方法，在待测样品表面镀一层金属荧光薄膜；激光器发出激光光束经准直镜和光阑形成平行光，经偏振分光棱镜、扫描振镜和扫描透镜在待测样品上形成聚焦光斑，激发金属荧光薄膜发出荧光；经扫描透镜、扫描振镜、偏振分光棱镜、滤光片、收集透镜和针孔被光电探测器收集；通过轴向响应曲线顶点位置确定待测样品表面位置；三维微位载物台带动待测样品在三维方向上移动，形成三维扫描成像。本发明用于测量大口径自由曲面物体表面形貌。

Description

基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法
技术领域
本发明涉及一种基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法，属于光学精密测量技术领域。
背景技术
在使用大口径自由曲面样品测量装置时，利用物理气相沉积技术，在样品表面沉积一层弱附着的纳米级厚度荧光介质，构建了一个各向同性荧光散射表面，而后收集样品表面薄膜激发出的荧光得到轴向包络曲线，通过图像处理即可得到样品表面形貌。
但由于在其计算扫描点的z轴高度时，由于膜厚度的原因会引入一个共焦轴向响应峰值位置偏移。实际情况下，由于样品表面的荧光中介层的不均匀，这就引入了由于膜厚度不均匀引入的面形高度误差。
现有技术中给出了受厚度影响的轴向响应公式对上述误差进行测量，轴向响应公式为：其中tf表示荧光物质厚度，It为无限薄荧光中介层的共焦轴向响应。分析可知，当z＝tf/2时，IT(z)取得最大值，因为IT(z)为偶函数。这表明轴向的响应峰值处于膜厚度的1/2处。可见，由于荧光膜厚度不均匀产生的高度测量误差为厚度不一致性的1/2。即大小为(H-h)/2，其中H为中介层最大厚度，h为中介层最小厚度。
由此可见，现有技术中面形高度误差比较大。
发明内容
本发明目的是为了解决由于样品表面的荧光中介层的不均匀，导致面形高度误差大的问题，提供了一种基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法。
本发明所述基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置，该测量装置包括照明模块、探测模块和样品模块；照明模块按照照明光的传播方向依次为：激光器、准直镜、光阑、偏振分光棱镜、扫描振镜和扫描透镜；探测模块按照信号光传播方向依次为：扫描透镜、扫描振镜、偏振分光棱镜、滤光片、收集透镜、针孔和光电探测器；样品模块包括待测样品和用于放置待测样品的三维微位载物台；所述待测样品表面镀有金属荧光薄膜；
激光器发出激光光束，激光光束经过准直镜和光阑后形成平行光，平行光依次经过偏振分光棱镜、扫描振镜和扫描透镜，透射的光在待测样品上形成聚焦光斑，聚焦光斑激发待测样品表面的金属荧光薄膜发出荧光；待测样品表面的金属荧光薄膜激发出的荧光依次经过扫描透镜、扫描振镜、偏振分光棱镜、滤光片、收集透镜和针孔后，被光电探测器收集。
本发明所述基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置的测量方法，该测量方法的具体过程为：
步骤1、在待测样品表面镀上一层厚度小于40nm的金属荧光薄膜；
步骤2、激光器发出激光光束，激光光束经过准直镜和光阑后形成平行光，平行光依次经过偏振分光棱镜、扫描振镜和扫描透镜，透射的光在待测样品上形成聚焦光斑，聚焦光斑激发待测样品表面的金属荧光薄膜发出荧光；
步骤3、待测样品表面的金属荧光薄膜激发出的荧光依次经过扫描透镜、扫描振镜、偏振分光棱镜、滤光片、收集透镜和针孔后，被光电探测器收集；
步骤4、待测样品表面的金属荧光薄膜激发出的荧光被光电探测器收集后，通过轴向响应曲线顶点位置确定待测样品的表面位置；
步骤5、三维微位载物台带动待测样品在三维方向上移动，形成三维扫描成像；
步骤6、将待测样品浸入有机溶剂中，清洗表面的金属荧光薄膜，恢复成原有状态。
本发明的优点：本发明提出的基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法，能够全貌测量大口径自由曲面物体表面形貌，同现有技术相比，使用金属银增强的荧光膜代替传统有机荧光薄膜，其荧光发光效率高，膜厚度小，不损伤样品本身，面型高度误差极小，并且可以提高测量效率，同时还可以降低测量成本。由于无需接触样品表面，因此可以避免对样品表面产生损伤；由于光路简单，因此又降低了成本。
附图说明
图1是本发明所述基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置的结构示意图。
具体实施方式
具体实施方式一：下面结合图1说明本实施方式，本实施方式所述基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置，该测量装置包括照明模块、探测模块和样品模块；
照明模块按照照明光的传播方向依次为：激光器1、准直镜2、光阑3、偏振分光棱镜4、扫描振镜5和扫描透镜6；
探测模块按照信号光传播方向依次为：扫描透镜6、扫描振镜5、偏振分光棱镜4、滤光片9、收集透镜10、针孔11和光电探测器12；
样品模块包括待测样品7和用于放置待测样品7的三维微位载物台8；
所述待测样品7表面镀有金属荧光薄膜；
激光器1发出激光光束，激光光束经过准直镜2和光阑3后形成平行光，平行光依次经过偏振分光棱镜4、扫描振镜5和扫描透镜6，透射的光在待测样品7上形成聚焦光斑，聚焦光斑激发待测样品7表面的金属荧光薄膜发出荧光；待测样品7表面的金属荧光薄膜激发出的荧光依次经过扫描透镜6、扫描振镜5、偏振分光棱镜4、滤光片9、收集透镜10和针孔11后，被光电探测器12收集。
具体实施方式二：下面结合图1说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，扫描透镜6作为照明和成像镜头，具有50mm×50mm视场。
具体实施方式三：下面结合图1说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，激光器1发射的激光光束的波长为532nm，照明光经过扫描透镜6后光功率小于1w。
具体实施方式四：下面结合图1说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，待测样品7表面镀的金属荧光薄膜为掺入纳米银颗粒的荧光薄膜。
本实施方式中，由荧光薄膜的不一致性引起的面形高度测量误差降低到20nm以下。
具体实施方式五：下面结合图1说明本实施方式，本实施方式对实施方式一或实施方式四作进一步说明，待测样品7表面镀的金属荧光薄膜的厚度小于40nm。
具体实施方式六：下面结合图1说明本实施方式，本实施方式对实施方式五作进一步说明，所述待测样品7的金属银增强中介层的发光效率是有机中介层的5倍。
本实施方式中，所述有机中介层是指传统的有机中介层。
具体实施方式七：下面结合图1说明本实施方式，本实施方式所述基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置的测量方法，该测量方法的具体过程为：
步骤1、在待测样品7表面镀上一层厚度小于40nm的金属荧光薄膜；
步骤2、激光器1发出激光光束，激光光束经过准直镜2和光阑3后形成平行光，平行光依次经过偏振分光棱镜4、扫描振镜5和扫描透镜6，透射的光在待测样品7上形成聚焦光斑，聚焦光斑激发待测样品7表面的金属荧光薄膜发出荧光；
步骤3、待测样品7表面的金属荧光薄膜激发出的荧光依次经过扫描透镜6、扫描振镜5、偏振分光棱镜4、滤光片9、收集透镜10和针孔11后，被光电探测器12收集；
步骤4、待测样品7表面的金属荧光薄膜激发出的荧光被光电探测器12收集后，通过轴向响应曲线顶点位置确定待测样品7的表面位置；
步骤5、三维微位载物台8带动待测样品7在三维方向上移动，形成三维扫描成像；
步骤6、将待测样品7浸入有机溶剂中，清洗表面的金属荧光薄膜，恢复成原有状态。
具体实施方式八：下面结合图1说明本实施方式，本实施方式对实施方式七作进一步说明，步骤1所述在待测样品7表面镀上一层厚度小于40nm的金属荧光薄膜的具体过程为：
步骤a、将75mL双氧水缓慢滴加到在冰水浴中的175mL浓硫酸中，缓慢搅拌均匀，将待测样品7浸入，加热煮沸30min，取出待测样品7后用去离子水清洗，并用氮气吹干；
步骤b、将70mL氨水和70mL双氧水缓慢加入到350mL去离子水中，搅拌均匀，将步骤a获得的待测样品7浸入，80℃加热25min，取出待测样品7后用去离子水清洗，并用氮气吹干；
步骤c、称量100mg聚乙烯亚胺、0.16mg纳米银、12mg罗丹明B和292.2mg氯化钠，溶解于50mL去离子水中，搅拌均匀形成溶液A；
步骤d、称量100mg聚乙烯亚胺、12mg罗丹明B和292.2mg氯化钠，溶解于50mL去离子水中，搅拌均匀形成溶液B；
步骤e、称量250mg聚苯乙烯磺酸钠和292.2mg氯化钠，溶解于50mL去离子水中，搅拌均匀形成溶液C；
步骤f、称量250mg聚苯乙烯磺酸钠，溶解于50mL去离子水中，搅拌均匀形成溶液D；
步骤g、将步骤b获得的待测样品7浸入溶液A中，静置15min，然后取出，浸入去离子水中，静置2min，取出；
步骤h、将步骤g获得的待测样品7浸入溶液C中，静置15min，然后取出，浸入去离子水中，静置2min，取出；
步骤i、将步骤h获得的待测样品7浸入溶液B中，静置15min，然后取出，浸入去离子水中，静置2min，取出；
步骤j、将获得的待测样品7浸入溶液A中，静置15min，然后取出，浸入去离子水中，静置2min，取出；然后将获得的待测样品7浸入溶液C中，静置15min，然后取出，浸入去离子水中，静置2min，取出；重复10次；
步骤k、将步骤j获得的待测样品7浸入溶液B中，静置15min，然后取出，浸入去离子水中，静置2min，取出，用氮气吹干。
本实施方式中，待测样品7表面镀的金属荧光薄膜的厚度的高度误差小于20nm。
具体实施方式九：下面结合图1说明本实施方式，本实施方式对实施方式七作进一步说明，步骤6所述有机溶剂包括水、酒精和丙酮。

Claims (9)

1.基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置，其特征在于，该测量装置包括照明模块、探测模块和样品模块；
照明模块按照照明光的传播方向依次为：激光器(1)、准直镜(2)、光阑(3)、偏振分光棱镜(4)、扫描振镜(5)和扫描透镜(6)；
探测模块按照信号光传播方向依次为：扫描透镜(6)、扫描振镜(5)、偏振分光棱镜(4)、滤光片(9)、收集透镜(10)、针孔(11)和光电探测器(12)；
样品模块包括待测样品(7)和用于放置待测样品(7)的三维微位载物台(8)；
所述待测样品(7)表面镀有金属荧光薄膜；
激光器(1)发出激光光束，激光光束经过准直镜(2)和光阑(3)后形成平行光，平行光依次经过偏振分光棱镜(4)、扫描振镜(5)和扫描透镜(6)，透射的光在待测样品(7)上形成聚焦光斑，聚焦光斑激发待测样品(7)表面的金属荧光薄膜发出荧光；待测样品(7)表面的金属荧光薄膜激发出的荧光依次经过扫描透镜(6)、扫描振镜(5)、偏振分光棱镜(4)、滤光片(9)、收集透镜(10)和针孔(11)后，被光电探测器(12)收集。
2.根据权利要求1所述的基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置，其特征在于，扫描透镜(6)作为照明和成像镜头，具有50mm×50mm视场。
3.根据权利要求1所述的基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置，其特征在于，激光器(1)发射的激光光束的波长为532nm，照明光经过扫描透镜(6)后光功率小于1w。
4.根据权利要求1所述的基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置，其特征在于，待测样品(7)表面镀的金属荧光薄膜为掺入纳米银颗粒的荧光薄膜。
5.根据权利要求1或4所述的基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置，其特征在于，待测样品(7)表面镀的金属荧光薄膜的厚度小于40nm。
6.根据权利要求5所述的基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置，其特征在于，所述待测样品(7)的金属银增强中介层的发光效率是有机中介层的5倍。
7.基于权利要求4所述基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置的测量方法，其特征在于，该测量方法的具体过程为：
步骤1、在待测样品(7)表面镀上一层厚度小于40nm的金属荧光薄膜；
步骤2、激光器(1)发出激光光束，激光光束经过准直镜(2)和光阑(3)后形成平行光，平行光依次经过偏振分光棱镜(4)、扫描振镜(5)和扫描透镜(6)，透射的光在待测样品(7)上形成聚焦光斑，聚焦光斑激发待测样品(7)表面的金属荧光薄膜发出荧光；
步骤3、待测样品(7)表面的金属荧光薄膜激发出的荧光依次经过扫描透镜(6)、扫描振镜(5)、偏振分光棱镜(4)、滤光片(9)、收集透镜(10)和针孔(11)后，被光电探测器(12)收集；
步骤4、待测样品(7)表面的金属荧光薄膜激发出的荧光被光电探测器(12)收集后，通过轴向响应曲线顶点位置确定待测样品(7)的表面位置；
步骤5、三维微位载物台(8)带动待测样品(7)在三维方向上移动，形成三维扫描成像；
步骤6、将待测样品(7)浸入有机溶剂中，清洗表面的金属荧光薄膜，恢复成原有状态。
8.根据权利要求7所述的基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置的测量方法，其特征在于，步骤1所述在待测样品(7)表面镀上一层厚度小于40nm的金属荧光薄膜的具体过程为：
步骤a、将75mL双氧水缓慢滴加到在冰水浴中的175mL浓硫酸中，缓慢搅拌均匀，将待测样品(7)浸入，加热煮沸30min，取出待测样品(7)后用去离子水清洗，并用氮气吹干；
步骤b、将70mL氨水和70mL双氧水缓慢加入到350mL去离子水中，搅拌均匀，将步骤a获得的待测样品(7)浸入，80℃加热25min，取出待测样品(7)后用去离子水清洗，并用氮气吹干；
步骤c、称量100mg聚乙烯亚胺、0.16mg纳米银、12mg罗丹明B和292.2mg氯化钠，溶解于50mL去离子水中，搅拌均匀形成溶液A；
步骤d、称量100mg聚乙烯亚胺、12mg罗丹明B和292.2mg氯化钠，溶解于50mL去离子水中，搅拌均匀形成溶液B；
步骤e、称量250mg聚苯乙烯磺酸钠和292.2mg氯化钠，溶解于50mL去离子水中，搅拌均匀形成溶液C；
步骤f、称量250mg聚苯乙烯磺酸钠，溶解于50mL去离子水中，搅拌均匀形成溶液D；
步骤g、将步骤b获得的待测样品(7)浸入溶液A中，静置15min，然后取出，浸入去离子水中，静置2min，取出；
步骤h、将步骤g获得的待测样品(7)浸入溶液C中，静置15min，然后取出，浸入去离子水中，静置2min，取出；
步骤i、将步骤h获得的待测样品(7)浸入溶液B中，静置15min，然后取出，浸入去离子水中，静置2min，取出；
步骤j、将获得的待测样品(7)浸入溶液A中，静置15min，然后取出，浸入去离子水中，静置2min，取出；然后将获得的待测样品(7)浸入溶液C中，静置15min，然后取出，浸入去离子水中，静置2min，取出；重复10次；
步骤k、将步骤j获得的待测样品(7)浸入溶液B中，静置15min，然后取出，浸入去离子水中，静置2min，取出，用氮气吹干。
9.根据权利要求7所述的基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置的测量方法，其特征在于，步骤6所述有机溶剂包括水、酒精和丙酮。
CN201710104479.7A 2017-02-24 2017-02-24 基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法 Expired - Fee Related CN106908017B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710104479.7A CN106908017B (zh) 2017-02-24 2017-02-24 基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法
DE112018000986.6T DE112018000986T5 (de) 2017-02-24 2018-02-09 Ein Freiformoberflächenmessgeräts auf der Basis von silberverstärkter Fluoreszenz und sein Messverfahren
PCT/CN2018/075939 WO2018153282A1 (zh) 2017-02-24 2018-02-09 基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710104479.7A CN106908017B (zh) 2017-02-24 2017-02-24 基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106908017A true CN106908017A (zh) 2017-06-30
CN106908017B CN106908017B (zh) 2019-03-29

Family

ID=59208822

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710104479.7A Expired - Fee Related CN106908017B (zh) 2017-02-24 2017-02-24 基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法

Country Status (3)

Country Link
CN (1) CN106908017B (zh)
DE (1) DE112018000986T5 (zh)
WO (1) WO2018153282A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018153282A1 (zh) * 2017-02-24 2018-08-30 哈尔滨工业大学 基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080277595A1 (en) * 2007-05-10 2008-11-13 Pacific Biosciences Of California, Inc. Highly multiplexed confocal detection systems and methods of using same
CN103090787A (zh) * 2013-01-29 2013-05-08 哈尔滨工业大学 基于被测表面荧光激发的共焦显微测量装置
CN104296687A (zh) * 2014-11-05 2015-01-21 哈尔滨工业大学 基于荧光共焦显微技术的光滑大曲率样品测量装置与方法
CN104568873A (zh) * 2014-12-22 2015-04-29 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 一种对荧光物质进行成像的激光扫描共聚焦显微镜
CN105319196A (zh) * 2015-11-30 2016-02-10 哈尔滨工业大学 一种超分辨结构探测共焦荧光成像装置及其成像方法
CN105487214A (zh) * 2015-11-20 2016-04-13 浙江大学 一种快速三维超分辨率显微方法和装置
CN205539686U (zh) * 2015-11-19 2016-08-31 江苏鼎云信息科技有限公司 一种小型扫描共聚焦光谱显微镜

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU7829798A (en) * 1997-06-10 1998-12-30 Kla-Tencor Corporation Improved stylus profiler and array
CN104359419B (zh) * 2014-11-05 2017-08-11 哈尔滨工业大学 差动结构光大曲率样品微观形貌测量膜厚校正装置和方法
CN104279984A (zh) * 2014-11-05 2015-01-14 哈尔滨工业大学 基于双光子方法测量光滑自由曲面样品装置和方法
CN104677315B (zh) * 2015-03-05 2018-04-17 上海光刻电子科技有限公司 硅片表面不平整度测量方法
CN106908017B (zh) * 2017-02-24 2019-03-29 哈尔滨工业大学 基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080277595A1 (en) * 2007-05-10 2008-11-13 Pacific Biosciences Of California, Inc. Highly multiplexed confocal detection systems and methods of using same
CN103090787A (zh) * 2013-01-29 2013-05-08 哈尔滨工业大学 基于被测表面荧光激发的共焦显微测量装置
CN104296687A (zh) * 2014-11-05 2015-01-21 哈尔滨工业大学 基于荧光共焦显微技术的光滑大曲率样品测量装置与方法
CN104568873A (zh) * 2014-12-22 2015-04-29 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 一种对荧光物质进行成像的激光扫描共聚焦显微镜
CN205539686U (zh) * 2015-11-19 2016-08-31 江苏鼎云信息科技有限公司 一种小型扫描共聚焦光谱显微镜
CN105487214A (zh) * 2015-11-20 2016-04-13 浙江大学 一种快速三维超分辨率显微方法和装置
CN105319196A (zh) * 2015-11-30 2016-02-10 哈尔滨工业大学 一种超分辨结构探测共焦荧光成像装置及其成像方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
易明芳等: "银纳米立方体对诺丹明分子的荧光增强或猝灭效应实验研究", 《量子电子学报》 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018153282A1 (zh) * 2017-02-24 2018-08-30 哈尔滨工业大学 基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2018153282A1 (zh) 2018-08-30
CN106908017B (zh) 2019-03-29
DE112018000986T5 (de) 2019-11-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Kim et al. Fiber‐optic SERS probes fabricated using two‐photon polymerization for rapid detection of bacteria
CN106520535B (zh) 一种基于光片照明的免标记细胞检测装置及方法
CN108723586B (zh) 一种基于时空整形飞秒激光的聚合物微通道加工方法
CN111203805B (zh) 全自动修复玻璃划痕的方法
CN101228428A (zh) 荧光纳米显微方法
CN105044895B (zh) 一种超分辨共焦显微成像装置与方法
CN106018379B (zh) 一种大面积表面增强拉曼散射基底及其制备方法
JP2021106597A (ja) 試料作製方法、試料作製キット、観察方法および観察装置
CN104808268A (zh) 多焦点透镜及其加工设备、加工方法
CN104502326A (zh) 一种增强sers信号的定量分析方法及其应用
CN110686614A (zh) 一种光学元件亚表面缺陷深度信息的检测装置及检测方法
TWI569016B (zh) 光捕捉癌細胞期別鑑定方法
CN108051414B (zh) 变焦光镊双光子显微成像装置和方法
CN106908017A (zh) 基于金属银增强荧光的自由曲面测量装置及其测量方法
CN104807818B (zh) 三维静态及动态显微检测系统及方法
CN104296688A (zh) 基于差动双光子方法测量光滑自由曲面样品装置和方法
Zong et al. Wide-field surface-enhanced coherent anti-Stokes Raman scattering microscopy
CN104808284A (zh) 光子晶体或微纳光栅结构在光纤端面的柔性转印方法
Rye et al. Single gold bipyramids on a silanized substrate as robust plasmonic sensors for liquid environments
CN104777135B (zh) 一种全波长局域等离子体谐振传感器及其制备方法
CN109975270B (zh) 一种银纳米花周期阵列sers基底及其制备方法
Veilleux et al. Mass diffusion coefficient measurements at the microscale: Imaging a transient concentration profile using TIRF microscopy
CN110274708B (zh) 一种肿瘤细胞纳米级量子三维热成像系统
CN103884656B (zh) 微纳光谱成像装置
CN107941770B (zh) 变焦双光子光镊显微成像装置和方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20190329

Termination date: 20210224

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee