CN106842654A - 一种基板上附着异物的检查及去除装置及其方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种基板上附着异物的检查及去除装置及其方法，其中所述装置包括检查清洗平台、输送机构、控制单元、激光源、激光接收器以及异物清除单元。其中所述检查清洗平台用于放置基板，所述控制单元连接所述输送机构、激光源、激光接收器以及异物清除单元，所述异物清除单元设置在所述输送机构上，并可通过所述输送机构输送至所述检查清洗平台台面任意位置的上方。本发明提供的一种基板上附着异物的检查及去除装置及其方法，其能够有效去除基板上附着的异物，从而改善基板涂布前膜下异物的发生率。

Description

一种基板上附着异物的检查及去除装置及其方法

技术领域

本发明涉及一种基板上附着异物的检查及去除装置及其方法，可用在TFT-LCD CF清洗工艺中，但不限于。

背景技术

已知，在TFT-LCD CF清洗工艺中，玻璃基板经过清洗后，一般会进入到后续的涂布工艺。清洗后的玻璃基板在到达涂布机上之前，是会经过一段经由传送滚轮和机械手臂的传送过程。而在这个传送过程中，空气中存在的细微颗粒异物(particle)，也就会不可避免的或多或少的附着在清洗后的玻璃基板上。

这些附着在玻璃基板上的异物，会在其后续的涂布过程中，被覆盖在涂布光刻胶的下面，形成膜下异物的微观缺陷。而这些微观缺陷，无疑会对产品的良率造成很大的影响。

对此，业界常见的做法是在涂布机进行涂布过程前，先对玻璃基板的表面进行异物检测，若检测到的异物超过设定的阈值，其就会进行Glass NG的判定，然后将该玻璃基板送至返修工艺。

这种做法，无疑会直接导致生产耗时增加，成本提高，对于产品的良率产生也造成很大的损失。而且，对于现有做法中，通过检测的玻璃基板，其表面上并不是没有附着异物，只是在阈值之下而已。这种膜下附着异物的玻璃基板，在涂布后依然会存有微观缺陷，

而随着高精细LTPS技术的发展，产品微观缺陷的控制要求越来越严格，膜下异物微观缺陷的后期修补一般要求较为困难，在修补机进行确认修补时往往需要应用激光和ink进行多次修补，这样会无形增加Repair产线的Loading。另外，如果异物较大，也会造成产品直接NG，造成NG loss的增加。

因此，确有必要来开发一种基板上附着异物的检查及去除装置及其方法，来克服现有技术中的缺陷。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板上附着异物的检查及去除装置及其方法，其能够有效去除基板上附着的异物，从而改善基板涂布前膜下异物的发生率。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：

一种基板上附着异物的检查及去除装置，其包括检查清洗平台、输送机构、控制单元、激光源、激光接收器以及异物清除单元。其中所述检查清洗平台用于放置基板，所述控制单元连接所述输送机构、激光源、激光接收器以及异物清除单元，所述异物清除单元设置在所述输送机构上，并可通过所述输送机构输送至所述检查清洗平台台面任意位置的上方。使用时，所述激光源会在所述基板放置到位后，对所述基板表面进行整个平面的同强度的发射光散射，而所述激光接收器会对入射光强度进行检测，当所述基板表面附有异物时，其接收到的入射光强度就会发生相应的变化，所述控制单元根据所述激光接收器接收的入射光强度变化数据确定异物在所述基板上的位置坐标，然后控制所述输送机构将所述异物清除单元输送到所述异物的位置坐标，所述异物清除单元根据所述控制器的指令，进行所述基板表面附着异物的清除。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述异物清除单元包括带静电发生器的吸附毛刷。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述异物清除单元包括气枪，其具备真空吹气和吸气功能。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述异物清除单元包括集尘单元，其与所述气枪相接。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述输送机构包括龙门架或是机械手臂中的至少一种。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述控制器还连接有照相单元，其用于对附着在所述基板上的异物进行拍照，并保存其微观清晰的形貌照片。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述照相单元设置在所述输送机构上。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述激光源设置在所述检查清洗平台的边角位置。

进一步的，在不同实施方式中，其中所述激光接收器布置在所述检查清洗平台的四周。

进一步的，本发明的又一个实施方式提供了一种基板上附着异物的检查及去除方法，其包括以下步骤。将待检查的基板输送到一检查清洗平台上；使用一激光源对所述基板表面进行整个平面的同强度的发射光散射，与其对应的激光接收器会对所述激光源发出的入射光强度进行检测，当所述基板表面附有异物时，所述激光接收器接收到的入射光强度就会发生相应的变化；根据所述激光接收器接收的入射光强度变化数据确定所述异物在所述基板上的位置坐标；输送一异物清除单元到所述异物的位置坐标，并对其进行异物清除操作。

相对于现有技术，本发明的有益效果是：本发明涉及的一种基板上附着异物的检查及去除装置及其方法，其中所述装置能够直接与清洗机搭配使用，置于清洗机的后端，对清洗机风刀(air knife)干燥后的基板进行异物(Particle)的检查和去除，从而改善基板涂布前膜下异物的发生率，进而提升了产线的修补效率及产品良率，在一定程度上降低了产品的生产成本。

附图说明

图1是本发明涉及的一个实施方式提供的一种基板上附着异物的检查及去除装置的逻辑结构图；

图2是本发明涉及的一个实施方式提供的一种基板上附着异物的检查及去除装置的结构示意图；

图3是图2所示的基板上附着异物的检查及去除装置，其包括的异物清扫单元的结构示意图。

图1～3中的附图标记说明如下：

控制单元 100 检查和清洗平台 10

输送机构 20 龙门架 22

激光源 30 激光接收器 40

异物清除单元 50 本体 52

气枪 54 吸附毛刷 56

集尘单元 58 拍照单元 60

具体实施方式

以下将结合附图和实施例，对本发明涉及的一种基板上附着异物的检查及去除装置及其方法的技术方案作进一步的详细描述。

请参阅图1所示，本发明的一个实施方式提供了一种基板上附着异物的检查及去除装置，其包括控制单元100、检查清洗平台10、输送机构20、激光源30、激光接收器40、异物清除单元50以及拍照单元60。其中所述检查清洗平台10用于放置待处理的基板。

其中所述控制单元100用于整个装置的运作，其连接所述输送机构20、激光源30、激光接收器40、异物清除单元50以及拍照单元60。其中所述输送机构20连接所述异物清除单元50和拍照单元60，用于根据所述控制单元100的指令将两者输送到所述检查清洗平台10上的任意位置。具体的，所述输送机构20可以是机械手或是龙门架结构。

进一步的，在一个具体实施方式中，请参阅图2所示，所述输送机构为龙门架22，其设置在所述检查清洗平台10的上方。所述激光源30设置在所述检查清洗平台10的边角处，所述激光接收器40设置在所述检查清洗平台10的四周。所述异物清除单元50和拍照单元60设置在所述龙门架22上，并可通过所述龙门架22输送至所述检查清洗平台10台面任意位置的上方。

请参阅图3所示，所述异物清除单元50包括本体52，所述本体52上设置有气枪54和带静电发生器的吸附毛刷56。其中所述气枪54具备真空吹气和吸气功能，其与一集尘单元58连接，其中所述气枪54吸附的异物收集在所述集尘单元58内。其中所述集尘单元58可以是设置在所述本体52上，但不限于。

使用时，本发明涉及的基板上附着异物的检查及去除装置，可以是设置在玻璃基板水洗后端风刀(air knife)传送带上，干燥后的玻璃基板在进入涂布机涂布之前，首先会置于其检查和清洗平台10上，由其对清洗干燥后的所述玻璃基板表面进行一次异物检查。但在不同实施方式中，其并不限于对玻璃基板上异物的清除，其也可适用于其他类型基板上的异物清除。

其中，设置在所述检查和清洗平台10边角处的所述激光源30，会对所述玻璃基板表面进行整个平面的同强度的发射光散射，而设置在所述检查和清洗平台10四周的激光接收器40，会对入射光强度进行检测，当有异物附着在所述玻璃基板表面时，其会对入射光产生折射，这时所述激光接收器40接收到的入射光强度就会发生相应的变化，所述激光接收器40会将数据发送给所述控制单元100，所述控制单元100会对异物的形状及大小进行模拟判定，并会确定该异物在所述玻璃基板上的位置坐标。

所述控制单元100进而会控制所述龙门架22，由其将所述拍照单元60移动到该异物的坐标位置对异物进行精确的抓拍，保存其微观清晰的形貌照片，利于后期改善分析。在确定好异物的坐标和形貌大小后，所述异物清除单元50会对异物进行清除，其首先通过所述气枪54对异物进行吸气清扫，以将所述玻璃基板上附着的异物吸入到所述集尘单元58中。而对于通过真空吸附不能去除的粘附型异物，则通过所述吸附毛刷56进行清扫，通过所述毛刷56的静电吸附和清扫进行异物的去除。每次清扫完成后，还可进行再次检测确认，以保证异物能真实有效地去除。

进一步的，本发明的又一个实施方式提供了一种基板上附着异物的检查及去除方法，其包括以下步骤。将待检查的基板输送到一检查清洗平台上；使用一激光源对所述基板表面进行整个平面的同强度的发射光散射，与其对应的激光接收器会对所述激光源发出的入射光强度进行检测，当所述基板表面附有异物时，所述激光接收器接收到的入射光强度就会发生相应的变化；根据所述激光接收器接收的入射光强度变化数据确定所述异物在所述基板上的位置坐标；输送一异物清除单元到所述异物的位置坐标，并对其进行异物清除操作。

其中，以上方法中涉及使用的功能组件以及其相互间的配和方式，可参照上述揭示的所述检查及去除装置中涉及的功能组件，为避免不必要的重复，此处不再赘述。

本发明涉及的一种基板上附着异物的检查及去除装置及其方法，其中所述装置能够直接与清洗机搭配使用，置于清洗机的后端，对清洗机风刀(air knife)干燥后的玻璃基板进行异物(Particle)的检查和去除，从而改善基板涂布前膜下异物的发生率，进而提升了产线的修补的效率及产品良率，在一定程度上降低了生产成本。

本发明的技术范围不仅仅局限于上述说明中的内容，本领域技术人员可以在不脱离本发明技术思想的前提下，对上述实施例进行多种变形和修改，而这些变形和修改均应当属于本发明的范围内。

Claims (10)

1.一种基板上附着异物的检查及去除装置；其特征在于，其包括检查清洗平台、输送机构、控制单元、激光源、激光接收器以及异物清除单元；

其中所述检查清洗平台用于放置基板，所述控制单元连接所述输送机构、激光源、激光接收器以及异物清除单元，所述异物清除单元设置在所述输送机构上，并可通过所述输送机构输送至所述检查清洗平台台面任意位置的上方；

使用时，所述激光源会在所述基板放置到位后，对所述基板表面进行整个平面的同强度的发射光散射，而所述激光接收器会对入射光强度进行检测，当所述基板表面附有异物时，其接收到的入射光强度就会发生相应的变化，所述控制单元根据所述激光接收器接收的入射光强度变化数据确定异物在所述基板上的位置坐标，然后控制所述输送机构将所述异物清除单元输送到所述异物的位置坐标，所述异物清除单元根据所述控制器的指令，进行所述基板表面附着异物的清除。

2.根据权利要求1所述的一种基板上附着异物的检查及去除装置；其特征在于，其中所述异物清除单元包括带静电发生器的吸附毛刷。

3.根据权利要求1所述的一种基板上附着异物的检查及去除装置；其特征在于，其中所述异物清除单元包括气枪，其具备真空吹气和吸气功能。

4.根据权利要求3所述的一种基板上附着异物的检查及去除装置；其特征在于，其中所述异物清除单元包括集尘单元，其与所述气枪相接。

5.根据权利要求1所述的一种基板上附着异物的检查及去除装置；其特征在于，其中所述输送机构包括龙门架或是机械手臂中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的一种基板上附着异物的检查及去除装置；其特征在于，其中所述控制器还连接有照相单元，其用于对附着在所述基板上的异物进行拍照，并保存其微观清晰的形貌照片。

7.根据权利要求6所述的一种基板上附着异物的检查及去除装置；其特征在于，其中所述照相单元设置在所述输送机构上。

8.根据权利要求1所述的一种基板上附着异物的检查及去除装置；其特征在于，其中所述激光源设置在所述检查清洗平台的边角位置。

9.根据权利要求1所述的一种基板上附着异物的检查及去除装置；其特征在于，其中所述激光接收器布置在所述检查清洗平台的四周。

10.一种基板上附着异物的检查及去除方法；其特征在于，其包括以下步骤：

将待检查的基板输送到一检查清洗平台上；

使用一激光源对所述基板表面进行整个平面的同强度的发射光散射，与其对应的激光接收器会对所述激光源发出的入射光强度进行检测，当所述基板表面附有异物时，所述激光接收器接收到的入射光强度就会发生相应的变化；

根据所述激光接收器接收的入射光强度变化数据确定所述异物在所述基板上的位置坐标；

输送一异物清除单元到所述异物的位置坐标，并对其进行异物清除操作。