CN106799381A - 石英管清洗机的分类回收管线系统及分类回收方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种石英管清洗机的分类回收管线系统及分类回收方法，通过在超纯水工艺槽外设置超纯水工艺外槽及在第一、第二化学工艺槽外设置化学工艺外槽，可分别通过排液管对超纯水工艺外槽及化学工艺外槽内的溢流或外漏废液进行分类回收；并针对超纯水工艺槽及第一、第二化学工艺槽所处的不同工艺状态，通过控制分别设置的第一‑第七气动阀择一开启，并通过对应排液管线对超纯水工艺槽、第一、第二化学工艺槽内不同工艺后状态的废液进行分类回收，从而减少了废液处理过程中的大量浪费，并有效降低了回收系统的负荷，因此节省了回收成本。

Description

石英管清洗机的分类回收管线系统及分类回收方法

技术领域

本发明涉及半导体清洗设备技术领域，更具体地，涉及一种石英管清洗机的分类回收管线系统及分类回收方法。

背景技术

在半导体制程工艺中，对石英管的洁净度要求极高，但是制程工艺中常会有杂质沉积在石英管管壁上，从而对后续的工艺有很大的影响。因此，需要对石英管进行定期清洗，以保证其洁净度。

在现有的半自动或自动化清洗机台中，相对于过去的手工清洗石英管方式已经有很大的进步，但是现有清洗机台对清洗液的分类回收工作做得仍不彻底。

公开号为CN1482071A的中国发明专利申请公开了一种石英管清洗台的超纯水回收管线系统，其回收管线已经初步实现了对超纯水的分类回收，但是仍未实现对化学清洗槽内的清洗液进行分类回收。

如果将化学清洗槽内的清洗废液不加区分直接排放至酸碱中和系统，既会造成处理过程中的大量浪费，又会大量增加回收系统的负荷，使得回收效果仍达不到理想的状况。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种石英管清洗机的分类回收管线系统及分类回收方法，以实现对石英管清洗机的各类清洗液进行分类回收。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种石英管清洗机的分类回收管线系统，包括：

超纯水工艺槽，用于容纳超纯水以清洗石英管；

超纯水工艺外槽，用于容纳超纯水工艺槽以收集来自超纯水工艺槽的溢流或外漏液体；

第一、第二化学工艺槽，用于各容纳一种化学清洗液以清洗石英管；

化学工艺外槽，用于同时容纳第一、第二化学工艺槽以收集来自第一、第二化学工艺槽的溢流或外漏液体；

排液管线，包括：

第一排液管，其一端连接超纯水工艺外槽，另一端引至超纯水回收处理系统；

第二排液管，其一端连接化学工艺外槽，另一端引至稀酸回收处理系统；

第一气动阀，其一端连接至超纯水工艺槽，另一端引至超纯水回收处理系统；

第二气动阀，其一端连接至超纯水工艺槽，另一端引至超纯水回收处理系统；

第三气动阀，其一端连接至超纯水工艺槽，另一端引至稀酸回收处理系统；

第四气动阀，其一端连接至第一化学工艺槽，另一端引至稀酸回收处理系统；

第五气动阀，其一端连接至第一化学工艺槽，另一端引至浓酸回收处理系统；

第六气动阀，其一端连接至第二化学工艺槽，另一端引至稀酸回收处理系统；

第七气动阀，其一端连接至第二化学工艺槽，另一端引至浓酸回收处理系统；

其中，通过控制第一-第七气动阀择一开启，以对超纯水工艺槽、第一、第二化学工艺槽内不同工艺后状态的废液进行分类排放及回收。

优选地，通过控制所述第一气动阀开启，并关闭第二-第七气动阀，以将超纯水工艺槽内的废液通过第一气动阀所在排液管线排放至超纯水回收处理系统。

优选地，通过控制所述第二气动阀开启，并关闭第一气动阀、第三-第七气动阀，以将超纯水工艺槽内的废液通过第二气动阀所在排液管线排放至超纯水回收处理系统。

优选地，通过控制所述第三气动阀开启，并关闭第一-第二气动阀、第四-第七气动阀，以将超纯水工艺槽内的废液通过第三气动阀所在排液管线排放至稀酸回收处理系统。

优选地，通过控制所述第四气动阀开启，并关闭第一-第三气动阀、第五-第七气动阀，以将第一化学工艺槽内的废液通过第四气动阀所在排液管线排放至稀酸回收处理系统。

优选地，通过控制所述第五气动阀开启，并关闭第一-第四气动阀、第六-第七气动阀，以将第一化学工艺槽内的废液通过第五气动阀所在排液管线排放至浓酸回收处理系统。

优选地，通过控制所述第六气动阀开启，并关闭第一-第五气动阀、第七气动阀，以将第二化学工艺槽内的废液通过第六气动阀所在排液管线排放至稀酸回收处理系统。

优选地，通过控制所述第七气动阀开启，并关闭第一-第六气动阀，以将第二化学工艺槽内的废液通过第七气动阀所在排液管线排放至浓酸回收处理系统。

优选地，通过第一排液管及其所在排液管线直接将超纯水工艺外槽内的溢流或外漏液体废液排放至超纯水回收处理系统，并通过第二排液管及其所在排液管线直接将化学工艺外槽内的溢流或外漏液体废液排放至稀酸回收处理系统。

一种石英管清洗机的分类回收方法，采用上述的石英管清洗机的分类回收管线系统，包括以下步骤：

步骤S01：向超纯水工艺槽内注入超纯水，将石英管放置于超纯水工艺槽中进行预清洗；

步骤S02：使第一气动阀唯一开启，将超纯水工艺槽内预清洗后的废液通过第一气动阀所在排液管线排放至超纯水回收处理系统；

步骤S03：将预清洗后的石英管分别放置于第一化学工艺槽和/或第二化学工艺槽中进行化学清洗；

步骤S04：向超纯水工艺槽内注入超纯水，将化学清洗后的石英管放置于超纯水工艺槽中进行第一次超纯水清洗；

步骤S05：使第三气动阀唯一开启，将超纯水工艺槽内第一次超纯水清洗后的废液通过第三气动阀所在排液管线排放至稀酸回收处理系统；

步骤S06：向超纯水工艺槽内注入超纯水，将第一次超纯水清洗后的石英管放置于超纯水工艺槽中进行第二次超纯水清洗；

步骤S07：使第二气动阀唯一开启，将超纯水工艺槽内第二次超纯水清洗后的废液通过第二气动阀所在排液管线排放至超纯水回收处理系统；

步骤S08：向超纯水工艺槽内注入超纯水，将第二次超纯水清洗后的石英管放置于超纯水工艺槽中进行第三次超纯水清洗；

步骤S09：使第一气动阀唯一开启，将超纯水工艺槽内第三次超纯水清洗后的废液通过第一气动阀所在排液管线排放至超纯水回收处理系统；

步骤S10：重复步骤S01-步骤S09，对规定数量的石英管分别进行预清洗、化学清洗及第一-第三次超纯水清洗；以及

步骤S11：当第一、第二化学工艺槽内化学清洗液到达使用寿命时，分别使第五、第七气动阀唯一开启，将第一、第二化学工艺槽中的废液分别经第五、第七气动阀所在排液管线排放至浓酸回收处理系统；

步骤S12：向第一、第二化学工艺槽内分别注入超纯水，对第一、第二化学工艺槽进行清洗，并使第四、第六气动阀唯一开启，将第一、第二化学工艺槽中的废液分别经第四、第六气动阀所在排液管线排放至稀酸回收处理系统；

步骤S13：向第一、第二化学工艺槽内分别注入新的化学清洗液，开始对新的规定数量的石英管分别进行化学清洗；

上述步骤中，通过第一排液管及其所在排液管线直接将超纯水工艺外槽内由超纯水工艺槽溢流出的液体废液或由于超纯水工艺槽结构性损坏而导致外漏的液体废液排放至超纯水回收处理系统，并通过第二排液管及其所在排液管线直接将化学工艺外槽内由第一、第二化学工艺槽溢流出的液体废液或由于第一、第二化学工艺槽结构性损坏而导致外漏的液体废液排放至稀酸回收处理系统。

从上述技术方案可以看出，本发明通过在超纯水工艺槽外围设置超纯水工艺外槽及在第一、第二化学工艺槽外围设置化学工艺外槽，可分别通过排液管直接将超纯水工艺外槽内的溢流或外漏废液排放至超纯水回收处理系统、将化学工艺外槽内的溢流或外漏废液排放至稀酸回收处理系统，不但可防止废液外泄污染环境，还可加以分类回收；并针对超纯水工艺槽及第一、第二化学工艺槽所处的不同工艺状态，通过控制分别设置的第一-第七气动阀择一开启，并通过对应排液管线对超纯水工艺槽、第一、第二化学工艺槽内不同工艺后状态的废液进行分类排放及回收，可全面实现对石英管清洗机包括超纯水及化学清洗液在内的各类废液进行细致的分类回收，从而减少了废液处理过程中的大量浪费，并有效降低了回收系统的负荷，因此节省了回收成本。

附图说明

图1是本发明一较佳实施例的一种石英管清洗机的分类回收管线系统结构原理图；

图中：1、超纯水工艺外槽，2、化学工艺外槽，11、超纯水工艺槽，21、第一化学工艺槽，22、第二化学工艺槽，31、第一排液管，32、第二排液管，33、第三排液管，34、第四排液管，35、第五排液管，36、第六排液管，37、第七排液管，38、第八排液管，39、第九排液管，41、第一气动阀，42、第二气动阀，43、第三气动阀，44、第四气动阀，45、第五气动阀，46、第六气动阀，47、第七气动阀。

具体实施方式

下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。

需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本发明的实施方式时，为了清楚地表示本发明的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本发明的限定来加以理解。

在以下本发明的具体实施方式中，请参阅图1，图1是本发明一较佳实施例的一种石英管清洗机的分类回收管线系统结构原理图。如图1所示，本发明的一种石英管清洗机的分类回收管线系统，包括：超纯水工艺槽11，超纯水工艺外槽1，第一化学工艺槽21，第二化学工艺槽22，化学工艺外槽2，以及排液管线；排液管线包括：第一-第九排液管31-39，设置在对应排液管线上的第一-第七气动阀41-47。

请参阅图1。超纯水工艺槽11用于容纳注入的洁净超纯水，以清洗放置于其中的石英管。超纯水工艺槽11位于超纯水工艺外槽1之内。超纯水工艺外槽1位于超纯水工艺槽11外，且将超纯水工艺槽包围，以将超纯水工艺槽容纳其中；超纯水工艺外槽1用于收集从超纯水工艺槽11溢流出来的液体，或者是收集由于超纯水工艺槽发生结构性损坏等问题而导致外漏的液体。

第一、第二化学工艺槽21、22用于各容纳一种用于清洗石英管的化学清洗液，如HF、HNO₃或两者混合液等；第一、第二化学工艺槽21、22可并列设置在超纯水工艺槽11一侧，并位于化学工艺外槽2之内。化学工艺外槽2位于第一化学工艺槽和第二化学工艺槽21和22外，且将第一、第二化学工艺槽包围，以将第一、第二化学工艺槽同时容纳其中；化学工艺外槽2用于收集从第一、第二化学工艺槽21、22溢流出来的液体，或者是收集由于第一、第二化学工艺槽发生结构性损坏等问题而导致外漏的液体。

在上述的排液管线中，所述第一排液管31一端连接于超纯水工艺外槽1，另一端可通过其所在排液管线例如排液管39连接至超纯水回收处理系统。所述第二排液管32一端连接于化学工艺外槽2，另一端可通过排液管37连接至稀酸回收处理系统。

所述第一气动阀41可临近于第一排液管31设置，其一端可通过其所在排液管线例如排液管33连接于超纯水工艺槽11，另一端可通过排液管路39连接至超纯水回收处理系统。所述第二气动阀42可临近于第一气动阀41设置，其一端可通过排液管33连接于超纯水工艺槽11，另一端可通过排液管38连接至超纯水回收处理系统；所述第三气动阀43可临近于第二气动阀42设置，其一端可通过排液管33连接于超纯水工艺槽11，另一端可通过排液管37连接至稀酸回收处理系统。

所述第四气动阀44一端可通过排液管34连接于第一化学工艺槽21，另一端可通过排液管路37连接至稀酸回收处理系统。所述第五气动阀45可临近于第四气动阀44设置，其一端可通过排液管34连接于第一化学工艺槽21，另一端可通过排液管36连接至浓酸回收处理系统。所述第六气动阀46一端可通过排液管路35连接于第二化学工艺槽22，另一端可通过排液管37连接至稀酸回收处理系统。所述第七气动阀47可临近于第六气动阀46设置，其一端可通过排液管35连接于第二化学工艺槽21，另一端可通过排液管36连接至浓酸回收处理系统。

请继续参阅图1。可通过控制第一-第七气动阀41-47的择一开启，来实现对超纯水工艺槽11、第一、第二化学工艺槽21、22内不同工艺后状态的废液进行分类排放及回收。具体可采用如下方式：

当所述第一气动阀41开启，而第二-第七气动阀关闭时，通过第一气动阀所在排液管线即排液管33和39，可以将超纯水工艺槽11内的废液排放至超纯水回收处理系统。

当所述第二气动阀42开启，而第一气动阀、第三-第七气动阀关闭时，通过第二气动阀所在排液管33和38，可以将超纯水工艺槽11内的废液排放至超纯水回收处理系统。

当所述第三气动阀43开启，而第一-第二气动阀、第四-第七气动阀关闭时，通过第三气动阀所在排液管33和37，可以将超纯水工艺槽11内的废液排放至稀酸回收处理系统。

当所述第四气动阀44开启，而第一-第三气动阀、第五-第七气动阀关闭时，通过第四气动阀所在排液管34和37，可以将第一化学工艺槽21内的废液排放至稀酸回收处理系统。

当所述第五气动阀45开启，而第一-第四气动阀、第六-第七气动阀关闭时，通过第五气动阀所在排液管34和36，可以将第一化学工艺槽21内的废液排放至浓酸回收处理系统。

当所述第六气动阀46开启，而第一-第五气动阀、第七气动阀关闭时，通过第六气动阀所在排液管35和37，可以将第二化学工艺槽22内的废液排放至稀酸回收处理系统。

当所述第七气动阀47开启，而第一-第六气动阀关闭时，通过第七气动阀所在排液管35和36，可以将第二化学工艺槽22内的废液排放至浓酸回收处理系统。

并且，可通过第一排液管31及排液管39直接将超纯水工艺外槽1内的溢流或外漏液体废液排放至超纯水回收处理系统，并可通过第二排液管32及排液管37直接将化学工艺外槽2内的溢流或外漏液体废液排放至稀酸回收处理系统。

下面结合具体实施方式及附图，对本发明的一种石英管清洗机的分类回收方法进行详细说明。

本发明的一种石英管清洗机的分类回收方法，采用上述的石英管清洗机的分类回收管线系统，可包括以下步骤：

首先，向超纯水工艺槽11内注入超纯水，然后，将一个规定数量清洗批次中的第一个待清洗石英管放置于超纯水工艺槽11中进行超纯水预清洗。预清洗时可伴随溢流和鼓氮等工艺。

在完成预清洗后，将第一气动阀41打开，并将其它气动阀关闭；这时，超纯水工艺槽11内预清洗后的废液将通过第一气动阀41所在排液管33和39排放至超纯水回收处理系统，以利回收使用。

接着，将预清洗后的该石英管分别放置于第一化学工艺槽21和/或第二化学工艺槽22中进行化学清洗；清洗完后，将石英管移向超纯水工艺槽11。

此时的超纯水工艺槽11内已注入新的超纯水，即可将化学清洗后的石英管放置于超纯水工艺槽11中进行第一次超纯水清洗。由于在第一次超纯水清洗时，刚从化学工艺槽中取出的石英管含酸量较大，所以在对其进行第一次超纯水清洗完毕后，将第三气动阀43打开，并将其它气动阀关闭；这时，超纯水工艺槽11内第一次超纯水清洗后的废液将通过第三气动阀43所在排液管33和37排放至稀酸回收处理系统。

接着，向超纯水工艺槽11内再次注入新的超纯水，将经过第一次超纯水清洗后的石英管放置于超纯水工艺槽11中进行第二次超纯水清洗。此时由于石英管已经过了第一次的超纯水清洗，含酸量已降低很多；因此，在第二次超纯水清洗完后，可将第二气动阀42打开，并将其它气动阀关闭；超纯水工艺槽11内第二次超纯水清洗后的废液即可通过第二气动阀42所在排液管33和38排放至超纯水回收处理系统。

最后，再次将超纯水工艺槽11注满新的超纯水，将经第二次超纯水清洗后的石英管放置于超纯水工艺槽11中，进行第三次也是最后一次超纯水清洗。此时的石英管表面已基本不含酸；因此，第三次清洗完后，可将第一气动阀41打开，并将其它气动阀关闭；这时，超纯水工艺槽11内第三次超纯水清洗后的废液将通过第一气动阀41所在排液管33和39排放至超纯水回收处理系统。

在对上述第一个待清洗石英管进行完整步骤的清洗后，即可对规定数量的该批次后续石英管按照上述步骤重复进行预清洗、化学清洗及第一-第三次超纯水清洗及废液分类排放回收作业。

在各批次清洗过程中，当遇到第一、第二化学工艺槽21、22内化学清洗液到达使用寿命的情况时，即需要对第一、第二化学工艺槽21、22内的化学清洗液进行更新。

这时，需要分别对第一化学工艺槽21或第二化学工艺槽22内的化学清洗液进行排放；可将第五气动阀45或第七气动阀47打开，并将其它气动阀关闭；此时，第一化学工艺槽21中的废液可经第五气动阀45所在排液管34和36排放至浓酸回收处理系统；或者第二化学工艺槽22中的废液可经第七气动阀47所在排液管35和36排放至浓酸回收处理系统。

接着，需要先对第一化学工艺槽21或第二化学工艺槽22进行清洗，然后才能注入新的化学清洗液。可向第一化学工艺槽21或第二化学工艺槽22内分别注入超纯水对槽壁进行清洗；然后分别打开第四气动阀44或第六气动阀46，并将其它气动阀关闭；这样，第一化学工艺槽21或第二化学工艺槽22中的废液就可分别经第四气动阀44所在排液管34和37或第六气动阀46所在排液管35和37排放至稀酸回收处理系统。之后，再向第一化学工艺槽21或第二化学工艺槽22内分别注入新的化学清洗液，即可开始对新的规定数量的石英管批次分别进行化学清洗。

在上述过程中，可通过第一排液管31及排液管39直接将超纯水工艺外槽1内由超纯水工艺槽11溢流出的液体废液或由于超纯水工艺槽结构性损坏而导致外漏的液体废液排放至超纯水回收处理系统，并可通过第二排液管32及排液管37直接将化学工艺外槽2内由第一、第二化学工艺槽21、22溢流出的液体废液或由于第一、第二化学工艺槽结构性损坏而导致外漏的液体废液排放至稀酸回收处理系统。

综上所述，本发明通过在超纯水工艺槽外围设置超纯水工艺外槽及在第一、第二化学工艺槽外围设置化学工艺外槽，可分别通过排液管直接将超纯水工艺外槽内的溢流或外漏废液排放至超纯水回收处理系统、将化学工艺外槽内的溢流或外漏废液排放至稀酸回收处理系统，不但可防止废液外泄污染环境，还可加以分类回收；并针对超纯水工艺槽及第一、第二化学工艺槽所处的不同工艺状态，通过控制分别设置的第一-第七气动阀择一开启，并通过对应排液管线对超纯水工艺槽、第一、第二化学工艺槽内不同工艺后状态的废液进行分类排放及回收，可全面实现对石英管清洗机包括超纯水及化学清洗液在内的各类废液进行细致的分类回收，从而减少了废液处理过程中的大量浪费，并有效降低了回收系统的负荷，因此节省了回收成本。

以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种石英管清洗机的分类回收管线系统，其特征在于，包括：

超纯水工艺槽，用于容纳超纯水以清洗石英管；

超纯水工艺外槽，用于容纳超纯水工艺槽以收集来自超纯水工艺槽的溢流或外漏液体；

第一、第二化学工艺槽，用于各容纳一种化学清洗液以清洗石英管；

化学工艺外槽，用于同时容纳第一、第二化学工艺槽以收集来自第一、第二化学工艺槽的溢流或外漏液体；

排液管线，包括：

第一排液管，其一端连接超纯水工艺外槽，另一端引至超纯水回收处理系统；

第二排液管，其一端连接化学工艺外槽，另一端引至稀酸回收处理系统；

第一气动阀，其一端连接至超纯水工艺槽，另一端引至超纯水回收处理系统；

第二气动阀，其一端连接至超纯水工艺槽，另一端引至超纯水回收处理系统；

第三气动阀，其一端连接至超纯水工艺槽，另一端引至稀酸回收处理系统；

第四气动阀，其一端连接至第一化学工艺槽，另一端引至稀酸回收处理系统；

第五气动阀，其一端连接至第一化学工艺槽，另一端引至浓酸回收处理系统；

第六气动阀，其一端连接至第二化学工艺槽，另一端引至稀酸回收处理系统；

第七气动阀，其一端连接至第二化学工艺槽，另一端引至浓酸回收处理系统；

其中，通过控制第一-第七气动阀择一开启，以对超纯水工艺槽、第一、第二化学工艺槽内不同工艺后状态的废液进行分类排放及回收。

2.根据权利要求1所述的石英管清洗机的分类回收管线系统，其特征在于，通过控制所述第一气动阀开启，并关闭第二-第七气动阀，以将超纯水工艺槽内的废液通过第一气动阀所在排液管线排放至超纯水回收处理系统。

3.根据权利要求1所述的石英管清洗机的分类回收管线系统，其特征在于，通过控制所述第二气动阀开启，并关闭第一气动阀、第三-第七气动阀，以将超纯水工艺槽内的废液通过第二气动阀所在排液管线排放至超纯水回收处理系统。

4.根据权利要求1所述的石英管清洗机的分类回收管线系统，其特征在于，通过控制所述第三气动阀开启，并关闭第一-第二气动阀、第四-第七气动阀，以将超纯水工艺槽内的废液通过第三气动阀所在排液管线排放至稀酸回收处理系统。

5.根据权利要求1所述的石英管清洗机的分类回收管线系统，其特征在于，通过控制所述第四气动阀开启，并关闭第一-第三气动阀、第五-第七气动阀，以将第一化学工艺槽内的废液通过第四气动阀所在排液管线排放至稀酸回收处理系统。

6.根据权利要求1所述的石英管清洗机的分类回收管线系统，其特征在于，通过控制所述第五气动阀开启，并关闭第一-第四气动阀、第六-第七气动阀，以将第一化学工艺槽内的废液通过第五气动阀所在排液管线排放至浓酸回收处理系统。

7.根据权利要求1所述的石英管清洗机的分类回收管线系统，其特征在于，通过控制所述第六气动阀开启，并关闭第一-第五气动阀、第七气动阀，以将第二化学工艺槽内的废液通过第六气动阀所在排液管线排放至稀酸回收处理系统。

8.根据权利要求1所述的石英管清洗机的分类回收管线系统，其特征在于，通过控制所述第七气动阀开启，并关闭第一-第六气动阀，以将第二化学工艺槽内的废液通过第七气动阀所在排液管线排放至浓酸回收处理系统。

9.根据权利要求1所述的石英管清洗机的分类回收管线系统，其特征在于，通过第一排液管及其所在排液管线直接将超纯水工艺外槽内的溢流或外漏液体废液排放至超纯水回收处理系统，并通过第二排液管及其所在排液管线直接将化学工艺外槽内的溢流或外漏液体废液排放至稀酸回收处理系统。

10.一种石英管清洗机的分类回收方法，采用权利要求1所述的石英管清洗机的分类回收管线系统，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S01：向超纯水工艺槽内注入超纯水，将石英管放置于超纯水工艺槽中进行预清洗；

步骤S02：使第一气动阀唯一开启，将超纯水工艺槽内预清洗后的废液通过第一气动阀所在排液管线排放至超纯水回收处理系统；

步骤S03：将预清洗后的石英管分别放置于第一化学工艺槽和/或第二化学工艺槽中进行化学清洗；

步骤S04：向超纯水工艺槽内注入超纯水，将化学清洗后的石英管放置于超纯水工艺槽中进行第一次超纯水清洗；

步骤S05：使第三气动阀唯一开启，将超纯水工艺槽内第一次超纯水清洗后的废液通过第三气动阀所在排液管线排放至稀酸回收处理系统；

步骤S06：向超纯水工艺槽内注入超纯水，将第一次超纯水清洗后的石英管放置于超纯水工艺槽中进行第二次超纯水清洗；

步骤S07：使第二气动阀唯一开启，将超纯水工艺槽内第二次超纯水清洗后的废液通过第二气动阀所在排液管线排放至超纯水回收处理系统；

步骤S08：向超纯水工艺槽内注入超纯水，将第二次超纯水清洗后的石英管放置于超纯水工艺槽中进行第三次超纯水清洗；

步骤S09：使第一气动阀唯一开启，将超纯水工艺槽内第三次超纯水清洗后的废液通过第一气动阀所在排液管线排放至超纯水回收处理系统；

步骤S10：重复步骤S01-步骤S09，对规定数量的石英管分别进行预清洗、化学清洗及第一-第三次超纯水清洗；以及

步骤S11：当第一、第二化学工艺槽内化学清洗液到达使用寿命时，分别使第五、第七气动阀唯一开启，将第一、第二化学工艺槽中的废液分别经第五、第七气动阀所在排液管线排放至浓酸回收处理系统；

步骤S12：向第一、第二化学工艺槽内分别注入超纯水，对第一、第二化学工艺槽进行清洗，并使第四、第六气动阀唯一开启，将第一、第二化学工艺槽中的废液分别经第四、第六气动阀所在排液管线排放至稀酸回收处理系统；

步骤S13：向第一、第二化学工艺槽内分别注入新的化学清洗液，开始对新的规定数量的石英管分别进行化学清洗；

上述步骤中，通过第一排液管及其所在排液管线直接将超纯水工艺外槽内由超纯水工艺槽溢流出的液体废液或由于超纯水工艺槽结构性损坏而导致外漏的液体废液排放至超纯水回收处理系统，并通过第二排液管及其所在排液管线直接将化学工艺外槽内由第一、第二化学工艺槽溢流出的液体废液或由于第一、第二化学工艺槽结构性损坏而导致外漏的液体废液排放至稀酸回收处理系统。