CN209792083U - 一种喷淋单元及硅片清洗系统 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种喷淋单元及硅片清洗系统，该喷淋单元包括储水槽、回用水槽、第一喷淋槽和第二喷淋槽，储水槽与所述第二喷淋槽通过第一供水管路相连，第二喷淋槽的排液口通过回水管路连通至所述回用水槽，回用水槽通过第二供水管路与所述第一喷淋槽连通；该硅片清洗系统包括脱胶单元、漂洗单元和上述的喷淋单元。对硅片清洗时，可以将第二喷淋槽清洗完之后的水回用至第一喷淋槽进行预清洗，一方面达到节约用水的目的，另一方面减少污水处理所需的化学品和电力成本。

Description

一种喷淋单元及硅片清洗系统

技术领域

本实用新型一般涉及单晶切片制造技术领域，具体涉及一种喷淋单元及硅片清洗系统。

背景技术

硅片清洗主要通过两种设备实现，硅片脱胶机和硅片清洗机，硅片脱胶机完成硅片切割后的预冲洗和脱胶工作，现有的硅片脱胶机采用喷淋预清洗后酸脱胶的方式，脱胶机内设有喷淋室，喷淋室内设有喷淋槽、硅片脱胶溶剂槽和脱胶后硅片漂洗槽。使用时，打开喷淋室，将尚未与粘胶板、晶托分离的硅片以串联的方式依次进入两个喷淋槽进行喷淋。

如图1所示，硅片脱胶机的储水箱801内存储自来水，通过两路不同的管路与第一喷淋槽802和第二喷淋槽803连接，需要补水时通过第一循环泵804及第二循环泵805将自来水分别补入第一喷淋槽 802和第二喷淋槽803中。第一喷淋槽清洗完毕后将废水直接排入污水井806中，第二喷淋槽803清洗完毕后将废水排入废液槽中807，当废液槽807储满后通过第三循环泵将废水排放至污水井806中。每个喷淋槽单刀用水为0.5吨左右，则两槽喷淋单刀用水为1吨，喷淋结束后该两个喷淋槽的水直接废弃，不仅造成了水和电的浪费，同时还加大了污水处理压力，生产成本较高。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种喷淋单元及硅片清洗系统。

为了克服现有技术的不足，本实用新型所提供的技术方案是：

第一方面，本实用新型提供一种喷淋单元，其特殊之处在于：包括储水槽、回用水槽、第一喷淋槽和第二喷淋槽，所述储水槽与所述第二喷淋槽通过第一供水管路相连，所述第二喷淋槽的排液口通过回水管路连通至所述回用水槽，所述回用水槽通过第二供水管路与所述第一喷淋槽连通。

进一步地，所述回水管路包括自所述第二喷淋槽至所述回用水槽方向通过管路顺次连接的回用水暂存槽及过滤器，或自所述回用水槽至所述第二喷淋槽方向通过管路顺次连接的回用水暂存槽及过滤器。

进一步地，所述过滤器的数量为两个，两个过滤器之间设有第一回水循环泵。

进一步地，所述喷淋单元还包括废液收集装置，所述回用水槽通过第一排水管路与所述废液收集装置相连，所述第一排水管路上设有第一排水液位阀。

进一步地，所述喷淋单元还包括第三排水管路，所述第三排水管路两端分别连接于所述回用水槽上和所述第一排水管路上。

进一步地，所述喷淋单元还包括水源，所述水源通过第三供水管路与所述储水槽相连。

第二方面，本实用新型还提出了一种硅片清洗系统，包括脱胶单元、漂洗单元和上述喷淋单元，所述脱胶单元包括储酸槽和至少一个脱胶溶剂槽，所述脱胶溶剂槽通过第三供水管路的一条或多条支路与储水槽相连，所述脱胶溶剂槽通过供酸管路一条或多条支路与所述储酸槽相连；所述漂洗单元包括漂洗槽，所述漂洗槽通过第三供水管路的另外一条支路与储水槽相连。

进一步地，所述硅片清洗系统还包括废液槽，所述废液槽通过第一排液管路的一条或多条支路与所述脱胶溶剂槽相连，所述漂洗槽通过第二排液管路与所述废液槽相连。

进一步地，所述废液槽通过排污管路所述废液收集装置相连。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型的硅片清洗系统的喷淋单元包括储水槽、回用水槽、第一喷淋槽和第二喷淋槽，储水槽与所述第二喷淋槽通过第一供水管路相连，所述第二喷淋槽的排液口通过回水管路连通至所述回用水槽，所述回用水槽通过第二供水管路与所述第一喷淋槽连通，可以将第二喷淋槽清洗完之后的水回用至第一喷淋槽进行预清洗以达到节约用水的目的；该系统的污水排量减少，减少了污水处理所需的化学品和电力成本。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为现有硅片清洗系统的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的硅片清洗系统的结构示意图。

图1中：801-储水箱，802-第一喷淋槽，803-第二喷淋槽，804- 第一循环泵，805-第二循环泵，806-污水井，807-废液槽；

图2中：101-储水槽，102-回用水槽，103-第一喷淋槽，104-第二喷淋槽，105-第一供水管路，106-回水管路，107-第一供水液位阀， 108-第一回水液位阀，109-第二回水液位阀，110-回用水暂存槽，111- 第二供水管路，113-第一排水管路，114-第一排水液位阀，115-第二排水管路，116-第二排水液位阀，117-第三排水管路，118-供水循环泵，119-第一回水循环泵，120-第二回水循环泵，121-过滤器，122- 水源；123-第三供水管路；201-储酸槽，203-脱胶溶剂槽，204-供酸管路，205-第一排液管路，206-第二供水液位阀，207-第一排液液位阀；301-漂洗槽，302-第二排液管路，303-第三供水液位阀，304-第二排液液位阀；4-废液收集装置；5-废液槽。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

如背景技术中提到的，第一喷淋槽清洗完毕后将废水直接排入污水井中，第二喷淋槽清洗完毕后将废水排入废液槽中，当废液槽储满后通过第三循环泵将废水排放至污水井中。每个喷淋槽单刀用水为 0.5吨左右，则两槽喷淋单刀用水为1吨，喷淋结束后该两个喷淋槽的水直接废弃，不仅造成了水和电的浪费，同时还加大了污水处理压力，生产成本较高。

参见图2，第一方面，本实施例提供一种喷淋单元，包括储水槽 101、回用水槽102、第一喷淋槽103和第二喷淋槽104，所述储水槽 101与所述第二喷淋槽104通过第一供水管路105相连，所述第二喷淋槽104的排液口通过回水管路106连通至所述回用水槽102，所述回用水槽102通过第二供水管路111与所述第一喷淋槽103连通。

可选地，所述储水槽101与所述第二喷淋槽104之间、所述第二喷淋槽104与所述回用水槽102之间以及所述回用水槽102与所述第一喷淋槽103之间分别设有第一供水液位阀107、第一回水液位阀108 和第二回水液位阀109。

储水槽与回用水槽可以设在同一储水器中，也可以是分别单独设置，此处不做具体限定。

作为一种可实施方式，所述回水管路106包括自所述第二喷淋槽 104至所述回用水槽102方向通过管路顺次连接的回用水暂存槽110 及过滤器121，或自所述回用水槽102至所述第二喷淋槽104方向通过管路顺次连接的回用水暂存槽110及过滤器121。

可选地，所述第二喷淋槽104与所述回用水暂存槽110以及所述回用水暂存槽110与所述回用水槽102之间各设有一个第一回水液位阀108。

可选地，所述储水槽101与所述第二喷淋槽104之间设有供水循环泵118，所述回用水暂存槽110与所述回用水槽102之间设有第一回水循环泵119，所述回用水槽102与第一喷淋槽103之间设有第二回水循环泵120。

作为一种可实施方式，所述过滤器121的数量为两个，两个过滤器121之间设置第一回水循环泵119。

回用水暂存槽110可以将第二喷淋槽104排出的水暂存起来，可以对水中的杂质进行沉淀，对水质进行初步净化，二者之间的第一回水液位阀可以控制第二喷淋槽104中的水流入回用水暂存槽110的速度，从而控制水中杂质的沉降速率；回用水暂存槽110与回用水槽102 中之间的第一回水液位阀，可以控制回用水暂存槽中的水通过第一回水循环泵119及其两端过滤器121的速度，从而控制水的过滤速率，进一步减少水中的杂质。

作为一种可实施方式，所述喷淋单元1还包括废液收集装置4，所述回用水槽102通过第一排水管路113与所述废液收集装置4相连。

可选地，所述第一排水管路113上设有第一排水液位阀114。

回用水槽102的水在喷淋完成后会有存水，因此需要打开第一排水液位阀114将回用水槽102的水排掉。

作为一种可实施方式，所述喷淋单元1还包括第三排水管路117，所述第三排水管路117两端分别连接于所述回用水槽102上和所述第一排水管路113上。

倘若第一排水液位阀114损坏，会导致第一排水管路113堵塞，第三排水管路117可以在该情况下起到溢流的作用。

作为一种可实施方式，所述喷淋单元1还包括第二排水管路115，所述废液收集装置4通过所述第二排水管路115与所述废液收集装置 4相连。

可选地，所述第二排水管路115上设有第二排水液位阀116。

第一喷淋槽103中排出的水直接进入废液收集装置4，统一处理，防止直接外排造成环境污染。

作为一种可实施方式，所述喷淋单元1还包括水源122，所述水源122通过第三供水管路123与所述储水槽101相连。

第一喷淋槽103将物料表面上粘附的较大的颗粒状杂质进行预清洗去除，排出的水中含有大量的颗粒状杂质，水质差。物料经过第一喷淋槽103清洗后较大的颗粒状杂质已经去除，这时需要使用第二喷淋槽104较为干净的水将表面附着的较小的颗粒状、絮状物杂质去除，排出的水中含有的杂质较少，水质较为干净。

第二喷淋槽104需要补水时，供水循环泵118启动，将水从储水槽101内部输送至第二喷淋槽104内使用；需要排水时，第一回水液位阀108打开，将使用后的水排放至回用水暂存槽110中，并启动第一回水循环泵119将浓水通过过滤器121过滤掉水中可能存在的杂物后输送至回用水槽102中暂存。

第一喷淋槽103需要补水时，第二回水循环泵120启动，将水从回用水槽102内部输送至第一喷淋槽103内使用；需要排水时，代开第二排水液位阀116，将水排至废液收集装置4。

使用该喷淋单元后，硅片脱胶喷淋单刀用水节省50％，以目前工艺用水量计算单刀需消耗自来水1吨，每日产能为1400刀*1吨*50％即每日可节约用水750吨同期减少污水处理所需的化学品和电力成本。

第二方面，如图2所示，本实施例还提出了一种硅片清洗系统，包括脱胶单元、漂洗单元和上述喷淋单元，所述脱胶单元包括储酸槽 201和多个脱胶溶剂槽203，所述脱胶溶剂槽203通过第三供水管路 123的多条支路与所述储水槽101相连，脱胶溶剂槽203通过供酸管路204的多条支路与储酸槽201相连。

所述漂洗单元3包括漂洗槽301，所述漂洗槽301通过第三供水管路123的另外一条支路与所述储水槽101相连。

作为一种可实施方式，硅片清洗系统还包括废液槽5，所述脱胶溶剂槽203通过第一排液管路205的多条支路与废液槽5相连；所述漂洗槽301通过第二排液管路302与所述废液槽5相连。

可选地，所述第三供水管路123的每条支路上均设有第二供水液位阀206，所述另外一条支路上设有第三供水液位阀303；所述第一排液管路205的每条支路上均上设有第一排液液位阀207，第二排液管路302上设有第二排液液位阀304。

作为一种可实施方式，所述废液槽5通过排污管路所述废液收集装置4相连。

将喷淋后的硅片放入脱胶溶剂槽203内进行浸泡，使硅片与粘胶板和晶托分离，使用完的废水排入废液槽5，由废液槽5再排至废液收集装置4。脱胶后将硅片放入漂洗槽301内，对硅片上的胶和酸液进行漂洗，漂洗后的废水同样先排入废液槽5，再由废液槽5再排至废液收集装置4。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的实用新型范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述实用新型构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (10)

1.一种喷淋单元，其特征在于：包括储水槽、回用水槽、第一喷淋槽和第二喷淋槽，所述储水槽与所述第二喷淋槽通过第一供水管路相连，所述第二喷淋槽的排液口通过回水管路连通至所述回用水槽，所述回用水槽通过第二供水管路与所述第一喷淋槽连通。

2.根据权利要求1所述的喷淋单元，其特征在于：所述回水管路包括自所述第二喷淋槽至所述回用水槽方向通过管路顺次连接的回用水暂存槽及过滤器，或自所述回用水槽至所述第二喷淋槽方向通过管路顺次连接的回用水暂存槽及过滤器。

3.根据权利要求2所述的喷淋单元，其特征在于：所述过滤器的数量为两个，两个过滤器之间设有第一回水循环泵。

4.根据权利要求1-3任一项所述的喷淋单元，其特征在于：还包括废液收集装置，所述回用水槽通过第一排水管路与所述废液收集装置相连，所述第一排水管路上设有第一排水液位阀。

5.根据权利要求4所述的喷淋单元，其特征在于：还包括第二排水管路，所述第一喷淋槽通过所述第二排水管路与所述废液收集装置相连。

6.根据权利要求5所述的喷淋单元，其特征在于：还包括第三排水管路，所述第三排水管路两端分别连接于所述回用水槽上和所述第一排水管路上。

7.根据权利要求1所述的喷淋单元，其特征在于：还包括水源，所述水源通过第三供水管路与所述储水槽相连。

8.一种硅片清洗系统，其特征在于，包括脱胶单元、漂洗单元和权利要求1至6任一项所述的喷淋单元，

所述脱胶单元包括储酸槽和至少一个脱胶溶剂槽，所述脱胶溶剂槽通过第三供水管路的一条或多条支路与储水槽相连，所述脱胶溶剂槽通过供酸管路一条或多条支路与所述储酸槽相连；

所述漂洗单元包括漂洗槽，所述漂洗槽通过第三供水管路的另外一条支路与储水槽相连。

9.根据权利要求8所述的硅片清洗系统，其特征在于，还包括废液槽，所述废液槽通过第一排液管路的一条或多条支路与所述脱胶溶剂槽相连，所述漂洗槽通过第二排液管路与所述废液槽相连。

10.根据权利要求9所述的硅片清洗系统，其特征在于，所述废液槽通过排污管路与废液收集装置相连。