CN1067769C

CN1067769C - 飞秒激光器的相位薄膜

Info

Publication number: CN1067769C
Application number: CN96116381A
Authority: CN
Inventors: 王明利; 范正修
Original assignee: Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Current assignee: Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Priority date: 1996-06-07
Filing date: 1996-06-07
Publication date: 2001-06-27
Anticipated expiration: 2016-06-07
Also published as: CN1168012A

Abstract

一种飞秒(10^-14种)激光器的相位薄膜，是在基底上沉积由多层膜层厚度d_j(j＝1，2，3，…k)不相等的高折射率材料的膜层M_h和低折射率材料的膜层M_j交替叠合而构成的薄膜。主要用于飞秒激光器中补偿激光束在工作物质的色散和相位自调制，压缩飞秒激光束的脉冲宽度。在激光器中使用本发明的薄膜可使激光器的结构更加紧凑，输出激光束更加稳定可靠。

Description

飞秒激光器的相位薄膜

本发明属于一种飞秒(10^-14秒)激光器的相位薄膜，主要用于飞秒激光器中补偿激光束在工作物质的色散和相位自调制。压缩飞秒激光束的脉冲宽度。

已有技术：

1用于激光器的普通高反射膜。

2采用Gires-Tounois(G-T)结构的薄膜。

3能够控制可见光的透射、红外光的反射的多层膜，如欧州专利E.P.0622645所描述的。

4具有高低折射率材料用于透射红外线反射可见光的薄膜，如美国专利USP.4983001所述。

5采用高低折射率材料能够控制电磁波透射，透可见和红外光的薄膜，如美国专利USP.4932754所述。

上述已有技术存在不足之处是：技术1薄膜在用于激光器的腔片时，激光器需要加棱镜和光栅等色散元件来补偿激光在工作物质中的色散，技术2采用R＜1，R=1的两个反射结构的薄膜，可以对秒激光的脉冲宽度进行压缩，但是还是需要棱镜作补偿。技术3、4、5都不是用于激光器的薄膜。

本发明的目的：采用相位薄膜可以利用薄膜自身的色散来补偿激光在工作物质中的色散和相位自调制，使激光器的结构更加紧密，激光束输出更加稳定。

本发明的薄膜结构在一基底1上沉积薄膜2，薄膜2由高M_h低M_l折射率材料的膜层交替叠合而构成，如当薄膜2为n层时，高折射率材料M_h所占的膜层为M_h=1,3,5,…n±1，低折射率材料为M_l所占的膜层为M_l=2,4,6,…n±1；或者是M_h=2,4,6，…n±1,M_l=1,3,5,…n±1(附图1)，薄膜2既具有宽带高反射又具有相位补偿特点，各层膜层的厚度d_j(j=1,2,3,…k)不相等，可根据飞秒激光器的工作物质中的色散和相位自调制，再通过计算薄膜的反射率和相位变化而得到。

薄膜的制备采用常规的电子束蒸发沉积，基底1在沉积薄膜2以前需要采用化学和物理方法对基底进行清洁处理，使薄膜与基底之间具有良好的附着力，薄膜在沉积过程中加温，使之具有好的激光阈值，薄膜2的膜系结构需要作特殊的设计。

薄膜2的反射率和反射相位的变化可以通过薄膜的特征矩阵得到，K层薄膜结构的特征矩阵为：

σ_j为膜层的位相厚度，

σ_{j} = \frac{2 π}{λ} n_{j} d_{j} \cos θ_{j}

n_j为膜层的折射率，d_j为膜层的厚度，θ_j为折射角，η_j为膜层的导纳，

为薄膜的特征矩阵，j=1,2,3,…k薄膜2和基底1的组合导纳为：

Y=C/B………………………………(2)薄膜2的反射相移为：

φ = arctg {\frac{i η_{0} (C B^{*} - B C^{*})}{(η_{0}^{2} B B^{*} - C C^{*})}} \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot (4)

薄膜2的群速度延迟(GDT)为反射相移φ对角频率ω求导的负值，即：

φ^{'} = - \frac{dφ}{dω} \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot (5)

薄膜2的群速度色散(GDD)则为群速度延迟对角频率ω求导，即：

φ^{*} = \frac{d^{*} φ}{d ω^{*}} \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot \cdot (6)

当薄膜的群速度色散正好能补偿光在晶体中的色散和相位调制中的啁啾时，材料展宽的脉冲被压缩。

根椐飞秒激光的工作物质的特点调节薄膜的结构，使薄膜在宽的波长范围内，具有能够补偿飞秒激光工作物质中的色散和相位自调制，压缩激光的脉冲宽度。

本发明的优点：

本发明可以在不需要棱镜和光栅等色散元件补偿激光在工作物质中的色散，直接采用薄膜相位补偿来达到压缩脉冲宽度的目的，可以使激光器的结构更加紧凑，输出激光束更加稳定可靠。

附图说明：

图1是本发明的结构示意图

图中1是指基底，2是薄膜

3,5,7,9,…27等奇数层是低折射率材料SiO₂的膜层M_l

4,6,8,…28等偶数层是高折射率材料TiO₂的膜层M_h

图2是薄膜2反射光谱曲线图

图3是薄膜2的群速度延迟曲线图

图4是薄膜2的群速度相位色散图

实施例：

薄膜2的层数n=28，高折射率材料M_h为TiO₂，低折射率材料M_l为SiO₂，通过计算得出各膜层的厚度d_j为15.5nm/16nm/16.5nm/17nm/17.5nm/18nm/18.5nm/19nm/19.5nm/20nm/20nm/20nm/20nm/20nm/20nm/20nm/20nm/20nm/20nm/20.5nm/21.nm/21.5nm/22nm/22.5nm/23nm/23.nm/23nm/16nm/基底，这个28层结构的多层薄膜，奇数层为TiO₂，偶数层为SiO₂，如附图1所示。薄膜在沉积前，高真空度达到1×10^-5Torr，基底的温度加热到250℃，在沉积TiO₂膜层时，需要向真空室中允入氧气，使真空达度到2×10^-4Torr，膜层厚度控制采用石英晶体振监控仪。沉积TiO₂膜层时，加高压为1800V，蒸发电流为2A。沉积SiO₂膜层时，蒸发电子枪所加的高压为1000V，蒸发电流为0.5A，28层膜层交替叠合沉积完成后，薄膜2的反射光谱曲线如图2所示，群速度延迟曲线如图3所示，相位色散如图4所示。

Claims

1．一种飞秒激光器的相位薄膜，含有基底(1)和沉积在基底(1)上由高折射率材料的膜层M_h和低折射率材料的膜层M₁交替叠合而构成的薄膜(2)，其特征在于构成薄膜(2)的多层膜层每层膜层厚度d_j(j=1,2,3,…k)不相等，膜层厚度d_j由以下算式决定，

σ_{j} = \frac{2 π}{λ} n_{j} d_{j} \cos θ_{j}

式中，σ_j为膜层的位相厚度，n_j为膜层的折射率，d_j为膜层的厚度，θ_j为折射角，λ为激光工作物质波长。