CN106701020A - 一种树脂镜片研磨液 - Google Patents
一种树脂镜片研磨液 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106701020A CN106701020A CN201611254235.9A CN201611254235A CN106701020A CN 106701020 A CN106701020 A CN 106701020A CN 201611254235 A CN201611254235 A CN 201611254235A CN 106701020 A CN106701020 A CN 106701020A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- agent
- balance
- weight
- percentage
- component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
- C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
本发明公开了一种树脂镜片研磨液,按研磨液总重量百分比,树脂镜片研磨液由15~25%研磨剂、15~20%悬浮剂、3~5%切削剂、5~10%成膜剂、3~5%加速剂和余量水组成,其pH值为7~8,本发明的研磨液分散均匀,研磨剂悬浮稳定,在研磨加工过程中,循环使用时研磨剂不易沉积在机器底部,且研磨液液膜能较好的粘附在研磨盘上,阻止树脂镜片与研磨盘直接接触而造成的划伤,提高研磨加工效率,研磨加工的良品率较高,不易因为转速过大而甩出,同时研磨液去除速率高,循环使用寿命长。
Description
技术领域
本发明涉及研磨液技术领域,尤其是涉及一种树脂镜片研磨液。
背景技术
树脂镜片等硬质材料的研磨是通过磨盘进行研磨,研磨过程需要持续向磨盘注入研磨液,研磨液的品质是影响研磨效果的主要因素。目前,用于研磨树脂镜片的研磨液主要采用大颗粒碳化硼、碳化硅或钻石粉作为研磨剂,再添加一定比例的水和分散剂组成。分散剂分散效果差,极易沉淀,研磨效率也不高,循环使用寿命短。且在研磨加工过程中,研磨盘上液膜分散不均匀,极易造成树脂镜片的划伤,良品率较低,因此有必要予以改进。
发明内容
针对现有技术存在的不足,本发明的目的是提供一种循环使用寿命长、提高研磨效率和研磨质量的树脂镜片研磨液。
为了实现上述目的,本发明所采用的技术方案是:一种树脂镜片研磨液,按研磨液总重量百分比,树脂镜片研磨液由15~25%研磨剂、15~20%悬浮剂、3~5%切削剂、5~10%成膜剂、3~5%加速剂和余量水组成,其pH值为7~8,研磨剂,包括碳化硼、碳化硅、纳米级氧化铬、纳米级氧化铈、纳米级氧化锆或金刚砂中的至少两种;悬浮剂,按悬浮剂中的各组份在悬浮剂中的重量百分比为,20~30%萜烯树脂、20~30%卡拉胶、10~15%十八烷基硅烷键合硅胶、3~5%乙腈、3~5%椰油酰胺和5~10%环氧树脂,余量为矿物油;切削剂,按切削剂中的各组份在切削剂中的重量百分比为,15~20%聚氨基甲酸酯、5~10%环烷酸钴、5~7%二叔丁基过氧化物、1~3%高分子表面参透剂和1~3%有机硅氧烷抑泡剂,余量为甲基硅油;加速剂,按加速剂中的各组份在加速剂中的重量百分比为,10~20%聚丙烯酸盐、5~10%聚乙二醇、1~3%甲基咪唑,余量为丙烯酸酯聚合物。成膜剂,30~40%天然桐油、10~20%大环内酯类、5~10聚山梨酯和1~3%氟化氢铵、余量为环烷油。
优选的技术方案中,所述悬浮剂,按悬浮剂中的各组份在悬浮剂中的重量百分比为,21~23%萜烯树脂、22~24%卡拉胶、12~13%十八烷基硅烷键合硅胶、3~5%乙腈、3~5%椰油酰胺和6~7%环氧树脂,余量为矿物油;所述切削剂,按切削剂中的各组份在切削剂中的重量百分比为,16~17%聚氨基甲酸酯、6~8%环烷酸钴、5~7%二叔丁基过氧化物、2~3%高分子表面参透剂和2~3%有机硅氧烷抑泡剂,余量为甲基硅油;所述加速剂,按加速剂中的各组份在加速剂中的重量百分比为,12~14%聚丙烯酸盐、6~7%聚乙二醇、1~3%甲基咪唑,余量为丙烯酸酯聚合物;所述成膜剂,按成膜剂中的各组份在成膜剂中的重量百分比为,31~34%天然桐油、12~13%大环内酯类、6~9聚山梨酯和1.2~1.5%氟化氢铵、余量为环烷油。
另一优选的技术方案中,所述悬浮剂,按悬浮剂中的各组份在悬浮剂中的重量百分比为,27~29%萜烯树脂、26~27%卡拉胶、13~14%十八烷基硅烷键合硅胶、3.5~4.5%乙腈、3.5~4%椰油酰胺和8~9%环氧树脂,余量为矿物油;所述切削剂,按切削剂中的各组份在切削剂中的重量百分比为,18~19%聚氨基甲酸酯、7.5~8.5%环烷酸钴、5~7%二叔丁基过氧化物、1~2%高分子表面参透剂和1~2%有机硅氧烷抑泡剂,余量为甲基硅油;所述加速剂,按加速剂中的各组份在加速剂中的重量百分比为,16~17%聚丙烯酸盐、6~7%聚乙二醇、1.5~2%甲基咪唑,余量为丙烯酸酯聚合物;所述成膜剂,按成膜剂中的各组份在成膜剂中的重量百分比为,36~38%天然桐油、17~18%大环内酯类、8~9%聚山梨酯和1.5~2.5%氟化氢铵、余量为环烷油。
本发明和现有技术相比所具有的优点是:本发明的研磨液分散均匀,研磨剂悬浮稳定,在研磨加工过程中,循环使用时研磨剂不易沉积在机器底部,且研磨液液膜能较好的粘附在研磨盘上,阻止树脂镜片与研磨盘直接接触而造成的划伤,提高研磨加工效率,研磨加工的良品率较高,不易因为转速过大而甩出,同时研磨液去除速率高,循环使用寿命长。
具体实施方式
以下所述仅为本发明的较佳实施例,并不因此而限定本发明的保护范围。
实施例一
一种树脂镜片研磨液,按研磨液总重量百分比,树脂镜片研磨液由15~25%研磨剂、15~20%悬浮剂、3~5%切削剂、5~10%成膜剂、3~5%加速剂和余量水组成,其pH值为7~8,
研磨剂,包括碳化硼、碳化硅、纳米级氧化铬、纳米级氧化铈、纳米级氧化锆或金刚砂中的至少两种;
悬浮剂,按悬浮剂中的各组份在悬浮剂中的重量百分比为,20~30%萜烯树脂、20~30%卡拉胶、10~15%十八烷基硅烷键合硅胶、3~5%乙腈、3~5%椰油酰胺和5~10%环氧树脂,余量为矿物油;
切削剂,按切削剂中的各组份在切削剂中的重量百分比为,15~20%聚氨基甲酸酯、5~10%环烷酸钴、5~7%二叔丁基过氧化物、1~3%高分子表面参透剂和1~3%有机硅氧烷抑泡剂,余量为甲基硅油;
加速剂,按加速剂中的各组份在加速剂中的重量百分比为,10~20%聚丙烯酸盐、5~10%聚乙二醇、1~3%甲基咪唑,余量为丙烯酸酯聚合物;
成膜剂,按成膜剂中的各组份在成膜剂中的重量百分比为,30~40%天然桐油、10~20%大环内酯类、5~10聚山梨酯和1~3%氟化氢铵、余量为环烷油。
将上述各组份按重量百分比投入搅拌桶内,混合均匀后,取样测试,测试合格的包装成瓶或罐,得到成品树脂镜片研磨液,呈乳液状。研磨液静置后一段时间后研磨液内有颗粒会沉淀在底部,在使用前晃几下,研磨液马上变成乳液状,并在流动过程和研磨过程保持乳液状态。
实施例二
一种树脂镜片研磨液,按研磨液总重量百分比,树脂镜片研磨液由16~18%研磨剂、16~18%悬浮剂、3~5%切削剂、5~6%成膜剂、3~5%加速剂和余量水组成,其pH值为7~8。
研磨剂,按研磨剂中的各组份在研磨剂中的重量百分比为,包括3~5%金刚砂、5~10%纳米级氧化铬和5~10%纳米级氧化铈,余量为纳米级氧化锆。
悬浮剂,按悬浮剂中的各组份在悬浮剂中的重量百分比为,21~23%萜烯树脂、22~24%卡拉胶、12~13%十八烷基硅烷键合硅胶、3~5%乙腈、3~5%椰油酰胺和6~7%环氧树脂,余量为矿物油;
切削剂,按切削剂中的各组份在切削剂中的重量百分比为,16~17%聚氨基甲酸酯、6~8%环烷酸钴、5~7%二叔丁基过氧化物、2~3%高分子表面参透剂和2~3%有机硅氧烷抑泡剂,余量为甲基硅油;
加速剂,按加速剂中的各组份在加速剂中的重量百分比为,12~14%聚丙烯酸盐、6~7%聚乙二醇、1~3%甲基咪唑,余量为丙烯酸酯聚合物;
成膜剂,按成膜剂中的各组份在成膜剂中的重量百分比为,31~34%天然桐油、12~13%大环内酯类、6~9聚山梨酯和1.2~1.5%氟化氢铵、余量为环烷油。
将上述各组份按重量百分比投入搅拌桶内,混合均匀后,取样测试,测试合格的包装成瓶或罐,得到成品树脂镜片研磨液,呈乳液状。研磨液静置后一段时间后研磨液内有颗粒会沉淀在底部,在使用前晃几下,研磨液马上变成乳液状,并在流动过程和研磨过程保持乳液状态。
实施例三
一种树脂镜片研磨液,按研磨液总重量百分比,树脂镜片研磨液由16~18%研磨剂、16~18%悬浮剂、3~5%切削剂、5~6%成膜剂、3~5%加速剂和余量水组成,其pH值为7~8。
研磨剂,按研磨剂中的各组份在研磨剂中的重量百分比为,包括3~5%金刚砂、5~10%纳米级氧化铬和5~10%纳米级氧化铈,余量为纳米级氧化锆。
悬浮剂,按悬浮剂中的各组份在悬浮剂中的重量百分比为,27~29%萜烯树脂、26~27%卡拉胶、13~14%十八烷基硅烷键合硅胶、3.5~4.5%乙腈、3.5~4%椰油酰胺和8~9%环氧树脂,余量为矿物油;
切削剂,按切削剂中的各组份在切削剂中的重量百分比为,18~19%聚氨基甲酸酯、7.5~8.5%环烷酸钴、5~7%二叔丁基过氧化物、1~2%高分子表面参透剂和1~2%有机硅氧烷抑泡剂,余量为甲基硅油;
加速剂,按加速剂中的各组份在加速剂中的重量百分比为,16~17%聚丙烯酸盐、6~7%聚乙二醇、1.5~2%甲基咪唑,余量为丙烯酸酯聚合物;
成膜剂,按成膜剂中的各组份在成膜剂中的重量百分比为,36~38%天然桐油、17~18%大环内酯类、8~9%聚山梨酯和1.5~2.5%氟化氢铵、余量为环烷油。
将上述各组份按重量百分比投入搅拌桶内,混合均匀后,取样测试,测试合格的包装成瓶或罐,得到成品树脂镜片研磨液,呈乳液状。研磨液静置后一段时间后研磨液内有颗粒会沉淀在底部,在使用前晃几下,研磨液马上变成乳液状,并在流动过程和研磨过程保持乳液状态。
以上内容仅为本发明的较佳实施例,对于本领域的普通技术人员,依据本发明的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (4)
1.一种树脂镜片研磨液,按研磨液总重量百分比,树脂镜片研磨液由15~25%研磨剂、15~20%悬浮剂、3~5%切削剂、5~10%成膜剂、3~5%加速剂和余量水组成,其pH值为7~8,其特征在于:
研磨剂,包括碳化硼、碳化硅、纳米级氧化铬、纳米级氧化铈、纳米级氧化锆或金刚砂中的至少两种;
悬浮剂,按悬浮剂中的各组份在悬浮剂中的重量百分比为,20~30%萜烯树脂、20~30%卡拉胶、10~15%十八烷基硅烷键合硅胶、3~5%乙腈、3~5%椰油酰胺和5~10%环氧树脂,余量为矿物油;
切削剂,按切削剂中的各组份在切削剂中的重量百分比为,15~20%聚氨基甲酸酯、5~10%环烷酸钴、5~7%二叔丁基过氧化物、1~3%高分子表面参透剂和1~3%有机硅氧烷抑泡剂,余量为甲基硅油;
加速剂,按加速剂中的各组份在加速剂中的重量百分比为,10~20%聚丙烯酸盐、5~10%聚乙二醇、1~3%甲基咪唑,余量为丙烯酸酯聚合物;
成膜剂,按成膜剂中的各组份在成膜剂中的重量百分比为,30~40%天然桐油、10~20%大环内酯类、5~10聚山梨酯和1~3%氟化氢铵、余量为环烷油。
2.根据权利要求1所述的一种树脂镜片研磨液,其特征在于:
所述悬浮剂,按悬浮剂中的各组份在悬浮剂中的重量百分比为,21~23%萜烯树脂、22~24%卡拉胶、12~13%十八烷基硅烷键合硅胶、3~5%乙腈、3~5%椰油酰胺和6~7%环氧树脂,余量为矿物油;
所述切削剂,按切削剂中的各组份在切削剂中的重量百分比为,16~17%聚氨基甲酸酯、6~8%环烷酸钴、5~7%二叔丁基过氧化物、2~3%高分子表面参透剂和2~3%有机硅氧烷抑泡剂,余量为甲基硅油;
所述加速剂,按加速剂中的各组份在加速剂中的重量百分比为,12~14%聚丙烯酸盐、6~7%聚乙二醇、1~3%甲基咪唑,余量为丙烯酸酯聚合物;
所述成膜剂,按成膜剂中的各组份在成膜剂中的重量百分比为,31~34%天然桐油、12~13%大环内酯类、6~9聚山梨酯和1.2~1.5%氟化氢铵、余量为环烷油。
3.根据权利要求1所述的一种树脂镜片研磨液,其特征在于:
所述悬浮剂,按悬浮剂中的各组份在悬浮剂中的重量百分比为,27~29%萜烯树脂、26~27%卡拉胶、13~14%十八烷基硅烷键合硅胶、3.5~4.5%乙腈、3.5~4%椰油酰胺和8~9%环氧树脂,余量为矿物油;
所述切削剂,按切削剂中的各组份在切削剂中的重量百分比为,18~19%聚氨基甲酸酯、7.5~8.5%环烷酸钴、5~7%二叔丁基过氧化物、1~2%高分子表面参透剂和1~2%有机硅氧烷抑泡剂,余量为甲基硅油;
所述加速剂,按加速剂中的各组份在加速剂中的重量百分比为,16~17%聚丙烯酸盐、6~7%聚乙二醇、1.5~2%甲基咪唑,余量为丙烯酸酯聚合物;
所述成膜剂,按成膜剂中的各组份在成膜剂中的重量百分比为,36~38%天然桐油、17~18%大环内酯类、8~9%聚山梨酯和1.5~2.5%氟化氢铵、余量为环烷油。
4.根据权利要求1至3之一所述的一种树脂镜片研磨液,其特征在于:所述研磨剂,按研磨剂中的各组份在研磨剂中的重量百分比为,包括3~5%金刚砂、5~10%纳米级氧化铬和5~10%纳米级氧化铈,余量为纳米级氧化锆。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201611254235.9A CN106701020A (zh) | 2016-12-30 | 2016-12-30 | 一种树脂镜片研磨液 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201611254235.9A CN106701020A (zh) | 2016-12-30 | 2016-12-30 | 一种树脂镜片研磨液 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106701020A true CN106701020A (zh) | 2017-05-24 |
Family
ID=58906242
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201611254235.9A Pending CN106701020A (zh) | 2016-12-30 | 2016-12-30 | 一种树脂镜片研磨液 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106701020A (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109021834A (zh) * | 2018-08-29 | 2018-12-18 | 德米特(苏州)电子环保材料有限公司 | 一种氧化铝基质的树脂镜片抛光液及其制备方法 |
WO2023032928A1 (ja) * | 2021-08-31 | 2023-03-09 | 株式会社レゾナック | 研磨液、研磨方法、部品の製造方法、及び、半導体部品の製造方法 |
WO2023032027A1 (ja) * | 2021-08-31 | 2023-03-09 | 株式会社レゾナック | 研磨液、研磨方法、半導体部品の製造方法、及び、接合体の製造方法 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101586004A (zh) * | 2008-05-23 | 2009-11-25 | 映麟有限公司 | 抛光用组成物及其制造方法 |
CN102102008A (zh) * | 2009-12-18 | 2011-06-22 | 安集微电子(上海)有限公司 | 一种水基玻璃磨削液及其使用方法 |
CN102796459A (zh) * | 2012-08-23 | 2012-11-28 | 安徽环巢光电科技有限公司 | 光学镜片抛光液 |
CN103254799A (zh) * | 2013-05-29 | 2013-08-21 | 陈玉祥 | 一种亲水金刚石悬浮研磨抛光液及其制备方法 |
CN103433853A (zh) * | 2013-07-10 | 2013-12-11 | 西安交通大学 | 一种粗糙度可控的光固化成形树脂原型件的抛光方法 |
CN103450815A (zh) * | 2013-06-19 | 2013-12-18 | 云南光电辅料有限公司 | 一种光学玻璃加工用氧化锆抛光液及其制备方法 |
CN103525314A (zh) * | 2013-10-30 | 2014-01-22 | 湖北三翔超硬材料有限公司 | 高效金刚石润滑冷却抛光液及制备方法和应用 |
CN103725256A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-04-16 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 用于cmp的研磨颗粒体系及抛光液 |
CN104130716A (zh) * | 2014-07-01 | 2014-11-05 | 安徽拓普森电池有限责任公司 | 一种用于光学镜片的抛光液及其制备方法 |
CN104263318A (zh) * | 2014-04-24 | 2015-01-07 | 沈衡平 | 一种用于非金属凹凸面磨削抛光的弹性磨块的金刚石磨料 |
CN104371555A (zh) * | 2014-10-29 | 2015-02-25 | 安阳方圆研磨材料有限责任公司 | 废稀土抛光粉回收再生的方法以及稀土抛光液 |
CN104592898A (zh) * | 2015-01-04 | 2015-05-06 | 江苏中晶科技有限公司 | 高效蓝宝石研磨液及其制备方法 |
CN106019418A (zh) * | 2016-05-13 | 2016-10-12 | 郑海东 | 一种树脂眼镜片的加工方法 |
-
2016
- 2016-12-30 CN CN201611254235.9A patent/CN106701020A/zh active Pending
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101586004A (zh) * | 2008-05-23 | 2009-11-25 | 映麟有限公司 | 抛光用组成物及其制造方法 |
CN102102008A (zh) * | 2009-12-18 | 2011-06-22 | 安集微电子(上海)有限公司 | 一种水基玻璃磨削液及其使用方法 |
CN102796459A (zh) * | 2012-08-23 | 2012-11-28 | 安徽环巢光电科技有限公司 | 光学镜片抛光液 |
CN103254799A (zh) * | 2013-05-29 | 2013-08-21 | 陈玉祥 | 一种亲水金刚石悬浮研磨抛光液及其制备方法 |
CN103450815A (zh) * | 2013-06-19 | 2013-12-18 | 云南光电辅料有限公司 | 一种光学玻璃加工用氧化锆抛光液及其制备方法 |
CN103433853A (zh) * | 2013-07-10 | 2013-12-11 | 西安交通大学 | 一种粗糙度可控的光固化成形树脂原型件的抛光方法 |
CN103525314A (zh) * | 2013-10-30 | 2014-01-22 | 湖北三翔超硬材料有限公司 | 高效金刚石润滑冷却抛光液及制备方法和应用 |
CN103725256A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-04-16 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 用于cmp的研磨颗粒体系及抛光液 |
CN104263318A (zh) * | 2014-04-24 | 2015-01-07 | 沈衡平 | 一种用于非金属凹凸面磨削抛光的弹性磨块的金刚石磨料 |
CN104130716A (zh) * | 2014-07-01 | 2014-11-05 | 安徽拓普森电池有限责任公司 | 一种用于光学镜片的抛光液及其制备方法 |
CN104371555A (zh) * | 2014-10-29 | 2015-02-25 | 安阳方圆研磨材料有限责任公司 | 废稀土抛光粉回收再生的方法以及稀土抛光液 |
CN104592898A (zh) * | 2015-01-04 | 2015-05-06 | 江苏中晶科技有限公司 | 高效蓝宝石研磨液及其制备方法 |
CN106019418A (zh) * | 2016-05-13 | 2016-10-12 | 郑海东 | 一种树脂眼镜片的加工方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109021834A (zh) * | 2018-08-29 | 2018-12-18 | 德米特(苏州)电子环保材料有限公司 | 一种氧化铝基质的树脂镜片抛光液及其制备方法 |
WO2023032928A1 (ja) * | 2021-08-31 | 2023-03-09 | 株式会社レゾナック | 研磨液、研磨方法、部品の製造方法、及び、半導体部品の製造方法 |
WO2023032027A1 (ja) * | 2021-08-31 | 2023-03-09 | 株式会社レゾナック | 研磨液、研磨方法、半導体部品の製造方法、及び、接合体の製造方法 |
WO2023032929A1 (ja) * | 2021-08-31 | 2023-03-09 | 株式会社レゾナック | 研磨液、研磨方法、部品の製造方法、及び、半導体部品の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106701020A (zh) | 一种树脂镜片研磨液 | |
CN108148505B (zh) | 一种磁流变抛光用复合粒子的制造方法 | |
CN103567858B (zh) | 研磨轮及其制备和使用方法 | |
CN109476823A (zh) | 用于粘合剂应用的化学产品 | |
CN102791429A (zh) | 喷砂物料和喷砂方法 | |
CN104592897B (zh) | 一种含有石墨烯的化学机械抛光液 | |
CN106133107A (zh) | 研磨用组合物及研磨方法 | |
CN106590441A (zh) | 一种蓝宝石研磨液 | |
CN106978091A (zh) | 高效硬质氧化锆陶瓷抛光液及其制备方法 | |
CN107057641A (zh) | 一种人造蓝宝石摄像头镜片的专用研磨液 | |
CN105415099A (zh) | 单晶刀具制备工艺 | |
CN106701019A (zh) | 一种改进的陶瓷片研磨液 | |
CN103624675A (zh) | 一种获得低加工损伤的碳化硅衬底表面的加工方法 | |
CN106467970A (zh) | 用于精密机械不锈钢零件的抛光液的制备方法 | |
CN108165177B (zh) | 一种半导体硅片研磨液稳定性控制方法 | |
CN106833388A (zh) | 一种铝合金片研磨液 | |
CN105500120A (zh) | 一种晶圆研磨的控制方法 | |
CN106147705A (zh) | 硬质陶瓷研磨增效剂及其制备方法 | |
CN106366637B (zh) | 一种棕刚玉基抛光合成纸的制备方法 | |
CN105773321B (zh) | 硬质合金刀具研磨工艺 | |
CN102176999A (zh) | 有研磨作用的熔合颗粒 | |
CN209207277U (zh) | 柔性抛光装置 | |
CN209408266U (zh) | 一种排屑效果好的金刚石刀头、磨轮及磨块 | |
CN106271956A (zh) | 用于玻璃磨边的复合液 | |
CN108059921B (zh) | 一种优化晶圆表面形貌的化学机械平坦化方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20170524 |
|
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |