CN106597701A - 一种预烘烤设备热板机构 - Google Patents
一种预烘烤设备热板机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106597701A CN106597701A CN201611114910.8A CN201611114910A CN106597701A CN 106597701 A CN106597701 A CN 106597701A CN 201611114910 A CN201611114910 A CN 201611114910A CN 106597701 A CN106597701 A CN 106597701A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- hot
- pipe line
- blast pipe
- prebake conditions
- heating chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B25/00—Details of general application not covered by group F26B21/00 or F26B23/00
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
一种预烘烤设备热板机构,包括设置在玻璃板加热腔入口处平行于入口一条长边的上热风管路、设置在玻璃板加热腔入口处平行于入口另一条长边的下热风管路、设置在加热腔底部的加热板以及设置在所述上热风管路和下热风管路上的多个热风口。对现有玻璃板进入加热腔前温度进行补值,玻璃板进入加热腔内先进行预热,通过入口处加装热风管路装置,对玻璃板进行吹热风,从而使玻璃板的温度与加热腔内温度差值降低,使玻璃板受热均匀。
Description
技术领域
本发明是应用在液晶显示领域的一种关于改善彩膜颜色不均的设计,具体是关于一种预烘烤设备热板机构。
背景技术
在现阶段,在对玻璃板进行烘烤时,由于是将玻璃板直接放在带有使玻璃板支撑柱通过的通孔的加热板上进行烘烤,由于加热板上有通孔存在,导致与通孔部位相对应的玻璃板在受热时的温度较低,因此,彩膜颜色不均匀一直存在,且程度较明显,从而产生颜色不均匀。如图1所示,为现有对基板预烘烤装置的示意图,将涂布在玻璃基板上的光阻上70%的溶剂进行挥发,加热原理是通过热传递的方式进行。玻璃板在进入到加热腔前的温度为23℃,HP内制程所需要的温度为90℃~120℃,当玻璃板1进入加热设备后,由玻璃板支撑柱3支撑,如图2所示,加热时,玻璃板支撑柱下降,将玻璃板与加热板2相接触。由于加热板上设置有令玻璃板支撑柱通过的小孔,因此玻璃基板上与加热板上预留小孔接触的位置则会出现受热不足的现象,所以热板的传导热均一性就会导致玻璃上光阻挥发的程度不一样导致整个膜面颜色不均一,这样会导致玻璃基板受热不均,产生缺陷。
因此,怎样提高彩膜颜色的均一性,使玻璃板受热均匀成为业内亟需解决的问题。
发明内容
本发明的目的在于:克服上述由于通孔造成的玻璃板受热不足的缺陷,发明一种预烘烤设备热板机构,使得玻璃板受热均匀,提高彩膜颜色的均一性。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案实现的。
一种预烘烤设备热板机构,其特征在于:包括设置在用于加热玻璃板的加热腔入口处平行于入口一条长边的上热风管路、设置在用于加热玻璃板的加热腔入口处平行于入口另一条长边的下热风管路、设置在加热腔底部的加热板以及设置在所述上热风管路和下热风管路上的多个热风口。
本发明的目的及解决其技术问题还可以采用以下技术措施进一步实现。
根据所述的预烘烤设备热板机构,其中,所述上热风管路上的热风口之间的间隔与下热风管路上的热风口之间的间隔相同。
根据所述的预烘烤设备热板机构,其中,所述热风口分别设置在偏向加热腔内45度方向上的上、下热风管路上,且设置在上热风管路上的热风口与上热风管路横截面圆心构成的直线与设置在下热风管路上的下热风口与下热风管路横截面圆心构成的直线之间的夹角为90度。
根据所述的预烘烤设备热板机构,其中,所述上热风管路和下热风管路的长度与加热腔两条长边的长度相同。
根据所述的预烘烤设备热板机构,其中,还包括用于支撑玻璃板的机器叉,所述机器叉将玻璃板送入加热腔内。
根据所述的预烘烤设备热板机构,其中,所述下热风管路设置在加热腔的加热板上。
根据所述的预烘烤设备热板机构,其中,所述下热风管路的管壁与上热风管路的管壁之间的最短距离为加热腔入口高度的1/2。
根据所述的预烘烤设备热板机构,其中,所述上、下热风管上的热风口吹出的热风风速相同。
根据所述的预烘烤设备热板机构,其中,所述玻璃板从上热风管路与下热风管路中央平行于加热板穿过加热腔。
根据所述的预烘烤设备热板机构,其中,所述的多个热风口为直径相同的圆形孔。。
本发明具有以下有益效果:对现有玻璃板进入加热腔前温度进行补值,玻璃板进入加热腔内先进行预热,通过入口处加装热风管路装置,对玻璃板进行吹热风,从而使玻璃板的温度与加热腔内温度差值降低,使玻璃板受热均匀。
热风口设置在热风管上在偏向加热腔内45度的方向可维持加热腔内温度平稳,防止热气流向加热腔外,从而在加热腔口处因温度差异产生光阻升华物凝结。
上下热风流速相同,防止玻璃板上下受力不均产生偏移。
附图说明
在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中:
图1是现有设备对玻璃板进行加热实施例1的示意图;
图2是现有设备对玻璃板进行加热实施例2的示意图;
图3是本发明预烘烤设备热板机构的立体示意图;
图4是本发明预烘烤设备热板机构工作示意图;
图5是本发明预烘烤设备热板机构热风管路的截面示意图。
图6是本发明预烘烤设备热板机构热风管路的结构示意图。
在附图中,相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步说明。
如图3所示,为本发明预烘烤设备热板机构的立体示意图,包括加热腔7,设置在加热腔7入口6处平行于入口一条长边的上热风管路4、平行于入口另一条长边的下热风管路5、设置在加热腔底部的加热板10以及设置在上热风管路和下热风管路上的多个热风口(图中未绘制出)。
如图4所示,为本发明预烘烤设备热板机构工作示意图,工作时,玻璃板1放在机器叉(图中为绘制出)上,通过机器叉将玻璃板送入加热腔7内,同时设置在入口处的热风口开始吹出热风,由于加热腔内加热板加热,加热腔内温度为90℃~120℃。而玻璃板在进入到HPCP前的温度为23℃,在预加热时,开放热风,设置在上热风管路4和下热风管路5上的多个热风口(图中未绘制出)吹出风速热风,对玻璃板上下表面进行预加热,为使得玻璃板上表面和下表面受到的压力相同玻璃板不会偏移,上下热风管路吹出的热风温度相同,风速相同。风速方向为图中白色箭头方向。机器叉将玻璃板全部运送到加热腔内部后,待烘烤完成后取出机器叉上的玻璃板后流至下个制程设备。
如图5所示,为本发明预烘烤设备热板机构热风管路的截面示意图,为了避免机器叉与加热装置产生干涉,将所述的下热风管路设置在加热板10上。所述下热风管路的管壁与上热风管路的管壁之间的最短距离为加热腔入口高度的1/2。其中,所述热风口分别设置在偏向加热腔内45度方向的上、下热风管路上,且设置在上热风管路上的热风口与上热风管路横截面圆心构成的直线与设置在下热风管路上的热风口与下热风管路横截面圆心构成的直线之间的夹角为90度。热风口设置在热风管上在偏向加热腔内45度的方向可维持加热腔内温度平稳,使吹出的热风能够在接触到玻璃板后向加热腔内部反射,若热风口垂直相对设置,则会出现热气流在接触玻璃板后一部分向加热腔外流出,容易在加热腔口处因温度差异产生光阻升华物凝结。
每个热风口为直径相同的圆孔,保证风速相同,风口大小一致,玻璃板上下压力相等,防止玻璃板受力不均产生偏移。
每个热风口也可以设置成形状大小完全相同的正方形、长方形、等形状不规则孔。
如图6所示,为本发明预烘烤设备热板机构热风管路的结构示意图,其中,所述的上热风管路4和下热风管路5长度相等,且上热风管路的长度与加热腔入口的一条长边的长度相同,下热风管路的长度与加热腔入口处的另一条长边的长度相同,保证玻璃板在预热过程中能够充分受热。所述上热风管路上的热风口9之间的间隔与所述下热风管路上的热风口之间的间隔相同。上热风管路上的热风口与下热风管路上的热风口一一对应。
虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述,但在不脱离本发明的范围的情况下,可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是,只要不存在结构冲突,各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例,而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
Claims (10)
1.一种预烘烤设备热板机构,其特征在于:包括设置在用于加热玻璃板的加热腔入口处平行于入口一条长边的上热风管路、设置在用于加热玻璃板的加热腔入口处平行于入口另一条长边的下热风管路、设置在加热腔底部的加热板以及设置在所述上热风管路和下热风管路上的多个热风口。
2.根据权利要求1所述的预烘烤设备热板机构,其特征在于:所述上热风管路上的热风口之间的间隔与下热风管路上的热风口之间的间隔相同。
3.根据权利要求1所述的预烘烤设备热板机构,其特征在于:所述热风口分别设置在偏向加热腔内45度方向上的上、下热风管上,且设置在上热风管路上的热风口与上热风管路横截面圆心构成的直线与设置在下热风管路上的下热风口与下热风管路横截面圆心构成的直线之间的夹角为90度。
4.根据权利要求1所述的预烘烤设备热板机构,其特征在于:所述上热风管路和下热风管路的长度与加热腔两条长边的长度相同。
5.根据权利要求1所述的预烘烤设备热板机构,其特征在于:还包括用于支撑玻璃板的机器叉,所述机器叉将玻璃板送入加热腔内。
6.根据权利要求1所述的预烘烤设备热板机构,其特征在于:所述下热风管路设置在加热腔的加热板上。
7.根据权利要求6所述的预烘烤设备热板机构,其特征在于:所述下热风管路的管壁与上热风管路的管壁之间的最短距离为加热腔入口高度的1/2。
8.根据权利要求1所述的预烘烤设备热板机构,其特征在于:所述上、下热风管上的热风口吹出的热风风速相同。
9.根据权利要求1所述的一种预烘烤设备热板机构,其特征在于:所述玻璃板从上热风管路与下热风管路中央平行于加热板穿过加热腔。
10.根据权利要求1所述的一种预烘烤设备热板机构,其特征在于:所述的多个热风口为直径相同的圆形孔。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201611114910.8A CN106597701B (zh) | 2016-12-07 | 2016-12-07 | 一种预烘烤设备热板机构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201611114910.8A CN106597701B (zh) | 2016-12-07 | 2016-12-07 | 一种预烘烤设备热板机构 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106597701A true CN106597701A (zh) | 2017-04-26 |
CN106597701B CN106597701B (zh) | 2019-07-26 |
Family
ID=58596037
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201611114910.8A Active CN106597701B (zh) | 2016-12-07 | 2016-12-07 | 一种预烘烤设备热板机构 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106597701B (zh) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030046056A (ko) * | 2001-12-04 | 2003-06-12 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 에어 나이프 건조장치 |
JP2013045877A (ja) * | 2011-08-24 | 2013-03-04 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
CN203117597U (zh) * | 2013-03-21 | 2013-08-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种液晶分子取向修复系统 |
CN104685312A (zh) * | 2012-10-03 | 2015-06-03 | 夏普株式会社 | 基板烧成装置 |
CN105629666A (zh) * | 2014-10-29 | 2016-06-01 | 李东明 | 改良的光阻预烤炉加热装置 |
CN106094291A (zh) * | 2016-08-05 | 2016-11-09 | 武汉华星光电技术有限公司 | 玻璃基板处理装置 |
-
2016
- 2016-12-07 CN CN201611114910.8A patent/CN106597701B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030046056A (ko) * | 2001-12-04 | 2003-06-12 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 에어 나이프 건조장치 |
JP2013045877A (ja) * | 2011-08-24 | 2013-03-04 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
CN104685312A (zh) * | 2012-10-03 | 2015-06-03 | 夏普株式会社 | 基板烧成装置 |
CN203117597U (zh) * | 2013-03-21 | 2013-08-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种液晶分子取向修复系统 |
CN105629666A (zh) * | 2014-10-29 | 2016-06-01 | 李东明 | 改良的光阻预烤炉加热装置 |
CN106094291A (zh) * | 2016-08-05 | 2016-11-09 | 武汉华星光电技术有限公司 | 玻璃基板处理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106597701B (zh) | 2019-07-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3833439B2 (ja) | 大型基板用多段加熱炉、及び両面加熱式遠赤外線パネルヒーター、並びに該加熱炉内の給排気方法 | |
KR101238560B1 (ko) | Lcd 글라스 오븐챔버 | |
US9758418B1 (en) | Methods of producing glass ribbon | |
US8960522B2 (en) | Automated brazing system | |
CN101311786B (zh) | 液晶显示面板制造方法及干燥装置 | |
CN106597701A (zh) | 一种预烘烤设备热板机构 | |
CN105441664B (zh) | 用于对板材进行回火加热的明火回火炉及其加热方法 | |
JP4443525B2 (ja) | 板材の加熱方法および加熱装置並びに板材を加熱するための保持装置 | |
CN201381277Y (zh) | 网阵式加热的玻璃钢化炉 | |
TW200417709A (en) | Heat treatment apparatus | |
TW201307946A (zh) | 液晶顯示器等製程中對玻璃基板面做高速且高精度調溫的調溫裝置 | |
WO2018086563A1 (zh) | 双循环控温细胞培养箱及其工作方法 | |
JP3144345U (ja) | 温風機における空気加熱のための構造 | |
CN201209994Y (zh) | 排气装置及具有该排气装置的干燥设备 | |
CN211425076U (zh) | 一种石墨电极浸渍预热炉系统 | |
CN103951175A (zh) | 一种玻璃加热炉的快速加热方法 | |
JP2008157541A (ja) | フラットパネル熱処理炉 | |
CN105417961B (zh) | 一种红外加热装置 | |
CN107680751B (zh) | 一种节能漆包线烘干装置 | |
JP2008256229A (ja) | 焼成炉及び焼成方法 | |
CN103951174A (zh) | 一种玻璃板的加热炉 | |
JP2004037044A (ja) | Fpd用真空加熱炉 | |
TWI773542B (zh) | 加熱爐之加熱室結構 | |
CN104515400B (zh) | 一种可缩小宽截面烧成设备温差的间接冷却装置 | |
CN117029398B (zh) | 能保持温度均一性的液晶面板高温热风烘烤炉及其方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |