CN106537005A - 滑动部件 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种滑动部件，其能够兼顾密封和润滑的相反的条件这两者，促进滑动面中的流体的循环，并且防止滑动面中的堆积物产生，长期维持滑动面的密封功能。滑动部件的特征在于，具备彼此相对滑动的一对滑动部件，在一方滑动部件的滑动面上设有流体循环槽(10)，该流体循环槽(10)经由入口部以及出口部而与高压流体侧连通，且通过陆部而与低压流体侧隔离，在另一方滑动部件的滑动面上，以与高压流体侧连通的方式设有干涉槽(15)，该干涉槽(15)使上述流体循环槽的流体发生压力变动。
Description
技术领域
本发明涉及例如机械密封、轴承、以及适合于滑动部的滑动部件。尤其涉及使流体介于滑动面来降低摩擦并且需要防止流体从滑动面泄漏的密封环或者轴承等的滑动部件。
背景技术
作为滑动部件的一个例子，在机械密封中，其性能通过泄漏量、磨损量、以及转矩来评价。在现有技术中，通过将机械密封的滑动材质、滑动面粗糙度最佳化来提高性能，实现低泄漏、高寿命、低转矩。但是，由于近年来针对环境问题的意识的提高，要求机械密封的性能的进一步提高，需要超越现有技术的框架的技术开发。
其中，本申请的发明者已经确认到下述情况：例如在水冷式发动机的冷却所使用的水泵的机械密封中，随时间的经过，作为不冻液的一种的LLC的添加剂例如硅酸盐、磷酸盐等(以下称为“堆积物产生原因物质”。)在滑动面中浓缩，生成堆积物，有可能机械密封的功能下降。该堆积物的生成被认为即使是在处理药品、油的设备的机械密封中也同样地发生的现象。
在现有的机械密封中，公知有为了防止滑动面的摩擦发热引起的磨损、烧坏的发生，而在滑动面形成用于形成流体层的槽(例如参照专利文献1、2、3。)，但这些发明停止于将流体导入滑动面，并未采取防止滑动面的堆积物的生成的对策。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平7－180772号公报
专利文献2：日本特开平7－224948号公报
专利文献3：美国专利第5498007号说明书
发明内容
发明所要解决的课题
本发明的目的在于提供一种滑动部件，其能够兼顾密封和润滑的相反的条件这两者，促进滑动面中的流体的循环，并且防止滑动面中的堆积物产生，长期维持滑动面的密封功能。
用于解决课题的方案
为了实现上述目的，第1方案中，本发明的滑动部件的特征在于，
具备彼此相对滑动的一对滑动部件，在一方滑动部件的滑动面上设有流体循环槽，该流体循环槽经由入口部以及出口部而与高压流体侧连通，且通过陆部而与低压流体侧隔离，在另一方滑动部件的滑动面上，以与高压流体侧连通的方式设有干涉槽，该干涉槽使上述流体循环槽的流体发生压力变动。
根据该特征，在流体循环槽的入口部和出口部存在压力差，该压力差处于不断地交替变动的状态，由于流体循环槽内的流体反复移动，因此即使在被密封流体包含堆积物产生原因物质的情况下，也能够防止流体循环槽的堆积物的产生，能够长期维持滑动面的密封功能。
另外，第2方案中，本发明的滑动部件根据第1方案的特征，其特征在于，
上述干涉槽沿周向设有多个，这些多个干涉槽配设成，当任意的干涉槽处于与上述流体循环槽的上述入口部对置的位置时，其他干涉槽不处于与上述流体循环槽的上述出口部对置的位置。
根据该特征，能够使流体循环槽的入口部与出口部的压力差变大而且可靠地产生，能够更进一步防止流体循环槽的堆积物的产生。
另外，第3方案中，本发明的滑动部件根据第1方案或第2方案的特征，其特征在于，上述一方滑动部件是固定侧密封环，上述另一方滑动部件是旋转侧密封环，上述旋转侧密封环形成为相对于上述固定侧密封环使外径大而且使内径小，上述干涉槽配设于使上述流体循环槽的上述入口部和上述出口部的流体发生压力变动的位置。
根据该特征，由于滑动面宽度由固定侧密封环决定，因此能够减小滑动面宽度的偏差。另外，由于在旋转侧密封环的滑动面形成有干涉槽，因此主动生成伴随旋涡的回旋流，从而能够使流体循环槽的入口部与出口部的压力差更进一步变大。
另外，第4方案中，本发明的滑动部件根据第1方案至第3方案中的任一特征，其特征在于，上述干涉槽的内径侧的端部延伸至在径向上与上述流体循环槽的上述入口部和上述出口部接近的位置。
根据该特征，能够使流体循环槽的入口部与出口部的压力差更进一步变大。
另外，第5方案中，本发明的滑动部件根据第1方案至第3方案中的任一特征，其特征在于，上述干涉槽的内径侧的端部延伸至在径向上与上述流体循环槽的上述入口部以及上述出口部重叠的位置。
根据该特征，由于干涉槽产生的压力变动作用直接波及流体循环槽的入口部以及出口部，因此能够使流体循环槽的入口部与出口部的压力差更进一步变大。
发明的效果
本发明发挥如下优良效果。
(1)在一方滑动部件的滑动面上设有流体循环槽，该流体循环槽经由入口部以及出口部而与高压流体侧连通，且通过陆部而与低压流体侧隔离，在另一方滑动部件的滑动面上，以与高压流体侧连通的方式设有干涉槽，该干涉槽使流体循环槽的流体发生压力变动。由此，在流体循环槽的入口部和出口部存在压力差，该压力差处于不断地交替变动的状态，由于流体循环槽内的流体反复移动，因此即使在被密封流体包含堆积物产生原因物质的情况下，也能够防止流体循环槽的堆积物的产生，能够长期维持滑动面的密封功能。
(2)干涉槽沿周向设有多个，这些多个干涉槽配设成，当任意的干涉槽处于与流体循环槽的入口部对置的位置时，其他干涉槽不处于与流体循环槽的出口部对置的位置。由此，能够使流体循环槽的入口部与出口部的压力差变大而且可靠地产生，从而能够更进一步防止流体循环槽的堆积物的产生。
(3)在固定侧密封环形成有流体循环槽，在旋转侧密封环形成有干涉槽，旋转侧密封环形成为相对于固定侧密封环使外径大而且使内径小，干涉槽配设于使流体循环槽的入口部和出口部的流体发生压力变动的位置，由此，滑动面宽度由固定侧密封环决定，因而能够减小滑动面宽度的偏差。另外，由于在旋转侧密封环的滑动面形成干涉槽，因此主动生成伴随旋涡的回旋流，从而能够使流体循环槽的入口部与出口部的压力差进一步变大。
(4)干涉槽的内径侧的端部延伸至在径向上与流体循环槽的上述入口部和上述出口部接近的位置，从而能够使流体循环槽的入口部与出口部的压力差更进一步变大。
(5)干涉槽的内径侧的端部延伸至在径向上与流体循环槽的入口部以及出口部重叠的位置，由此干涉槽产生的压力变动作用直接波及到流体循环槽的入口部以及出口部，因此能够使流体循环槽的入口部与出口部的压力差更进一步变大。
附图说明
图1是表示本发明的实施例1的机械密封的一个例子的纵剖视图，表示比旋转轴的中心靠上侧的一半。
图2是以A－A剖切图1的滑动部件的滑动面的图，为了说明滑动面的特征，在接近滑动面的部分切断，而且表示滑动面的整周。
图3是表示实施例1的旋转侧密封环转动的情况下的设于固定侧密封环的流体循环槽的入口部以及出口部的平均压力的图。
图4是以与图2相同的要领表示本发明的实施例2的滑动部件的滑动面的图。
图5是以与图2相同的要领表示本发明的实施例3的滑动部件的滑动面的图。
图6是以与图2相同的要领表示本发明的实施例4的滑动部件的滑动面的图。
具体实施方式
以下参照附图，基于实施例来对用于实施本发明的方式进行例示性地说明。但是，该实施例中所记载的构成部件的尺寸、材质、形状、其相对的配置等，只要不是特别明示的记载，则并非将本发明的范围仅限定于此的意思。
实施例1
参照图1至图3，对本发明的实施例1的滑动部件进行说明。
此外，在以下的实施例中，以作为滑动部件的一个例子的机械密封为例进行说明。另外，将构成机械密封的滑动部件的外周侧作为高压流体侧(被密封流体侧)、将内周侧作为低压流体侧(大气侧)来进行说明，但本发明并不限定于此，在高压流体侧和低压流体侧相反的情况下也能够应用。
图1是表示机械密封的一个例子的纵剖视图，是对欲从滑动面的外周朝向内周向泄漏的高压流体侧的被密封流体进行密封的形式的内侧形式，设有作为一方滑动部件的圆环状的旋转侧密封环1和作为另一方滑动部件的圆环状的固定侧密封环5，该旋转侧密封环1经由套筒3以及杯形垫圈4以能够与该旋转轴2一体旋转的状态设置于使高压流体侧的旋转体(例如泵叶轮。省略图示)驱动的旋转轴2侧，该固定侧密封环5以非旋转状态而且以能够沿轴向移动的状态设置于壳体6，通过沿轴向对固定侧密封环5加力的螺旋形弹簧7以及波纹管8，使其在通过抛光等而进行镜面加工后的滑动面的滑动部分S彼此紧密接触滑动。即、该机械密封在旋转侧密封环1与固定侧密封环5的相互滑动部分S防止被密封流体从旋转轴2的外周向大气侧流出。
在机械密封中，通常为了在旋转侧密封环1以及固定侧密封环5的旋转中心不严格一致的情况下也能够对应，加大任一方的滑动面宽度、即加大外径而且减小内径，而形成有外径侧的滑动面富余量So以及内径侧的滑动面富余量Si。在本发明中，旋转侧密封环1和固定侧密封环5将现在滑动的部分称为滑动部分Ss，包含滑动面富余量的情况下称为滑动面S。
在图1中，表示旋转侧密封环1的外径比固定侧密封环5的外径大、而且旋转侧密封环1的内径比固定侧密封环5的内径小、且滑动面富余量形成于旋转侧密封环1的情况，但本发明并不限定于此，不言而喻，在相反的情况下也能够应用。
在图1的情况下，固定侧密封环5的滑动部分Ss与滑动面S一致。
图2是图1的A－A剖视图，用剖面线表示旋转侧密封环1以及固定侧密封环5的滑动面S。
在图2中，滑动面S的外径侧为高压流体侧，而且内径侧为低压流体侧、例如大气侧，旋转侧密封环1向逆时针方向旋转。
在固定侧密封环5的滑动面S，沿周向以等间隔设有四个流体循环槽10，该流体循环槽10与高压流体侧连通，并且通过滑动面的平滑部R(在本发明中，有时称为“陆部”。)与低压流体侧隔离。
此外，流体循环槽10并不限于四个，至少设置一个即可，而且也不必是等间隔。
流体循环槽10包括从高压流体侧进入的入口部10a、向高压流体侧漏出的出口部10b、以及沿周向连通入口部10a以及出口部10b的连通部10c。为了防止包含腐蚀生成物等的流体在滑动部分Ss浓缩，流体循环槽10担负将被密封流体主动从高压流体侧导入到滑动部分且排出的作用，并且入口部10a以及出口部10b如图示那样形成为大口，以便与对象滑动面的旋转一致地向滑动部分导入被密封流体而且容易排出，另一方面，为了降低泄漏，通过陆部R与低压流体侧隔离。
在本例中，入口部10a以及出口部10b形成为直线状，构成为大致V字状，但并不特别限定于此，也可以进一步加大或减小入口部10a与出口部10b所成的内角α，另外，也可以不是直线状而是曲线状(圆弧状等)。另外，流体循环槽10的宽度以及深度根据被密封流体的压力、种类(粘性)等而设定为最佳。若列举深度的一个例子，则为100～300μm左右。
流体循环槽并不限于大致V字状，例如也可以是U字状，总之，入口部以及出口部与高压流体侧连通即可。
在旋转侧密封环1的滑动面S设有使流体循环槽10的流体发生压力变动的干涉槽15。
干涉槽15与高压流体侧连通，在径向上配设于使流体循环槽10的入口部10a以及出口部10b的流体发生压力变动的位置。
在图2的情况下，干涉槽15设于外径侧的滑动面富余量So内，该内径侧的端部15a延伸至在径向上与流体循环槽10的入口部10a以及出口部10b接近的位置。
此外，这里所说的接近的意思是指，在径向上，流体循环槽10的入口部10a以及出口部10b的流体由干涉槽15生成的旋涡等而发生压力变动的程度的接近。
在图2中，由于流体循环槽10形成至固定侧密封环5的滑动面S(与滑动部分Ss相同。)的外周，因此干涉槽15的内径侧的端部15a延伸至在径向上与固定侧密封环5的滑动面S的外周接近的位置。
干涉槽15的形状在图2中表示大致矩形状，但并不限定于此，例如也可以是圆形、椭圆形、菱形等，总之，与高压流体侧连通，内径侧的端部15a延伸至与流体循环槽10的入口部10a以及出口部10b接近的位置即可。
另外，干涉槽15的深度没有特别限定，但优选设定为例如与流体循环槽10的深度相同程度、或者稍微深。
在图2中，干涉槽15沿周向等间隔设有三个，这些多个干涉槽15配设成，当任意的干涉槽15处于与流体循环槽10的入口部10a对置的位置时，其他干涉槽15不处于与流体循环槽10的出口部10b对置的位置。在图2的情况下，流体循环槽10以等间隔设有四个，流体循环槽10的入口部10a与出口部10b所成的中心角θ1为大约45°，与此相对，相邻的干涉槽15所成的中心角θ为120°，因此当旋转侧密封环1转动而任意的干涉槽15处于与流体循环槽10的入口部10a对置的位置时，其他干涉槽15不处于与流体循环槽10的出口部10b对置的位置。
此外，干涉槽15并不限于沿周向设有三个，至少设有一个即可，另外，也不需要为等间隔。
若旋转侧密封环1转动，则在干涉槽15的附近生成旋涡，伴随旋涡的干涉槽15沿周向移动。
现在，若一个干涉槽15到达与某流体循环槽10的入口部10a对置的位置，则入口部10a内的流体的压力上升。此时，由于设定为在与出口部10b对置的位置没有其他干涉槽15，因此没有该出口部10b内的流体的压力上升，成为入口部10a的压力＞出口部10b的压力的状态。
接着，若该干涉槽15达到与该流体循环槽10的出口部10b对置的位置，则出口部10b内的流体的压力上升。此时，由于设定为在与入口部10a对置的位置没有其他干涉槽15，因此没有该入口部10a内的流体的压力上升，成为入口部10a的压力＜出口部10b的压力的状态。
即、若着眼于一个流体循环槽10，则由于干涉槽15的作用而存在入口部10a与出口部10b的压力差，该压力差处于不断地交替变动的状态。
图3表示旋转侧密封环1转动的情况下的设于固定侧密封环5的流体循环槽10的入口部10a以及出口部10b的平均压力，实线表示入口部10a的平均压力，虚线表示出口部10b的平均压力。从该图可知，在入口部10a与出口部10b存在压力差，且该压力差不断地交替变动。尤其可知，在旋转角度为100°以及150°附近，入口部10a的平均压力与出口部10b的平均压力的差变大。
若在入口部10a与出口部10b存在压力差，且该压力差处于不断地交替变动的状态，由于流体循环槽10内的流体反复移动，因此即使在被密封流体包含堆积物产生原因物质的情况下，也能防止流体循环槽10内的堆积物的产生。
在实施例1中发挥如下显著效果。
(1)在固定侧密封环5的滑动面设有流体循环槽10，该流体循环槽10经由入口部10a以及出口部10b而与高压流体侧连通，并通过陆部R而与低压流体侧隔离，在旋转侧密封环1的滑动面设有干涉槽15，该干涉槽15使流体循环槽10的流体发生压力变动，因此在流体循环槽10的入口部10a和出口部10b存在压力差，该压力差处于不断地交替变动的状态，由于流体循环槽10内的流体反复移动，因此即使在被密封流体包含堆积物产生原因物质的情况下，也能够防止流体循环槽10的堆积物的产生，能够长期维持滑动面的密封功能。另外，由于滑动面宽度由固定侧密封环5决定，因此能够减小滑动面宽度的偏差。
(2)干涉槽15沿周向设有多个，这些多个干涉槽15配设成，当任意的干涉槽15处于与流体循环槽10的入口部10a对置的位置时，其他干涉槽15不处于与流体循环槽10的出口部10b对置的位置，因此能够使流体循环槽10的入口部10a与出口部10b的压力差变大而且可靠地产生，从而能够更进一步防止流体循环槽10的堆积物的产生。
(3)干涉槽15的内径侧的端部15a延伸至与流体循环槽10的入口部10a和出口部10b接近的位置，因此能够使大流体循环槽10的入口部10a与出口部10b的压力差更进一步变大。
实施例2
参照图4对本发明的实施例2的滑动部件进行说明。
实施例2在干涉槽15的个数比实施例1多这方面不同，但在以下方面与实施例1相同，即，多个干涉槽15配设成，当任意的干涉槽15处于与流体循环槽10的入口部10a对置的位置时，其他干涉槽15不处于与流体循环槽10的出口部10b对置的位置。
此外，在图4中，与图2相同的符号表示相同的部件，并省略重复的说明。
在图4中，干涉槽15沿周向以等间隔设有十二个。这些多个干涉槽15配设成，当任意的干涉槽15处于与流体循环槽10的入口部10a对置的位置时，其他干涉槽15不处于与流体循环槽10的出口部10b对置的位置。在图4的情况下，流体循环槽10以等间隔设有四个，流体循环槽10的入口部10a与出口部10b所成的中心角θ1为大约45°，与此相对，相邻的干涉槽15所成的中心角θ为30°，因此当旋转侧密封环1转动而任意的干涉槽15处于与流体循环槽10的入口部10a对置的位置时，其他干涉槽10不处于与流体循环槽10的出口部10b对置的位置。
此外，干涉槽15不必沿周向以等间隔设置，而且不限定于十二个。总之，当旋转侧密封环1转动而任意的干涉槽15处于与流体循环槽10的入口部10a对置的位置时，其他干涉槽15不处于与流体循环槽10的出口部10b对置的位置即可。
在实施例2中，由于干涉槽15沿周向设有多个，因此与实施例1的情况相比，能够使流体循环槽10的入口部10a与出口部10b的压力差频繁地交替变动，从而能够更进一步防止流体循环槽10的堆积物的产生。
实施例3
参照图5对本发明的实施例3的滑动部件进行说明。
实施例3在干涉槽的内径侧的端部延伸至旋转侧密封环1的滑动部分Ss内这方面与图2所示的实施例1不同，其他的方面与实施例1相同。
此外，在图5中，与图2相同的符号表示相同的部件，并省略重复的说明。
在图5中，在旋转侧密封环1的滑动面S，沿周向以等间隔设有三个干涉槽20。干涉槽20与高压流体侧连通，如虚线所示，干涉槽20的内径侧的端部20a延伸至在径向上与流体循环槽10的入口部10a以及出口部10b重叠的位置。即、干涉槽20在径向上不停留于外径侧的滑动面富余量So，而是形成为延伸至旋转侧密封环1的滑动部分Ss。
若旋转侧密封环1转动，则在干涉槽20的附近生成旋涡，伴随旋涡的干涉槽20沿周向移动，但此时，干涉槽20在流体循环槽10的入口部10a以及出口部10b的上方通过。因此，干涉槽20对流体循环槽10的入口部10a以及出口部10b的影响变大，入口部10a以及出口部10b的压力的变动也变大。
若入口部10a与出口部10b的压力差变大，则该压力差不断地交替变动，因此能够更进一步防止流体循环槽10内的堆积物的产生。
在实施例3中，干涉槽20的内径侧的端部20a延伸至在径向上与流体循环槽10的入口部10a以及出口部10b重叠的位置，由此干涉槽20引起的压力变动作用直接波及到循环槽10的入口部10a以及出口部10b，因此发挥能够使流体循环槽10的入口部10a与出口部10b的压力差更进一步变大的显著的效果。
实施例4
参照图6对本发明的实施例4的滑动部件进行说明。
实施例4在干涉槽的内径侧的端部延伸至旋转侧密封环1的滑动部分Ss内这方面与图5所示的实施例3相同，在图6中，与图5相同的符号表示相同的部件，并省略重复的说明。
在图6中，干涉槽20沿周向以等间隔设有十二个。这些多个干涉槽20配设成，当任意的干涉槽20处于与流体循环槽10的入口部10a对置的位置时，其他干涉槽20不处于与流体循环槽10的出口部10b对置的位置。在图6的情况下，流体循环槽10以等间隔设有三个，流体循环槽10的入口部10a与出口部10b所成的中心角θ1为大约45°，与此相对，相邻的干涉槽20所成的中心角θ为30°，因此当旋转侧密封环1转动而任意的干涉槽20处于与流体循环槽10的入口部10a对置的位置时，其他干涉槽20不处于与流体循环槽10的出口部10b对置的位置。
此外，干涉槽20不必沿周向以等间隔设置，而且不限定于十二个。总之，当旋转侧密封环1转动而任意的干涉槽20处于与流体循环槽10的入口部10a对置的位置时，其他干涉槽20不处于与流体循环槽10的出口部10b对置的位置即可。
干涉槽20与高压流体侧连通，如虚线所示，干涉槽20的内径侧的端部20a延伸至在径向上与流体循环槽10的入口部10a以及出口部10b重叠的位置。即、干涉槽20在径向上不停留于外径侧的滑动面富余量So，而是形成为延伸至旋转侧密封环1的滑动部分Ss。
在实施例4中，由于干涉槽20沿周向设有多个，因此与实施例3的情况相比，能够使流体循环槽10的入口部10a与出口部10b的压力差频繁地交替变动，能够更进一步防止流体循环槽10的堆积物的产生。
以上，根据附图对本发明的实施例进行了说明，但具体的结构并部限于这些实施例，不脱离本发明的主要的范围内的变更或追加都包含于本发明。
例如，在上述实施例中，对将滑动部件用于机械密封装置中的一对旋转用密封环以及固定用密封环的任一个的例子进行了说明，但也能够作为在圆筒状滑动面的轴向一方侧密封润滑油并且与旋转轴滑动的轴承的滑动部件来利用。
另外，例如在上述实施例中，对在外周侧存在高压的被密封流体的情况进行了说明，但也能够应用于内周侧为高压流体的情况。
另外，例如在上述实施例中，对在构成滑动部件的机械密封的固定侧密封环设置流体循环槽，且在旋转侧密封环设置干涉槽的情况进行了说明，但也可以与此相反，在旋转侧密封环设置流体循环槽，在固定侧密封环设置干涉槽。
另外，例如，对下述情况进行了说明，即，在上述实施例1以及2中，干涉槽的内径侧端部在径向上配设于流体循环槽的入口部以及出口部的附近，在实施例3以及4中，干涉槽的内径侧端部配设成在径向上与流体循环槽的入口部以及出口部重叠，但并不限于此，也可以混合这些方式。
符号的说明
1—旋转侧密封环，2—旋转轴，3—套筒，4—杯形垫圈，5—固定侧密封环，6—壳体，7—螺旋形弹簧，8—波纹管，10—流体循环槽，10a—入口部，10b—出口部，10c—连通部，15—干涉槽，15a—干涉槽的内径侧端部，20—干涉槽，20a—干涉槽的内径侧端部，R—陆部，S—滑动面，Ss—滑动部分。
Claims (5)
1.一种滑动部件，其特征在于，
具备彼此相对滑动的一对滑动部件，在一方滑动部件的滑动面上设有流体循环槽，该流体循环槽经由入口部以及出口部而与高压流体侧连通，且通过陆部而与低压流体侧隔离，在另一方滑动部件的滑动面上，以与高压流体侧连通的方式设有干涉槽，该干涉槽使上述流体循环槽的流体发生压力变动。
2.根据权利要求1所述的滑动部件，其特征在于，
上述干涉槽沿周向设有多个，这些多个干涉槽配设成，当任意的干涉槽处于与上述流体循环槽的上述入口部对置的位置时，其他干涉槽不处于与上述流体循环槽的上述出口部对置的位置。
3.根据权利要求1或2所述的滑动部件，其特征在于，
上述一方滑动部件是固定侧密封环，上述另一方滑动部件是旋转侧密封环，上述旋转侧密封环形成为相对于上述固定侧密封环使外径大而且使内径小，上述干涉槽配设于使上述流体循环槽的上述入口部和上述出口部的流体发生压力变动的位置。
4.根据权利要求1～3任一项中所述的滑动部件，其特征在于，
上述干涉槽的内径侧的端部延伸至在径向上与上述流体循环槽的上述入口部和上述出口部接近的位置。
5.根据权利要求1～3任一项中所述的滑动部件，其特征在于，
上述干涉槽的内径侧的端部延伸至在径向上与上述流体循环槽的上述入口部以及上述出口部重叠的位置。
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