CN106461935A - 光纤扫描器、照明装置以及观察装置 - Google Patents
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Abstract
目的在于检测光纤(8)的弯折和变形,防止按照被打乱的扫描轨迹继续进行扫描,本发明的光纤扫描器(6)具有:光纤(8),其引导从光源(5)发出的光;致动器(12),其固定于该光纤(8)的长度轴方向的中途位置,通过弯曲振动而使光纤(8)的前端(8a)移位;以及具有导电性的检测线部件(14),其以在长度轴方向的规定的范围内至少粘贴于该致动器(12)与光纤(8)的前端(8a)之间的光纤(8)的外周面上的状态延伸。
Description
技术领域
本发明涉及光纤扫描器、照明装置以及观察装置。
背景技术
公知有通过驱动压电元件而使光纤的前端呈漩涡状振动从而使光在观察对象上二维地扫描的光纤扫描器(例如,参照专利文献1。)。
该光纤扫描器通过PZT(锆钛酸铅)致动器的弯曲振动而使贯通圆筒状的PZT致动器的内孔且前端被支承为悬臂状的光纤的前端呈漩涡状移动,其中,该PZT致动器在外表面上在周向上具有被分割为四部分的电极。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特表2008-504557号公报
发明内容
发明要解决的课题
由于通过根部的PZT致动器的振动使支承为悬臂状的光纤的前端振动,因此有时伴随着光纤的前端的振动,应力集中于光纤的根部,从而光纤弯折或发生变形。而且,如果在光纤弯折或发生了变形的状态下光纤扫描器的动作继续进行,则从光纤射出的光的扫描轨迹被打乱。
本发明是鉴于上述情况而完成的,其提供能够防止在光纤弯折或发生了变形时扫描按照被打乱了的扫描轨迹继续进行的光纤扫描器、照明装置以及观察装置。
用于解决课题的手段
本发明的一个方式是光扫描器,其具有:光纤,其引导从光源发出的光;致动器,其固定于该光纤的长度轴方向的中途位置,通过弯曲振动而使所述光纤的前端移位;以及具有导电性的检测线部件,其以在长度轴方向的规定的范围内至少粘贴于该致动器与所述光纤的前端之间的所述光纤的外周面上的状态延伸。
根据本方式,一边通过光纤对来自光源的光进行引导一边使致动器弯曲振动来使光纤的前端移位,由此能够使从光纤的前端射出的光进行扫描。
在该情况下,当在粘贴有检测线部件的致动器与光纤的前端之间的规定的范围内光纤由于振动而弯折或发生变形时,检测线部件被切断。因此,只要对检测线部件的两端施加电压,就能够通过在检测线部件中流动的电流或电阻值变化而对检测线部件的切断进行检测。并且,由于检测线部件也兼作控制部的接地线,因此由于检测线部件的切断而变为电位不定状态。即,能够通过检测线部件的切断而停止或抑制光纤扫描器的扫描。
在上述方式中,可以是,所述检测线部件从所述致动器延伸至所述光纤的前端附近。
这样,能够在从致动器到光纤的前端的范围内产生光纤的弯折或变形时,停止或抑制光纤扫描器的扫描。
在上述方式中,可以是,所述光纤扫描器具有包覆所述致动器与所述光纤的前端之间的所述检测线部件的绝缘部件,该绝缘部件具有电绝缘性。
这样,能够减小检测线部件受到外部电场的影响,从而高精度地检测光纤的弯折和变形。
在上述方式中,可以是,所述检测线部件被配置为在所述光纤的前端侧折返而在该光纤的外周面在长度轴方向上往复。
这样,无需在光纤的前端进行布线就能够高精度地控制光纤的前端的扫描轨迹。
在上述方式中,可以是,在所述光纤的外周面上往复的部分的所述检测线部件在所述光纤的周向上隔开等间隔而配置。
这样,能够防止由于检测线部件而导致光纤的周向的重量平衡失衡,从而高精度地控制光纤的前端的扫描轨迹。
在上述方式中,可以是,所述检测线部件由薄膜构成。
这样,容易在光纤的外周面上形成检测线部件,检测线部件容易受到光纤的弯折和变形的影响,因此能够进一步提高检测光纤的弯折和变形的灵敏度。
在上述方式中,可以是,所述检测线部件由两层薄膜构成,该两层薄膜在所述光纤的径向上隔着由电绝缘材料构成的绝缘薄膜而形成为层叠状态,并且通过在所述光纤的前端侧使所述绝缘薄膜局部地贯通而彼此电导通。
这样,能够将隔着绝缘薄膜而形成为层叠状态的检测线部件配置为在光纤的前端侧的导通部分沿径向折返而在长度轴方向上往复。
在上述方式中,可以是,所述光纤扫描器具有筒状的振动传递部件,该振动传递部件具有供所述光纤贯通的贯通孔,并且在外表面上固定有所述致动器,所述致动器由通过施加振动的电压而弯曲振动的压电元件构成,所述振动传递部件由导电性材料构成,并且电气上串联连接于所述致动器与所述检测线部件的一端之间。
这样,当对电气上串联连接的致动器、振动传递部件以及检测线部件的两端施加振动的电压时,由压电元件构成的致动器弯曲振动,该振动经由振动传递部件传递给贯通于贯通孔内的光纤,从而使光纤的前端移位。而且,当由于在光纤上产生弯折或变形而导致检测线部件被切断时,施加给致动器的电压被切断,因此停止或抑制了致动器的振动,从而能够瞬间停止或抑制光纤扫描器的扫描。
本发明的其他方式是照明装置,其具有:光源,其产生光;上述光纤扫描器;聚光透镜,其使该光纤扫描器所扫描的光会聚;以及遮断单元,其在所述检测线部件被切断时,遮断从所述光源向所述光纤入射的光。
根据本方式,通过聚光透镜使从光纤扫描器照射的来自光源的光会聚,从而能够向观察对象照射点光。此时,如果向检测线部件的两端施加电压,则在检测部检测到光纤的弯折或变形时,遮断单元不让照明光入射到光纤,因此能够防止在光纤弯折的状态下继续进行向观察对象照射点光。
在上述方式中,该照明装置具有驱动所述光源的光源驱动部,该光源驱动部经由所述检测线部件而接地。
这样,当检测到线部件断路时,光源驱动部的电位变位不定状态,因此能够停止或抑制光源的发光,防止过度的发热。
本发明的其他方式是观察装置,其具有上述照明装置以及光检测部,该光检测部在通过该照明装置向观察对象照射光时,接受来自该观察对象的返回光。
根据本方式,当通过照明装置按照期望的轨迹向观察对象照射光时,能够使光检测部接受被观察对象的表面反射的返回光,并检测返回光的强度。
发明效果
根据本发明,能够起到检测光纤的弯折和变形而防止按照被打乱的扫描轨迹继续进行扫描的效果。
附图说明
图1是示出本发明的第一实施方式的观察装置的纵剖视图。
图2是沿着线A-A切断图1的观察装置的光纤扫描器的横剖视图。
图3是示出图1的观察装置的光纤扫描器的第一变形例的纵剖视图。
图4是沿着线B-B切断图3的光纤扫描器的横剖视图。
图5A是示出在图1的观察装置的光纤扫描器的第二变形例的光纤的外周面上隔着绝缘薄膜而粘贴有检测线部件的状态的纵剖视图。
图5B是示出在图1的观察装置的光纤扫描器的第二变形例的光纤的基端侧和前端侧在与长度轴交叉的方向上对检测线部件和绝缘薄膜进行削除的状态的纵剖视图。
图5C是示出向图1的观察装置的光纤扫描器的第二变形例的光纤的前端侧的被削除的部分填充了粘接剂的状态的纵剖视图。
图5D是示出使图1的观察装置的光纤扫描器的第二变形例的检测线部件与致动器电气上串联连接的状态的纵剖视图。
图6A是示出在图1的观察装置的光纤扫描器的第三变形例的光纤的外周面上粘贴了检测线部件的状态的纵剖视图。
图6B是示出在图1的观察装置的光纤扫描器的第三变形例的光纤的基端侧和前端侧使用掩模包覆检测线部件的两端附近且使用绝缘薄膜包覆掩模之间的状态的纵剖视图。
图6C是示出在图1的观察装置的光纤扫描器的第三变形例的绝缘薄膜上从光纤的长度轴方向中途位置至光纤的前端附近使用检测线部件进行包覆且在前端侧处两层的检测线部件电导通的状态的纵剖视图。
图6D是示出使图1的观察装置的光纤扫描器的第三变形例的检测线部件与致动器电气上串联连接的状态的纵剖视图。
图7是示出图1的观察装置的光纤扫描器的第四变形例的纵剖视图。
图8是示出图1的观察装置的光纤扫描器的第五变形例的纵剖视图。
图9是沿着线C-C切断图8的光纤扫描器的横剖视图。
图10是示出图1的观察装置的装置主体的第六变形例的纵剖视图。
图11是示出图1的观察装置的装置主体的第七变形例的纵剖视图。
图12是沿着线D-D切断图11的光纤扫描器的横剖视图。
图13是示出本发明的第二实施方式的观察装置的纵剖视图。
图14是示出本发明的第三实施方式的观察装置的纵剖视图。
具体实施方式
以下,参照附图对本发明的第一实施方式的光纤扫描器6、照明装置3以及观察装置1进行说明。
如图1所示,本实施方式的观察装置1具有:圆筒状的装置主体2;照明装置,其照射照明光;以及光检测部4,其接受该照明装置3向观察对象照射的照明光的来自观察对象的返回光(例如,反射光、荧光)。
如图1和图2所示,照明装置3具有:光源(例如,激光二极管)5,其产生照明光;本实施方式的光纤扫描器6,其收纳于装置主体2的内部,二维地扫描照明光;聚光透镜7,其使该光纤扫描器6所扫描的照明光会聚;以及控制部9,其控制光纤扫描器6。
如图1和图2所示,本实施方式的光纤扫描器6具有:光纤8,其引导来自光源5的照明光;四棱柱状的由弹性材料构成的振动传递部件11,其具有供该光纤8贯通的贯通孔10;四个压电元件(致动器)12,它们固定于该振动传递部件11的四个外表面11a上;支承部13,其在振动传递部件11的基端侧将光纤8支承于装置主体2;以及检测线部件14,其粘贴于光纤8的外周面上。
压电元件12通过施加于配置在厚度方向的两面上的电极15a、15b之间的振动的电压而弯曲振动。通过使压电元件12弯曲振动,振动经由振动传递部件11传递给光纤8,从而使得射出照明光的光纤8的前端8a在与长度轴交叉的方向上移位。
隔着振动传递部件11配置在相反侧的表面上的一对压电元件12被配置为相对于振动传递部件11而正反面相反,使极化方向统一成同一方向而固定于振动传递部件11上。由此,通过对位于外侧的电极15施加相同的电压,能够使得各对压电元件12产生相同的弯曲振动。即,能够使两对四个压电元件12产生彼此垂直的两个方向上的弯曲振动。
振动传递部件11由具有导电性的弹性材料构成,沿着长度轴方向配置于从光纤8的前端8a向基端8b侧隔开了规定的间隔的光纤8的长度轴方向的中途位置。
检测线部件14是具有导电性的线材(例如,铜、铝等)。检测线部件14在光纤8的外周面上从比支承部13靠基端8b的一侧延伸至前端8a附近,在前端8a附近折返而在长度轴方向上往复,一端14a附近与振动传递部件11电连接。
检测线部件14除了与振动传递部件11电连接的一端14a附近之外,被绝缘薄膜16包覆,该绝缘薄膜16使检测线部件14与周围电绝缘。
检测线部件14在光纤8的周向上隔开180°间隔而粘贴。
聚光透镜7固定于比光纤扫描器6靠前端侧的装置主体2上,使光纤扫描器6所扫描的照明光会聚于观察对象。
控制部9对各压电元件12施加基于规定的扫描轨迹的电压以使得从光纤8的前端8a射出的照明光成为观察者所输入的规定的扫描轨迹。并且,控制部9与各压电元件12和检测线部件14的另一端14b电连接,向光纤8振动时的移位较小的位置施加电压。
光检测部4具有:检测用光纤17,其将来自观察对象的返回光向装置主体2的基端侧引导;以及光传感器18,其检测由该检测用光纤17引导的返回光的强度。
检测用光纤17使前端17a朝向前方而固定于装置主体2的外周面上,在周向上隔开等间隔地排列有多个。
光传感器18对各检测用光纤17所接受的返回光的合计强度进行检测。
以下,对这样构成的本实施方式的光纤扫描器6、照明装置3以及观察装置1的作用进行说明。
要想使用本实施方式的观察装置1对观察对象进行观察,首先使光纤8的前端8a与观察对象对置,通过控制部9向各压电元件12的两个电极15a、15b之间施加电压。由此,压电元件12以与所施加的电压对应的形态弯曲振动,从而光纤8的前端8a移位。
在该状态下,当使来自光源5的照明光入射到光纤8时,经由光纤8引导的照明光从光纤8的前端8a射出,能够使被聚光透镜7会聚而成为点光的照明光在观察对象上进行扫描。而且,当照明光照射到观察对象上时,通过各检测用光纤17接受从观察对象返回的返回光(反射光或荧光)并通过光传感器18进行检测。因此,通过将扫描位置与返回光的强度相关联地进行存储,能够取得观察对象的图像。
在该情况下,当由于应力集中等原因而导致在振动着的光纤8上产生弯折或变形时,沿着光纤8配置的检测线部件14被切断。由于检测线部件14电气上串联连接于从压电元件12经由振动传递部件11至控制部9之间,因此当被切断时,不再向压电元件12施加电压,停止或抑制了压电元件12的动作,从而光纤扫描器6的扫描停止。由此,能够防止在光纤8弯折或发生了变形的异常的状态下光纤8的前端8a继续进行移位而使得振动传递部件11和支承部13与光纤8之间的摩擦引起发热从而使光纤扫描器6变为高温。
即,由于通过检测线部件14的切断而瞬间停止或抑制光纤扫描器6的扫描,因此具有能够防止在扫描轨迹被打乱的状态下扫描继续进行这样的优点。
在该情况下,由于检测线部件14也兼作控制部9的接地线,因此具有能够通过检测线部件14的切断而使电位变为不定状态这样的优点。
在该情况下,由于除了检测线部件14的一端14a附近之外,绝缘部件16包覆检测线部件14,因此具有能够减小检测线部件14受到外部电场的影响从而高精度地检测光纤8的弯折和变形这样的优点。
在该情况下,通过使检测线部件14在前端8a附近折返而在长度轴方向上往复,无需将用于与控制部9电连接的布线与光纤8的前端8a连接,因此能够防止因布线导致的扫描轨迹的偏移,从而高精度地控制光纤8的前端8a的扫描轨迹。
在该情况下,由于在光纤8的外周面上往复的部分的检测线部件14在光纤8的周向上隔开180°间隔而配置,因此能够防止由于检测线部件14引起光纤8的周向上的重量平衡失衡,从而高精度地控制光纤8的前端8a的扫描轨迹。
在本实施方式中,作为检测线部件14,例示了在光纤8中从比支承部13靠基端8b的一侧延伸并在前端8a附近折返而往复的检测线部件,但不限于此。例如,检测线部件14也可以在光纤8的外周面粘贴于从振动传递部件11至前端8a附近的范围,还可以仅粘贴于应力比较容易集中的振动传递部件11的前端附近的范围。
在本实施方式中,作为检测线部件,例示了由线材构成的检测线部件14,但不限于此,也可以如图3和图4所示,通过由导电性材料构成的薄膜来构成检测线部件19。
具体而言,只要如下即可:首先在光纤8的外周面上在周向的一部分上通过涂层形成从基端8b侧延伸再在前端8a附近折返而延伸至中途位置的检测线部件19,在该检测线部件19的另一端19b侧的在光纤8的外周面上往复的部分的外表面整面上涂层作为具有电绝缘性的薄膜的绝缘部件(以下,简称为绝缘薄膜。)20而进行包覆。
由此,关于两个在光纤8的外周面上往复的部分,能够使一端19a侧的部分与振动传递部件11电导通,使另一端19b侧的部分与振动传递部件11绝缘。
这样,容易在光纤8的外周面上形成检测线部件19,检测线部件19容易受到光纤8的弯折和变形的影响,因此能够进一步提高检测光纤8的弯折和变形的灵敏度。
作为检测线部件,也可以如图5A至图6D所示,采用由两层薄膜21a、21b构成的检测线部件21,该两层薄膜21a、21b在光纤8的径向上隔着绝缘薄膜20而形成为层叠状态,并且通过在光纤8的前端8a侧使绝缘薄膜20局部地贯通而彼此电导通。
要想构成这样的检测线部件21,如图5A至图5D所示,首先在光纤8的外周整周上涂层由导电性材料构成的薄膜21a,再使用绝缘薄膜20在该薄膜21a的外周整周上进行涂层,而且在该绝缘薄膜20的外周整周上涂层薄膜21b。接着,在与长度轴交叉的方向上削除绝缘薄膜20和薄膜21b的两端侧以使得薄膜21a在径向上露出。而且,向前端8a侧的进行了削除的部分填充具有导电性的粘接剂22,从而使两层薄膜21a、21b彼此电导通。
代替上述方法,也可以如图6A至图6D所示,首先在光纤8的外周整周上涂层由导电性材料构成的薄膜21a,使用掩模23包覆涂层后的薄膜21a的两端侧,再使用绝缘薄膜20包覆在掩模23之间露出的薄膜21a的外周面。而且,通过薄膜21b在配置于绝缘薄膜20的外周上的光纤8的长度方向中途位置和比绝缘薄膜20的前端稍微向前端侧隔开了间隔的位置的掩模23之间进行涂层并且使两层薄膜21a、21b在前端8a侧连接。
由此,能够将隔着绝缘薄膜20形成为层叠状态的薄膜21a、21b配置为在光纤8的前端8a侧的导通部分沿径向折返而在长度轴方向上往复。
在本实施方式中,作为光纤扫描器6,也可以如图7所示,在振动传递部件11的贯通孔10中,向存在于贯通孔10的内周面与光纤8的外周面之间的间隙填充具有导电性的粘接剂22。
由此,通过填埋间隙而提高了光纤8、检测线部件14、绝缘部件16以及振动传递部件11的密合性,因此能够进一步提高来自压电元件12传递的传递效率。
在本实施方式中,作为压电元件12,对四个压电元件12振动地施加电压使其弯曲振动,但不限于此,例如,也可以是,压电元件12以单体进行弯曲振动。并且,扫描轨迹不限于二维的轨迹,只要是与光轴S交叉的方向,也可以是一维的轨迹。
在本实施方式中,例示了将压电元件12固定于振动传递部件11从而间接地固定于光纤8,也可以取而代之,不使用振动传递部件11,而直接将压电元件12固定于光纤8的外周面上。
在本实施方式中,作为光纤扫描器6,例示了绝缘部件16包覆粘贴于光纤8上的检测线部件14的外表面,但可以取而代之,如图8和图9所示,采用如下的光纤扫描器24:在振动传递部件25的贯通孔10的内周面上在周向的一部分上涂层有绝缘薄膜20,在剩余部分上涂层有具有导电性的导电薄膜41。
由此,由于粘贴于光纤8的外周面上的仅是作为薄膜的检测线部件19,因此降低了相对于光纤8的弯折和变形的耐久性,能够进一步提高检测线部件19的检测精度。
在本实施方式中,例示了两端14a、14b配置于比振动传递部件11的前端靠基端8b侧的位置的检测线部件14,但也可以取而代之,如图10所示,采用在光纤8的外周面整周上从振动传递部件11粘贴至前端8a附近的、通过由导电性材料构成的薄膜而构成的检测线部件26。
具体而言,首先在光纤8的外周面整周上通过涂层来形成从振动传递部件11延伸至前端8a附近的检测线部件26,再使该检测线部件26的一端26a侧与振动传递部件11电连接。而且,只要以检测线部件26的另一端26b附近与控制部9在光纤8的前端8a附近导通的方式进行布线即可。
也可以如图11和图12所示,采用由具有导电性的四个线材构成的检测线部件28,该四个线材在光纤8的外周面上从光纤8的前端8a附近延伸至振动传递部件27的基端侧。
在该情况下,只要如下即可:具有沿着振动传递部件27的横截面的对角线将振动传递部件27划分为四部分的电绝缘层29,使得固定于各外表面27a上的压电元件12彼此不电连接,电绝缘的振动传递部件27的各部分与对应的各检测线部件28分别电连接。
由此,使压电元件12侧成为接地电位,能够独立地驱动各压电元件12。
接下来,以下参照附图对本发明的第二实施方式的照明装置30进行说明。
在本实施方式的说明中,对结构与上述第一实施方式的照明装置3共同的部位标注相同标号,并省略说明。
如图13所示,本实施方式的照明装置30具有检测部31和遮断单元32,该检测部31对检测线部件14的切断进行检测,该遮断单元32根据该检测部31的检测结果而不让来自光源5的照明光入射到光纤8,在该点上与第一实施方式的照明装置3不同。
检测部31是使检测线部件14的两端14a、14b之间流过微弱的电流并检测其电压值的电路。由于当检测线部件14被切断时,电路断路,因此检测部31所检测到的电压值变为0,从而能够判断为光纤8弯折或发生变形。
遮断单元32是遮断来自光源5的照明光的遮板。遮断单元32形成为当检测部31检测到检测线部件14切断时遮断光源5与光纤8之间的光路。
以下,对这样构成的本实施方式的照明装置30的作用进行说明。
本实施方式的照明装置30通过控制部9对各压电元件12施加电压以使光纤8的前端8a移位。在该状态下,通过将来自光源5的照明光引导到光纤8,能够使从光纤8的前端8a射出的照明光在观察对象上进行扫描。
此时,如果检测线部件14被切断,则电气上串联连接于各压电元件12至控制部9之间的电路断路,因此各压电元件12的弯曲振动停止,由于检测线部件14的两端14a、14b之间的电路断路,检测部31检测到检测线部件14切断。当检测部31检测到检测线部件14切断时,检测部31向遮板发送驱动信号以使遮板进行动作,进行动作的遮板在来自光源5的照明光入射到光纤8的基端8b之前进行遮光。
即,具有以下这样的优点:当由于光纤8的弯折或变形而检测线部件14被切断时,能够瞬间使光纤8的前端8a的移位和照明光从前端8a的射出停止。
在该情况下,在光纤8弯折的异常的状态下不再继续进行照明光从光纤8的前端8a的射出,因此能够防止照射光长时间地照射于一点。
在本实施方式中,作为遮断单元32,例示了使用遮板的结构,但不限于此,例如,也可以采用如下结构:当检测部31检测到检测线部件14切断时,电气上切断从电源(省略图示。)向光源5供给电力的布线。
在本实施方式中,采用了检测部31检测电压值,但也可以取而代之,而检测用于对检测线部件14的断路进行检测的电气的量,例如,电阻值、电流值、电容值等。
接下来,以下参照附图对本发明的第三实施方式的照明装置33进行说明。
如图14所示,本实施方式的照明装置33具有与通过控制部9对各压电元件12施加电压的电路并联并且串联地包含光源5和光源驱动部34的电路,在该点上与第一实施方式的照明装置3不同。
即,光源驱动部34经由光源5而布线于振动传递部件11,从振动传递部件11经由检测线部件14而接地为止的电路与控制部9对压电元件12进行驱动的驱动电路共同。检测线部件14是与控制部9和光源驱动部34共同的接地线。
以下,对这样构成的本实施方式的照明装置33的作用进行说明。
本实施方式的照明装置33通过控制部9对各压电元件12施加电压而使光纤8的前端8a移位并且驱动光源驱动部34而使光源5发光,由此使来自光源5的照明光在观察对象上进行扫描。
在该情况下,如果检测线部件14断路,则包含检测线部件14在内的电路被切断,控制部9和光源驱动部34的电位变为不定状态,因此瞬间停止或抑制了各压电元件12的弯曲振动和光源5的发光。因此,当光纤8弯折或发生变形时,能够使光纤扫描器6的扫描停止,并且防止由照明光的发光引起的光源5的过度发热。
标号说明
1:观察装置;3、30、33:照明装置;4:光检测部;5:光源;6、24:光纤扫描器;7:聚光透镜;8:光纤;11、25、27:振动传递部件;12:压电元件(致动器);14、19、21、26、28:检测线部件;16、20:绝缘部件(绝缘薄膜);32:遮断单元;34:光源驱动部。
Claims (11)
1.一种光纤扫描器,其具有:
光纤,其引导从光源发出的光;
致动器,其固定于该光纤的长度轴方向的中途位置,通过弯曲振动而使所述光纤的前端移位;以及
具有导电性的检测线部件,其以在长度轴方向的规定的范围内至少粘贴于该致动器与所述光纤的前端之间的所述光纤的外周面上的状态延伸。
2.根据权利要求1所述的光纤扫描器,其中,
所述检测线部件从所述致动器延伸至所述光纤的前端附近。
3.根据权利要求1或2所述的光纤扫描器,其中,
所述光纤扫描器具有包覆所述致动器与所述光纤的前端之间的所述检测线部件的绝缘部件,该绝缘部件具有电绝缘性。
4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的光纤扫描器,其中,
所述检测线部件被配置为在所述光纤的前端侧折返而在该光纤的外周面在长度轴方向上往复。
5.根据权利要求4所述的光纤扫描器,其中,
在所述光纤的外周面上往复的部分的所述检测线部件在所述光纤的周向上隔开等间隔而配置。
6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的光纤扫描器,其中,
所述检测线部件由薄膜构成。
7.根据权利要求6所述的光纤扫描器,其中,
所述检测线部件由两层薄膜构成,该两层薄膜在所述光纤的径向上隔着由电绝缘材料构成的绝缘薄膜而形成为层叠状态,并且通过在所述光纤的前端侧使所述绝缘薄膜局部地贯通而彼此电导通。
8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的光纤扫描器,其中,
所述光纤扫描器具有筒状的振动传递部件,该振动传递部件具有供所述光纤贯通的贯通孔,并且在外表面上固定有所述致动器,
所述致动器由通过施加振动的电压而弯曲振动的压电元件构成,
所述振动传递部件由导电性材料构成,并且电气上串联连接于所述致动器与所述检测线部件的一端之间。
9.一种照明装置,其具有:
光源,其产生光;
权利要求1至8中的任意一项所述的光纤扫描器;
聚光透镜,其使该光纤扫描器所扫描的光会聚;以及
遮断单元,其在所述检测线部件被切断时,遮断从所述光源向所述光纤入射的光。
10.根据权利要求9所述的照明装置,其中,
该照明装置具有驱动所述光源的光源驱动部,
该光源驱动部经由所述检测线部件而接地。
11.一种观察装置,其具有:
权利要求9或10所述的照明装置;以及
光检测部,其在通过该照明装置向观察对象照射光时,接受来自该观察对象的返回光。
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