CN106396348B - 制造多个玻璃件的方法、制造光学件的方法和玻璃件阵列 - Google Patents

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Abstract

本公开涉及制造多个玻璃件的方法、制造光学件的方法以及玻璃衬底中的玻璃件的阵列。其中制造多个玻璃件的方法包括：使玻璃衬底的第一主面与第一模制衬底的第一工作表面接触，第一工作表面设置有多个第一凸起部；以及使玻璃衬底的第二主面与第二模制衬底的第二工作表面接触，第二工作表面设置有多个第二凸起部。该方法还包括：将玻璃衬底的温度控制到高于玻璃转化温度的温度以形成多个玻璃件；从玻璃衬底去除第一和第二模制衬底；以及分离多个玻璃件中相邻玻璃件。

Description

制造多个玻璃件的方法、制造光学件的方法和玻璃件阵列
技术领域
本公开涉及制造多个玻璃件的方法、制造光学件的方法以及玻璃衬底中的玻璃件的阵列。
背景技术
诸如反射镜或棱镜的光学件使用诸如蚀刻(例如，湿蚀刻或等离子体辅助蚀刻)的方法以及使用诸如锯切、激光处理的机械方法来制造。开发用于将玻璃图案化为三维形状的新方法。
发明内容
根据一个实施例，制造多个玻璃件的方法包括：使玻璃衬底的第一主面与第一模制衬底的第一工作表面接触，第一工作表面设置有多个第一凸起部；以及使玻璃衬底的第二主面与第二模制衬底的第二工作表面接触，第二工作表面设置有多个第二凸起部。该方法还包括：将玻璃衬底的温度控制到高于玻璃转化温度的温度以形成多个玻璃件；从玻璃衬底去除第一和第二模制衬底；以及分离相邻的多个玻璃件。
根据又一实施例，制造多个光学件的方法包括：图案化第一模制衬底的第一工作表面以形成多个第一凸起部；使玻璃衬底的第一主面与第一模制衬底的第一工作表面接触；以及使玻璃衬底的第二主面与第二模制衬底的第二工作表面接触。该方法还包括：将玻璃衬底的温度控制为高于玻璃转化温度的温度以形成多个光学件；以及分离相邻的多个光学件。
根据又一实施例，配置在玻璃衬底中的玻璃件的阵列包括：多个凹陷，形成在玻璃衬底的第一主面中；以及多个开口，形成在玻璃衬底的第二主面中。
本领域技术人员在阅读以下详细说明和附图的基础上将意识到附加特征和优势。
附图说明
包括附图以提供对本发明的进一步理解并且结合附图组成说明书的一部分。附图示出了本发明的实施例，并且与说明书一起用于解释本发明的原理。将参照以下详细描述更好地理解本发明的其他实施例和预期优点。
图1A至图1C示出了根据实施例的制造多个玻璃件的方法的元件。
图2A至图2D示出了根据实施例的制造光学件的方法的进一步的细节。
图3A至图3C示出了根据实施例的制造光学件的方法的其他元件。
图4示意性示出了根据实施例的制造玻璃件的又一方法。
图5示出了根据实施例的形成在模制衬底中的开口的示例。
图6A示出了根据实施例的方法。
图6B示出了根据又一实施例的方法。
具体实施方式
在以下详细描述中，参照形成说明书的一部分的附图，其中通过可实践本发明的具体实施例来示出附图。关于这点，诸如“顶部”、“底部”、“前”、“后”、“前部”、“尾部”等的方向性术语用于参照所描述附图的定向。由于本发明的实施例的部件可以在多个不同定向上定位，所以方向性术语用于说明的目的而不用于限制。应该理解，可以使用其他实施例，并且在不背离权利要求限定的范围的情况下可以进行结构或逻辑变化。
实施例的描述不是限制性的。具体地，下文描述的实施例的元件可以与不同实施例的元件组合。
本说明书中使用的术语“横向”和“水平”用于描述与衬底(例如，玻璃)的第一表面平行的定向。这例如可以是一片玻璃的平坦表面。
本说明书中使用的术语“垂直”用于描述与玻璃衬底的第一表面垂直布置的定向。
图1A至图1C示出了根据实施例的方法。如以下所解释的，制造玻璃件的方法包括：使玻璃衬底100的第一主面110与第一模制衬底200的第一工作表面210接触，第一工作表面210设置有多个第一凸起部250。该方法还包括：使玻璃衬底100的第二主面120与第二模制衬底300的第二工作表面310接触，第二工作表面设置有多个第二凸起部320。
图1A示出了玻璃衬底100、第一模制衬底200和第二模制衬底300的示例。第一腔260设置在第一工作表面210中的相邻第一凸起部250之间。第二腔330设置在第二工作表面310中的相邻的第二凸起部320之间。可以完成使玻璃衬底100的第一主面110与第一工作表面210接触以及使玻璃衬底100的第二主面120与第二工作表面310接触，使得第一模制衬底200和第二模制衬底300适当对齐。根据稍后参照图3A至图3C所解释的实施例，第二模制衬底300的第二凸起部320可以限定可分离单个玻璃件的位置，而第一模制衬底200的第一凸起部250限定玻璃件中的凹陷。因此，第一和第二模制衬底200、300可以对应地对齐。例如，这可以通过对齐标记的光学检查来完成。根据示例，这些对齐标记可通过激光处理或蚀刻来形成。根据又一实施例，第一和第二模制衬底200、300可以机械对齐，例如磁性地或使用销钉。还可以执行通过自动处理进行的预对齐。
如图1B进一步示出的，在使玻璃衬底100、第一和第二模制衬底200、300接触之后，将玻璃衬底的温度控制为高于玻璃转化温度的温度。在玻璃转化温度处，可以发生玻璃材料到熔化或面团状态的转换。因此，熔化或液化玻璃填充第一工作表面中的第一腔260。以对应方式，在第一模制衬底的第一工作表面210的凸起部250的部分处，在第一主面110中形成凹陷。
以对应方式，由于与第二模制衬底300的第二工作表面310的接触，图案化第二主面120。具体地，在第二凸起部320的位置处，在第二主面120中形成开口160。
在冷却包括玻璃衬底的堆叠件之后，第一和第二模制衬底200、300、玻璃衬底固化，并且从玻璃衬底去除第一和第二模制衬底200、300。因此，在玻璃衬底100的第一主面110中形成凹陷150。此外，在玻璃衬底100的第二主面120中形成对应开口160。图1C示出了从玻璃衬底100去除第一和第二模制衬底200、300之后的玻璃衬底的示例。
通常，在本申请的情况下，术语“玻璃衬底”理解为包括任何无定形(非晶)固态材料，其可以是透明的并且例如可以用于光电领域。玻璃可以基于二氧化硅。具体实施例包括钠钙玻璃、浮法玻璃、石英玻璃和其他示例，诸如瓷、热塑性聚合物、聚合物玻璃、丙烯酸玻璃、聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯。
玻璃衬底可以包括石英玻璃，例如非掺杂硅石或者掺杂有至少一种掺杂物的硅石，掺杂物选自包含硼(B)、钠(Na)、钙(Ca)、钾(K)和铝(Al)、锌(Zn)、铜(Cu)、镁(Mg)、锗(Ge)的组。根据又一些实施例，玻璃衬底可以包括聚合物，例如聚降冰片烯、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚酰亚胺或苯并环丁烯。
在玻璃转化温度处，发生从硬且相对脆弱的状态转换为熔化或面团状态。例如，玻璃衬底在经受力时变形。对于钠钙玻璃来说，玻璃转化温度的示例为520至600℃，对于熔凝石英来说，玻璃转化温度近似为1200℃，以及对于聚碳酸酯来说，玻璃转化温度为145℃。例如，在玻璃转化温度处，玻璃衬底的粘度可以在1012至1013.5dPa.s的范围内。
根据一个实施例，第一和第二模制衬底200、300可以按压到一起，同时将玻璃衬底的温度控制为高于玻璃转化温度的温度。例如，在第一和第二模制衬底200、300之间施加的外压力可以在2至8kN/cm2的范围内。容易理解，压力可以低于2kN/cm2，并且玻璃衬底可以加热到较高温度。例如，玻璃衬底可以被加热到高于利特尔顿点的温度。在利特尔顿点处，玻璃的粘度可以近似为107.6dPA.s。例如，在这种情况下，第一和第二模制衬底的重量可以足以使液态玻璃流动并填充第一和第二模制衬底中的腔和开口。例如，在这种情况下，可以不施加外压力。
例如，玻璃衬底可以实施为由玻璃制成的平坦衬底。根据又一实施例，玻璃衬底可以包括粉末、玻璃熔块或玻璃球，它们与模制衬底接触。
第一和第二模制衬底可以包括金属，例如不锈钢或钢铁或非金属化合物(诸如硅(Si)或陶瓷)。第一模制衬底200的第一工作表面210可以通过形成腔260和/或凸起部250来处理。例如，第一工作表面210可使用图案化方法(诸如蚀刻或机械方法，例如磨或爆粉)来处理以形成凸起部250和腔260。具体地，硬掩模可形成在第一工作表面210上方以进一步图案化第一工作表面210。可以使用蚀刻处理，其可以相对于第一模制衬底的水平表面形成预定角度。当模制衬底包括硅时，这会是有用的。模制衬底的材料的又一些示例包括陶瓷，其可具有高熔化温度。第二模制衬底可以由与第一模制衬底相同的材料或不同材料制成。
第一和第二模制衬底200、300的大小可以近似等于玻璃衬底100的大小。
释放剂(例如，抗粘连层)形成在第一工作表面上方。例如，释放剂可以包括碳化合物(例如石墨烯、热解碳)、金属碳化物(例如，碳化钨，WC)或玻璃碳或氮化硼(BN)。
第一工作表面210可被处理并图案化，例如以形成凸起部250以及凸起部之间的腔260。例如，凸起部可具有任意形状和腔。
图2A示出了凸起部和腔的又一示例。例如，凸起部可具有梯形的形状，其具有两个基部和两个腿状部。通常，术语“梯形”是指具有至少一对平行侧面的四边形。梯形的较短基部可具有近似50μm至10mm的范围内的长度d，梯形的较长基部可具有近似50μm至10mm的范围内的长度l。梯形的深度t可在近似10至大于10000μm的范围内，例如在10至5000μm的范围内。角度β可在20至90°的范围内，并且α＝180-β。可执行用于图案化第一工作表面210的图案化处理，使得腿状部例如相对于每个基部限定特定角度。如图2A所示，腿状部和平行于基部的水平线之间的角度可以为α和β。根据将要形成的光学件的特性，可以适当地选择角度α和β。可以以对应方式处理第二模制衬底的第二工作表面。例如，可以根据制造处理的需求图案化第二工作表面310。
如容易理解的，腔、凹陷和凸起部可具有任何不同种类的几何形状。
例如，在第二模制衬底的第二工作表面310中限定第二凸起部320。第二模制衬底300的第二凸起部320可限定光学件的边缘区域，例如切口。
图2B示出了接触第一模制衬底200和第二模制衬底300之后的玻璃衬底100的示例。选择玻璃衬底、第一和第二模制衬底200、300，使得可以并行地处理多个光学元件。因此，也如图2B所示，多个凹陷150形成在玻璃衬底100的第一主面110中。如图2B进一步示出的，边角151和152处的角度α和β被转印到玻璃衬底100。此外，玻璃衬底100的第二主面120被图案化以形成与第二模制衬底300的凸起部320对应的凹陷150。
图2B示出了布置在玻璃衬底中的玻璃件170的阵列。如图所示，玻璃件170的阵列包括形成在玻璃衬底的第一主面110中的多个凹陷150以及形成在玻璃衬底100的第二主面120中的多个凹陷160。如图2B所示，形成凹陷150的侧壁或表面的玻璃衬底100的表面部分130实施光学部件的有效表面。玻璃件可以是诸如棱镜的光学部件。术语“有效表面”被理解为表示光反射或光透射表面。通常，满足相对于这些有效表面的质量的严格要求。具体地，有效表面应该具有较低的表面粗糙度以能够进行镜面反射。由于有效表面形成凹陷150的侧壁或表面的事实，可以使用机械方法(诸如研磨或CMP处理)来处理玻璃衬底100的第一主面110，而不影响光学部件的有效表面。
图2C示出了通过上述方法处理的玻璃衬底的示例的第二主面的平面图的一部分。通过虚线表示玻璃衬底100的第一主面110处的部件。为了简化，仅示出了设置在一个玻璃衬底内的相邻光学件的行。如容易理解的，可以沿着水平轴和垂直轴来重复图案。如图所示，可以形成切口160以具有闭合形状(例如，矩形或圆形)。虚线表示形成在玻璃衬底的第一主面中的凹陷150的位置。
根据图2D所示的实施例，切口160可仅在一个方向上行进。在这种情况下，相邻的光学件可以通过锯切相互分离。另一可能的分离是划线和/或断裂。
图3A至图3C示出了制造玻璃件的方法的又一些元件。从图3A所示的结构开始，其对应于图2B的截面图，可以执行从第一主面110开始的研磨步骤或CMP(“化学机械抛光”)步骤，以将相邻的部件相互分离。图3B示出了所得到的结构的示例，其中两个相邻的玻璃件在与形成在第一主面110中的凹陷150对应的位置处连接。此后，通过锯切在凹陷150的位置处分离相邻的部件。图3C示出了在分离相邻的玻璃件之后得到的结构的示例。如图所示，单个玻璃件170相互分离。
图4示出了又一示例，其中用于分离玻璃件的凸起部270形成在第一模制衬底200的第一工作表面210中。如图所示，当将第一和第二模制衬底200、300按压在一起时，第一和第二凹陷161、162分别形成在玻璃衬底100的第一主面110和第二主面120的每一个中。此后，通过断裂来分离玻璃件。根据该实施例，第一和第二模制衬底200、300应该对应地对齐，使得第一和第二凹陷161、162水平地相互重叠，具有设置第一和第二凹陷161、162的水平位置。
如参照图1至图4所解释的，通过处理单个玻璃衬底，然后分离单个玻璃件来并行地制造多个玻璃件。由于模制衬底具有图案化工作表面的事实，工作表面的图案可以转印到玻璃衬底100的第一和第二主面110、120中。
在玻璃衬底的表面没有被蚀刻或机械方法处理的情况下，这会是有用的。例如，所描述的方法可用于制造具有非常低的表面粗糙度的光学件。由于玻璃衬底不使用蚀刻处理进行处理但是对第一模制衬底执行图案化的事实，玻璃衬底可以适当成形而不劣化其表面。可选地，还可以图案化第二模制衬底的第二工作表面。因此，可以制造具有包括低表面粗糙度的高质量表面的玻璃件。
此外，所描述的方法能够实施玻璃件的特殊尺寸。例如，玻璃件可具有任何形状，包括三角形的形状，其具有难以利用传统图案化方法(诸如蚀刻)实现的角度。由于从第一主面侧110和第二主面侧120执行图案化玻璃衬底的特征，可以通过从第一主面侧110执行例如研磨处理来分离玻璃衬底的相邻部件。因此，可以同时处理多个玻璃件。此外，由于该处理方法，玻璃衬底的第二主面不被研磨或者经受处理，使其保持其光学特性。此外，由于可以通过第一主面的处理部分分离玻璃件的事实，可以免去或避免用于分离光学件的机械方法(例如，锯切)。
图5示出了模制衬底的截面图的示例。如图所示，形成在模制衬底中的腔260可具有任意形状，包括成角结构以及圆化结构，这例如可以适合于形成透镜。开口260的上直径p可以小于开口的下部宽度q。由于玻璃衬底被加热到玻璃转化温度的事实，液体玻璃流动并填充开口260的整体(无论是施加外压力还是不施加外压力)。
根据又一实施例，上面解释的光学件可以与其他光学部件(例如，光纤)集成。
图6A和图6B示出了根据实施例的方法。如图6A所示，制造多个玻璃件的方法包括：使玻璃衬底的第一主面与第一模制衬底的第一工作表面接触(S100)，第一工作表面设置有多个第一凸起部；使玻璃衬底的第二主面与第二模制衬底的第二工作表面接触(S110)，第二工作表面设置有多个第二凸起部；将玻璃衬底的温度控制为高于玻璃转化温度的温度以形成多个玻璃件(S120)；从玻璃衬底去除第一和第二模制衬底(S130)；以及分离多个玻璃件中的相邻玻璃件(S140)。可以在使玻璃衬底的第二主面与第二模制衬底的第二工作表面接触之前、之后或同时地执行使玻璃衬底的第一主面与第一模制衬底的第一工作表面接触。
如图6B进一步示出的，制造多个光学件的方法包括：图案化第一模制衬底的第一工作表面以形成多个第一凸起部(S200)；使玻璃衬底的第一主面与第一模制衬底的第一工作表面接触(S210)；使玻璃衬底的第二主面与第二模制衬底的第二工作表面接触(S220)；将玻璃衬底的温度控制为高于玻璃转化温度的温度(S230)；以及分离多个光学件中的相邻光学件(S240)。根据又一些实施例，还可以图案化第二模制衬底的第二工作表面。可以在图案化第二模制衬底的第二工作表面之前、之后或同时地执行图案化第一模制衬底的第一工作表面。可以在使玻璃衬底的第二主面与第二模制衬底的第二工作表面接触之前、之后或同时地执行使玻璃衬底的第一主面与第一模制衬底的第一工作表面接触。
尽管本文示出和描述了具体实施例，但本领域技术人员应该理解，在不背离本发明的范围的情况下，可以针对所示和所述具体实施例替换各种可选和/或等效实施。本申请用于覆盖本文所讨论的具体实施例的任何改变或变化。因此，本发明仅通过权利要求及其等效物来限制。

Claims (18)

1.一种制造多个玻璃件的方法，所述方法包括：
使玻璃衬底的第一主面与第一模制衬底的第一工作表面接触，所述第一工作表面设置有多个第一凸起部；
使所述玻璃衬底的第二主面与第二模制衬底的第二工作表面接触，所述第二工作表面设置有多个第二凸起部；
将所述玻璃衬底的温度控制为高于玻璃转化温度的温度以形成所述多个玻璃件；
从所述玻璃衬底去除所述第一模制衬底和所述第二模制衬底；以及
分离所述多个玻璃件中的相邻玻璃件，
其中控制所述玻璃衬底的温度以分别适应所述第一模制衬底的所述第一工作表面和所述第二模制衬底的所述第二工作表面，使得：
多个凹陷被形成在所述玻璃衬底的所述第一主面中，每个所述凹陷均延伸至所述第二主面并且布置在所述玻璃衬底的较厚部分之间；以及
多个切口被形成在所述玻璃衬底的所述第二主面中，每个所述切口均延伸至所述第一主面并且布置在所述玻璃衬底的所述较厚部分内，
其中所述较厚部分的厚度被每个所述切口局部地最小化。
2.根据权利要求1所述的方法，还包括：将所述第一模制衬底和所述第二模制衬底按压到一起，同时将所述玻璃衬底的温度控制为高于所述玻璃转化温度的温度。
3.根据权利要求1所述的方法，其中将所述玻璃衬底的温度控制为高于所述玻璃衬底的利特尔顿点的温度。
4.根据权利要求1所述的方法，其中在与所述第二凸起部的位置相对应的位置处分离相邻玻璃件。
5.根据权利要求1所述的方法，其中通过从所述玻璃衬底的所述第一主面去除所述玻璃衬底的材料来分离相邻玻璃件。
6.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一模制衬底和所述第二模制衬底包括金属、陶瓷或Si。
7.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一凸起部中的至少一个具有从所述第一模制衬底突出的、具有基部和两个腿状部的梯形的形状。
8.根据权利要求7所述的方法，其中根据形成在所述玻璃衬底的所述第一主面中的凹陷来选择所述基部和每个腿状部之间的角度。
9.根据权利要求1所述的方法，其中根据形成在所述玻璃衬底的第一主面中的凹陷来选择所述第一凸起部的形状。
10.根据权利要求1所述的方法，其中作为将所述玻璃衬底的温度控制为高于所述玻璃转化温度的温度的结果，在所述玻璃衬底中形成多个凹陷，并且至少一个所述玻璃件包括具有低表面粗糙度的表面部分，所述表面部分形成一个所述凹陷的表面。
11.根据权利要求1所述的方法，还包括：对齐所述玻璃衬底、所述第一模制衬底和所述第二模制衬底，使得所述第二凸起部相对于所述第一凸起部具有预定的空间关系。
12.根据权利要求1所述的方法，其中所述玻璃件是光学部件，所述玻璃衬底的表面部分限定实施光学部件的有效表面的凹陷。
13.一种制造多个光学件的方法，包括：
图案化第一模制衬底的第一工作表面以形成多个第一凸起部；
使玻璃衬底的第一主面与所述第一模制衬底的所述第一工作表面接触；
使所述玻璃衬底的第二主面与第二模制衬底的第二工作表面接触；
将所述玻璃衬底的温度控制为高于玻璃转化温度的温度以形成多个光学件；以及
分离所述多个光学件中的相邻光学件，
其中控制所述玻璃衬底的温度以分别适应所述第一模制衬底的所述第一工作表面和所述第二模制衬底的所述第二工作表面，使得：
多个凹陷被形成在所述玻璃衬底的所述第一主面中，每个所述凹陷均延伸至所述第二主面并且布置在所述玻璃衬底的较厚部分之间；以及
多个切口被形成在所述玻璃衬底的所述第二主面中，每个所述切口均延伸至所述第一主面并且布置在所述玻璃衬底的所述较厚部分内，
其中所述较厚部分的厚度被每个所述切口局部地最小化。
14.根据权利要求13所述的方法，还包括：图案化所述第二模制衬底的所述第二工作表面以形成多个凸起部。
15.根据权利要求13所述的方法，其中图案化所述第一工作表面，使得至少一个所述光学件的光反射表面或光透射表面形成至少一个所述凹陷的表面。
16.根据权利要求13所述的方法，其中作为在控制所述玻璃衬底的温度的同时相互抵靠按压所述玻璃衬底、所述第一模制衬底和所述第二模制衬底的结果，在所述玻璃衬底的所述第二主面中形成多个开口。
17.根据权利要求14所述的方法，其中图案化所述第二工作表面，使得对应于所述光学件的分离位置定位所述多个第二凸起部。
18.根据权利要求14所述的方法，其中作为控制所述玻璃衬底的温度的结果，多个凹陷形成在所述玻璃衬底的所述第一主面中且多个开口形成在所述玻璃衬底的所述第二主面中，所述方法还包括对齐所述玻璃衬底、所述第一模制衬底和所述第二模制衬底，使得所述凹陷相对于所述开口具有预定的空间关系。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9981844B2 (en) * 2012-03-08 2018-05-29 Infineon Technologies Ag Method of manufacturing semiconductor device with glass pieces
JP7155582B2 (ja) * 2017-04-04 2022-10-19 Ａｇｃ株式会社 開口部材の製造方法、加工部材の製造方法及び板状部材
US10290569B2 (en) * 2017-09-29 2019-05-14 Intel Corporation Constrained cure component attach process for improved IC package warpage control
DE102019207119A1 (de) * 2019-05-16 2020-11-19 Realization Desal Ag Verfahren zum Herstellen eines Uhrglases mit mindestens einer Ausnehmung und Werkzeug für ein derartiges Verfahren
DE102020101982B4 (de) * 2020-01-28 2021-11-04 Schott Ag Verfahren zur Herstellung eines strukturierten Glaswafers für die Verpackung von elektronischen Bauteilen, Verfahren zur Herstellung von verkapselten elektronischen Komponenten und verkapselte elektronische Komponente
DE102021134545A1 (de) 2021-12-23 2023-06-29 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein Glasformsystem und Verfahren zur Herstellung von zwei oder mehr Glasprodukten aus einem Glasrohling

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5805361A (en) * 1995-07-18 1998-09-08 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical element, optical element molding die, and method of molding the optical element
CN1708460A (zh) * 2002-10-29 2005-12-14 康宁股份有限公司 玻璃光学组件的低温制备
TW200712539A (en) * 2005-09-13 2007-04-01 Asia Optical Co Inc Integration of optical product with multiple optical components and casting apparatus thereof
WO2012074952A1 (en) * 2010-11-30 2012-06-07 Corning Incorporated Methods of forming a glass wiring board substrate

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000281364A (ja) 1999-03-26 2000-10-10 Ngk Insulators Ltd 光学素子成形用プレス金型
JP2001247339A (ja) * 2000-03-01 2001-09-11 Seiko Epson Corp マイクロレンズアレイの製造方法及び電気光学装置の製造方法
JP4200223B2 (ja) 2005-08-19 2008-12-24 国立大学法人 香川大学 マイクロレンズ用金型、マイクロレンズおよびそれらの製法
US8141384B2 (en) 2006-05-03 2012-03-27 3M Innovative Properties Company Methods of making LED extractor arrays
US8635887B2 (en) * 2011-08-10 2014-01-28 Corning Incorporated Methods for separating glass substrate sheets by laser-formed grooves
CN103974915B (zh) 2012-01-05 2016-06-15 旭硝子株式会社 玻璃框体的成形装置以及成形方法
US9981844B2 (en) 2012-03-08 2018-05-29 Infineon Technologies Ag Method of manufacturing semiconductor device with glass pieces
US9219020B2 (en) 2012-03-08 2015-12-22 Infineon Technologies Ag Semiconductor device, wafer assembly and methods of manufacturing wafer assemblies and semiconductor devices
US20150175467A1 (en) 2013-12-23 2015-06-25 Infineon Technologies Austria Ag Mold, method for producing a mold, and method for forming a mold article

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5805361A (en) * 1995-07-18 1998-09-08 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical element, optical element molding die, and method of molding the optical element
CN1708460A (zh) * 2002-10-29 2005-12-14 康宁股份有限公司 玻璃光学组件的低温制备
TW200712539A (en) * 2005-09-13 2007-04-01 Asia Optical Co Inc Integration of optical product with multiple optical components and casting apparatus thereof
WO2012074952A1 (en) * 2010-11-30 2012-06-07 Corning Incorporated Methods of forming a glass wiring board substrate

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