CN106381466B - 有机物沉积装置及有机物沉积方法 - Google Patents

Abstract

公开了有机物沉积装置及有机物沉积方法，该装置包括：主腔室，划分成第一及第二沉积区域，第一基板从中心点沿着第一径向向第一沉积区域引入或从第一沉积区域引出，第二基板从中心点沿着第二径向向第二沉积区域引入或从第二沉积区域引出；第一及第二基板装载部，分别装载第一及第二基板，并分别使第一及第二基板旋转，使得第一及第二基板的一边与虚拟移动线段保持平行，虚拟移动线段为连接由第一径向形成的虚拟的第一径向线段及由第二径向形成的虚拟的第二径向线段各自的任意两点的线段；有机物沉积源，配置于主腔室内部，沿着移动线段移动，以位于第一或第二沉积区域，沿着垂直于移动线段的方向移动，以向第一或第二基板的表面喷射有机物粒子。

Description

有机物沉积装置及有机物沉积方法

本申请是国家申请号为201380042123.5、进入中国国家阶段日期为2015年2月6日的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及有机物沉积装置及有机物沉积方法。更具体地涉及在一个腔室内进行多个基板的沉积工艺，并对一个基板进行沉积工艺的过程中对其他基板进行移送工艺或对齐工艺，以减少节拍时间(tact time)，并减少在基板的移送工艺或对齐工艺中发生的有机物材料的损失的有机物沉积装置及有机物沉积方法。

背景技术

有机发光二极管(OLED：Organic Luminescence Emitting Device)是利用电致发光现象的可自主产生光的自发光元件，根据电致发光现象，当电流经过荧光性化合物时会产生光，由于不需要用于向不发光元件施加的背光，可制造轻薄的平板显示装置。

利用这种有机发光二极管的平板显示装置，不仅响应速度快，而且视角宽，正在成为新一代显示装置。

尤其，制造工艺简单，相比于现有的液晶显示装置，生产成本可以大幅减少。

在有机电致发光元件中，作为除了正极及负极的剩余构成层，空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层及电子注入层等构成有机薄膜，这种有机薄膜经真空热沉积方法沉积于基板。

根据真空热沉积方法，向真空的腔室的内部移送基板，将形成有规定图案的荫罩(hadow mask)排列在被移送的基板，对盛放有有机物的坩埚施热，以使从坩埚中升华的有机物沉积于基板。

根据现有技术的真空热沉积方法，由于在一个腔室的内部对一个基板进行沉积工艺，因此，在基板的移送工艺和荫罩对齐工艺中，针对基板的沉积工艺被中断，进而导致延长节拍时间(tack time)。

并且，在基板的移送工艺和荫罩对齐工艺过程中，从坩埚中持续升华有机物，进而导致有机物材料的浪费。

发明内容

技术问题

本发明提供一种在一个腔室内进行多个基板的沉积工艺，并对一个基板进行沉积工艺的过程中对其他基板进行移送工艺或对齐工艺，来减少节拍时间(tact time)，并减少在基板的移送工艺或对齐工艺中发生的有机物材料的损失的有机物沉积装置及有机物沉积方法。

解决问题的手段

根据本发明的第一方面，提供有机物沉积装置，上述有机物沉积装置包括：主腔室，划分成第一沉积区域和第二沉积区域，第一基板从一个中心点沿着第一径向向上述第一沉积区域引入或从上述第一沉积区域引出，第二基板从上述中心点沿着第二径向向上述第二沉积区域引入或从上述第二沉积区域引出；第一基板装载部，用于向上述第一径向装载并安置上述第一基板；第二基板装载部，用于向上述第二径向装载并安置上述第二基板；扫描仪(scanner)，包括：线形的有机物沉积源，用于喷射有机物粒子；源移动单元，与上述有机物沉积源相结合，并使上述有机物沉积源沿着上述第一基板或上述第二基板的表面进行直线移动，以便向上述第一基板或上述第二基板的表面喷射上述有机物粒子；旋转单元，使上述源移动单元进行旋转，以使上述线形的有机物沉积源与上述第一基板或上述第二基板的一边保持平行；以及扫描仪移动单元，使上述扫描仪进行往返移动，以使上述扫描仪位于上述第一沉积区域或上述第二沉积区域。

上述源移动单元可包括：移动台，以随着上述旋转单元的旋转而平行于上述基板的方式配置；以及源引导部，沿着纵向方向配置于上述移动台，使得与上述有机物沉积源相结合而向上述移动台的长度方向进行移动。

上述扫描仪移动单元可包括一对扫描仪引导部，上述一对扫描仪引导部横穿上述第一沉积区域和上述第二沉积区域并以相互并列的方式配置，且分别支撑上述移动台的两端部；上述旋转单元包括：旋转引导部，与上述一对扫描仪引导部中的一个相结合，用于引导上述移动台的旋转；以及转动部，与上述一对扫描仪引导部中的另一个相结合，且可旋转地与上述移动台相结合。

上述有机物沉积装置还可包括屏蔽板，以与上述第一基板或上述第二基板的表面相向的方式配置，用于覆盖上述第一基板或上述第二基板。

并且，还可包括隔壁，结合于上述主腔室内，且位于上述第一基板装载部和上述第二基板装载部之间。

并且，根据本发明的第二方面，提供有机物沉积方法，上述有机物沉积方法利用上述有机物沉积装置来沉积有机物，包括如下步骤：将上述第一基板沿着上述第一径向装载并安置于上述第一基板装载部；上述扫描仪移动单元使上述扫描仪向第一沉积区域移动；上述扫描仪的上述旋转单元使上述源移动单元进行旋转，使得上述线形的有机物沉积源与上述第一基板的一边保持平行；上述源移动单元使上述有机物沉积源进行直线移动，以向上述第一基板沉积有机物粒子；进行向上述第一基板沉积有机物粒子的步骤的同时，将上述第二基板沿着上述第二径向装载并安置于上述第二基板装载部；当完成对上述第一基板的沉积时，上述扫描仪移动单元使上述扫描仪向第二沉积区域移动；上述扫描仪的上述旋转单元使上述源移动单元进行旋转，使得上述线形的有机物沉积源与上述第二基板的一边保持平行；以及上述源移动单元使上述有机物沉积源进行直线移动，以向上述第二基板沉积有机物粒子。

在进行向上述第一基板沉积有机物粒子的步骤之后，还包括如下步骤：将完成沉积的上述第一基板从上述主腔室引出，并将新的第一基板沿着上述第一径向装载并安置于上述第一基板装载部。

并且，在进行向上述第二基板沉积有机物粒子的步骤之后，还包括如下步骤：将完成沉积的上述第二基板从上述主腔室引出，并将新的第二基板沿着上述第二径向装载并安置于上述第二基板装载部。

根据本发明的第三方面，提供有机物沉积装置，上述有机物沉积装置包括：主腔室，划分成第一沉积区域和第二沉积区域，第一基板从一个中心点沿着第一径向向上述第一沉积区域引入或从上述第一沉积区域引出，第二基板从上述中心点沿着第二径向向上述第二沉积区域引入或从上述第二沉积区域引出；第一基板装载部及第二基板装载部，用于分别装载并安置上述第一基板及上述第二基板，并分别使上述第一基板及上述第二基板旋转，使得上述第一基板及上述第二基板的一边与虚拟的移动线段保持平行，上述虚拟的移动线段为连接由上述第一径向形成的虚拟的第一径向线段及由上述第二径向形成的虚拟的第二径向线段各自的任意两点的线段；以及有机物沉积源，配置于上述主腔室的内部，并沿着上述移动线段移动，以位于上述第一沉积区域或上述第二沉积区域，且沿着垂直于上述移动线段的方向移动，以向上述第一基板或上述第二基板的表面喷射有机物粒子。

上述有机物沉积装置还可包括源腔室，与上述主腔室的一侧相结合并与上述主腔室相互开闭，上述有机物沉积源向上述源腔室引入或从上述源腔室引出。

并且，还可包括真空泵，与上述源腔室相连接，用于去除上述源腔室内的气体，以使上述源腔室具有与上述主腔室相同的真空度。

上述有机物沉积源由两个构成一对，上述一对有机物沉积源以相互交替的方式配置于上述主腔室和上述源腔室的内部。

还可包括屏蔽板，以与上述第一基板或上述第二基板相向的方式配置，并向与沿着上述移动线段移动的上述有机物沉积源相反的方向移动，以覆盖上述第一基板或上述第二基板。

还可包括隔壁，结合于上述主腔室内，用于划分上述第一沉积区域和上述第二沉积区域。

上述有机物沉积源可包括有机物导件，上述有机物导件以向上述第一基板或上述第二基板方向滑动的方式与上述有机物沉积源的外壁相结合，以将上述有机物粒子向相向的上述第一基板或上述第二基板引导。

根据本发明的第四方面，提供有机物沉积方法，在划分为第一沉积区域和第二沉积区域的主腔室的内部沉积有机物，第一基板从一个中心点沿着第一径向向上述第一沉积区域引入或从上述第一沉积区域引出，第二基板从上述中心点沿着第二径向向上述第二沉积区域引入或从上述第二沉积区域引出包括如下步骤：引入第一基板的步骤，使上述第一基板沿着上述第一径向引入至上述主腔室的上述第一沉积区域；旋转第一基板的步骤，旋转上述第一基板，使得上述第一基板的一边与虚拟的移动线段保持平行，上述虚拟的移动线段为连接由上述第一径向形成的虚拟的第一径向线段及由上述第二径向形成的虚拟的第二径向线段各自的任意两点的线段；沉积第一基板的步骤，使有机物沉积源沿着上述移动线段移动，以位于上述第一沉积区域，并向垂直于上述移动线段的方向移动，以对上述第一基板沉积有机物粒子；引入第二基板的步骤，在进行沉积上述第一基板的步骤的同时，使上述第二基板沿着上述第二径向引入至上述主腔室的上述第二沉积区域；旋转第二基板的步骤，旋转上述第二基板，使得上述第二基板的一边与上述移动线段保持平行；以及沉积第二基板的步骤，使上述有机物沉积源沿着上述移动线段移动，以位于上述第二沉积区域，并向垂直于上述移动线段的方向移动，以对上述第二基板沉积有机物粒子。

在进行上述沉积第一基板的步骤以后，还包括更换第一基板的步骤，将完成上述沉积第一基板步骤的上述第一基板从上述主腔室引出，并将新的第一基板向上述主腔室的上述第一沉积区域引入。

在进行上述沉积第二基板的步骤以后，还包括替换第二基板的步骤，将完成上述沉积第二基板步骤的上述第二基板从上述主腔室引出，并将新的第二基板向上述主腔室的上述第二沉积区域引入。

还可以包括如下步骤：上述主腔室的一侧与源腔室相结合，上述源腔室与上述主腔室相互开闭，上述有机物沉积源向上述源腔室引入或从上述源腔室引出，此时，上述一对有机物沉积源以相互交替的方式配置于上述主腔室和上述源腔室的内部。

根据本发明的第五方面，提供有机物沉积装置，上述有机物沉积装置包括：主腔室，第一基板从一个中心点沿着第一径向向上述主腔室引入或从上述主腔室引出，第二基板从上述中心点沿着第二径向向上述主腔室引入或从上述主腔室引出；第一基板装载部，用于向上述第一径向装载并安置上述第一基板；第二基板装载部，用于向上述第二径向装载并安置上述第二基板；线形的有机物沉积源，用于向上述第一基板或上述第二基板的表面喷射有机物粒子；移动单元，使上述有机物沉积源进行直线移动，以便向上述第一基板或上述第二基板的表面喷射有机物粒子；以及转动单元，使上述移动单元进行旋转，使得上述线形的有机物沉积源与上述第一基板或上述第二基板的一边保持平行。

上述有机物沉积装置还可包括源腔室，与上述主腔室的一侧相结合并与上述主腔室相互开闭，上述有机物沉积源向上述源腔室引入或从上述源腔室引出。

并且，还可包括真空泵，与上述源腔室相连接，用于去除上述源腔室的内部的气体，以使上述源腔室具有与上述主腔室相同的真空度。

上述有机物沉积源可由两个构成一对，上述一对有机物沉积源以相互交替的方式配置于上述主腔室和上述源腔室的内部。

还可包括屏蔽板，以与上述第一基板或上述第二基板的表面相向的方式配置，以覆盖上述第一基板或上述第二基板。

还可包括隔壁，结合于上述主腔室内，且位于上述第一基板装载部和上述第二基板装载部之间。

上述有机物沉积源可包括有机物导件，上述有机物导件以向上述第一基板或上述第二基板方向滑动的方式与上述有机物沉积源的外壁相结合，以将上述有机物粒子向相向的上述第一基板或上述第二基板引导。

根据本发明的第六方面，提供有机物沉积方法，利用上述的有机物沉积装置来沉积有机物，上述有机物沉积方法包括如下步骤：将上述第一基板向上述第一径向装载并安置于上述第一基板装载部；使上述移动单元进行旋转，使得上述线形的有机物沉积源与上述第一基板的一边保持平行；使上述有机物沉积源进行直线移动，以向上述第一基板沉积有机物粒子；进行向上述第一基板沉积有机物粒子的步骤的同时，将上述第二基板向上述第二径向装载并安置于上述第二基板装载部；使上述移动单元进行旋转，使得上述线形的有机物沉积源与上述第二基板的一边保持平行；以及使上述有机物沉积源进行直线移动，以向上述第二基板沉积有机物粒子。

在进行对上述第一基板沉积有机物粒子的步骤之后，还可包括如下步骤：将完成沉积的上述第一基板从上述主腔室引出，并将新的第一基板沿着上述第一径向装载并安置于上述第一基板装载部。

在进行对上述第二基板沉积有机物粒子的步骤之后，还可包括如下步骤：将完成沉积的上述第二基板从上述主腔室引出，并将新的第二基板沿着上述第二径向装载并安置于上述第二基板装载部。

还包括如下步骤：上述有机物沉积源由两个构成一对，上述主腔室的一侧与源腔室相结合，上述源腔室与上述主腔室相互开闭，上述有机物沉积源向上述源腔室引入或从上述源腔室引出，此时，上述一对有机物沉积源以相互交替的方式配置于上述主腔室和上述源腔室的内部。

发明的效果

根据本发明的实施例，在一个腔室内进行多个基板的沉积工艺，并在对一个基板进行沉积工艺的过程中对其他基板进行移送工艺或对齐工艺，来减少节拍时间(tacttime)，并减少在基板的移送工艺或对齐工艺中产生的有机物材料的损失。

附图说明

图1为用于说明本发明的第一实施例涉及的有机物沉积装置的结构的横剖视图。

图2为用于说明本发明的第一实施例涉及的有机物沉积装置的结构的纵剖视图。

图3为用于说明本发明的第一实施例涉及的有机物沉积装置的扫描仪及扫描仪移动单元的图。

图4为本发明的第二实施例涉及的有机物沉积方法的顺序图。

图5至图10为本发明的第二实施例涉及的有机物沉积方法的流程图。

图11为用于说明本发明的第三实施例涉及的有机物沉积装置的结构的横剖视图。

图12为用于说明本发明的第三实施例涉及的有机物沉积装置的结构的纵剖视图。

图13为用于说明本发明的第三实施例涉及的有机物沉积装置的有机物沉积源的移动单元的图。

图14为本发明的第四实施例涉及的有机物沉积方法的顺序图。

图15至图20为本发明的第四实施例涉及的有机物沉积方法的流程图。

图21为用于说明本发明的第五实施例涉及的有机物沉积装置的结构的横剖视图。

图22为用于说明本发明的第五实施例涉及的有机物沉积装置的结构的纵剖视图。

图23为用于说明本发明的第五实施例的有机物沉积装置的有机物沉积源的移动单元的图。

图24为本发明的第六实施例涉及的有机物沉积方法的顺序图。

图25至图30为本发明的第六实施例涉及的有机物沉积方法的流程图。

具体实施方式

本发明可以实施各种变换，可以具有各种实施例，附图中将示出特定实施例并进行详细说明。但是，应理解为，这并非旨在将本发明限定于特定的实施方式，而是包含本发明的思想及技术范围内的所有变换、均等物以及替代物。在对本发明进行说明的过程中，如认为公知技术有关的具体说明可能对本发明的要旨造成不必要的混淆，则将省略相关具体说明。

下面，将参照附图对本发明涉及的有机物沉积装置及有机物沉积方法的实施例进行详细说明，在参照附图进行说明的过程中，对相同或相对应的结构要素赋予相同的附图标记，并省略对此相关的重复说明。

图1为用于说明本发明的第一实施例涉及的有机物沉积装置的构成的横剖视图，图2为用于说明本发明的第一实施例的有机物沉积装置的构成的纵剖视图，图3为用于说明本发明的第一实施例涉及的有机物沉积装置的有机物沉积源的扫描仪及扫描仪移动单元的图。

在图1至图3中，示出了中心点12、机械手14、第一径向15、第一基板16、第二径向18、第二基板20、第一沉积区域22、第二沉积区域24、主腔室26、有机物沉积源27、源移动单元28、旋转单元29、第一基板装载部30、第二基板装载部32、扫描仪33、扫描仪移动单元34、荫罩36、屏蔽板38、隔壁39、线性电机导轨(40、43、47)、移动块(41、44、52)、扫描仪引导部42、源引导部45、移动台46、套筒48、旋转轴50、支撑部51、转动部53、旋转引导部54。

本实施例涉及的有机物沉积装置，包括：主腔室26，划分成第一沉积区域22和第二沉积区域24，第一基板16从一个中心点12沿着第一径向15向第一沉积区域22引入或从第一沉积区域22引出，第二基板20从中心点12沿着第二径向18向第二沉积区域24引入或从第二沉积区域24引出；第一基板装载部30，用于向上述第一径向15装载并安置第一基板16；第二基板装载部32，用于向第二径向18装载并安置第二基板20；扫描仪(scanner)33，包括：线形的有机物沉积源27，用于喷射有机物粒子；源移动单元28，与有机物沉积源27相结合，并使有机物沉积源27沿着第一基板16或第二基板20的表面进行直线移动，以便向第一基板16或第二基板20的表面喷射有机物粒子；旋转单元29，使源移动单元28进行旋转，以使线形的有机物沉积源27与第一基板16或第二基板20的一边保持平行；以及扫描仪移动单元34，使扫描仪33进行往返移动，以使扫描仪33位于第一沉积区域22或第二沉积区域24，由此在一个腔室的内部进行多个基板的沉积工艺，并对一个基板进行沉积工艺的过程中对其他基板进行移送工艺或对齐工艺，进而能够减少节拍时间(tact time)，并能够减少在基板的移送工艺或对齐工艺中发生的有机物材料的损失。

主腔室26划分成第一沉积区域22和第二沉积区域24，第一基板16从一个中心点12沿着第一径向15向第一沉积区域22引入或从第一沉积区域22引出，第二基板20从中心点12沿着第二径向18向第二沉积区域24引入或从第二沉积区域24引出。

主腔室26是在其内部对基板进行有机物沉积的场所，可借助真空泵使内部保持真空状态。在大气压状态下实现有机物沉积时，内部也可以保持为大气压状态。主腔室26可以划分成多个沉积区域(22、24)，以在一个主腔室26的内部对多个基板进行沉积。

沉积区域(22、24)是指，随着有机物沉积源27的移动能够对一个基板进行有机物沉积的虚拟空间，参照图1，借助由图1中的2点链线表示的主腔室26的中心线，可将主腔室26划分成第一沉积区域22和第二沉积区域24。在第一沉积区域22中，对第一基板16进行有机物粒子的沉积，在与第一沉积区域22相邻的第二沉积区域24中，对第二基板20进行有机物粒子的沉积。

第一基板16从一个中心点12沿着第一径向15向主腔室26的第一沉积区域22引入或从主腔室26的第一沉积区域22引出，第二基板20从上述中心点12沿着第二径向18向主腔室26的第二沉积区域24引入或从主腔室26的第二沉积区域24引出。即、第一基板16和第二基板20以一定的倾斜度向主腔室26引入或从主腔室26引出。

在群集型(cluster type)沉积系统中，基板可借助设在与主腔室26相连接的转移腔室内的机械手14来向主腔室26内引入或从主腔室26内引出，由于基板从机械手14的旋转中心沿着径向向主腔室26引入或从主腔室26引出，因此，基板以一定的倾斜度向主腔室26引入或从主腔室26引出。

因此，在第一基板16和第二基板20借助机械手14来向主腔室26引入或从主腔室26引出的情况下，相对于构成中心点12的机械手14的旋转中心，第一基板16可沿着第一径向15向主腔室26引入或从主腔室26引出，相对于构成中心点12的机械手14的旋转中心，第二基板20可沿着与第一径向15不同的第二径向18向主腔室26引入或从主腔室26引出。

但是，并不限定于第一基板16和第二基板20借助机械手14来向主腔室26引入或从主腔室26引出的方式，在第一基板16和第二基板20以彼此保持倾斜的方式向主腔室26引入或从主腔室26引出的情况下，可适用本实施例涉及的有机物沉积装置。例如，在第一基板16和第二基板20借助两个机械手14来向主腔室26引入或从主腔室26引出的情况下，机械手14的旋转中心不构成上述的中心点12，而是由第一基板16和第二基板20的倾斜方向构成的虚拟的两个斜线相交的点构成中心点12。

在第一基板装载部30及第二基板装载部32分别装载并安置有第一基板16和第二基板20。在本实施例中，第一基板装载部30及第二基板装载部32的下表面分别附着有第一基板16及第二基板20的上表面，以便从有机物沉积源27向上喷射有机物粒子来向基板沉积有机物。

当第一基板16和第二基板20分别装载并安置于第一基板装载部30及第二基板装载部32时，在各基板装载部(30、32)中，荫罩36配置于基板的表面，基板和荫罩36可以相互对齐。

扫描仪(scanner)33包括：线形的有机物沉积源27，用于喷射有机物粒子；源移动单元28，与有机物沉积源27相结合，并使有机物沉积源27沿着第一基板16或第二基板20的表面进行直线移动，以便有机物粒子向第一基板16或第二基板20的表面喷射；旋转单元29，用于旋转源移动单元28，以使线形的有机物沉积源27与第一基板16或第二基板20的一边保持平行。扫描仪33使有机物沉积源27沿着基板的表面进行直线往返移动，使得从有机物沉积源27喷出的有机物粒子沉积在基板的表面。

线形的有机物沉积源27向第一基板16或第二基板20的表面喷射有机物粒子。线形的有机物沉积源27从基板的一边向相向的另一边方向进行直线移动，以向基板沉积有机物，线形的有机物沉积源27对应于基板的宽度而呈线形。通过对盛放有有机物的有机物沉积源27的坩埚施热，使从坩埚中升华的有机物粒子向基板沉积，由此来实现对基板的有机物沉积。

源移动单元28使有机物沉积源27沿着第一基板16或第二基板20的表面进行直线移动，使得有机物粒子向第一基板16或第二基板20的表面喷射。如上所述，有机物沉积源27从基板的一边向相向的另一边方向进行直线移动，以向基板沉积有机物，因此，利用源移动单元28来使有机物沉积源27进行直线移动。

扫描仪移动单元34使扫描仪33进行往返移动，使得扫描仪33位于第一沉积区域22或第二沉积区域24。当完成对第一基板16的沉积时，需要对第二基板20进行沉积，扫描仪移动单元34使在第一沉积区域22完成沉积工艺的扫描仪33向第二沉积区域24移动。扫描仪移动单元34一边在第一沉积区域22和第二沉积区域24之间进行往返移动，一边使扫描仪33对位于各沉积区域的基板进行沉积工艺。在本实施例中，扫描仪移动单元34能够使扫描仪33在第一沉积区域22和第二沉积区域24之间进行直线往返移动。

图3为示出本发明的第一实施例涉及的有机物沉积装置的扫描仪33及扫描仪移动单元34的图，源移动单元28可包括：移动台46，以随着旋转单元29的旋转而平行于基板的方式配置；以及源引导部45，沿着长度方向配置于移动台46，以便与有机物沉积源27相结合而向移动台46的长度方向进行移动。并且，扫描仪移动单元34包括一对扫描仪引导部42，一对扫描仪引导部42横穿第一沉积区域22和第二沉积区域24并以相互并列的方式配置，且分别支撑移动台46的两端部。并且，旋转单元29包括：旋转引导部54，与一对扫描仪引导部42中的一个相结合，用于引导移动台46的旋转；以及转动部53，与一对扫描仪引导部42中的另一个相结合，且可旋转地与移动台46相结合。参照图3，一对扫描仪引导部42横穿第一沉积区域22和第二沉积区域24并以相互并列的方式配置于主腔室26的上下端，移动台46与扫描仪引导部42相结合，使得移动台46的两端部分别支撑于一对扫描仪引导部42。此时，为了旋转移动台46，在下端的扫描仪引导部42和移动台46之间设置旋转引导部54，在上端的扫描仪引导部42和移动台46之间结合有转动部53，上述转动部53可旋转地与移动台46相结合。

在本实施例中，作为源引导部45和扫描仪引导部42，使用通常的线性电机(LinearMotor)导轨。

参照图3，了解用于对第一基板16进行沉积的扫描仪33的移动及旋转过程，扫描仪33沿着配置于主腔室26的上下端的线性电机导轨40从左侧的第二沉积区域24向右侧的第一沉积区域22移动。当扫描仪33进入第一沉积区域22并到达一定位置时，在停止下端的线性电机导轨40的移动块4以停止移动台46的下端部的移动的状态下，当继续移动上端的线性电机导轨40的移动块41以继续移动移动台46的上端部时，由旋转引导部54引导移动台46的下端部进行旋转，并且可以使移动台46保持倾斜度而进行旋转。

第一基板16以保持倾斜的方式沿着第一径向15装载至主腔室26后安置于第一基板装载部30，在这种旋转单元29旋转源移动单元28使得第一基板16的一边与线形的有机物沉积源27的长度方向呈线形源移动单元的状态下，有机物沉积源27借助源移动单元28向第一基板16方向进行直线移动，从而向第一基板16的表面沉积有机物粒子。

转动部53可包括：一对线性电机导轨47，从上端的扫描仪引导部40的线性电机导轨40垂直延伸；支撑部51，用于连接一对线性电机导轨47的移动块52；以及套筒(boss)48，从支撑部51垂直延伸。在移动台46突出有旋转轴50并向上述套筒48插入。旋转轴50在套筒48的内部随着移动台46的上端部的移动而旋转，套筒48随着旋转而沿着转动部53的线性电机导轨47进行上下移动。移动台46的下端的停止位置和移动台46上端的移动位置可由基板的倾斜度决定。

屏蔽板38以与第一基板16或第二基板20相向的方式配置，沿着与借助扫描仪移动单元34来进行直线移动的有机物沉积源27相反的方向进行移动，来覆盖第一基板16或第二基板20。参照图2，在有机物沉积源27为了对第二基板20进行沉积而向第二沉积区域24移动的情况下，屏蔽板38沿着与上述方向相反的方向移动，以覆盖第一基板16。这是为了防止在对第二基板20进行沉积期间出现从有机物沉积源27蒸发的有机物粒子向第一基板16飞散而形成沉积的气相沉积现象。并且，在有机物沉积源27为了对第一基板16进行沉积而向第一沉积区域22移动的情况下，屏蔽板38沿着与上述方向相反的方向移动，以覆盖第二基板20。

隔壁39结合于主腔室26内，并位于第一基板装载部30和第二基板装载部32之间。在本实施例中，隔壁39采用了沿着图1中所示的以2点链线示出的主腔室26的中心线从主腔室26的上端向下端方向延伸的形态，但隔壁39的形状和形成位置不受此限定，只要能够将安置于一个基板装载部的基板与安置于另一个基板装载部的基板分离即可。即、当向安置于一个基板装载部的基板进行有机物沉积时，能够防止有机物粒子对安置于另一个基板装载部的基板进行气相沉积即可。例如，在第一基板装载部30和第二基板装载部32之间存在用于等待有机物沉积源27的区域的情况下，可以分别在第一基板装载部30和等待区域之间及第二基板装载部32和等待区域之间设置两个隔壁39。

在本实施例中，以从主腔室26内部的上端向下端延伸一定距离的方式形成有隔壁39，屏蔽板38相对于隔壁39的下端横向配置。借助这种隔壁39和屏蔽板38，可以防止有机物对邻接的基板进行气相沉积。

图4为本发明的第二实施例涉及的有机物沉积方法的顺序图，图5至图10为本发明的第二实施例的有机物沉积方法的流程图。

在图5至图10中，示出了第一径向15、第一基板(16、16’)、第二径向18、第二基板20、主腔室26、有机物沉积源27、源移动单元28、旋转单元29、第一基板装载部30、第二基板装载部32、扫描仪33、扫描仪移动单元34。

本实施例涉及的有机物沉积方法是利用上述的有机物沉积装置来沉积有机物的方法，上述方法包括如下步骤：将第一基板16沿着第一径向15装载并安置于第一基板装载部30；扫描仪移动单元34使扫描仪33向第一沉积区域22移动；扫描仪33的旋转单元29使源移动单元28进行旋转，使得线形的有机物沉积源27与第一基板16的一边保持平行；源移动单元28使有机物沉积源27进行直线移动，以向第一基板16沉积有机物粒子；进行向第一基板16沉积有机物粒子的步骤的同时，将第二基板20沿着第二径向18装载并安置于第二基板装载部32；当完成对第一基板16的沉积时，扫描仪移动单元34使扫描仪33向第二沉积区域24移动；扫描仪33的旋转单元29使源移动单元28进行旋转，使得线形的有机物沉积源27与第二基板20的一边保持平行；以及源移动单元28使有机物沉积源27进行直线移动，以向第二基板20沉积有机物粒子，在一个腔室的内部进行多个基板的沉积工艺，并对一个基板进行沉积工艺的过程中对其他基板进行移送工艺或对齐工艺，进而能够减少节拍时间(tacttime)，并能够减少在基板的移送工艺或对齐工艺中发生的有机物材料的损失。

本实施例涉及的有机物沉积方法是在划分为第一沉积区域22和第二沉积区域24的主腔室26的内部进行有机物的沉积的方法，第一基板16从一个中心点12沿着第一径向15向第一沉积区域22引入或从第一沉积区域22引出，第二基板20从上述中心点12沿着第二径向18向第二沉积区域24引入或从第二沉积区域24引出。在第一沉积区域22中对第一基板16进行有机物沉积，在第二沉积区域24中对第二基板20进行有机物沉积.

在本实施例涉及的有机物沉积方法中，首先，如图5所示，将第一基板16沿着第一径向15装载并安置于第一基板装载部30(步骤100)。

在群集型(cluster type)沉积系统中，基板借助设在与主腔室26相连接的转移腔室的内部的机械手14来向主腔室26的内部引入或从主腔室26的内部引出，由于基板相对于机械手14的旋转中心而沿着径向向主腔室26引入或从主腔室26引出，因此，基板能够以一定的倾斜度配置于主腔室26。

因此，在第一基板16借助机械手14安置于主腔室26的第一基板装载部30的情况下，相对于构成中心点12的机械手14的旋转中心，第一基板16沿着第一径向15安置于第一基板装载部30。

在本步骤中，当第一基板16安置于第一基板装载部30时，将荫罩配置于第一基板16的表面，并对齐第一基板16和荫罩。

之后，如图5所示，扫描仪移动单元34使扫描仪33向第一沉积区域22移动(步骤200)。为了向第一基板16进行沉积工艺，使扫描仪33向第一沉积区域22移动。本实施例涉及以一个有机物沉积源27向多个基板进行沉积的方法，扫描仪33借助扫描仪移动单元34在沉积区域之间进行往返直线移动。

之后，如图6所示，扫描仪33的旋转单元29使源移动单元28进行旋转，使得线形的有机物沉积源27与第一基板16的一边保持平行(步骤300)。由于第一基板16和第二基板20以相互倾斜的方式向主腔室26的内部引入后分别安置于第一基板装载部30及第二基板装载部32，因此，为了使有机物沉积源27以与基板的表面相向的状态进行直线移动而有效地向第一基板16或第二基板20沉积有机物，扫描仪33的旋转单元29使源移动单元28进行旋转，使得线形的有机物沉积源27的长度方向与基板的一边保持平行沉积源。

之后，如图7所示，上述源移动单元28使有机物沉积源27进行直线移动，以向第一基板16沉积有机物粒子(步骤400)。有机物沉积源27借助源移动单元28从第一基板16的一边向相向的另一边方向进行直线移动，以向第一基板16沉积有机物粒子。通过对盛放有有机物的有机物沉积源27的坩埚施热，使从坩埚中升华的有机物粒子向基板沉积，由此实现对第一基板16的有机物沉积。

在有机物沉积源27到达第一基板16的另一边之后，再次向相反的方向进行直线移动，以准备对第二基板20进行沉积工艺。

之后，如图7所示，进行向第一基板16沉积有机物粒子的步骤的同时，将第二基板20沿着第二径向18装载并安置于第二基板装载部32(步骤500)。通过在对第一基板16进行沉积工艺的过程中将第二基板20安置于第二基板装载部32，从而能够减少节拍时间，并且在对第一基板16进行沉积工艺的过程中装载第二基板20，由此能够减少有机物材料的损失。

在本步骤中，当第二基板20安置于第二基板装载部32时，将荫罩配置于第二基板20的表面，并对齐第二基板20和荫罩。

在本实施例中，“同时”不仅意味着时间上的同步，还表示第一基板16的沉积工艺与第二基板20的装载工艺叠加实施。

之后，如图8及图9所示，当完成对第一基板16的沉积时，扫描仪移动单元34使扫描仪33向第二沉积区域24移动(步骤600)。当完成对第一基板16的沉积时，使扫描仪33向第二沉积区域24移动，以进行对第二基板20的沉积工艺。在此过程中，能够使完成有机物沉积的第一基板16从主腔室26沿着第一径向15引出。

之后，如图10所示，扫描仪33的旋转单元29使源移动单元28进行旋转，使得线形的有机物沉积源27与第二基板20的一边保持平行(步骤700)。与使第一基板16旋转的上述步骤类似，由于第二基板20沿着第二径向18以倾斜的状态向主腔室26装载并安置于第二基板装载部32，因此，为了使有机物沉积源27以与基板的表面相向的状态进行直线移动而有效地向第二基板20沉积有机物，使源移动单元28进行旋转，使得有机物沉积源27的长度方向与第二基板20的一边保持平行沉积源。

之后，使有机物沉积源27进行直线移动，以向第二基板20沉积有机物粒子(步骤800)。由于有机物沉积源27从第二基板20的一边向相向的另一边方向进行直线移动，以向第二基板20沉积有机物，因此利用移动单元使有机物沉积源27进行直线移动。

向第二基板20沉积有机物粒子的同时，可以将新的第一基板16’沿着第一径向15装载并安置于第一基板装载部30。当新的第一基板16’安置于第一基板装载部30时，对齐上述基板与荫罩，等待下一个沉积工艺。

之后，当完成对第二基板20的沉积工艺时，将完成有机物沉积的第二基板20从主腔室26沿着第二径向18引出，并将新的第二基板向第二基板装载部32装载并安置。当新的第二基板安置于第二基板装载部32时，对齐上述基板与荫罩，等待下一个沉积工艺。

按照上述方法，在一个腔室的内部进行多个基板的沉积工艺，并对一个基板进行沉积工艺的过程中对其他基板进行移送工艺或对齐工艺，进而能够减少节拍时间(tacttime)，并能够减少在基板的移送工艺或对齐工艺中发生的有机物材料的损失。

图11为用于说明本发明的第三实施例涉及的有机物沉积装置的构成的横剖视图，图12为用于说明本发明的第三实施例涉及的有机物沉积装置的构成的纵剖视图，图13为用于说明本发明的第三实施例涉及的有机物沉积装置的有机物沉积源的移动单元的图。

在图11至图13中示出了中心点112、机械手114、第一径向线段115、第一基板(116、116’)、第二径向线段118、第二基板120、第一沉积区域122、第二沉积区域124、主腔室126、移动线段128、第一基板装载部130、第二基板装载部132、荫罩134、有机物沉积源(136、136’)、源腔室137、屏蔽板138、隔壁140、有机物导件142、移动单元144、水平引导部146、移动台148、垂直引导部150。

本实施例涉及的有机物沉积装置，包括：主腔室126，划分成第一沉积区域122和第二沉积区域124，第一基板116从一个中心点112沿着第一径向向第一沉积区域122引入或从第一沉积区域122引出，第二基板120从上述中心点112沿着第二径向向第二沉积区域124引入或从第二沉积区域124引出；第一基板装载部130及第二基板装载部120，用于分别装载上述第一基板116及上述第二基板120，并分别使上述第一基板116及上述第二基板120旋转，使得上述第一基板116及上述第二基板120的一边与虚拟的移动线段128保持平行，上述虚拟的移动线段128为连接由上述第一径向形成的虚拟的第一径向线段115及由上述第二径向形成的虚拟的第二径向线段118各自的任意两点(P1、P2)的线段；以及有机物沉积源(136、136’)，配置于上述主腔室126的内部，并沿着上述移动线段128移动，以位于上述第一沉积区域122或上述第二沉积区域124，且沿着垂直于上述移动线段128的方向进行移动，以向上述第一基板116或上述第二基板120的表面喷射有机物粒子，在一个腔室的内部进行多个基板的沉积工艺，并在对一个基板进行沉积工艺的过程中对其他基板进行移送工艺或对齐工艺，进而能够减少节拍时间(tact time)，并能够减少在基板的移送工艺或对齐工艺中发生的有机物材料的损失。

主腔室126划分成第一沉积区域122和第二沉积区域124，第一基板116从一个中心点112沿着第一径向向第一沉积区域122引入或从第一沉积区域122引出，第二基板120从中心点112沿着第二径向向第二沉积区域124引入或从第二沉积区域124引出。

主腔室126是在其内部对基板进行有机物沉积的场所，可借助真空泵使内部保持真空状态。在大气压状态下实现有机物沉积时，内部也可以保持为大气压状态。主腔室126可以划分成多个沉积区域(122、124)，以在一个主腔室126的内部对多个基板进行沉积。

沉积区域是指，随着有机物沉积源136的移动能够对一个基板进行有机物沉积的虚拟空间，参照图11，借助由图11中的2点链线表示的主腔室126的中心线，主腔室126可划分成第一沉积区域122和第二沉积区域124。在第一沉积区域122中，对第一基板116进行有机物粒子的沉积，在第二沉积区域124中，对第二基板120进行有机物粒子的沉积。

第一基板116从一个中心点112沿着第一径向向主腔室126的第一沉积区域122引入或从主腔室126的第一沉积区域122引出，第二基板120从上述中心点112沿着第二径向向主腔室126的第二沉积区域124引入或从主腔室126的第二沉积区域124引出。即、第一基板116和第二基板120以规定的倾斜度向主腔室126引入或从主腔室126引出。

在群集型(cluster type)沉积系统中，基板借助设在与主腔室126相连接的转移腔室内的机械手114来向主腔室126内引入或从主腔室126内引出，由于基板从机械手114的旋转中心沿着径向向主腔室126引入或从主腔室126引出，因此，基板能够以规定的倾斜度向主腔室126引入或从主腔室126引出。

因此，在第一基板116和第二基板120借助机械手114来向主腔室126引入或从主腔室126引出的情况下，相对于构成中心点112的机械手114的旋转中心，第一基板116可沿着第一径向向主腔室126引入或从主腔室126引出，相对于构成中心点112的机械手114的旋转中心，第二基板120可沿着与第一径向不同的第二径向向主腔室126引入或从主腔室126引出。

但是，并不限定于第一基板116和第二基板120借助机械手114来向主腔室126引入或从主腔室126引出的方式，在第一基板116和第二基板120以彼此倾斜的方式向主腔室126引入或从主腔室126引出的情况下，可适用本实施例涉及的有机物沉积装置。例如，在第一基板116和第二基板120借助两个机械手114来向主腔室126引入或从主腔室126引出的情况下，机械手114的旋转中心不构成上述的中心点112，而是由第一基板116和第二基板120的倾斜方向构成的虚拟的两个斜线相交的点构成中心点112。

在第一基板装载部130及第二基板装载部132分别装载并安置有第一基板116和第二基板120，并分别使第一基板116及第二基板120进行旋转，使得上述第一基板116及上述第二基板120的一边与虚拟的移动线段128保持平行，上述虚拟的移动线段128为连接由上述第一径向形成的虚拟的第一径向线段115及由上述第二径向形成的虚拟的第二径向线段118各自的任意两点(P1、P2)的线段。

后述的有机物沉积源136为了向第一沉积区域122或第二沉积区域124移动而沿着虚拟的移动线段128进行直线移动，这种移动线段128被定义为连接由作为第一基板116的移动方向的第一径向所形成的虚拟的第一径向线段115的任意点P1及由作为第二基板120的移动方向的第二径向所形成的虚拟的第二径向线段118的任意点P2的线段。

由于第一基板116和第二基板120以相互倾斜的方式向主腔室126的内部引入，因此，为了使有机物沉积源136在沿着垂直于上述的移动线段128的方向进行直线移动时有效地向第一基板116或第二基板120沉积有机物粒子，基板装载部(130、132)使基板旋转，使得基板的一边与有机物沉积源136的移动线段128保持平行。

有机物沉积源136配置于主腔室126的内部，并沿着移动线段128进行移动，以位于第一沉积区域122或第二沉积区域124，且相对于移动线段128而沿着垂直方向进行直线移动，以向第一基板116或第二基板120的表面喷射有机物粒子。

有机物沉积源136沿着移动线段128进行直线移动，以向第一沉积区域122或第二沉积区域124移动，并相对于移动线段128而沿着垂直方向进行直线移动，以向以与移动线段128的一边保持平行的方式配置的基板的表面沉积有机物。通过对盛放有有机物的有机物沉积源136的坩埚施热，使从坩埚中升华的有机物粒子向基板沉积，由此实现对基板的有机物沉积。

源腔室137与主腔室126的一侧相结合并与主腔室126相互开闭，有机物沉积源136向源腔室137引入或从源腔室137引出。如果在主腔室126内进行的沉积的过程中用尽有机物沉积源136，则沉积源向源腔室137移动有机物沉积源136之后重新填充或更换有机物，并再次向主腔室126的内部移动。

在现有的主腔室的内部进行沉积的过程中，如果用尽有机物沉积源的有机物，则对主腔室进行排气并重新填充有机物，或者更换有机物沉积源后再次将主腔室内部变成真空状态，以重启沉积工艺，而在本实施例中，由于在保持在主腔室126的内部进行沉积的条件的状态下，将有机物沉积源136向源腔室137移动，因此可省略对主腔室126进行的排气和再真空作业。

与源腔室137相连接的真空泵(未图示)去除源腔室137内的气体，使得源腔室137保持与主腔室126相同的真空度。为了重新填充有机物沉积源136的有机物和更换有机物沉积源136，首先将源腔室137的真空度设置成与主腔室126的真空度相同的状态，并开放门(未图示)，以保持源腔室137和主腔室126相互开放的状态下，使有机物沉积源136向源腔室137移动，并关闭门，在源腔室137和主腔室126相互关闭的状态下，向源腔室137内的有机物沉积源136重新填充有机物或者更换为新的有机物沉积源之后，再次投入到主腔室126。再投入过程中，首先使主腔室126和源腔室137保持相同的真空度，之后开放门，以将有机物沉积源136向主腔室126投入。

一方面，有机物沉积源(136、136’)也可以由两个构成一对，以在主腔室126和源腔室137的内部以相互交替的方式进行配置。即、如果在配置于主腔室126内的有机物沉积源136的有机物被用尽，则使有机物被用尽的有机物沉积源136向源腔室137的内部移动，而将配置于源腔室137内的另一个有机物沉积源136’移动至主腔室126。

对源腔室137内的有机物被用尽的有机物沉积源136重新填充有机物或更换为新的有机物沉积源，以在主腔室126内的有机物沉积源136’的有机物被用尽时能够立即更换。

屏蔽板138以与第一基板116或第二基板120相向的方式配置，并向与沿着移动线段128移动的有机物沉积源136相反的方向移动，以覆盖第一基板116或第二基板120。参照图12，在有机物沉积源136向第二沉积区域124移动以沉积第二基板120的情况下，屏蔽板138向与上述方向相反的方向移动，以覆盖第一基板116。这是为了防止在对第二基板120进行沉积期间出现从有机物沉积源136蒸发的有机物粒子向第一基板116飞散而形成沉积的气相沉积现象。并且，在有机物沉积源136向第一沉积区域122移动以沉积第一基板116的情况下，屏蔽板138向第二沉积区域124方向移动，以覆盖第二基板120。

隔壁140结合于主腔室126内，并划分成第一沉积区域122和第二沉积区域124。在本实施例中，隔壁140采用了沿着图1中所示的以2点链线示出的主腔室126的中心线从主腔室126的上端向下端方向延伸的形态，但隔壁140的形状和形成位置不受此限定，只要能够分隔一个沉积区域与另一个沉积区域即可。例如，在第一沉积区域122和第二沉积区域124之间存在用于等待有机物沉积源136的区域的情况下，在第一沉积区域122和等待区域之间及第二沉积区域124和等待区域之间可以存在两个隔壁。

在本实施例中，以从主腔室126内部的上端向下端延伸规定距离的方式形成有隔壁140，屏蔽板138相对于隔壁140的下端横向配置。借助这种隔壁140和屏蔽板138，可以防止有机物对邻接的基板进行气相沉积。

有机物导件142以向第一基板116或第二基板120方向滑动的方式与有机物沉积源136的外壁相结合，以将有机物粒子向相向的第一基板116或上述第二基板120引导。即、将从有机物沉积源136蒸发的有机物粒子向与其相向的基板引导，并防止对邻接基板进行气相沉积，进而能够获得均匀的沉积厚度。

有机物导件142以从有机物沉积源136的外壁向基板滑动的方式结合。以使有机物导件142的上端接近相向的基板的方式进行滑动，从而有效地将从有机物沉积源136蒸发的有机物粒子向相向的基板引导。

图13为表示本实施例涉及的有机物沉积装置的有机物沉积源136的移动单元144的图，在主腔室126的内壁沿着移动线段128的长度方向设置有水平引导部146，使移动台148沿着水平引导部146并沿着移动线段128移动，在移动台148沿着移动线段128的垂直方向设置有垂直引导部150，使得有机物沉积源136沿着垂直引导部150移动。水平引导部146和垂直引导部150可使用通常的线性电机(ML：Linear moter)导轨。

图14为本发明的第四实施例涉及的有机物沉积方法的顺序图，图15至图20为本发明的第四实施例涉及的有机物沉积方法的流程图。图15至图20中示出了第一径向线段115、第一基板116、116’、第二径向线段118、第二基板120、第一沉积区域122、第二沉积区域124、主腔室126、移动线段128、有机物沉积源136、136’、源腔室137。

本实施例的有机物沉积方法是在划分为第一沉积区域122和第二沉积区域124的主腔室126的内部沉积有机物的方法，第一基板116从一个中心点沿着第一径向向第一沉积区域122引入或从第一沉积区域122引出，第二基板120从上述中心点沿着第二径向向第二沉积区域124引入或从第二沉积区域124引出，上述方法包括如下步骤：引入第一基板116的步骤，使上述第一基板116沿着上述第一径向引入至上述主腔室126的上述第一沉积区域122；旋转第一基板116的步骤，通过旋转上述第一基板116，使得上述第一基板116的一边与虚拟的移动线段128保持平行，上述虚拟的移动线段128为连接上述第一径向的虚拟的第一径向线段115及上述第二径向的虚拟的第二径向线段118各自的任意两点的线段；沉积第一基板116的步骤，使有机物沉积源136沿着上述移动线段128移动，以位于上述第一沉积区域122，并向垂直于上述移动线段128的方向移动，以对上述第一基板116沉积有机物粒子；引入第二基板120的步骤，在进行沉积上述第一基板116的步骤的同时，使上述第二基板沿着上述第二径向引入至上述主腔室126的上述第二沉积区域124；旋转第二基板120的步骤，通过旋转上述第二基板120，使得上述第二基板120的一边与上述移动线段128保持平行；以及沉积第二基板120的步骤，使有机物沉积源136沿着上述移动线段128移动，以位于上述第二沉积区域124，并向垂直于上述移动线段128的方向移动，以对上述第二基板120沉积有机物粒子，在一个腔室的内部进行多个基板的沉积工艺，并对一个基板进行沉积工艺的过程中对其他基板进行移送工艺或对齐工艺，来减少节拍时间(tact time)，并减少在基板的移送工艺或对齐工艺中发生的有机物材料的损失。

本实施例涉及的有机物沉积方法是在划分为第一沉积区域122和第二沉积区域124的主腔室126的内部沉积有机物的方法，第一基板116从一个中心点沿着第一径向向第一沉积区域122引入或从第一沉积区域122引出，第二基板120从上述中心点沿着第二径向向第二沉积区域124引入或从第二沉积区域124引出。

主腔室126在其内部对基板实施有机物沉积。主腔室126可划分成多个沉积区域(122、124)，以在一个主腔室126的内部对多个基板进行沉积。在第一沉积区域122中对第一基板116进行有机物沉积，在第二沉积区域124中对第二基板120进行有机物沉积。

在本实施例涉及的有机物沉积方法中，作为引入第一基板的步骤，如图15所示，使第一基板116沿着第一径向引入至主腔室126的第一沉积区域122(步骤1100)。

在群集型(cluster type)沉积系统中，基板可借助设在与主腔室126相连接的转移腔室内的机械手来向主腔室126的内部引入或从主腔室126的内部引出，由于基板相对于机械手的旋转中心而沿着径向向主腔室126引出或从主腔室126引出，因此，基板能够以规定的倾斜度配置于主腔室126。

因此，在第一基板116借助机械手来向主腔室126的第一沉积区域122引入或从主腔室126的第一沉积区域122引出时，相对于构成中心点的机械手的旋转中心，第一基板116沿着第一径向向主腔室126引入或从主腔室126引出。

在本步骤中，当第一基板116向主腔室126的第一沉积区域122引入时，将荫罩配置于第一基板116的表面，并对齐第一基板116和荫罩。

并且，作为旋转第一基板的步骤，如图16所示，使第一基板116进行旋转，使得第一基板116的一边与虚拟的移动线段128保持平行，上述虚拟的移动线段128为连接由第一径向所形成的虚拟的第一径向线段115及由第二径向所形成虚拟的第二径向线段118各自的任意两点的线段(步骤1200)。

有机物沉积源136为了向第一沉积区域122或第二沉积区域124移动而沿着虚拟的移动线段128进行直线移动，这种移动线段128被定义为连接由作为第一基板116的移动方向的第一径向所形成的虚拟的第一径向线段115的任意点及由作为第二基板120的移动方向的第二径向所形成的虚拟的第二径向线段118的任意点的线段。由于第一基板116和第二基板120以相互倾斜的方式向主腔室126的内部引入，因此，为了使有机物沉积源136在沿着垂直于上述的移动线段128的方向进行直线移动而有效地向第一基板116或第二基板120沉积有机物，使基板进行旋转，使得基板的一边与有机物沉积源136的移动线段128保持平行。

并且，作为沉积第一基板的步骤，如图17及图18所示，使有机物沉积源136沿着移动线段128移动，以位于第一沉积区域122，并沿着垂直于移动线段128的方向移动，以对第一基板116沉积有机物粒子(步骤1300)。

为了向第一沉积区域122移动，有机物沉积源136沿着移动线段128进行直线移动，并相对于移动线段128而沿着垂直方向进行直线移动，以对与移动线段128的一边保持平行而配置的第一基板116的表面沉积有机物。通过对盛放有有机物的有机物沉积源136的坩埚施热，使从坩埚中升华的有机物粒子向基板沉积，由此实现对第一基板116的有机物沉积。

并且，作为引入第二基板的步骤，如图18所示，在进行沉积第一基板116的步骤的同时，使第二基板120沿着第二径向引入主至腔室126的第二沉积区域124(步骤1400)。在对第一基板116进行沉积的工艺过程中，使第二基板120向主腔室126的第二沉积区域124引入，不仅能够减少节拍时间，而且由于在向第一基板116进行沉积的工艺过程中引入第二基板120，进而能够减少有机物材料的损失。

在本步骤中，当第二基板120向主腔室126的第二沉积区域124引入时，将荫罩配置于第二基板120的表面，并对齐第二基板120和荫罩。

在本实施例中，“同时”不仅意味着时间上的同步，还表示沉积第一基板116的步骤与引入第二基板120的步骤叠加实施。

并且，作为旋转第二基板的步骤，如图19所示，使第二基板120旋转，使得第二基板120的一边与移动线段128保持平行(步骤1500)。与旋转第一基板的步骤类似，由于第二基板120以倾斜的状态沿着第二径向向主腔室126引入，因此，为了使有机物沉积源136在沿着垂直于上述的移动线段128的方向进行直线移动而有效地向第二基板120沉积有机物，使第二基板120进行旋转，使得第二基板120的一边与有机物沉积源136的移动线段128保持平行。

当完成沉积第一基板的步骤时，如图19所示，可以使完成有机物沉积的第一基板116从主腔室126沿着第一径向引出。

并且，作为沉积第二基板的步骤，如图19及图20所示，使有机物沉积源136沿着移动线段128移动，以位于第二沉积区域124，并向垂直于移动线段128的方向移动，以对第二基板120沉积有机物粒子(步骤1600)。

为了向第二沉积区域124移动，有机物沉积源136沿着移动线段128进行直线移动，并向与移动线段128垂直的方向进行直线移动，以在与移动线段128的一边保持平行而配置的第二基板120的表面沉积有机物。

进行沉积第二基板120的步骤的同时，将新的第一基板116’沿着第一径向向主腔室126的第一沉积区域122引入，并对齐第二基板120与荫罩，等待下一个沉积工艺。

之后，当完成沉积第二基板的步骤时，将完成有机物沉积的第二基板120从主腔室126向第二径向引出，并将新的第二基板向主腔室126的第二沉积区域124引入，对齐新的第二基板与荫罩，等待下一个沉积工艺。

按照上述方法，在一个腔室的内部进行多个基板的沉积工艺，并对一个基板进行沉积工艺的过程中对其他基板进行移送工艺或对齐工艺，进而能够减少节拍时间(tacttime)，并能够减少在基板的移送工艺或对齐工艺中发生的有机物材料的损失。

一方面，有机物沉积源(136、136’)也可以由两个构成一对，主腔室126的一侧与源腔室137相结合，上述源腔室137与上述主腔室126相互开闭，上述有机物沉积源(136、136’)向源腔室137引入或从源腔室137引出。在此情况下，一对有机物沉积源136、136’能够以相互交替的方式配置于主腔室126和源腔室137的内部。即、如果在配置于主腔室126内的有机物沉积源136的有机物被用尽，则使有机物被用尽的有机物沉积源136向源腔室137的内部移动，并使配置于源腔室137内的另一个有机物沉积源136’立即向主腔室126移动。对源腔室137内的有机物被用尽的有机物沉积源136重新填充有机物或更换为新的有机物沉积源，以便在主腔室126内的有机物沉积源136’的有机物被用尽时立即更换。

图21为用于说明本发明的第五实施例涉及的有机物沉积装置的构成的横剖视图，图22为用于说明本发明的第五实施例涉及的有机物沉积装置的构成的纵剖视图，图23为用于说明本发明的第五实施例涉及的有机物沉积装置的有机物沉积源的移动单元的图。在图21至图23中示出了中心点212、机械手214、第一径向215、第一基板216、第二径向218、第二基板220、主腔室226、第一基板装载部230、第二基板装载部232、荫罩234、有机物沉积源236、236’、源腔室237、屏蔽板238、隔壁240、有机物导件242、移动单元244、直线引导部246、移动台248及转动单元245。

本实施例涉及的有机物沉积装置，包括：主腔室226，第一基板216从一个中心点212沿着第一径向215向主腔室226引入或从主腔室226引出，第二基板220从上述中心点212沿着第二径向218向主腔室226引入或从主腔室226引出；第一基板装载部230，用于向上述第一径向215装载并安置上述第一基板216；第二基板装载部232，用于向上述第二径向218装载并安置上述第二基板220；线形的有机物沉积源236，用于向上述第一基板216或上述第二基板220的表面喷射有机物粒子；移动单元244，使上述有机物沉积源236进行直线移动，使得有机物粒子向上述第一基板216或上述第二基板220的表面喷射；以及转动单元245，使上述移动单元244进行旋转，使得上述线形的有机物沉积源236与上述第一基板216或上述第二基板220的一边保持平行，在一个腔室的内部进行多个基板的沉积工艺，并在对一个基板进行沉积工艺的过程中对其他基板进行移送工艺或对齐工艺，来减少节拍时间(tacttime)，并减少在基板的移送工艺或对齐工艺中发生的有机物材料的损失。

在主腔室226中，第一基板216从一个中心点212沿着第一径向215向主腔室226引入或从主腔室266引出，第二基板220从中心点212沿着第二径向向主腔室226引入或从主腔室266引出。

主腔室226是在其内部对基板进行有机物沉积的场所，可借助真空泵使内部保持真空状态。在大气压状态下实现有机物沉积时，内部也能够保持为大气压状态。在一个主腔室226的内部可以对多个基板进行沉积。

第一基板216从一个中心点212沿着第一径向215向主腔室226引入或从主腔室226引出，第二基板220从中心点212沿着第二径向218向主腔室226引入或从主腔室226引出。即、第一基板216和第二基板220以规定的倾斜度向主腔室226引入或从主腔室226引出。

在群集型(cluster type)沉积系统中，基板借助设在与主腔室226相连接的转移腔室内的机械手214来向主腔室226内引入或从主腔室226内引出，由于基板从机械手214的旋转中心沿着径向向主腔室226引入或从主腔室226引出，因此，基板以规定的倾斜度向主腔室226引入或从主腔室226引出。

因此，在第一基板216和第二基板220借助机械手214来向主腔室226引入或从主腔室226引出的情况下，相对于构成中心点212的机械手214的旋转中心，第一基板216可沿着第一径向向主腔室226引入或从主腔室226引出，相对于构成中心点212的机械手214的旋转中心，第二基板220可沿着与第一径向215不同的第二径向218向主腔室226引入或从主腔室226引出。

但是，并不限定于第一基板216和第二基板220借助机械手214来向主腔室226引入或从主腔室226引出的方式，在第一基板216和第二基板220以彼此倾斜的方式向主腔室226引入或从主腔室226引出的情况下，可适用本实施例涉及的有机物沉积装置。例如，在第一基板216和第二基板220借助两个机械手214来向主腔室226引入或从主腔室226引出的情况下，机械手214的旋转中心不构成上述的中心点212，而是由第一基板216和第二基板220的倾斜方向构成的虚拟的两个斜线相交的点构成中心点212。

在第一基板装载部230及第二基板装载部232分别装载并安置有第一基板216和第二基板220。在本实施例中，第一基板装载部230及第二基板装载部232的下表面分别附着有第一基板216及第二基板220的上表面，以便从有机物沉积源236向上喷射有机物粒子来向基板沉积有机物。

当第一基板216和第二基板220分别装载并安置于第一基板装载部230及第二基板装载部232时，在各基板装载部(230、232)中，荫罩234配置于基板的表面，基板和荫罩234可以相互对齐。

线形的有机物沉积源236向第一基板216或第二基板220的表面喷射有机物粒子。线形的有机物沉积源236从基板的一边向相向的另一边方向进行直线移动，以向基板沉积有机物，线形的有机物沉积源236对应于基板的宽度而呈线形。通过对盛放有有机物的有机物沉积源236的坩埚施热，使从坩埚中升华的有机物粒子向基板沉积，由此来实现对基板的有机物沉积。

移动单元244使有机物沉积源236进行直线移动，以便向第一基板216或第二基板20的表面喷射有机物粒子。如上所述，有机物沉积源236从基板的一边向相向的另一边方向进行直线移动，以向基板沉积有机物，因此，利用移动单元244来使有机物沉积源236进行直线移动。

图23为表示本实施例涉及的有机物沉积装置的有机物沉积源236的移动单元244，移动单元244包括：移动台248，其中心与转动单元245的旋转轴相结合；以及直线引导部246，其与移动台248的上表面相结合，用于引导有机物沉积源236的直线移动。有机物沉积源236沿着直线引导部246在移动台248上进行直线移动，转动单元245使移动台248旋转，以使移动单元244旋转，使得线形的有机物沉积源236与第一基板216或第二基板220的一边保持平行。作为直线引导部246，可使用通常的线性电机导轨。

转动单元245使移动单元244进行旋转，使得线形的有机物沉积源236与第一基板216或第二基板220的一边保持平行。由于第一基板216和第二基板220以相互倾斜的方式向主腔室226的内部引入，因此，为了使有机物沉积源236以与基板的表面相向的状态进行直线移动而有效地向第一基板216或第二基板220沉积有机物，转动单元245使移动单元244进行旋转，使得借助移动单元244来进行直线移动的线形的有机物沉积源236的长度方向与基板的一边保持平行沉积源。

例如，如图21所示，第一基板216沿着第一径向215以倾斜的方式向主腔室226装载并安置于第一基板装载部230，在转动单元245使移动单元244进行旋转以使这种第一基板216的一边与线形的有机物沉积源236的长度方向呈线形的状态下，借助移动单元244使有机物沉积源236向第一基板216的方向进行直线移动，以向第一基板216的表面沉积有机物粒子。

转动单元245可以由与移动单元244相结合的旋转轴以及使旋转轴进行旋转的旋转驱动部构成。

源腔室237与主腔室226的一侧相结合并与主腔室226相互开闭，有机物沉积源236向源腔室237引入或从源腔室237引出。如果在主腔室226内进行沉积的过程中用尽有机物沉积源236的有机物，沉积源则向源腔室237移动有机物沉积源236之后，重新填充有机物或更换有机物，并再次向主腔室226的内部移动。

在现有的主腔室226的内部进行沉积的过程中，如果用尽有机物沉积源236的有机物，则对主腔室226进行排气后重新填充有机物，或者更换有机物沉积源236后再次将主腔室226内部变成真空状态，以重启沉积工艺，而在本实施例中，由于在保持在主腔室226的内部进行沉积的条件的状态下，一将有机物沉积源236向源腔室237移动，因此可省略对主腔室226进行的排气和再真空作业。

与源腔室237相连接的真空泵(未图示)去除源腔室237内的气体，使得源腔室237保持与主腔室226相同的真空度。为了重新填充有机物沉积源236的有机物和更换有机物沉积源236，首先将源腔室237的真空度设置成与主腔室226的真空度相同的状态，并开放门(未图示)，以在保持源腔室237和主腔室226相互开放的状态下，使有机物沉积源236向源腔室237移动，并关闭门，在源腔室237和主腔室226相互关闭的状态下，向源腔室237内的有机物沉积源236重新填充有机物或者更换为新的有机物沉积源之后，再次投入主腔室226。在再投入过程中，首先使主腔室226和源腔室237保持相同的真空度，之后开放门，以将有机物沉积源236向主腔室226投入。

一方面，有机物沉积源(236、236’)也可以由两个构成一对，以在主腔室226和源腔室237的内部以相互交替的方式进行配置。即、如果在配置于主腔室226内的有机物沉积源236的有机物被用尽，则使有机物被用尽的有机物沉积源236向源腔室237的内部移动，而将配置于源腔室237内的另一个有机物沉积源236’移动至主腔室226。对于源腔室237内的有机物被用尽的有机物沉积源236重新填充有机物或更换为新的有机物沉积源，以在主腔室226内的有机物沉积源236’的有机物被用尽时能够立即更换。

屏蔽板238以与第一基板216或第二基板220相向的方式配置，并向与借助移动单元244来进行直线移动的有机物沉积源236相反的方向移动，以覆盖第一基板216或第二基板220。参照图22，在有机物沉积源236沿着第二基板220的表面移动以沉积第二基板220的情况下，屏蔽板238沿着与上述方向相反的方向移动，以覆盖第一基板216。这是为了防止在对第二基板220进行沉积期间出现从有机物沉积源236蒸发的有机物粒子向第一基板216飞散而形成沉积的气相沉积现象。并且，在有机物沉积源236沿着第一基板216的表面移动以沉积第一基板216的情况下，屏蔽板238向与上述方向相反的方向移动，以覆盖第二基板220。

隔壁240结合于主腔室226内，并位于第一基板装载部230和第二基板装载部232之间。在本实施例中，隔壁240采用了沿着图21中所示的以2点链线示出的主腔室226的中心线从主腔室226的上端向下端方向延伸的形态，但隔壁240的形状和形成位置不受此限定，只要能够将安置于一个基板装载部的基板与安置于另一个基板装载部的基板分离即可。即、当向安置于一个基板装载部的基板进行有机物沉积时，能够防止有机物粒子对安置于另一个基板装载部的基板进行沉积即可。例如，在第一基板装载部230和第二基板装载部232之间存在用于等待有机物沉积源236的区域的情况下，可以分别在第一基板装载部230和等待区域之间及第二基板装载部232和等待区域之间分别设置两个隔壁240。

在本实施例中，以从主腔室226内的上端向下端延伸规定距离的方式形成有隔壁240，屏蔽板238相对于隔壁240的下端横向配置。借助这种隔壁240和屏蔽板238，可以防止有机物对邻接的基板进行气相沉积。

有机物导件242以向第一基板116或第二基板120方向滑动的方式与有机物沉积源236的外壁相结合，以将有机物粒子向相向的第一基板216或上述第二基板220引导。即、将从有机物沉积源236蒸发的有机物粒子向与其相向的基板引导，防止对邻接的基板进行气相沉积，进而能够获得均匀的沉积厚度。

有机物导件242以从有机物沉积源236的外壁向基板滑动的方式设置结合。以有机物导件242的上端接近相向的基板的方式进行滑动，从而有效地将从有机物沉积源236蒸发的有机物粒子向相向的基板引导。

图24为本发明的第六实施例涉及的有机物沉积方法的顺序图，图25至图30为本发明的第六实施例涉及的有机物沉积方法的流程图。

在图25至图30中示出了第一径向215、第一基板(216、216’)、第二径向218、第二基板220、主腔室226、有机物沉积源(236、236’)、源腔室237。

本实施例的有机物沉积方法是利用上述的有机物沉积装置来沉积有机物的方法，上述方法包括如下步骤：将上述第一基板216向上述第一径向215装载并安置于上述第一基板装载部230；使上述移动单元进行旋转，使得上述线形的有机物沉积源236与上述第一基板216的一边保持平行；使上述有机物沉积源236进行直线移动，以向上述第一基板216沉积有机物粒子；进行向上述第一基板216沉积有机物粒子的步骤的同时，将上述第二基板220向上述第二径向218装载并安置于上述第二基板装载部232；使上述移动单元进行旋转，使得上述线形的有机物沉积源236与上述第二基板220的一边保持平行；以及通过使上述有机物沉积源236进行直线移动，以向上述第二基板220沉积有机物粒子，在一个腔室的内部进行多个基板的沉积工艺，并对一个基板进行沉积工艺的过程中对其他基板进行移送工艺或对齐工艺，进而能够减少节拍时间(tact time)，并能够减少在基板的移送工艺或对齐工艺中发生的有机物材料的损失。

在本实施例涉及的有机物沉积方法中，首先，如图25所示，将第一基板216向第一径向215装载并安置于第一基板装载部230(步骤2100)。

在群集型(cluster type)沉积系统中，基板借助设在与主腔室226相连接的转移腔室的内部的机械手来向主腔室226的内部引入或从主腔室226的内部引出，由于基板相对于机械手的旋转中心而沿着径向向主腔室226引入或从主腔室226引出，因此，基板可以以规定的倾斜度向主腔室226引入或从主腔室226引出。

因此，在第一基板216借助机械手安置于主腔室226的第一基板装载部230的情况下，相对于构成中心点的机械手的旋转中心，第一基板216沿着第一径向215安置于第一基板装载部230。

在本步骤中，当第一基板216安置于第一基板装载部230时，将荫罩配置于第一基板216的表面，并对齐第一基板216和荫罩。

之后，如图26所示，使移动单元进行旋转，使得线形的有机物沉积源236与第一基板216的一边保持平行(步骤2200)。

由于第一基板216和第二基板220以相互倾斜的方式向主腔室226的内部引入后分别安置于第一基板装载部230及第二基板装载部232，因此，为了使机物沉积源236以与基板的表面相向的状态进行直线移动而有效地向第一基板216或第二基板220沉积有机物，使移动单元进行旋转，使得借助移动单元进行直线移动的线形的有机物沉积源236的长度方向与基板的一边保持平行沉积源。

之后，如图27所示，使有机物沉积源236进行直线移动，以向第一基板216沉积有机物粒子(步骤2300)。

由于有机物沉积源236从第一基板216的一边向相向的另一边方向进行直线移动，以向第一基板216沉积有机物粒子，因此，利用移动单元来使有机物沉积源236进行直线移动。通过对盛放有有机物的有机物沉积源236的坩埚施热，使从坩埚中升华的有机物粒子向基板沉积，由此实现对第一基板216的有机物沉积。

在有机物沉积源236到达第一基板216的另一边之后，再次向相反的方向进行直线移动，以准备对第二基板220进行沉积工艺。

之后，如图27及图28所示，进行向第一基板216沉积有机物粒子的步骤的同时，将第二基板220向第二径向218装载并安置于第二基板装载部232(步骤2400)。通过在对第一基板216进行沉积工艺的过程中将第二基板220安置于第二基板装载部232，从而能够减少节拍时间，并且在对第一基板216进行沉积工艺的过程中装载第二基板220，由此能够减少有机物材料的损失。

在本步骤中，当第二基板220安置于第二基板装载部232时，将荫罩配置于第二基板220的表面，并对齐第二基板220和荫罩。

在本实施例中，“同时”不仅意味着时间上的同步，还表示第一基板216的沉积工艺与第二基板220的装载工艺叠加实施。

之后，如图29所示，使移动单元进行旋转，使得线形的有机物沉积源236与第二基板220的一边保持平行(步骤2500)。

与使上述第一基板216旋转的步骤类似，由于第二基板220沿着第二径向218以倾斜的状态向主腔室226装载并安置于第二基板装载部232，因此，为了使机物沉积源236以与基板的表面相向的状态进行直线移动而有效地向第二基板220沉积有机物，使移动单元进行旋转，使得有机物沉积源236的长度方向与第二基板220的一边保持平行沉积源。

当完成对第一基板216的有机物沉积时，如图29所示，可以沿着第一径向215将完成有机物沉积的第一基板216从主腔室226引出。

之后，如图30所示，使有机物沉积源236进行直线移动，以向第二基板220沉积有机物粒子(步骤2600)。由于有机物沉积源236从第二基板220的一边向相向的另一边方向进行直线移动，以向第二基板220沉积有机物，因此，利用移动单元使有机物沉积源236进行直线移动。

向第二基板220沉积有机物粒子的同时，将新的第一基板216’沿着第一径向215装载并安置于第一基板装载部230。当新的第一基板216’安置于第一基板装载部230时，对齐上述基板与荫罩，等待下一个沉积工艺。

之后，当完成对第二基板220的沉积工艺时，将完成有机物沉积的第二基板220从主腔室226沿着第二径向218引出，并将新的第二基板向第二基板装载部232装载并安置。当新的第二基板安置于第二基板装载部232时，对齐上述基板与荫罩，等待下一个沉积工艺。

按照上述方法，在一个腔室的内部进行多个基板的沉积工艺，并对一个基板进行沉积工艺的过程中对其他基板进行移送工艺或对齐工艺，进而能够减少节拍时间(tacttime)，并能够减少在基板的移送工艺或对齐工艺中发生的有机物材料的损失。

一方面，有机物沉积源(236、236’)也可以由两个构成一对，主腔室226的一侧可以与源腔室237相结合，上述源腔室237与上述主腔室226相互开闭，上述有机物沉积源(236、236’)向源腔室237引入或从源腔室237引出。在此情况下，一对有机物沉积源(236、236’)能够以相互交替的方式配置于主腔室226和源腔室237的内部。即、如果在配置于主腔室226的内部的有机物沉积源236的有机物被用尽，则使有机物被用尽的有机物沉积源236向源腔室237的内部移动，并使配置于源腔室237内的另一个有机物沉积源236’立即向主腔室226移动。对源腔室237内的有机物用被尽的有机物沉积源236重新填充有机物或更换为新的有机物沉积源，以便在主腔室226内的有机物沉积源236’的有机物被用尽时立即更换。

以上参照本发明的特定的实施例进行了说明，本发明所属领域的普通技术人员能够在不脱离本发明所要保护的范围所记载的本发明的思想及领域的范围内对本发明进行各种修改及变更。

除了前述的实施例之外，还有很多实施例存在于本发明的保护范围内。

Claims (11)

1.一种有机物沉积装置，其特征在于，包括：

主腔室，划分成第一沉积区域和第二沉积区域，第一基板从一个中心点沿着第一径向向上述第一沉积区域引入或从上述第一沉积区域引出，第二基板从上述中心点沿着第二径向向上述第二沉积区域引入或从上述第二沉积区域引出；

第一基板装载部及第二基板装载部，用于分别装载并安置上述第一基板及上述第二基板，并分别使上述第一基板及上述第二基板旋转，使得上述第一基板及上述第二基板的一边与虚拟的移动线段保持平行，上述移动线段为连接由上述第一径向形成的虚拟的第一径向线段及由上述第二径向形成的虚拟的第二径向线段各自的任意两点的线段；以及

有机物沉积源，配置于上述主腔室的内部，并沿着上述移动线段移动，以位于上述第一沉积区域或上述第二沉积区域，然后沿着垂直于上述移动线段的方向再次移动，使得有机物粒子喷射到一边与上述移动线段保持平行的上述第一基板或上述第二基板的表面，以向上述第一基板或上述第二基板的表面喷射有机物粒子，

在上述主腔室的内壁沿着上述移动线段的长度方向设置有水平引导部，使移动台沿着上述水平引导部移动，在上述移动台沿着上述移动线段的垂直方向设置有垂直引导部，使得上述有机物沉积源沿着上述垂直引导部移动。

2.根据权利要求1所述的有机物沉积装置，其特征在于，还包括：

源腔室，与上述主腔室的一侧相结合并与上述主腔室相互开闭，上述有机物沉积源向上述源腔室引入或从上述源腔室引出。

3.根据权利要求2所述的有机物沉积装置，其特征在于，还包括：

真空泵，与上述源腔室相连接，用于去除上述源腔室内的气体，以使上述源腔室具有与上述主腔室相同的真空度。

4.根据权利要求2所述的有机物沉积装置，其特征在于，

上述有机物沉积源由两个构成一对，上述一对有机物沉积源以相互交替的方式配置于上述主腔室和上述源腔室的内部。

5.根据权利要求1所述的有机物沉积装置，其特征在于，还包括：

屏蔽板，以与上述第一基板或上述第二基板相向的方式配置，并向与沿着上述移动线段移动的上述有机物沉积源相反的方向移动，以覆盖上述第一基板或上述第二基板。

6.根据权利要求5所述的有机物沉积装置，其特征在于，还包括：

隔壁，结合于上述主腔室内，用于划分上述第一沉积区域和上述第二沉积区域。

7.根据权利要求1所述的有机物沉积装置，其特征在于，

上述有机物沉积源包括有机物导件，上述有机物导件以向上述第一基板或上述第二基板方向滑动的方式与上述有机物沉积源的外壁相结合，以将上述有机物粒子向相向的上述第一基板或上述第二基板引导。

8.一种有机物沉积方法，在划分为第一沉积区域和第二沉积区域的主腔室的内部沉积有机物，第一基板从一个中心点沿着第一径向向上述第一沉积区域引入或从上述第一沉积区域引出，第二基板从上述中心点沿着第二径向向上述第二沉积区域引入或从上述第二沉积区域引出，其特征在于，包括如下步骤：

引入第一基板的步骤，使上述第一基板沿着上述第一径向引入至上述主腔室的上述第一沉积区域；

旋转第一基板的步骤，旋转上述第一基板，使得上述第一基板的一边与虚拟的移动线段保持平行，上述移动线段为连接由上述第一径向形成的虚拟的第一径向线段及由上述第二径向形成的虚拟的第二径向线段各自的任意两点的线段；

沉积第一基板的步骤，使有机物沉积源沿着上述移动线段移动，以位于上述第一沉积区域，然后向垂直于上述移动线段的方向再次移动，使得有机物粒子喷射到一边与上述移动线段保持平行的上述第一基板的表面，以对上述第一基板沉积有机物粒子；

引入第二基板的步骤，在进行沉积上述第一基板的步骤的同时，使上述第二基板沿着上述第二径向引入至上述主腔室的上述第二沉积区域；

旋转第二基板的步骤，旋转上述第二基板，使得上述第二基板的一边与上述移动线段保持平行；以及

沉积第二基板的步骤，使上述有机物沉积源沿着上述移动线段移动，以位于上述第二沉积区域，然后向垂直于上述移动线段的方向再次移动，使得有机物粒子喷射到一边与上述移动线段保持平行的上述第二基板的表面，以对上述第二基板沉积有机物粒子，

在上述主腔室的内壁沿着上述移动线段的长度方向设置有水平引导部，使移动台沿着上述水平引导部移动，在上述移动台沿着上述移动线段的垂直方向设置有垂直引导部，使得上述有机物沉积源沿着上述垂直引导部移动。

9.根据权利要求8所述的有机物沉积方法，其特征在于，

在进行上述沉积第一基板的步骤以后，还包括更换第一基板的步骤，将完成上述沉积第一基板步骤的上述第一基板从上述主腔室引出，并将新的第一基板向上述主腔室的上述第一沉积区域引入。

10.根据权利要求8所述的有机物沉积方法，其特征在于，

在进行上述沉积第二基板的步骤以后，还包括替换第二基板的步骤，将完成上述沉积第二基板步骤的上述第二基板从上述主腔室引出，并将新的第二基板向上述主腔室的上述第二沉积区域引入。

11.根据权利要求8所述的有机物沉积方法，其特征在于，还包括如下步骤：

上述有机物沉积源由两个构成一对，上述主腔室的一侧与源腔室相结合，上述源腔室与上述主腔室相互开闭，上述有机物沉积源向上述源腔室引入或从上述源腔室引出，上述一对有机物沉积源以相互交替的方式配置于上述主腔室和上述源腔室的内部。