CN106324871A - 保持单元和贴合方法 - Google Patents

Abstract

本发明的课题在于更可靠地保持面板并防止气泡的混入，是一种保持单元，对相互贴合的面板中的一方的面板进行保持，包含具备多个供气排气路径的支承部件和被所述支承部件支承并与面板接触的接触部，所述接触部包含多个开口部和能够在与面板的中央部对应的位置向面板侧膨出的中间区域，所述多个供气排气路径包含与所述多个开口部连通的第一供气排气路径和面向所述中间区域开口的第二供气排气路径，所述中间区域能够利用所述第二供气排气路径内与所述接触部的周围气氛的差压从所述支承部件膨出。

Description

保持单元和贴合方法

技术领域

本发明涉及面板的贴合技术。

背景技术

在将液晶面板和玻璃罩这样的面板彼此贴合来制造层叠体的装置中，如果在贴合面中混入气泡，则存在对层叠体的质量造成影响的情况。为了减少气泡的混入，在专利文献1和专利文献2中，公开了将一方的面板弯曲地与另一方的面板接触的装置。在这些装置中，能够将面板间的气泡向周围挤出，对于防止气泡的混入具有一定的效果。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-124444号公报

专利文献2：日本特开2009-180911号公报

发明内容

发明要解决的课题

在将面板弯曲的情况下，由于在面板的保持部分周围发生弯曲，因此存在面板从保持机构脱落的可能性。

本发明的目的在于更可靠地保持面板并防止气泡的混入。

用于解决课题的手段

根据本发明，提供一种保持单元，对相互贴合的面板中的一方的面板进行保持，所述保持单元的特征在于，包含：支承部件，所述支承部件具备多个供气排气路径；以及接触部，所述接触部被所述支承部件支承，并与面板接触，所述接触部包含多个开口部、以及能够在与面板的中央部对应的位置向面板侧膨出的中间区域，所述多个供气排气路径包含与所述多个开口部连通的第一供气排气路径、以及面向所述中间区域开口的第二供气排气路径，所述中间区域能够利用所述第二供气排气路径内与所述接触部的周围气氛的差压从所述支承部件膨出。

另外，根据本发明，提供一种保持单元，对相互贴合的面板中的一方的面板进行保持，所述保持单元的特征在于，包含：支承部件，所述支承部件具备多个供气排气路径；片材部件，所述片材部件被所述支承部件支承，并与面板接触；以及可动部件，所述可动部件配置于所述支承部件与所述片材部件之间，所述片材部件多个开口部、以及能够在与面板的中央部对应的位置向面板侧膨出的中间区域，所述可动部件配置于所述中间区域，所述多个供气排气路径包含与所述多个开口部连通的第一供气排气路径、以及面向所述可动部件开口的第二供气排气路径，所述可动部件能够利用所述第二供气排气路径内与所述片材部件的周围气氛的差压向所述片材部件侧位移，通过所述可动部件向所述片材部件侧的位移，所述片材部件的所述中间区域膨出。

另外，根据本发明，提供一种贴合方法，用保持单元保持第一面板并与第二面板贴合，所述贴合方法的特征在于，所述保持单元包含具备多个供气排气路径的支承部件、以及被所述支承部件支承并与面板接触的接触部，所述接触部包含多个开口部、以及能够在与面板的中央部对应的位置向面板侧膨出的中间区域，所述多个供气排气路径包含与所述多个开口部连通的第一供气排气路径、以及面向所述中间区域开口的第二供气排气路径，所述贴合方法包含如下工序：使所述第一面板的与贴合面相反的一侧的面与所述接触部抵接的工序；利用所述第一供气排气路径的排气将所述第一面板吸附于所述接触部的工序；利用所述第二供气排气路径内与所述接触部的周围气氛的差压使所述中间区域从所述支承部件向所述第二面板以凸状膨出的膨出工序；利用以凸状膨出的所述中间区域使所述第一面板的中央部以凸状弯曲的工序；使以凸状弯曲的所述第一面板的中央部与所述第二面板抵接的工序；使所述第一面板和所述第二面板中的至少任一方沿相互接近的方向移动，使所述第一面板与所述第二面板抵接的区域向这些面板的各周缘部扩展的工序；以及解除所述第一面板的吸附的解除工序。

另外，根据本发明，提供一种贴合方法，用保持单元保持第一面板并与第二面板贴合，所述贴合方法的特征在于，所述保持单元包含具备多个供气排气路径的支承部件、被所述支承部件支承并与面板接触的片材部件、以及配置于所述支承部件和所述片材部件之间的可动部件，所述片材部件包含多个开口部、以及能够在与面板的中央部对应的位置向面板侧膨出的中间区域，所述多个供气排气路径包含与所述多个开口部连通的第一供气排气路径、以及面向所述可动部件开口的第二供气排气路径，所述贴合方法包含如下工序：使所述第一面板的与贴合面相反的一侧的面与所述片材部件抵接的工序；利用所述第一供气排气路径的排气将所述第一面板吸附于所述片材部件的工序；利用所述第二供气排气路径内与所述接触部的周围气氛的差压使所述可动部件位移，来使所述中间区域从所述支承部件向所述第二面板以凸状膨出的膨出工序；利用以凸状膨出的所述中间区域使所述第一面板的中央部以凸状弯曲的工序；使以凸状弯曲的所述第一面板的中央部与所述第二面板抵接的工序；使所述第一面板和所述第二面板中的至少任一方沿相互接近的方向移动，使所述第一面板与所述第二面板抵接的区域向这些面板的各周缘部扩展的工序；以及解除所述第一面板的吸附的解除工序。

发明的效果

根据本发明，能够更可靠地保持面板并防止气泡的混入。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式的贴合装置的说明图。

图2(A)和图2(B)是保持单元的说明图。

图3(A)是接触部的接触面的说明图，图3(B)是支承部件的支承面的说明图，图3(C)是片材部件的说明图。

图4(A)、图4(B)和图4(C)是片材的说明图。

图5是控制单元的框图。

图6是图1的贴合装置的动作说明图。

图7是图1的贴合装置的动作说明图。

图8是图1的贴合装置的动作说明图。

图9是图1的贴合装置的动作说明图。

图10是图1的贴合装置的动作说明图。

图11是图1的贴合装置的动作说明图。

图12(A)和图12(B)是保持单元的另外例的说明图。

图13(A)是接触部的接触面的说明图，图13(B)是支承部件的支承面的说明图，图13(C)和图13(D)是可动部件的立体图。

图14(A)和图(B)是片材的说明图。

具体实施方式

<第一实施方式>

<装置的概要>

图1是本发明的一个实施方式的贴合装置A的说明图。贴合装置A是将两块面板贴合来制造层叠体的装置。在本实施方式的情况下，制造将方形的面板与方形的面板贴合的层叠体。一方的面板例如是图像显示面板，另一方的面板例如是覆盖面板，该层叠体构成图像显示装置。作为图像显示面板，例如是液晶显示面板(例如LCD)，在其显示面侧(在贴合过程中成为上表面)贴附覆盖面板(例如玻璃罩)。覆盖面板是具有透光性的面板，例如是玻璃板或树脂板。

在被贴合的两块面板中的至少一方上预先形成粘接层，利用该粘接层能够将两块面板贴合。粘接层能够由涂布着粘接剂等的覆盖层、粘接片、粘接膜等形成。

贴合装置A包含保持单元1、升降台2、腔室单元3、基台4、腔室单元5、移载单元6、多个升降机构7和供气排气单元8A～8C。

<保持单元>

参照图1、图2(A)、图2(B)、图3(A)～图3(C)和图4(A)～图4(C)说明保持单元1。图2(A)和图2(B)是保持单元1的说明图，表示其中央处的剖视图。图2(A)表示接触部12的中间区域RM没有膨出的状态，图2(B)表示中间区域RM膨出的状态。图3(A)是接触部12的接触面CS的说明图，是保持单元1的仰视图。图3(B)是支承部件11的支承面111的说明图，图3(C)是片材部件13的说明图。图4(A)是构成片材部件14的片材141的说明图，表示其下表面(与片材142贴合的面)。图4(B)是构成片材部件14的片材142的说明图，表示其下表面(接触面CS)。图4(C)是构成片材部件14的片材141的另外例的说明图，表示其上表面(片材部件13侧的面)。

保持单元1对相互贴合的面板中的一方的面板进行保持。保持单元1具备支承部件11和接触部12。支承部件11构成保持单元1的主体。接触部12是与被保持的面板接触的部分，被支承部件11支承。

支承部件11形成有多个供气排气路径PS1～PS3。多个供气排气路径PS1～PS3都在支承面111开口。支承面111具备位于其长边方向两端部的水平的一对支承面111a和位于一对支承面111a之间的支承面111b。一对支承面111a和支承面111b高度不同地形成于沿高度方向错开的位置，支承面111b位于比一对支承面111a向上方凹进的位置。即，支承面111形成有凹部(支承面111b)，在该凹部固定后述的片材部件13。

在本实施方式的情况下，支承面111是支承部件11的下表面。支承面111的轮廓形状(平面视图形状)能够形成为例如与被保持的面板相同或相似的形状。在本实施方式的情况下，支承面111是方形。

供气排气路径PS1在支承面111的一边侧(这里是一方(图2(A)和图2(B)中的左侧)的支承面111a)开口。在本实施方式中，使供气排气路径PS1的开口位置是一个位置，但也可以将供气排气路径PS1分支成多个位置。在开口位置是多个的情况下，也可以沿支承面111的一边开口。

供气排气路径PS2在支承面111的另一边侧(这里是另一方(图2(A)和图2(B)中的右侧)的支承面111a)开口。在本实施方式中，使供气排气路径PS2的开口位置是一个位置，但也可以将供气排气路径PS2分支成多个位置。在开口位置是多个的情况下，也可以沿支承面111的另一边开口。

供气排气路径PS1与供气排气路径PS2相互连通，并且与供气排气单元8A连通。供气排气路径PS1和PS2主要用于面板的吸附保持。形成于支承面111的供气排气路径PS1和PS2的开口部的数量和配置形态能够根据保持的面板的形状等适当地设计。

供气排气路径PS3在支承面111(这里是支承面111b)的多个位置(这里是四个位置)开口。支承面111的供气排气路径PS3的开口部也可以是一个位置。在本实施方式的情况下，供气排气路径PS3的开口部形成于支承面111的中央部(支承面111b的中央部)。在本实施方式的情况下，支承面111的中央部是与被保持的面板的中央部相对的位置。供气排气路径PS3与供气排气单元8B连通。

在本实施方式的情况下，支承面111b形成有环状的槽112。另外，在本实施方式的情况下，支承面111b形成有多个槽113。多个槽113与供气排气路径PS3的开口部连接地分支形成，在本实施方式的情况下，以网眼状延伸，并与槽112连接。槽112和槽113的功能在后叙述。

一对支承面111a形成有多个安装孔114。多个安装孔114在本实施方式的情况下是螺纹孔，构成接触部12的片材部件14由螺钉12b固定于一对支承面111a。

在本实施方式的情况下，接触部12大致具备片材部件13和片材部件14，将这些片材部件层叠而形成。片材部件13位于片材部件14和支承部件11之间。换言之，片材部件13位于支承部件11侧，片材部件14位于相反侧(面板侧)。片材部件14又进一步地是片材141和片材142的层叠体。片材部件14的下表面构成接触面CS。接触面CS是与被保持的面板接触的面。

接触部12如图3(A)所示包含端部区域EA1和EA2、中间区域RM。端部区域EA1和EA2位于接触部12的两端部，中间区域RM位于端部区域EA1和端部区域EA2之间。中间区域RM不固定于支承部件11，是能够向面板侧膨出的区域，端部区域EA1和EA2是由螺钉12b固定于支承部件11的固定区域，是不能向面板侧膨出的区域。在本实施方式的情况下，中间区域RM由片材部件13和片材部件14构成，端部区域EA1和EA2仅由片材部件14构成。

接触面CS上的端部区域EA1和EA2也可以具有能够粘接保持面板的粘接性。由此，能够提高面板的保持力。端部区域EA1和EA2的位置被设计为：在保持面板时，端部区域EA1将面板的一方端部粘接，端部区域EA2将面板的另一方端部粘接。中间区域RM既可以具有不能粘接面板的非粘接性，也可以具有能够粘接保持面板的粘接性。中间区域RM的粘接性既可以与端部区域EA1和EA2的粘接性相同，另外也可以比端部区域EA1和EA2的粘接性低。

从提高面板的保持力这一点出发，优选使接触面CS的整个面即端部区域EA1、EA2和中间区域RM具有粘接性。在本实施方式中，假定为接触面CS的整个面具有粘接性的结构。

接下来，如图3(A)所示，接触面CS形成有多个开口部12a。多个开口部12a与供气排气路径PS1和供气排气路径PS2连通，通过供气排气单元8A的工作，开口部12a的附近的接触部12的下方的空气被吸引到供气排气路径PS1和供气排气路径PS2内。在本实施方式的情况下，多个开口部12a以矩阵状分布于中间区域RM，但也可以在端部区域EA1和EA2设置开口部12a。

片材部件13由具有可挠性的片材形成。片材部件13具有与支承面111b相同的面积，除了中央部131以外的其周围部分被整体地固接于支承面111b。在本实施方式的情况下，片材部件13的厚度与一对支承面111a和支承面111b的高度差相同，片材部件13的下表面(片材部件14侧的面)与一对支承面111a在同一面上。

中央部131的轮廓是与环状的槽112重叠的假想的区域，在本实施方式的情况下是圆形的区域。中央部131构成从支承面111b向面板侧能够膨出的膨出部。有时将中央部131称为膨出部131。

支承面111上的供气排气路径PS3的开口部面向中间区域RM尤其是面向片材部件13的膨出部131开口。膨出部131能够利用供气排气路径PS3内和接触部12的周围气氛的差压从支承部件11膨出。利用形成于支承面111b的槽112和槽113，促进膨出部131内的气压变均匀，能够使膨出部131以凸面状膨出。

另外，槽112是界定片材部件13与支承面111b的固接区域和非固接区域的分界槽。在用粘接剂将片材部件13固接于支承面111b的情况下，如果粘接剂向由槽112包围的区域内延出，则存在膨出部131局部地被固接于支承面111b，膨出受到妨碍的隐患。通过形成槽112，欲向由槽112包围的区域内延出的粘接剂进入槽112中，防止其向该区域内延出。

接下来，说明片材部件14。片材部件14由外形相同的片材141和片材142层叠并由粘接剂等遍及整体地相互固接而形成。片材141和片材142都具有可挠性。

片材141形成有将片材141沿厚度方向贯通的开口部141a、141b。开口部141a形成于与在支承部件11的一方的支承面111a开口的供气排气路径PS1的开口部重叠的位置，与供气排气路径PS1连通。另外，开口部141b形成于与在支承部件11的另一方的支承面111a开口的供气排气路径PS2的开口部重叠的位置，与供气排气路径PS2连通。

片材141还形成有多个槽141c。多个槽141c形成于片材141的下表面(片材142侧的面)。在本实施方式的情况下，多个槽141c由沿片材141的长边方向延伸的一个槽和与该槽交叉的多个槽构成，与开口部141a和141b连通。槽141c的结构不限于此，只要与开口部141a或开口部141b连通即可。

在片材141的长边方向的两端部形成有多个安装孔141d。多个安装孔141d形成于与形成在支承部件11的支承面111a的多个安装孔114重叠的位置，将片材141沿厚度方向贯通。

片材142形成有将片材142沿厚度方向贯通的多个开口部12a。上述的多个槽141c以与多个开口部12a重叠的方式配置。通过将片材142与片材141的下表面重叠，从而多个槽141c在片材141的下表面侧成为封闭空间，形成连通路。该连通路经由开口部141a和141b将供气排气路径PS1和PS2与多个开口部12a连通。

在片材142的长边方向的两端部形成有多个安装孔142a。多个安装孔142a形成于与形成在支承部件11的支承面111a的多个安装孔114重叠的位置，将片材142沿厚度方向贯通。

如图3(A)所示，片材部件14在端部区域EA1和EA2由多个螺钉12b固定于支承部件11。作为片材部件14的中央部的中央区域RM不固定于支承部件11，而是能够向面板侧膨出。另外，片材部件13与片材部件14接触的接触面彼此不固接，仅仅是重叠而已。

图2(B)表示中间区域RM的膨出例。在该图的例中，向供气排气路径PS3供气。由此，向膨出部131和支承面111b的间隙供给加压的空气，该间隙内的气压变得比接触部12的周围气氛(外部气氛)高。其结果是，膨出部131向下以凸状膨出，片材部件14被膨出部131向下方推压，片材部件14的中间区域RM向下以凸状膨出。通过利用膨出部131在中间区域RM的中心部加强推压力，从而能够使片材部件14的中间区域RM从其周缘部起直到中央部地比较平缓地膨出。片材部件13和14能够由具有能够这样膨出的范围内可挠性或伸缩性的材料和膜厚的片材材料构成。

在接触面CS是具有粘接性的结构的情况下，片材142例如是以具有粘接性的方式加工了表面的硅橡胶片材等，也可以是通过清洗来反复还原粘接性的片材。片材141例如是塑料。

为了使中间区域RM更顺利地膨出，也可以在片材141上形成多个槽。图4(C)表示其一例。在该图的例子中，表示片材141的上侧的面(支承部件11侧的面)，线状的槽141e形成有多条。各槽141e沿与片材141的长边方向交叉的方向(这里是正交方向)延伸设置，并且沿长边方向排列。在使膨出部131膨出时，片材141以各槽141e为起点容易挠曲，即容易弯曲，即使片材141用可挠性低的材料构成，也会使片材部件14的中间区域RM容易膨出。

<贴合装置的其它结构>

参照图1说明贴合装置A的其它结构。升降台2是以水平姿势配设的板状的部件，利用多个升降机构7上下平行移动。升降机构7具备支承于基台4的支柱71和驱动机构72。升降机构7例如是滚柱丝杠机构，驱动机构72在形成于支柱71的一部分的滚柱丝杠上移动。驱动机构72具备滚珠螺母、使滚珠螺母旋转的马达等驱动源、以及齿轮装置等动力传递机构。驱动机构72搭载于升降台2，通过使多个升降机构7同步地驱动，从而能够使升降台2以水平姿势升降。

保持单元1经由升降机构21被支承于升降台2。升降机构21具备升降轴212、使升降轴212升降的驱动机构211。升降机构21例如是滚柱丝杠机构或齿条与齿轮的机构。在升降轴212的下端部固定有保持单元1。因此，能够利用升降机构21的驱动将保持单元1升降。

在升降台2的下表面固定有腔室单元3。腔室单元3是下方开放的箱体，在其内部空间31可进退地收容有保持单元1。腔室单元3的顶部形成有供升降轴212插通的贯通孔32，筒状的波纹管33围绕升降轴212和贯通孔32地固定。波纹管33的上端与腔室单元3的面向内部空间31的下表面连接，波纹管33的下端与保持单元1连接。通过该波纹管33，防止了内部空间31与贯通孔32即腔室单元3的上方空间连通，能够保持内部空间31的气密性。由此，能够以保持内部空间31的气密性的状态使保持单元1升降。腔室单元3的内部空间31与供气排气单元8C连通。

在基台4上，腔室单元5经由多个支柱41被支承。在腔室单元5的上表面固定着载置面板的载置台51。载置台51以与保持单元1相对的方式配置。

在腔室单元5的上表面周缘部，遍及其整周地设置有密封件52。当利用升降机构7使升降台2下降时，腔室单元3下降，腔室单元3的下表面与腔室单元5的上表面抵接。更准确地说，腔室单元3的下表面与密封件52抵接，密封件52被压缩。由此，由腔室单元3和腔室单元5包围的内部空间31成为气密的状态。

在基台4上搭载有移载单元6。移载单元6在外部和载置台51之间进行面板的交接。移载单元6具备多个销61、支承多个销61的支承台62、以及支承支承台62的升降机构63。各销61插通在将腔室单元5贯通而形成的销孔5a中而设置，并通过支承台62的升降能够在载置台51上突出和退避。图1表示各销61在载置台51上突出的状态。升降机构63是例如气缸或电动缸等，使支承台62以水平姿势升降。在支承台62与腔室单元5的下表面之间固定有筒状的波纹管53。具体来说，波纹管53的上端与腔室单元5的下表面连接，波纹管53的下端与支承台62的上表面连接。利用该波纹管53，防止了腔室单元5的上方空间经由销孔5a与腔室单元5的下方空间连通。其结果是，能够以保持腔室单元5的上方空间的气密性的状态使销61升降。

供气排气单元8A～8C例如由泵和电磁控制阀构成。供气排气单元8A能够进行供气排气路径PS1、PS2的供气、排气、封闭和开放。供气排气单元8B能够进行供气排气路径PS3的供气、排气、封闭和开放。供气排气单元8A经由形成于升降机构21的升降轴212内的供气排气路径与供气排气路径PS1和PS2连通。同样地，供气排气单元8B经由形成于升降机构21的升降轴212内的供气排气路径与供气排气路径PS3连通。供气排气单元8C能够进行内部空间31的供气、排气、封闭和开放。

<控制单元>

图5是进行贴合装置A的控制的控制单元9的框图。控制单元9包含CPU等处理部91、RAM、ROM等存储部92、将外部设备与处理部91连接的接口部93。接口部93也包含与主计算机进行通信的通信接口。主计算机例如是控制配置有贴合装置A的制造设备全体的计算机。

处理部91执行存储于存储部92的程序，根据各种传感器95的检测结果和上位的计算机等的指示，来控制各种执行机构94。在各种传感器95中，例如包含检测由升降机构21升降的保持单元1的位置的传感器、检测由多个升降机构7升降的升降台2的位置的传感器、检测由移载单元6升降的支承台62的位置的传感器等各种传感器。在各种执行机构94中，例如包含供气排气单元8A～8C的驱动源、电磁控制阀、升降机构21的驱动源、升降机构7的驱动源、驱动机构63的驱动源。

<控制例>

参照图6～图11说明处理部91的控制例。这里，说明使内部空间31成为真空，在内部空间31内将面板彼此贴合的例子。通过在真空中将面板彼此贴合，从而容易地防止气泡混入面板之间。

图6的状态ST1表示作为贴合对象的面板P1和面板P2被搬入到贴合装置A的状态。面板P1例如是覆盖面板，面板P2例如是图像显示面板。在面板P2的上表面预先通过另外工序形成有未硬化的粘接层。

腔室单元3和腔室单元5处于上下离开的状态。多个销61处于从载置台51突出的状态，保持单元1的接触部12位于比腔室单元3的下表面稍微靠下方的位置。

面板P2被未图示的移载机器人搬入贴合装置A，并载置于多个销61上。面板P1被未图示的移载机器人搬入到接触部12的正下方，并以后述的步骤保持于保持单元1。

在状态ST2，使多个销61下降，面板P2从多个销61被移载到载置台51上。利用升降机构21使保持面板P1的保持单元1上升，使其位于内部空间31内。

在图7的状态ST3，使腔室单元3下降，使腔室单元3的下表面与腔室单元5的上表面抵接，来使内部空间31成为气密状态。此时，面板P1和面板P2上下离开。利用供气排气单元8C的驱动将内部空间31内的空气排出，使内部空间31成为真空状态。

将内部空间31保持为真空状态，在状态ST4，利用升降机构21使保持面板P1的保持单元1向面板P2侧下降，使面板P1和面板P2贴合。由于在真空下进行面板的贴合，所以能够防止面板间混入气泡的情况。然后，利用供气排气单元8C使内部空间31对大气开放。

在图8的状态ST5，利用升降机构21使保持单元1上升，使保持单元1从面板P1分离。成为被贴合的面板P1与面板P2的层叠体P3载置于载置台51上的状态。在状态ST6，使腔室单元3上升，内部空间31从密闭状态被开放。另外，使多个销61上升，将层叠体P3从载置台51抬起。未图示的移载机器人将层叠体P3向贴合装置A外搬出，并结束一个单位的处理。

参照图9～图11说明保持单元1的动作。首先，说明在图6的状态ST1下保持单元1保持面板P1的动作。图9的状态ST101表示面板P1被搬入到保持单元1的正下方的状态。面板P1载置于移载机器人的手部H上。

在状态ST102，利用升降机构21使保持单元1下降到面板P1上。膨出部131位于与面板P1的中央部相对的位置。通过使接触部12与面板P1的上表面接触，从而接触部12与面板P1粘接。与该粘接一同地驱动供气排气单元8A，将供气排气路径PS1和PS2内的空气排出，并进行吸引。由此，空气从开口部12a被吸引，面板P1被吸附于接触部12。在状态ST103，利用升降机构21使保持单元1上升，成为图6的状态ST2。

此外，也可以在利用接触部12使面板P1粘接的同时使保持单元1上升，一边进行该上升一边利用供气排气单元8A吸引面板P1，使其吸附。由此，能够实现缩短伴随着面板P1的吸附和上升的工时。

图10的状态ST104与图7的状态ST3相对应，是内部空间31成为真空状态的状态。面板P1继续保持吸附于保持单元1的接触部12的状态。在状态ST105，供气排气路径PS3内与接触部12的周围气氛(内部空间31内的气氛，这里是真空)产生差压，使膨出部131从支承部件11以凸状膨出。由此，片材部件14的中间区域RM从支承部件11以凸状膨出。差压的产生通过由供气排气单元8B进行的供气排气路径PS3的对大气开放或向供气排气路径PS3供给加压的空气AUP来进行。在图10的例中，为了易于理解，用箭头示出了向供气排气路径PS3供给加压的空气AUP。这里，也可以在状态ST105的膨出之前，利用供气排气单元8B将供气排气路径PS3内的空气排出，使膨出部113吸附于支承部件11的支承面111b。由此，能够防止中间区域RM意外膨出。

利用加压的空气AUP的供气，片材部件14的中间区域RM向面板P2侧以凸状膨出，面板P1按照片材部件14的中间区域RM的膨出而弹性地弯曲，向面板P2侧以凸状膨出。这里所说的是“以凸状膨出”是指片材部件14的中间区域RM向面板P2侧以凸面状弯曲。

此时，由于接触部12介于支承部件11与面板P1之间，所以接触部12成为缓冲部件，面板P1的弯曲比较平缓。即，与向面板P1直接供气使其弯曲的情况相比，通过接触部12介于其间，从而容易地防止极端的弯曲的产生。另外，由于向面板P1的加压是利用气压差，所以加压力不会极端地集中于面板P1的特定的部分，能够使加压力大范围地分散。因此，能够抑制面板P1的损伤，并且能够防止面板P1的脱落。此外，面板P1的弯曲容易控制。

此外，在本实施方式的情况下，通过利用膨出部131在片材部件14的中间区域RM的中心部加强推压力，从而能够使片材部件14的中间区域RM从其周缘部起直到中央部地比较平缓地膨出。因此，能够使面板P1也从其周缘部直到中央部地比较平缓地弯曲，能够进一步抑制面板P1的损伤并防止面板P1的脱落。

另外，由于使片材部件14成为片材141和片材142的两层构造，在其内部形成由槽141c构成的开口部12a的流通路，因此，能够将开口部12a形成在任意的位置，在片材部件14的中间区域RM的膨出过程中，能够维持包括面板P1的中央部在内的多个位置处的吸附。

此外，由于接触面CS的整个面具有粘接性，面板P1在接触面CS的整个面被粘接，因此即使在真空下也容易确保保持力，另外，防止了面板P1相对于保持单元1的错位。错位的防止有助于面板P1与面板P2的贴合位置的精度提高。

通过面板P1向面板P2侧以凸状膨出，从而面板P1的中央部最先与面板P2接触。在接下来的状态ST106，利用升降机构21使保持单元1下降，使面板P1与面板P2全面地接触。由此，贴合完成，得到层叠体P3。这里，通过在使面板P1的中央部与面板P2接触之后使保持单元1下降，从而面板P1的中央部的凸状的膨出被推回。其结果是，面板P1与面板P2的接触从仅是中央部的面接触起，向整个面的面接触以放射状扩展。由此，即使在面板P1与面板P2之间混入了气泡，气泡也会被向面板P1和面板P2的周围部挤出，并同时进行面板P1与面板P2的贴合。在本实施方式的情况下，虽然由于在真空下进行面板P1、P2的贴合而几乎不存在空气，但难以使气泡的混入完全消失。但是，即便假设在面板P1与面板P2之间混入了气泡，通过以将空气向周围部推出的方式进行面板P1与面板P2的贴合，从而气泡被完全地向面板P1、P2的外侧挤出，能够得到没有气泡的混入的层叠体P3。

在面板P1、P2的贴合完成之后，如上所述，内部空间31向大气开放。如图11的状态ST107所示，终止供气排气路径PS1和PS2的排气并解除吸附。供气排气路径PS1和PS2也可以向大气开放。另外，停止向供气排气路径PS3内供给加压的空气AUP。此时，既可以使供气排气路径PS3对大气开放，另外也可以继续向供气排气路径PS3内供给加压的空气AUP。

接下来，进行将保持单元1和面板P1分离的动作。在状态ST108中，驱动供气排气单元8A，向供气排气路径PS1和PS2供给加压的空气AUP。从开口部12a喷出加压的空气AUP，使面板P1主动地从接触面CS分离。这样，供气排气路径PS1、PS2不仅能够用于面板P1的吸附，也能够用于分离促进。使供气排气路径PS3对大气开放(或供给加压的空气AUP)，并且利用升降机构21使保持单元1上升，利用膨出部113的膨出使中间区域RM以凸状膨出。这也能够促进接触部12与面板P1的分离，能够将面板P1与面板P2的层叠体压在载置台51上。在状态ST109，表示停止向供气排气路径PS1和PS2供给加压的空气AUP、停止供气排气路径PS3对大气开放(或加压的空气AUP的供给)的状态。

通过以上过程，完成面板P1、P2的贴合。此外，在本实施方式中，在真空下进行面板P1与面板P2的贴合，但也可以在大气气氛下进行。在该情况下，不需要内部空间31的形成和用于使内部空间31成为真空的结构。当在大气气氛下进行贴合的情况下，供气排气路径PS1、PS2的供气排气也与在真空下进行的情况相同，但在使膨出部113膨出时，如果仅是使供气排气路径PS3对大气开放，则不能使膨出部膨出。因此，此时，需要向供气排气路径PS3供给加压的空气AUP，使供气排气路径PS3内比大气压高。

<第二实施方式>

在第一实施方式中，利用片材部件13的弹性变形使中间区域RM膨出，但也可以采用利用可动部件的位移来使中间区域RM膨出的结构。以下说明其结构例。

图12(A)和图12(B)是代替第一实施方式的保持单元1的保持单元1A的说明图。在以下的说明和附图中，对于保持单元1A的结构中的与保持单元1相同的结构或同样的结构附上相同的附图标记。因此，在以下的说明中，以保持单元1与保持单元1A的不同点为中心说明，概括地说，保持单元1A设置有可动部件15，来代替片材部件13。

图12(A)和图12(B)表示通过保持单元1A的中央和可动部件15的折线上的切断面的剖视图，图12(A)表示接触部12的中间区域RM没有膨出的状态，图12(B)表示中间区域RM膨出的状态。图13(A)是接触部12的接触面CS的说明图，是保持单元1A的仰视图。图13(B)是支承部件11的支承面111的说明图。图13(C)和(D)是可动部件15的立体图，图13(C)是从上侧(升降轴212侧)观察的立体图、图13(D)是从下侧(片材部件14侧)观察的立体图。图14(A)是构成片材部件14的片材141的说明图，表示其下表面(与片材142贴合的面)。图14(B)是构成片材部件14的片材142的说明图，表示其下表面(接触面CS)。

保持单元1A具备支承部件11和接触部12。支承部件11形成有多个供气排气路径PS1～PS3。多个供气排气路径PS1～PS3都在支承面111开口。支承面111具备位于其长边方向两端部的水平的一对支承面111a和位于一对支承面111a之间的支承面111b。在本实施方式的情况下，一对支承面111a和支承面111b无高度差地连接。

在支承面111b形成有凹部111c，该凹部111c在与中间区域RM对应的位置开口，该凹部111c中插入有可动部件15。凹部111c与可动部件15的组合也可以只有一组，但在本实施方式中设置有多个组(这里是16组)。16组的凹部111c和可动部件15在中间区域RM内以矩阵状配置，沿支承面111b的长边方向配置例如四行，沿短边方向配置例如四列。

凹部111c构成对可动部件15的位移进行引导的引导孔。在本实施方式的情况下，可动部件15能够在从支承面111b向片材部件14侧突出的突出位置(图12(B))和比支承面111b向上方退入的非突出位置(图12(A))之间位移。凹部111c的形状按照可动部件15的形状地形成，在本实施方式的情况下，形成为圆形截面的筒状。凹部111c经由形成于其上侧的壁部的凹部111d与供气排气路径PS3连通。

可动部件15整体形成圆柱形状，例如由铝等金属材料构成。在可动部件15的上表面形成凹部15a，在可动部件15的下表面形成推压面15c。推压面15c形成为凸面状。在可动部件15的侧周面遍及整周地形成有槽15b，在该环状的槽15b中嵌入有密封环等密封部件16。密封部件16介于凹部111c的内周面与可动部件15的侧周面之间，将供气排气通路PS3侧的空间和片材部件14侧的空间密封，防止漏气。

在本实施方式的情况下，接触部12具备上述的可动部件15和片材部件14。可动部件15位于片材部件14和支承部件11之间，通过可动部件15向片材部件14侧位移(突出)，从而能够使片材部件14膨出。

接触部12如图13(A)所示，包含端部区域EA1和EA2以及中间区域RM。中间区域RM不固定于支承部件11，而是能够向面板侧膨出的区域，端部区域EA1和EA2是由螺钉12b固定于支承部件11的固定区域，是不能向面板侧膨出的区域。在本实施方式的情况下，中间区域RM配置有可动部件15，端部区域EA1和EA2仅由片材部件14构成。

接触面CS上的端部区域EA1和EA2也可以具有能够粘接保持面板的粘接性。由此，能够提高面板的保持力。端部区域EA1和EA2构成为，在保持面板时，端部区域EA1将面板的一方端部粘接，端部区域EA2将面板的另一方端部粘接，并且端部区域EA1和EA2配置在规定的位置。中间区域RM既可以具有不能粘接面板的非粘接性，也可以具有能够粘接保持面板的粘接性。中间区域RM的粘接性既可以与端部区域EA1和EA2的粘接性相同，另外也可以比端部区域EA1和EA2的粘接性低。

从提高面板的保持力这一点出发，优选使接触面CS的整个面即端部区域EA1、EA2和中间区域RM都具有粘接性。在本实施方式中，假定是接触面CS的整个面具有粘接性的结构。

如图13(A)所示，接触面CS形成有多个开口部12a。多个开口部12a经由后述的连通路(槽141c和开口部141a、141b)与供气排气路径PS1和供气排气路径PS2连通。因此，通过供气排气单元8A的工作，开口部12a的附近的接触部12的下方的空气经由开口部12a被吸引到供气排气路径PS1和供气排气路径PS2内。在本实施方式的情况下，多个开口部12a以矩阵状分布于中间区域RM，但也可以在端部区域EA1和EA2设置开口部12a。

接下来，说明片材部件14。片材部件14与第一实施方式相同，将外形相同的片材141与片材142层叠，遍及整体地用粘接剂等相互固接而形成。片材141和片材142都具有可挠性。

片材141形成有将片材141沿厚度方向贯通的开口部141a、141b。开口部141a与供气排气路径PS1连通。另外，开口部141b形成于与在支承部件11的另一方的支承面111a开口的供气排气路径PS2的开口部重叠的位置，与供气排气路径PS2连通。

在片材141或片材141的下表面(片材142侧的面)形成有多个槽141c。在本实施方式的情况下，多个槽141c是由沿片材141的短边方向延伸的一个槽和与该槽交叉的多个槽构成的鱼骨状的集合槽，与开口部141a和141b连通。

在片材141的长边方向的两端部，在与形成于支承面111a的多个安装孔114重叠的位置形成有多个安装孔141d。

片材142形成有将片材142沿厚度方向贯通的多个开口部12a，以上述的多个槽141c与多个开口部12a重叠的方式配置。即，上述的“多个开口部12a在中间区域RM以矩阵状分布”是指沿着这些多个槽141c并且面向槽141c地开口形成多个开口部12a。这里，多个开口部12a“沿多个槽141c并且面向槽141c地”开口形成是指，包含直线的或锯齿状的规则的配置或随机的不规则的配置这两方面。通过在片材141的下表面重叠片材142，从而多个槽141c在片材141的下表面侧成为封闭空间，形成连通路。经由该连通路，开口部141a和141b与多个开口部12a连通。

在片材142的长边方向的两端部，在与形成于支承面111a的多个安装孔114重叠的位置形成有多个安装孔142a。

如图13(A)所示，片材部件14在端部区域EA1和EA2由多个螺钉12b固定于支承部件11。作为片材部件14的中央部的中央区域RM不固定于支承部件11，而是能够向面板侧膨出。

图12(B)表示中间区域RM的膨出例。在该图的例中，加压的空气向供气排气路径PS3供给。由此，向凹部111c供给加压的空气，凹部111d内和凹部111c内的凹部15a内的气压变得比接触部12的周围气氛(外部气氛)高。其结果是，可动部件15以被从凹部111c推出的方式向片材部件14侧突出。片材部件14被可动部件15向下方推压，片材部件14的中间区域RM向下以凸状膨出。通过设置多个可动部件15，从而能够使片材部件14的中间区域RM从其周缘部起直到中央部地比较平缓地膨出。片材部件14能够由具有能够这样膨出的范围内可挠性或伸缩性的材料和膜厚的片材材料构成。由于可动部件15的推压面成为凸面状，所以即使片材部件14由于膨出而变形，推压面的至少一部分也一定与片材部件14接触，因此能够维持接触状态。另外，在可动部件15的推压面与片材部件14接触时，不存在在一部分施加过度的压力而使片材部件14破损的隐患。其结果是，反复施加应力时的片材部件14的耐久寿命提高。此外，如图4(C)所例示，为了使中间区域RM更顺利地膨出，也可以在片材141上形成多个槽。

在本实施方式的情况下，各凹部111c由于与共同的供气排气路径PS3连通，所以气压相同。但是，也可以根据凹部111c而与不同的供气排气路径PS3来连通，使气压根据凹部111c而不同。在该情况下，例如也可以以使位于中间区域RM的中央侧的凹部111c内的气压比位于中间区域RM的周缘侧的凹部111c内的气压高的方式，使不同的供气排气路径PS3具有气压差地供气。

当使中间区域RM的膨出结束，回到图12(A)的状态的情况下，只要使凹部111c内的气压成为与接触部12的周围气氛(外部气氛)相同压力即可。利用片材部件14恢复原来的形状的弹性力，可动部件15被推压，向非突出位置退入。也可以将凹部111c内的气压减压为比接触部12的周围气氛(外部气氛)低，在该情况下，可动部件15容易回到非突出位置。

使用保持单元1A的控制例(面板彼此的贴合例)与参照图6～图11说明的保持单元1的情况相同。即，只是第一实施方式的膨出部113的膨出被置换成可动部件15向片材部件14侧的突出。在本实施方式的情况下，由于利用可动部件15的突出来进行中间区域RM的膨出，因此与利用片材部件13的变形的保持单元1相比，存在在耐久性方面有利的情况。

附图标记说明

A贴合装置、P1面板、P2面板、1保持单元、11支承部件、12接触部、RM中间区域、PS1～PS3供气排气路径。

Claims (23)

1.一种保持单元，对相互贴合的面板中的一方的面板进行保持，所述保持单元的特征在于，包含：

支承部件，所述支承部件具备多个供气排气路径；以及

接触部，所述接触部被所述支承部件支承，并与面板接触，

所述接触部包含多个开口部、以及能够在与面板的中央部对应的位置向面板侧膨出的中间区域，

所述多个供气排气路径包含与所述多个开口部连通的第一供气排气路径、以及面向所述中间区域开口的第二供气排气路径，

所述中间区域能够利用所述第二供气排气路径内与所述接触部的周围气氛的差压从所述支承部件膨出。

2.根据权利要求1所述的保持单元，其特征在于，

所述支承部件包含支承所述接触部的支承面，

所述第一供气排气路径和所述第二供气排气路径在所述支承面开口。

3.根据权利要求1所述的保持单元，其特征在于，

所述接触部具备吸附面板的第一片材部件、以及配置在所述第一片材部件和所述支承部件之间的第二片材部件，

所述第一片材部件具有所述多个开口部、以及使所述多个开口部与所述第一供气排气路径连通的连通路，

所述第二片材部件具有配置于所述中间区域并能够向面板侧膨出的膨出部，

所述第二供气排气通路面向所述膨出部地开口。

4.根据权利要求3所述的保持单元，其特征在于，

所述第一片材部件具有多个开口部，所述多个开口部形成于与面板的中央部对应的位置，经由所述连通路与所述第一供气排气路径连通。

5.根据权利要求3所述的保持单元，其特征在于，

所述第一片材部件包含形成有所述多个开口部的第一片材、以及层叠于所述第一片材的第二片材，

所述第二片材在所述第一片材侧的面上形成有形成所述连通路的槽。

6.根据权利要求3所述的保持单元，其特征在于，

所述第一片材部件包含第一端部、第二端部、以及在所述第一端部和所述第二端部之间与面板的中央部对应的中央部，

所述第一片材部件在所述第一端部和所述第二端部被固定于所述支承部件。

7.根据权利要求1所述的保持单元，其特征在于，

所述接触部具备吸附面板的片材部件、以及在所述中间区域配置于所述片材部件和所述支承部件之间的可动部件，

所述可动部件能够利用所述第二供气排气路径内与所述接触部的周围气氛的差压向所述片材部件侧位移，

通过所述可动部件向所述片材部件侧的位移，所述片材部件的所述中间区域膨出。

8.根据权利要求1所述的保持单元，其特征在于，

所述支承部件包含支承所述接触部的支承面，

所述支承面包含凹部，所述凹部在与所述中间区域对应的位置开口并且与所述第二供气排气路径连通，

所述接触部包含吸附面板的片材部件、以及配置于所述片材部件和所述支承部件之间并插入所述凹部的可动部件，

所述可动部件能够利用所述第二供气排气路径内与所述接触部的周围气氛的差压向所述片材部件侧位移，

通过所述可动部件向所述片材部件侧的位移，所述片材部件的所述中间区域膨出。

9.根据权利要求8所述的保持单元，其特征在于，

所述可动部件以在从所述支承面突出的突出位置和非突出位置之间沿所述凹部的深度方向自由位移的方式设置于所述凹部。

10.根据权利要求8所述的保持单元，其特征在于，

所述凹部和所述可动部件具备多组，

各个所述凹部与所述第二供气排气通路连通。

11.一种保持单元，对相互贴合的面板中的一方的面板进行保持，所述保持单元的特征在于，包含：

支承部件，所述支承部件具备多个供气排气路径；

片材部件，所述片材部件被所述支承部件支承，并与面板接触；以及

可动部件，所述可动部件配置于所述支承部件与所述片材部件之间，

所述片材部件多个开口部、以及能够在与面板的中央部对应的位置向面板侧膨出的中间区域，

所述可动部件配置于所述中间区域，

所述多个供气排气路径包含与所述多个开口部连通的第一供气排气路径、以及面向所述可动部件开口的第二供气排气路径，

所述可动部件能够利用所述第二供气排气路径内与所述片材部件的周围气氛的差压向所述片材部件侧位移，

通过所述可动部件向所述片材部件侧的位移，所述片材部件的所述中间区域膨出。

12.根据权利要求11所述的保持单元，其特征在于，

所述片材部件包含形成有所述多个开口部的第一片材、以及与所述第一片材层叠的第二片材，

所述第二片材在所述第一片材侧的面上形成有槽，所述槽形成使所述第一供气排气路径与所述多个开口部连通的连通路。

13.根据权利要求11所述的保持单元，其特征在于，

所述片材部件包含第一端部、第二端部、以及在所述第一端部和所述第二端部之间与面板的中央部对应的中央部，

所述片材部件在所述第一端部和所述第二端部被固定于所述支承部件。

14.根据权利要求11所述的保持单元，其特征在于，

所述支承部件包含支承所述片材部件的支承面，

所述支承面包含凹部，所述凹部在与所述中间区域对应的位置开口并且与所述第二供气排气通路连通，

所述可动部件插入所述凹部。

15.根据权利要求14所述的保持单元，其特征在于，

所述可动部件以在从所述支承面突出的突出位置和非突出位置之间沿所述凹部的深度方向自由位移的方式设置于所述凹部。

16.根据权利要求14所述的保持单元，其特征在于，

所述凹部和所述可动部件具备多组，

各个所述凹部与所述第二供气排气通路连通。

17.一种贴合方法，用保持单元保持第一面板并与第二面板贴合，所述贴合方法的特征在于，

所述保持单元包含具备多个供气排气路径的支承部件、以及被所述支承部件支承并与面板接触的接触部，

所述接触部包含多个开口部、以及能够在与面板的中央部对应的位置向面板侧膨出的中间区域，

所述多个供气排气路径包含与所述多个开口部连通的第一供气排气路径、以及面向所述中间区域开口的第二供气排气路径，

所述贴合方法包含如下工序：

使所述第一面板的与贴合面相反的一侧的面与所述接触部抵接的工序；

利用所述第一供气排气路径的排气将所述第一面板吸附于所述接触部的工序；

利用所述第二供气排气路径内与所述接触部的周围气氛的差压使所述中间区域从所述支承部件向所述第二面板以凸状膨出的膨出工序；

利用以凸状膨出的所述中间区域使所述第一面板的中央部以凸状弯曲的工序；

使以凸状弯曲的所述第一面板的中央部与所述第二面板抵接的工序；

使所述第一面板和所述第二面板中的至少任一方沿相互接近的方向移动，使所述第一面板与所述第二面板抵接的区域向这些面板的各周缘部扩展的工序；以及

解除所述第一面板的吸附的解除工序。

18.根据权利要求17所述的贴合方法，其特征在于，

在所述解除工序之后，向所述第一供气排气路径和所述第二供气排气路径供气。

19.根据权利要求17所述的贴合方法，其特征在于，还包含如下工序：

在所述解除工序之后，利用所述第二供气排气路径内与所述接触部的周围气氛的差压，使所述中间区域从所述支承部件向贴合后的所述第一面板和所述第二面板以凸状膨出的工序。

20.根据权利要求17所述的贴合方法，其特征在于，

所述接触部具备吸附面板的片材部件、以及在所述中间区域配置于所述片材部件和所述支承部件之间的可动部件，

在所述膨出工序中，利用所述第二供气排气路径内与所述接触部的周围气氛的差压使所述可动部件向所述片材部件侧位移，来使所述片材部件的所述中间区域以凸状膨出。

21.一种贴合方法，用保持单元保持第一面板并与第二面板贴合，所述贴合方法的特征在于，

所述保持单元包含具备多个供气排气路径的支承部件、被所述支承部件支承并与面板接触的片材部件、以及配置于所述支承部件和所述片材部件之间的可动部件，

所述片材部件包含多个开口部、以及能够在与面板的中央部对应的位置向面板侧膨出的中间区域，

所述多个供气排气路径包含与所述多个开口部连通的第一供气排气路径、以及面向所述可动部件开口的第二供气排气路径，

所述贴合方法包含如下工序：

使所述第一面板的与贴合面相反的一侧的面与所述片材部件抵接的工序；

利用所述第一供气排气路径的排气将所述第一面板吸附于所述片材部件的工序；

利用所述第二供气排气路径内与所述接触部的周围气氛的差压使所述可动部件位移，来使所述中间区域从所述支承部件向所述第二面板以凸状膨出的膨出工序；

利用以凸状膨出的所述中间区域使所述第一面板的中央部以凸状弯曲的工序；

使以凸状弯曲的所述第一面板的中央部与所述第二面板抵接的工序；

使所述第一面板和所述第二面板中的至少任一方沿相互接近的方向移动，使所述第一面板与所述第二面板抵接的区域向这些面板的各周缘部扩展的工序；以及

解除所述第一面板的吸附的解除工序。

22.根据权利要求21所述的贴合方法，其特征在于，

在所述解除工序之后，向所述第一供气排气路径和所述第二供气排气路径供气。

23.根据权利要求21所述的贴合方法，其特征在于，还包含如下工序：

在所述解除工序之后，利用所述第二供气排气路径内与所述片材部件的周围气氛的差压，使使所述可动部件位移，来使所述中间区域从所述支承部件向贴合后的所述第一面板和所述第二面板以凸状膨出的工序。