CN106291908A - 用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法 - Google Patents
用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106291908A CN106291908A CN201610906540.5A CN201610906540A CN106291908A CN 106291908 A CN106291908 A CN 106291908A CN 201610906540 A CN201610906540 A CN 201610906540A CN 106291908 A CN106291908 A CN 106291908A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- silicon dioxide
- golden
- reflectance coating
- thickness
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B23/00—Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices
- G02B23/16—Housings; Caps; Mountings; Supports, e.g. with counterweight
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0816—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
- G02B5/085—Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Astronomy & Astrophysics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Telescopes (AREA)
Abstract
用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法,该金增强反射膜系结构如下,自主镜表面开始,依次为:打底层、金层、过渡层、介质增强膜系层;其中打底层采用铬、镍铬合金,厚度10nm‑25nm;金膜层厚度95nm‑105nm;过渡层采用二氧化铪,厚度15nm‑150nm;介质增强膜系层采用二氧化硅、五氧化二钽或二氧化硅、二氧化铪或二氧化硅、五氧化三钛或三种搭配的任意组合。本发明在近紫外、可见光与红外波段均具有高反射效率同时兼具优良的环境稳定性与较长使用寿命,光谱反射效率在可见光波段高出约8%;膜层更加耐用;使用反射波段拓展至近紫外与可见光波段;本发明膜层带来的应力要远远小于全介质反射镜。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系,属于光学镀膜加工技术领域,尤其是一种宽反射带宽、低膜层应力、高效长寿命反射镜组件膜系及其制备方法。
背景技术
光学反射镜在大型天文望远镜与大型光学仪器中应用十分广泛。由于反射光学系统对玻璃材料在光学性能上没有特殊要求,光线不需透过材料本身,主镜可以进行轻量化加工减轻重量和无色差,且大口径透镜的光学材料不可多得,价格昂贵,因此大型光学仪器一般都采用了反射式结构设计。大口径光学反射镜的效率与寿命对光学系统有着至关重要的影响。
大型天文望远镜主镜通常采用铝反射涂层。铝涂层在红外,可见以及紫外波段均有较高的反射效率,铝膜与玻璃基板附着良好,制备成功的铝镜可连续工作几年,然而,铝涂层也存在明显的不足,主要是在红外波段存在自身辐射,这就限制了其在红外波段的应用,且铝镜在可见光波段的反射效率较低,与银大约相差了8%。银是镀制金属反射膜优良的材料,在可见光与红外波段都有比铝镜更高的反射效率,而且,倾斜使用时引入的偏振效应较小。但银涂层也存在明显的不足:一是紫外波段反射较低;二是与玻璃基板附着较差;三是环境稳定性不如铝膜,易在空气中硫化与酸化,镜面发生变化。因此银膜寿命是困扰其应用于望远镜主镜的重要因素。金是用于红外波段的反射涂层材料,其在红外波段具有很高的反射效率且金膜非常稳定,不与空气中的酸碱物质反应,但其波长短于600nm后反射效率迅速下降,无法用于可见光及紫外波段。全介质反射镜是由高低折射率的介质氧化物交替镀制而成,其在反射带宽内具有很高的反射效率和很长的使用寿命,但其反射带宽有限,膜系厚度与反射带宽成正比,厚膜会带来较大的膜层应力导致反射镜面形改变。现有技术迄今未找到一种能够在近紫外、可见光与红外波段均具有高反射效率同时兼具优良的环境稳定性与较长使用寿命的反射镜组件膜系方案。
发明内容
本发明的目的是针对目前大型天文反射镜在反射效率、使用寿命及反射带宽等方面不能同时兼顾的不足提出一种可在近紫外、可见光与红外波段均具有高反射效率同时兼具优良的环境稳定性与较长使用寿命的反射镜组件膜系及其制备方法。
本发明的技术解决方案是:一种用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系,其特征在于,该金增强膜反射系结构如下,自主镜表面开始,依次为:打底层、金层、过渡层、介质增强膜系层;其中打底层可以采用铬、镍铬合金,厚度10nm-25nm;金膜层厚度约95nm-105nm;过渡层采用二氧化铪,厚度15nm-150nm,厚度根据反射镜要求优化决定;介质增强膜系层采用二氧化硅、五氧化二钽或二氧化硅、二氧化铪或二氧化硅、五氧化三钛或三种搭配的任意组合。
本发明由高、低折射率交替的介质氧化物材料组合,起到保护金膜同时增加特定波段反射效率的作用,是一种具有宽反射带宽、低膜层应力、高效长寿命反射镜膜系。
上述方案的进一步优化,
所述打底层铬、镍铬合金的厚度为15nm-20nm;
所述金膜层厚度为100nm;
所述过渡层二氧化铪的厚度为25nm-120nm。
例如:所述介质增强膜系层中,二氧化硅、五氧化二钽或二氧化硅、二氧化铪或二氧化硅、五氧化三钛或三种搭配的任意组合是指:
H1、 H2、 H3分别代表光学膜厚为λ/4的五氧化三钛,五氧化二钽,二氧化铪高折射率膜层,L代表光学膜厚为λ/4的二氧化硅低折射率膜层,N1与N2是膜堆中高低折射率膜层周期的重复次数。
组合方案一为:(0.5H1 L 0.5H1)^ N1 (0.38H2 0.76L 0.38H2)^ N2;
组合方案二为:(0.5H1 L 0.5H1)^ N1 (0.38H3 0.76L 0.38H3)^ N2。
完成本申请第二个发明任务的技术方案是,上述用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系的制备方法,其特征在于,步骤如下:
(1)工作条件:反射镜镀制需在万级以上洁净车间内完成,镀制前需要对真空室内部件进行彻底清洁并烘烤干净,车间内相对湿度应小于60%;
(2)工作准备:加入需要使用的镀膜材料,清洁待镀反射镜并放入真空室,对真空室进行抽真空;
(3)打底层镀制步骤:离子源轰击清洁反射镜面,蒸镀打底层材料铬或镍铬合金,厚度10nm-25nm;
(4)金膜镀制步骤:金膜层控制厚度约100nm;
(5)过渡层镀制步骤:过渡层采用二氧化铪,厚度15nm-150nm,厚度根据反射镜要求优化决定;
(6)介质增强膜系层镀制步骤:介质增强膜系层采用二氧化硅、五氧化二钽或二氧化硅、二氧化铪或二氧化硅、五氧化三钛或三种搭配的任意组合,由高、低折射率交替的介质氧化物材料交替组成,起到保护金膜同时增加特定波段反射效率的作用。
更具体和更优化地说,各步骤操作方法如下:
步骤(2)加入需要使用的镀膜材料,是指:在无氧铜坩埚中分别加入铬或镍铬合金、金粒、二氧化铪、二氧化硅、五氧化三钛、五氧化二钽等膜料;
步骤(2)对真空室进行抽真空,镀前真空度应优于6×10-4Pa;
步骤(3)打底层镀制步骤:打底层镀制材料为铬或镍铬合金,镀前真空度优于6×10- 4Pa,霍尔离子源轰击10分钟用于清洁镜面,离子源参数:充40SCCM 氧气,离子源阳极电压180 伏,阳极电流6 安培;
步骤(6)介质增强膜系层镀制步骤:介质增强膜系层采用二氧化硅、五氧化二钽或二氧化硅、二氧化铪或二氧化硅、五氧化三钛或三种搭配的任意组合(由反射镜效率要求决定),烘烤温度100℃-200℃(由成膜工艺条件决定),恒温2-4小时(由反射镜几何尺寸决定),辅助蒸镀离子源参数:充40SCCM 氧气,离子源阳极电压180 伏,阳极电流6 安培。
由于采用了上述方案,本发明与现有技术相比具有如下有益效果:
本发明提出一种可在近紫外、可见光与红外波段均具有高反射效率同时兼具优良的环境稳定性与较长使用寿命的金增强反射镜膜系及其制备方法。
(1)本发明所涉及金增强型反射镜相比于铝反射镜,光谱反射效率在可见光波段高出约8%;
(2)本发明所涉及金增强型反射镜相比于银反射镜,不受使用环境中的酸性物质影响,因此环境稳定性与使用寿命大大提升,膜层更加耐用,使用寿命提升至5年以上;(3)本发明所涉及金增强型反射镜相比于传统金反射镜,使用反射波段拓展至近紫外与可见光波段;
(4)本发明所涉及金增强型反射镜相比于全介质镜,相同反射带宽情况下,膜层带来的应力要远远小于全介质反射镜,以350nm-900nm波段反射镜为例,口径100mm,厚度10mm的熔石英材料平面反射镜,镀膜前基片面形精度加工至λ/10(PV),全介质反射镜完成后,面形降低至λ/2—λ/3(PV),而金增强型反射镜完成后,面形仅发生微小变化λ/9—λ/10(PV)。
附图说明
图1 是铝、银、金膜的理论反射率图;
图2 是本发明涉及的金增强型反射镜与铝镜、金镜反射率对比图;
图3 是本发明涉及的金增强型反射镜膜系结构示意图。
具体实施方式
实施例1,用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系,参照图3:图中,光学反射镜片1,打底层2,金层3,过渡层4,介质增强膜系层5。
用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系制备工艺方法具体如下:
(1)工作条件:反射镜镀制需在万级以上洁净车间内完成,镀制前需要对真空室内部件进行彻底清洁并烘烤干净,车间内相对湿度应小于60%;
(2)工作准备:在无氧铜坩埚中分别加入铬或镍铬合金、金粒、二氧化铪、二氧化硅、五氧化三钛、五氧化二钽等膜料;清洁待镀反射镜并放入真空室,对真空室进行抽真空,镀前真空度应优于6×10-4Pa;
(3)打底层镀制步骤:打底层镀制材料为铬或镍铬合金,厚度10nm-25nm,镀前真空度优于6×10-4Pa,霍尔离子源轰击10分钟用于清洁镜面,离子源参数:充40SCCM 氧气,离子源阳极电压180 伏,阳极电流6 安培;
(4)金膜镀制步骤:金膜层控制厚度约100nm;辅助蒸镀离子源参数:充40SCCM氧气,离子源阳极电压180 伏,阳极电流6 安培。
(5)过渡层镀制步骤:过渡层采用二氧化铪,厚度15nm-150nm,厚度根据反射镜要求优化决定;
(6)介质增强膜系层镀制步骤:介质增强膜系层采用二氧化硅、五氧化二钽与二氧化硅、五氧化三钛组合而成,烘烤温度200℃,恒温2小时,辅助蒸镀离子源参数:充40SCCM 氧气,离子源阳极电压180 伏,阳极电流6 安培。
金增强膜反射系结构如下,自主镜表面开始,依次为:打底层、金层、过渡层、介质增强膜系层;其中打底层可以采用铬、镍铬合金,厚度10nm-25nm;金膜层厚度约95nm-105nm;过渡层采用二氧化铪,厚度15nm-150nm,厚度根据反射镜要求优化决定;介质增强膜系层采用二氧化硅、五氧化二钽或二氧化硅、二氧化铪或二氧化硅、五氧化三钛或三种搭配的任意组合。
Claims (8)
1.一种用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系,其特征在于,该金增强反射膜系结构如下,自主镜表面开始,依次为:打底层、金层、过渡层、介质增强膜系层;其中打底层采用铬、镍铬合金,厚度10nm-25nm;金膜层厚度95nm-105nm;过渡层采用二氧化铪,厚度15nm-150nm;介质增强膜系层采用二氧化硅、五氧化二钽或二氧化硅、二氧化铪或二氧化硅、五氧化三钛或三种搭配的任意组合。
2.根据权利要求1所述的用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系,其特征在于,所述打底层铬、镍铬合金的厚度为15nm-20nm;所述金膜层厚度为100nm;所述过渡层二氧化铪的厚度为25nm-120nm。
3. 根据权利要求1或2所述的用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系,其特征在于,所述介质增强膜系层中,二氧化硅、五氧化二钽或二氧化硅、二氧化铪或二氧化硅、五氧化三钛或三种搭配的任意组合是指:H1、 H2、 H3分别代表光学膜厚为λ/4的五氧化三钛,五氧化二钽,二氧化铪高折射率膜层,L代表光学膜厚为λ/4的二氧化硅低折射率膜层,N1与N2是膜堆中高低折射率膜层周期的重复次数,其中:(0.5H1 L 0.5H1)^ N1 (0.38H2 0.76L0.38H2)^ N2;或(0.5H1 L 0.5H1)^ N1 (0.38H3 0.76L 0.38H3)^ N2。
4.权利要求1所述的用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系的制备方法,其特征在于,步骤如下:
(1)工作条件:反射镜镀制需在万级以上洁净车间内完成,镀制前需要对真空室内部件进行彻底清洁并烘烤干净,车间内相对湿度小于60%;
(2)工作准备:加入需要使用的镀膜材料,清洁待镀反射镜并放入真空室,对真空室进行抽真空;
(3)打底层镀制步骤:离子源轰击清洁反射镜面,蒸镀打底层材料铬或镍铬合金;
(4)金膜镀制步骤:金膜层控制厚度;
(5)过渡层镀制步骤:过渡层采用二氧化铪,厚度根据反射镜要求优化决定;
(6)介质增强膜系层镀制步骤:介质增强膜系层采用二氧化硅、五氧化二钽或二氧化硅、二氧化铪或二氧化硅、五氧化三钛或三种搭配的任意组合,由高、低折射率交替的介质氧化物材料交替组成,起到保护金膜同时增加特定波段反射效率的作用。
5.权利要求4所述的用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系的制备方法,其特征在于,步骤(2)加入需要使用的镀膜材料是指:在无氧铜坩埚中分别加入铬或镍铬合金、金粒、二氧化铪、二氧化硅、五氧化三钛、五氧化二钽。
6.权利要求4所述的用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系的制备方法,其特征在于,步骤(2)对真空室进行抽真空,镀前真空度应优于6×10-4Pa。
7. 权利要求4所述的用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系的制备方法,其特征在于,步骤(3)打底层镀制步骤:打底层镀制材料为铬或镍铬合金,镀前真空度优于6×10-4Pa,霍尔离子源轰击10分钟用于清洁镜面,离子源参数:充40SCCM 氧气,离子源阳极电压180 伏,阳极电流6 安培。
8. 权利要求4-7之一所述的用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系的制备方法,其特征在于,步骤(6)介质增强膜系层镀制步骤:介质增强膜系层采用二氧化硅、五氧化二钽或二氧化硅、二氧化铪或二氧化硅、五氧化三钛或三种搭配的任意组合,烘烤温度100℃-200℃,恒温2-4小时,辅助蒸镀离子源参数:充40SCCM 氧气,离子源阳极电压180 伏,阳极电流6 安培。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610906540.5A CN106291908B (zh) | 2016-10-18 | 2016-10-18 | 用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610906540.5A CN106291908B (zh) | 2016-10-18 | 2016-10-18 | 用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106291908A true CN106291908A (zh) | 2017-01-04 |
CN106291908B CN106291908B (zh) | 2021-05-11 |
Family
ID=57718818
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610906540.5A Active CN106291908B (zh) | 2016-10-18 | 2016-10-18 | 用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106291908B (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107632333A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-01-26 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 天文望远镜的超宽带高反射率反射镜膜系及其制备方法 |
CN108873111A (zh) * | 2018-07-16 | 2018-11-23 | 武汉科技大学 | 低层数中远红外高反射的一维金属增强型膜系结构 |
CN113126184A (zh) * | 2021-03-30 | 2021-07-16 | 中山联合光电科技股份有限公司 | 一种反射镜以及反射镜的镀膜方法 |
CN116148960A (zh) * | 2023-01-31 | 2023-05-23 | 宁波启朴芯微系统技术有限公司 | 一种光学介质反射膜及其制备方法和应用 |
Citations (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1149489A (en) * | 1965-05-24 | 1969-04-23 | Asahi Glass Co Ltd | Infra-red reflecting glass and method of making it |
GB1507532A (en) * | 1974-08-29 | 1978-04-19 | Heraeus Gmbh W C | Reflectors for infra-red radiation |
DD289674A7 (de) * | 1987-01-13 | 1991-05-08 | Carl Zeiss Jena Gmbh,De | Metallschichtreflektor |
CN2215121Y (zh) * | 1994-07-28 | 1995-12-13 | 华中理工大学 | 一种二氧化碳激光高反射镜 |
CN1420367A (zh) * | 2001-11-21 | 2003-05-28 | 中国科学院光电技术研究所 | 金属增强反射膜及其制作方法 |
CN1445767A (zh) * | 2002-03-20 | 2003-10-01 | 松下电器产业株式会社 | 光学信息记录介质及其制造方法 |
CN1540385A (zh) * | 2003-04-25 | 2004-10-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研 | 一种大口径折叠式望远镜的聚合物反射镜 |
CN1576902A (zh) * | 2003-06-27 | 2005-02-09 | 旭硝子株式会社 | 高反射镜 |
CN1677694A (zh) * | 2005-04-27 | 2005-10-05 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 氮化镓紫外探测器 |
CN101233434A (zh) * | 2005-07-29 | 2008-07-30 | 旭硝子株式会社 | 反射膜用层叠体 |
CN202171358U (zh) * | 2011-07-01 | 2012-03-21 | 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 | 直通式太阳能金属集热管 |
CN202383396U (zh) * | 2011-09-09 | 2012-08-15 | 华德塑料制品有限公司 | 导电反射结构 |
CN102809769A (zh) * | 2012-08-12 | 2012-12-05 | 兰州大成科技股份有限公司 | 太阳能反射镜及其制备方法 |
CN103018797A (zh) * | 2012-11-26 | 2013-04-03 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 一种用于激光、红外双波段高反射膜的膜系结构及其制备方法 |
CN103412350A (zh) * | 2013-08-16 | 2013-11-27 | 中国船舶重工集团公司第七一七研究所 | 一种多波段增强型金属反射膜及其制备方法 |
CN103592714A (zh) * | 2013-10-17 | 2014-02-19 | 同济大学 | 一种易于制备的反射式多通道滤光元件的设计方法 |
CN103668067A (zh) * | 2013-12-09 | 2014-03-26 | 西南技术物理研究所 | 大角度多波段红外高反射膜系的制备方法 |
CN103917912A (zh) * | 2011-11-04 | 2014-07-09 | 高通Mems科技公司 | 用于机电系统反射式显示装置的匹配层薄膜 |
CN104090312A (zh) * | 2014-07-30 | 2014-10-08 | 中国船舶重工集团公司第七一七研究所 | 一种高附着力红外金属反射膜及其制备方法 |
CN104561908A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-29 | 西南技术物理研究所 | 多波段高反射膜的制备方法 |
CN104593734A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-05-06 | 西南技术物理研究所 | 近中红外光学波段大角度入射多波段高反射膜的制备方法 |
CN104991294A (zh) * | 2015-06-18 | 2015-10-21 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 极低温环境大口径反射式望远镜防霜膜系及其制备方法 |
CN105163939A (zh) * | 2013-03-01 | 2015-12-16 | V·莱普特新 | 抗反射涂层 |
CN205067779U (zh) * | 2015-11-04 | 2016-03-02 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 一种高反射率太赫兹反射镜 |
-
2016
- 2016-10-18 CN CN201610906540.5A patent/CN106291908B/zh active Active
Patent Citations (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1149489A (en) * | 1965-05-24 | 1969-04-23 | Asahi Glass Co Ltd | Infra-red reflecting glass and method of making it |
GB1507532A (en) * | 1974-08-29 | 1978-04-19 | Heraeus Gmbh W C | Reflectors for infra-red radiation |
DD289674A7 (de) * | 1987-01-13 | 1991-05-08 | Carl Zeiss Jena Gmbh,De | Metallschichtreflektor |
CN2215121Y (zh) * | 1994-07-28 | 1995-12-13 | 华中理工大学 | 一种二氧化碳激光高反射镜 |
CN1420367A (zh) * | 2001-11-21 | 2003-05-28 | 中国科学院光电技术研究所 | 金属增强反射膜及其制作方法 |
CN1445767A (zh) * | 2002-03-20 | 2003-10-01 | 松下电器产业株式会社 | 光学信息记录介质及其制造方法 |
CN1540385A (zh) * | 2003-04-25 | 2004-10-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研 | 一种大口径折叠式望远镜的聚合物反射镜 |
CN1576902A (zh) * | 2003-06-27 | 2005-02-09 | 旭硝子株式会社 | 高反射镜 |
CN1677694A (zh) * | 2005-04-27 | 2005-10-05 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 氮化镓紫外探测器 |
CN101233434A (zh) * | 2005-07-29 | 2008-07-30 | 旭硝子株式会社 | 反射膜用层叠体 |
CN202171358U (zh) * | 2011-07-01 | 2012-03-21 | 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 | 直通式太阳能金属集热管 |
CN202383396U (zh) * | 2011-09-09 | 2012-08-15 | 华德塑料制品有限公司 | 导电反射结构 |
CN103917912A (zh) * | 2011-11-04 | 2014-07-09 | 高通Mems科技公司 | 用于机电系统反射式显示装置的匹配层薄膜 |
CN102809769A (zh) * | 2012-08-12 | 2012-12-05 | 兰州大成科技股份有限公司 | 太阳能反射镜及其制备方法 |
CN103018797A (zh) * | 2012-11-26 | 2013-04-03 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 一种用于激光、红外双波段高反射膜的膜系结构及其制备方法 |
CN105163939A (zh) * | 2013-03-01 | 2015-12-16 | V·莱普特新 | 抗反射涂层 |
CN103412350A (zh) * | 2013-08-16 | 2013-11-27 | 中国船舶重工集团公司第七一七研究所 | 一种多波段增强型金属反射膜及其制备方法 |
CN103592714A (zh) * | 2013-10-17 | 2014-02-19 | 同济大学 | 一种易于制备的反射式多通道滤光元件的设计方法 |
CN103668067A (zh) * | 2013-12-09 | 2014-03-26 | 西南技术物理研究所 | 大角度多波段红外高反射膜系的制备方法 |
CN104090312A (zh) * | 2014-07-30 | 2014-10-08 | 中国船舶重工集团公司第七一七研究所 | 一种高附着力红外金属反射膜及其制备方法 |
CN104561908A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-29 | 西南技术物理研究所 | 多波段高反射膜的制备方法 |
CN104593734A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-05-06 | 西南技术物理研究所 | 近中红外光学波段大角度入射多波段高反射膜的制备方法 |
CN104991294A (zh) * | 2015-06-18 | 2015-10-21 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 极低温环境大口径反射式望远镜防霜膜系及其制备方法 |
CN205067779U (zh) * | 2015-11-04 | 2016-03-02 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 一种高反射率太赫兹反射镜 |
Non-Patent Citations (5)
Title |
---|
W.C.WALKER 等: "Optical and photoelectric properties of thin metallic films in the vacuum ultraviolet", 《JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA》 * |
刘亚 等: "铬粘附层对金属_氧化硅界面热导影响研究", 《应用激光》 * |
刘颖 等: "Si基片上Au膜真空紫外反射特性研究", 《真空科学与技术学报》 * |
干蜀毅: "真空紫外反射膜特性及相关技术研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库基础科学辑》 * |
肖定全 等: "《薄膜物理与器件》", 31 May 2011, 国防工业出版社 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107632333A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-01-26 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 天文望远镜的超宽带高反射率反射镜膜系及其制备方法 |
CN108873111A (zh) * | 2018-07-16 | 2018-11-23 | 武汉科技大学 | 低层数中远红外高反射的一维金属增强型膜系结构 |
CN113126184A (zh) * | 2021-03-30 | 2021-07-16 | 中山联合光电科技股份有限公司 | 一种反射镜以及反射镜的镀膜方法 |
CN116148960A (zh) * | 2023-01-31 | 2023-05-23 | 宁波启朴芯微系统技术有限公司 | 一种光学介质反射膜及其制备方法和应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106291908B (zh) | 2021-05-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10605966B2 (en) | Enhanced performance metallic based optical mirror substrates | |
CN106291908A (zh) | 用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法 | |
US11143800B2 (en) | Extending the reflection bandwith of silver coating stacks for highly reflective mirrors | |
EP3347746B1 (en) | Optical coatings including buffer layers | |
KR20000023795A (ko) | 반사 방지막을 가지는 플라스틱 광학 부품과 반사 방지막의 막 두께를 균일하게 하는 기구 | |
CN104090312A (zh) | 一种高附着力红外金属反射膜及其制备方法 | |
JP2009116218A (ja) | 反射防止膜、反射防止膜の形成方法、及び透光部材 | |
US20020017452A1 (en) | Method for applying an antireflection coating to inorganic optically transparent substrates | |
US10618840B2 (en) | Method for producing a reflector element and reflector element | |
JP2009116220A (ja) | 反射防止膜、反射防止膜の形成方法、及び透光部材 | |
CN108866482B (zh) | 一种抗氧化抗反射耐腐蚀镜片及其制备方法 | |
EP3654072A1 (en) | Optical lens having a filtering interferential coating and a multilayer system for improving abrasion-resistance | |
JP4612827B2 (ja) | 反射防止膜 | |
CN106324732B (zh) | 一种超宽带激光薄膜反射镜 | |
JP2007310335A (ja) | 表面鏡 | |
JP2021026163A (ja) | 反射防止膜付き光学部材及びその製造方法 | |
US20140077681A1 (en) | Enhanced aluminum thin film coating for lamp reflectors | |
AU774079B2 (en) | Plastic optical devices having antireflection film and mechanism for equalizing thickness of antireflection film | |
US11204446B2 (en) | Anti-reflection film and an optical component containing the anti-reflection film | |
JP2006072031A (ja) | 赤外域用反射防止膜およびこれを用いた赤外線レンズ | |
JP7399963B2 (ja) | ミラーコーティング及び耐摩耗性改善のための多層系を有する光学レンズ | |
JP2019066600A (ja) | プラスチックレンズ及びその製造方法 | |
CN112867945B (zh) | 耐磨性得到改善的具有干涉涂层的光学制品 | |
CN115657190A (zh) | 一种金属基底紫外宽带高反射滤光镜及制备方法 | |
JPH1068802A (ja) | 反射防止膜及びその成膜法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |