CN2215121Y - 一种二氧化碳激光高反射镜 - Google Patents
一种二氧化碳激光高反射镜 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2215121Y CN2215121Y CN 94217522 CN94217522U CN2215121Y CN 2215121 Y CN2215121 Y CN 2215121Y CN 94217522 CN94217522 CN 94217522 CN 94217522 U CN94217522 U CN 94217522U CN 2215121 Y CN2215121 Y CN 2215121Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- quarter
- thickness
- wave optical
- optical thickness
- dusts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 30
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 15
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 title claims abstract description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 33
- PFNQVRZLDWYSCW-UHFFFAOYSA-N (fluoren-9-ylideneamino) n-naphthalen-1-ylcarbamate Chemical compound C12=CC=CC=C2C2=CC=CC=C2C1=NOC(=O)NC1=CC=CC2=CC=CC=C12 PFNQVRZLDWYSCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 229940105963 yttrium fluoride Drugs 0.000 claims abstract description 12
- RBORBHYCVONNJH-UHFFFAOYSA-K yttrium(iii) fluoride Chemical compound F[Y](F)F RBORBHYCVONNJH-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims abstract description 12
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims abstract description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims abstract 2
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract 2
- QCCDYNYSHILRDG-UHFFFAOYSA-K cerium(3+);trifluoride Chemical compound [F-].[F-].[F-].[Ce+3] QCCDYNYSHILRDG-UHFFFAOYSA-K 0.000 abstract 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 abstract 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- MZQZQKZKTGRQCG-UHFFFAOYSA-J thorium tetrafluoride Chemical compound F[Th](F)(F)F MZQZQKZKTGRQCG-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 239000011224 oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052574 oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000012857 radioactive material Substances 0.000 description 1
- 238000009738 saturating Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- GTLQJUQHDTWYJC-UHFFFAOYSA-N zinc;selenium(2-) Chemical class [Zn+2].[Se-2] GTLQJUQHDTWYJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种激光反射镜。它由具有高
低折射率交替出现的具有四分之一波长光学厚度的
膜堆构成，并具有保护层的二氧化碳激光高反射镜，
该反射镜以硅为基底，然后在此光学平面上真空蒸镀
一层或金或银或钼的反射层，然后依次蒸镀氟化钇、
硒化锌、氟化钇，最后是硒化锌和氧化铈组成的复合
层，其中氟化铈紧挨空气。
Description
本实用新型涉及一种激光反射镜
高功率二氧化碳激光器在工业上的应用非常广泛，而激光谐振腔和激光光路传输元件是这些应用的关键技术之一。激光高反射镜是构成激光谐振腔和激光传输光路的关键元件，它包括谐振腔尾镜，多折腔的折迭镜以及激光束偏折反射镜等。传统的反射镜是以铜作基底，研磨抛光成光学表面以后再在其上真空蒸镀金反射层。这种反射镜的反射率在百分之九十八左右，性能比较稳定，传热好，缺点是热变形大，反射率还不够高，且镜面污染以后不能擦洗，特别是热变形严重影响激光光束质量。专利EP265912《特别用于二氧化碳激光的多层介质红外反射镜——具有高低折射率交替出现的四分之一波长光学厚度的膜堆并有表面保护》（Multi－dielectric infrared mirroresp.for carbon dioxide laser－has quarter－wave stack of films of alternately high and low re－fractive index with surface protection）。该专利公开的反射镜最后一层高折射率薄膜换成一种复合薄膜，即最后一层为零点九九五微未厚的硒化锌加上零点一微米厚的非晶硅保护层。这种设计具有具有非常好的性能但仍有一些不足之处，其一，四氟化钍是放射性材料，不利于环境保护及生产和使用人员的健康，其二，对可见光的反射率不高（非晶硅对可光不透，其反射率只有百分之五十左右），不利于用氦氖激光调整光路（特别是多折腔的光路），其三，非晶硅膜的制备需用等离子体辅助化学气相淀积的方法，难于在常规真空镀膜机内进行，因此，整个膜系要分两次在两处完成，使制造成本提高。
针对上述现有技术存在的缺点，本发明的任务是提供一种在上述现有技术中将氟化钇YF3代替四氟化钍CeF4，将氧化铈陶瓷代替非晶硅，然后再进行参数优化的二氧化碳激光高反射镜。
为达到上述发明目的，本实用新型采取以下技术措施（图1），反射镜以光学平面抛光的硅Si作为基底1，然后在此光学平面上真空蒸镀一层金Au或银Ag或钼Mo的金属反射层2（厚度为一千五百至二千埃），然后依次蒸镀二氧化碳激光波长十点六微米的四分之一波长光学厚度（等于二点六五微米）的氟化钇YF33，四分之一波长光学厚度的硒化锌ZnSe4，四分之一波长光学厚度的氟化钇YF35，最后是由硒化锌ZnSe6和氧化铈CeO27组成的四分之一波长光学厚度的复合层，其中氧化铈CeO2紧挨空气，其厚度为五百埃至一千埃。
本实用新型的优点是完全可以克服上述现有技术存在的所述的三个缺点，因此易于推广使用。
附图说明如下：
附图1为本发明二氧化碳激光高反射镜结构原理图
结合附图对本实用新型作进一步说明如下：
本实用新型以光学平面抛光的硅Si作为基底1，然后在此光学平面上真空蒸镀一层厚度为一千五百埃的银Ag反射层2，然后依次蒸镀一点九二微米厚度的氟化钇YF33，一点一三微米厚度的硒化锌ZnSe4，一点九二微米厚度的氟化钇YF35，最后是由硒化锌ZnSe6和氧化铈CeO27组成的复合层，氧化铈CeO2紧换空气。其中硒化锌ZnSe的厚度为一点零五微米，氧化铈CeO2的厚度为零点一微米。
Claims (3)
1、一种具有高低折射率交替出现的具有四分之一波长光学厚度的膜堆，并具有保护层的二氧化碳激光高反射镜，其特征为该反射镜以光学平面抛光的硅作为Si基底(1)，然后在此光学平面上真空蒸镀一层金Au的金属反射层(2)(厚度为一千五百至二千埃)，然后依次蒸镀二氧化碳激光波长十点六微米的四分之一波长光学厚度的硒化锌ZnSe(4)，四分之一波长光学厚度的氟化钇YF3(5)，最后是由硒化锌ZnSe(7)和氧化铈CeO2(8)组成的四分之一波长光学厚度的复合层，其中氧化铈CeO2紧挨空气，其厚度为五百埃至一千埃。
2、一种具有高低折射率交替出现的具有四分之一波长光学厚度的膜堆，并具有保护层的二氧化碳激光高反射镜，其特征为该反射镜以光学平面抛光的硅Si作为基（1），然后在此光学平面上真蒸镀一层银Ag（2）的金属反射层（厚度为一千五百至二千埃），然后依次蒸镀二氧化碳激光波长十点六微米的四分之一波长光学厚度（二点五微米）的氟化钇YF3（3），四分之一波长光学厚度的硒化锌ZnSe（4），，四分之一波长光学厚度的氟化钇YF3（5），最后是由硒化锌ZnSe（6）和氧化铈CeO2（7）组成的四分之一波长光学厚度的复合层，其中氧化铈紧挨空气，其厚为五百埃至一千埃。
3、一种具有高低折射率交替出现的具有四分之一波长光学厚度的膜堆，并具有保护层的二氧化碳激光高反射镜，其特征为该反射镜以光学平面抛光的硅Si作为基底（1），然后在此光学平面上真空蒸镀一层钼Mo的金属反射层（2）（厚度为一千五百至二千埃），然后依次蒸镀二氧化碳激光波长十点六微米的四分之一波长光学厚度（二点六五微米）的氟化钇YF3（3），四分之一波长光学厚度的硒化锌ZnSe（4），四分之一波长光学厚度的氟化钇YF3（5），最后是由硒化锌ZnSe（6）和氧化铈CeO2（7）组成的四分之一波长光学厚度的复合层，其中氧化铈紧挨空气，其厚度为五百埃至一千埃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 94217522 CN2215121Y (zh) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 一种二氧化碳激光高反射镜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 94217522 CN2215121Y (zh) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 一种二氧化碳激光高反射镜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2215121Y true CN2215121Y (zh) | 1995-12-13 |
Family
ID=33832946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 94217522 Expired - Fee Related CN2215121Y (zh) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 一种二氧化碳激光高反射镜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2215121Y (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103777266A (zh) * | 2014-01-24 | 2014-05-07 | 大连波能激光光学有限公司 | 一种反射相位延迟镜及其制备方法 |
| CN106291908A (zh) * | 2016-10-18 | 2017-01-04 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法 |
| CN108445567A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-08-24 | 苏州沛斯仁光电科技有限公司 | 一种高损伤阈值的高反膜及制备方法 |
| CN109991691A (zh) * | 2019-04-15 | 2019-07-09 | 南京波长光电科技股份有限公司 | 一种三波段激光增透膜及其制备方法 |
| CN110004408A (zh) * | 2019-04-15 | 2019-07-12 | 南京波长光电科技股份有限公司 | 一种耐高温的co2激光增透膜及其制备方法 |
-
1994
- 1994-07-28 CN CN 94217522 patent/CN2215121Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103777266A (zh) * | 2014-01-24 | 2014-05-07 | 大连波能激光光学有限公司 | 一种反射相位延迟镜及其制备方法 |
| CN106291908A (zh) * | 2016-10-18 | 2017-01-04 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法 |
| CN106291908B (zh) * | 2016-10-18 | 2021-05-11 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法 |
| CN108445567A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-08-24 | 苏州沛斯仁光电科技有限公司 | 一种高损伤阈值的高反膜及制备方法 |
| CN109991691A (zh) * | 2019-04-15 | 2019-07-09 | 南京波长光电科技股份有限公司 | 一种三波段激光增透膜及其制备方法 |
| CN110004408A (zh) * | 2019-04-15 | 2019-07-12 | 南京波长光电科技股份有限公司 | 一种耐高温的co2激光增透膜及其制备方法 |
| CN109991691B (zh) * | 2019-04-15 | 2024-01-05 | 南京波长光电科技股份有限公司 | 一种三波段激光增透膜及其制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| AU2009277894B2 (en) | Broadband reflecting mirror | |
| CN108710169B (zh) | 辐射制冷滤光片及其制备方法和应用 | |
| JP2629693B2 (ja) | エキシマレーザ用ミラー | |
| US5449413A (en) | UV/IR reflecting solar cell cover | |
| US5106671A (en) | Transparent anti-reflective coating | |
| CN2215121Y (zh) | 一种二氧化碳激光高反射镜 | |
| WO2022253082A1 (zh) | 基于过渡金属膜层的可见光宽带完美吸收器及制备方法 | |
| JPH10268130A (ja) | 光吸収フィルタ | |
| JPH05127004A (ja) | 反射鏡 | |
| JPH02109003A (ja) | 反射鏡 | |
| WO2000070373A1 (en) | Low reflection composite in transparent matrix | |
| JP2000034557A (ja) | 近赤外線用増反射膜および製造方法 | |
| JPH10253802A (ja) | 反射防止膜 | |
| JP3031625B2 (ja) | 熱線吸収反射鏡 | |
| JP2748066B2 (ja) | 反射鏡 | |
| JPH0529081B2 (zh) | ||
| JP3550894B2 (ja) | 反射防止膜 | |
| JP3531444B2 (ja) | プリズム式ビームスプリッタ | |
| KR101688408B1 (ko) | 태양전지 모듈의 후면 반사용으로 유용한 고반사성 및 고내구성 다층코팅 기판 및 그 제조방법 | |
| JP7452354B2 (ja) | 光学部材及びその製造方法 | |
| CN1622401A (zh) | 锁模激光器的高破坏阈值半导体可饱和吸收镜 | |
| JP3266335B2 (ja) | 裏面反射鏡 | |
| JP3276182B2 (ja) | 表面反射鏡 | |
| JPH0836101A (ja) | 合成樹脂製光学部品の反射防止膜 | |
| RU2097802C1 (ru) | Интерференционное зеркало |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |