CN106197772A - 一种柔性压力传感器及其制备方法 - Google Patents
一种柔性压力传感器及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106197772A CN106197772A CN201610528645.1A CN201610528645A CN106197772A CN 106197772 A CN106197772 A CN 106197772A CN 201610528645 A CN201610528645 A CN 201610528645A CN 106197772 A CN106197772 A CN 106197772A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- layer
- substrate
- inductive
- conductive
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 67
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims abstract description 45
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 31
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 155
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 claims description 32
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 22
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 21
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 20
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 20
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 19
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 17
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 15
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 14
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 12
- 238000007711 solidification Methods 0.000 claims description 12
- 230000008023 solidification Effects 0.000 claims description 12
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 claims description 9
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 claims description 9
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 claims description 9
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N octamethyltrisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000004987 plasma desorption mass spectroscopy Methods 0.000 claims description 7
- 239000002238 carbon nanotube film Substances 0.000 claims description 6
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 6
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims description 5
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 claims description 5
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 claims description 5
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 4
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 3
- 239000005060 rubber Substances 0.000 claims description 3
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 claims description 3
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 claims description 2
- 229920002396 Polyurea Polymers 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 claims description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 claims description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 claims 1
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 21
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 8
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 abstract description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 5
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 2
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 description 9
- -1 biphosphate Amine Chemical class 0.000 description 6
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 6
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 6
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 2
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 238000004500 asepsis Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 239000013536 elastomeric material Substances 0.000 description 1
- 239000002305 electric material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000686 essence Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000035800 maturation Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003129 oil well Substances 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- AVTYONGGKAJVTE-OLXYHTOASA-L potassium L-tartrate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O AVTYONGGKAJVTE-OLXYHTOASA-L 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004078 waterproofing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/18—Measuring force or stress, in general using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
Description
Claims (10)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610528645.1A CN106197772B (zh) | 2016-07-06 | 2016-07-06 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610528645.1A CN106197772B (zh) | 2016-07-06 | 2016-07-06 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106197772A true CN106197772A (zh) | 2016-12-07 |
CN106197772B CN106197772B (zh) | 2020-01-03 |
Family
ID=57464595
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610528645.1A Active CN106197772B (zh) | 2016-07-06 | 2016-07-06 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106197772B (zh) |
Cited By (60)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106644194A (zh) * | 2017-01-23 | 2017-05-10 | 珠海安润普科技有限公司 | 电阻型压力传感器与可穿戴设备 |
CN106768520A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-05-31 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 压力传感器及其制备方法 |
CN106771756A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-05-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 毛刷辊压入量传感器及测量装置 |
CN106895931A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-06-27 | 北京航空航天大学 | 一种高灵敏度且大形变量的柔性应力传感器 |
CN107050820A (zh) * | 2017-01-10 | 2017-08-18 | 成都体育学院 | 一种武术散打运动员竞赛的自动计分系统 |
CN107101752A (zh) * | 2017-03-24 | 2017-08-29 | 中山大学 | 一种基于具有尖锥结构石墨烯的高灵敏度压力传感器及其制备方法 |
CN107167268A (zh) * | 2017-06-18 | 2017-09-15 | 王贺 | 电阻随压力改变的压力传感器 |
CN107389232A (zh) * | 2017-06-15 | 2017-11-24 | 华南理工大学 | 一种生物基非对称柔性力敏传感材料及其制备方法 |
CN107670735A (zh) * | 2017-09-14 | 2018-02-09 | 清华大学深圳研究生院 | 一种微流控传感器芯片系统及其制备方法 |
CN107741288A (zh) * | 2017-09-26 | 2018-02-27 | 李天夫 | 压力薄膜传感器及其制造方法以及包含其的智能跑鞋 |
CN107860558A (zh) * | 2017-10-11 | 2018-03-30 | 深圳奥比中光科技有限公司 | 衍射光学元件监测装置及方法 |
CN107866824A (zh) * | 2017-11-21 | 2018-04-03 | 深圳市优必选科技有限公司 | 机器人电子皮肤 |
CN107870273A (zh) * | 2017-10-11 | 2018-04-03 | 深圳奥比中光科技有限公司 | 衍射光学元件监测控制装置及方法 |
CN108332887A (zh) * | 2018-04-28 | 2018-07-27 | 河北工业大学 | 一种柔性应力传感器 |
CN108344529A (zh) * | 2017-01-17 | 2018-07-31 | 皮尔茨公司 | 具有壳体的触觉传感器 |
CN108663143A (zh) * | 2018-05-17 | 2018-10-16 | 浙江欧仁新材料有限公司 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
CN108663154A (zh) * | 2017-03-31 | 2018-10-16 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 柔性可穿戴气压传感器、其制备方法与应用 |
CN108700477A (zh) * | 2016-12-30 | 2018-10-23 | 华为技术有限公司 | 一种制备电容器的方法及电容器 |
CN108759659A (zh) * | 2018-06-06 | 2018-11-06 | 常州信息职业技术学院 | 油漆钣金件刮板测试平台控制系统 |
CN108760103A (zh) * | 2018-06-06 | 2018-11-06 | 常州信息职业技术学院 | 油漆钣金件刮板测试平台用压力传感器 |
CN108847442A (zh) * | 2018-06-30 | 2018-11-20 | 山东昊润自动化技术有限公司 | 一种压力芯片封装方法 |
CN108955961A (zh) * | 2018-06-06 | 2018-12-07 | 常州信息职业技术学院 | 油漆钣金件刮板测试平台的制造方法 |
CN109724724A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-05-07 | 武汉飞帛丝科技有限公司 | 压力分布式柔性传感器及其制备方法 |
CN109724723A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-05-07 | 武汉飞帛丝科技有限公司 | 纺织材料基可穿戴压力传感器及其制备方法 |
CN110146202A (zh) * | 2019-06-11 | 2019-08-20 | 广东工业大学 | 一种压阻式薄膜压力传感器及其制作方法 |
CN110207861A (zh) * | 2019-07-18 | 2019-09-06 | 柔微智能科技(苏州)有限公司 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
CN110501095A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-11-26 | 复旦大学 | 一种基于荷叶微棘突/MXene复合结构的仿生柔性压力传感器 |
CN110608662A (zh) * | 2018-06-14 | 2019-12-24 | 重庆海扶医疗科技股份有限公司 | 球形载荷应变检测传感器及其制备方法、检测装置 |
CN110849508A (zh) * | 2019-11-29 | 2020-02-28 | 上海交通大学 | 一种基于离散型接触结构的柔性压力传感器及其制备方法 |
CN110849515A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-02-28 | 王贺 | 一种布状传感器 |
CN111157105A (zh) * | 2020-01-06 | 2020-05-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 震颤传感器和震颤检测设备 |
CN111289152A (zh) * | 2018-06-28 | 2020-06-16 | 成都新柯力化工科技有限公司 | 一种可穿戴柔性压力电子传感器及制备方法 |
CN111337168A (zh) * | 2020-04-15 | 2020-06-26 | 温州大学苍南研究院 | 一种石墨基压阻式柔性压力传感器及其制作方法 |
CN111664985A (zh) * | 2020-06-15 | 2020-09-15 | 华东交通大学 | 一种面向列车转向架风压检测的曲面传感装置 |
CN111829699A (zh) * | 2020-08-10 | 2020-10-27 | 深圳先进技术研究院 | 电阻式压力传感器及其制备方法 |
CN111999208A (zh) * | 2020-08-28 | 2020-11-27 | 刘翡琼 | 一种基于电阻变化的高灵敏质量测量样品热重分析装置 |
CN112006813A (zh) * | 2020-09-02 | 2020-12-01 | 清华大学 | 柔性自驱动压力传感器及其制造方法 |
CN112129431A (zh) * | 2020-09-11 | 2020-12-25 | 合肥工业大学 | 基于腕部的pvdf传感器阵列结构及其性能测试装置 |
CN112442246A (zh) * | 2020-11-16 | 2021-03-05 | 柔微智能科技(苏州)有限公司 | 柔性压力传感膜制备方法、摔倒报警柔性地板及制作方法 |
CN112525390A (zh) * | 2016-07-11 | 2021-03-19 | 富西特有限公司 | 力和/或压力传感器 |
CN112857636A (zh) * | 2021-02-04 | 2021-05-28 | 西畔(北京)信息技术有限责任公司 | 压力传感器 |
CN113029419A (zh) * | 2021-02-26 | 2021-06-25 | 安徽国华光电技术有限公司 | 一种摩托车手把压力传感器 |
CN113218545A (zh) * | 2021-06-19 | 2021-08-06 | 北京服装学院 | 一种测头灵敏度放大装置及服装压力测试方法 |
US11099095B2 (en) | 2018-05-17 | 2021-08-24 | Zhejiang Ouren New Materials Co., Ltd. | Flexible pressure sensor and fabrication method thereof |
US11099692B2 (en) | 2017-05-22 | 2021-08-24 | Tangi0 Limited | Sensor device and method |
CN113340481A (zh) * | 2021-04-20 | 2021-09-03 | 中山大学 | 一种压力传感器及其制备方法 |
CN113350778A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-09-07 | 广州艾美网络科技有限公司 | 一种运动系统控制方法及运动系统 |
CN113397500A (zh) * | 2021-08-03 | 2021-09-17 | 华东师范大学 | 一种脉搏监测装置 |
CN113450635A (zh) * | 2021-05-26 | 2021-09-28 | 中国人民解放军海军军医大学第一附属医院 | 抗凝剂皮下注射训练用腹部模型及其训练方法 |
CN113764597A (zh) * | 2020-06-01 | 2021-12-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种光线传感器、感光方法、制作方法和穿戴装置 |
CN113984251A (zh) * | 2021-10-26 | 2022-01-28 | 西安微电子技术研究所 | 一种硅压阻式压力传感器的调试方法 |
CN114018449A (zh) * | 2021-10-28 | 2022-02-08 | 安捷利(番禺)电子实业有限公司 | 柔性印刷电路板压力传感器模组及其制备方法和应用 |
CN114054109A (zh) * | 2021-11-08 | 2022-02-18 | 北京化工大学 | 基于导电弹性体材料的血液凝固检测微流控芯片 |
CN114323372A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-12 | 浙江工业大学 | 一种电阻式柔性压力传感单元、传感器及制备方法 |
CN116429303A (zh) * | 2023-05-11 | 2023-07-14 | 江苏荣生电子有限公司 | 一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器 |
WO2023245943A1 (zh) * | 2022-06-20 | 2023-12-28 | 中国石油天然气集团有限公司 | 井筒多物理场测量器 |
CN117775235A (zh) * | 2023-11-28 | 2024-03-29 | 中国海洋大学 | 一种用于水下航行器尾迹流探测的仿生水母机器人 |
CN118067159A (zh) * | 2024-04-22 | 2024-05-24 | 武汉华威科智能技术有限公司 | 一种曲面分片式的柔性传感器以及敏感层的制作方法 |
JP7502142B2 (ja) | 2020-10-13 | 2024-06-18 | 藤倉コンポジット株式会社 | 圧力センサ |
CN119124414A (zh) * | 2024-09-12 | 2024-12-13 | 常州亦泓科技有限公司 | 一种压力传感结构及压力触控装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4493219A (en) * | 1982-08-02 | 1985-01-15 | Illinois Tool Works, Inc. | Force transducer |
CN101730841A (zh) * | 2007-04-23 | 2010-06-09 | 赛勒科学仪表股份有限公司 | 悬式膜压力传感阵列 |
CN102749158A (zh) * | 2012-04-13 | 2012-10-24 | 纳米新能源(唐山)有限责任公司 | 一种自供电压力传感器 |
CN105067161A (zh) * | 2015-08-15 | 2015-11-18 | 福州大学 | 匀强电场型机器人触觉传感器及其检测方法 |
CN105136344A (zh) * | 2015-08-15 | 2015-12-09 | 福州大学 | 非匀强电场型机器人触觉传感器及其检测方法 |
-
2016
- 2016-07-06 CN CN201610528645.1A patent/CN106197772B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4493219A (en) * | 1982-08-02 | 1985-01-15 | Illinois Tool Works, Inc. | Force transducer |
CN101730841A (zh) * | 2007-04-23 | 2010-06-09 | 赛勒科学仪表股份有限公司 | 悬式膜压力传感阵列 |
CN102749158A (zh) * | 2012-04-13 | 2012-10-24 | 纳米新能源(唐山)有限责任公司 | 一种自供电压力传感器 |
CN105067161A (zh) * | 2015-08-15 | 2015-11-18 | 福州大学 | 匀强电场型机器人触觉传感器及其检测方法 |
CN105136344A (zh) * | 2015-08-15 | 2015-12-09 | 福州大学 | 非匀强电场型机器人触觉传感器及其检测方法 |
Cited By (80)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112525390A (zh) * | 2016-07-11 | 2021-03-19 | 富西特有限公司 | 力和/或压力传感器 |
CN112525390B (zh) * | 2016-07-11 | 2022-08-02 | 富西特有限公司 | 力和/或压力传感器 |
CN106771756A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-05-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 毛刷辊压入量传感器及测量装置 |
WO2018120384A1 (zh) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 压力传感器及其制备方法 |
CN106768520A (zh) * | 2016-12-28 | 2017-05-31 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 压力传感器及其制备方法 |
CN106768520B (zh) * | 2016-12-28 | 2022-08-12 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 压力传感器及其制备方法 |
CN108700477A (zh) * | 2016-12-30 | 2018-10-23 | 华为技术有限公司 | 一种制备电容器的方法及电容器 |
CN107050820A (zh) * | 2017-01-10 | 2017-08-18 | 成都体育学院 | 一种武术散打运动员竞赛的自动计分系统 |
CN107050820B (zh) * | 2017-01-10 | 2022-07-01 | 成都体育学院 | 一种武术散打运动员竞赛的自动计分系统 |
CN108344529A (zh) * | 2017-01-17 | 2018-07-31 | 皮尔茨公司 | 具有壳体的触觉传感器 |
CN108344529B (zh) * | 2017-01-17 | 2021-07-23 | 皮尔茨公司 | 具有壳体的触觉传感器 |
CN106644194A (zh) * | 2017-01-23 | 2017-05-10 | 珠海安润普科技有限公司 | 电阻型压力传感器与可穿戴设备 |
CN107101752B (zh) * | 2017-03-24 | 2019-09-27 | 中山大学 | 一种基于具有尖锥结构石墨烯的高灵敏度压力传感器及其制备方法 |
CN107101752A (zh) * | 2017-03-24 | 2017-08-29 | 中山大学 | 一种基于具有尖锥结构石墨烯的高灵敏度压力传感器及其制备方法 |
CN108663154A (zh) * | 2017-03-31 | 2018-10-16 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 柔性可穿戴气压传感器、其制备方法与应用 |
CN106895931A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-06-27 | 北京航空航天大学 | 一种高灵敏度且大形变量的柔性应力传感器 |
US11099692B2 (en) | 2017-05-22 | 2021-08-24 | Tangi0 Limited | Sensor device and method |
CN107389232A (zh) * | 2017-06-15 | 2017-11-24 | 华南理工大学 | 一种生物基非对称柔性力敏传感材料及其制备方法 |
CN107167268A (zh) * | 2017-06-18 | 2017-09-15 | 王贺 | 电阻随压力改变的压力传感器 |
CN107670735A (zh) * | 2017-09-14 | 2018-02-09 | 清华大学深圳研究生院 | 一种微流控传感器芯片系统及其制备方法 |
CN107741288A (zh) * | 2017-09-26 | 2018-02-27 | 李天夫 | 压力薄膜传感器及其制造方法以及包含其的智能跑鞋 |
CN107870273A (zh) * | 2017-10-11 | 2018-04-03 | 深圳奥比中光科技有限公司 | 衍射光学元件监测控制装置及方法 |
CN107860558A (zh) * | 2017-10-11 | 2018-03-30 | 深圳奥比中光科技有限公司 | 衍射光学元件监测装置及方法 |
CN107866824A (zh) * | 2017-11-21 | 2018-04-03 | 深圳市优必选科技有限公司 | 机器人电子皮肤 |
CN108332887A (zh) * | 2018-04-28 | 2018-07-27 | 河北工业大学 | 一种柔性应力传感器 |
CN108663143A (zh) * | 2018-05-17 | 2018-10-16 | 浙江欧仁新材料有限公司 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
US11099095B2 (en) | 2018-05-17 | 2021-08-24 | Zhejiang Ouren New Materials Co., Ltd. | Flexible pressure sensor and fabrication method thereof |
WO2019218552A1 (zh) * | 2018-05-17 | 2019-11-21 | 浙江欧仁新材料有限公司 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
CN108760103A (zh) * | 2018-06-06 | 2018-11-06 | 常州信息职业技术学院 | 油漆钣金件刮板测试平台用压力传感器 |
CN108955961A (zh) * | 2018-06-06 | 2018-12-07 | 常州信息职业技术学院 | 油漆钣金件刮板测试平台的制造方法 |
CN108955961B (zh) * | 2018-06-06 | 2020-06-02 | 常州信息职业技术学院 | 油漆钣金件刮板测试平台用压力传感器的制造方法 |
CN108760103B (zh) * | 2018-06-06 | 2020-06-02 | 常州信息职业技术学院 | 油漆钣金件刮板测试平台用压力传感器 |
CN108759659B (zh) * | 2018-06-06 | 2020-06-09 | 常州信息职业技术学院 | 油漆钣金件刮板测试平台控制系统 |
CN108759659A (zh) * | 2018-06-06 | 2018-11-06 | 常州信息职业技术学院 | 油漆钣金件刮板测试平台控制系统 |
CN110608662A (zh) * | 2018-06-14 | 2019-12-24 | 重庆海扶医疗科技股份有限公司 | 球形载荷应变检测传感器及其制备方法、检测装置 |
CN110608662B (zh) * | 2018-06-14 | 2024-05-14 | 重庆海扶医疗科技股份有限公司 | 球形载荷应变检测传感器及其制备方法、检测装置 |
CN111289152A (zh) * | 2018-06-28 | 2020-06-16 | 成都新柯力化工科技有限公司 | 一种可穿戴柔性压力电子传感器及制备方法 |
CN108847442A (zh) * | 2018-06-30 | 2018-11-20 | 山东昊润自动化技术有限公司 | 一种压力芯片封装方法 |
CN109724723A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-05-07 | 武汉飞帛丝科技有限公司 | 纺织材料基可穿戴压力传感器及其制备方法 |
CN109724724B (zh) * | 2018-12-27 | 2022-01-04 | 武汉飞帛丝科技有限公司 | 压力分布式柔性传感器及其制备方法 |
CN109724724A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-05-07 | 武汉飞帛丝科技有限公司 | 压力分布式柔性传感器及其制备方法 |
CN110146202A (zh) * | 2019-06-11 | 2019-08-20 | 广东工业大学 | 一种压阻式薄膜压力传感器及其制作方法 |
CN110207861A (zh) * | 2019-07-18 | 2019-09-06 | 柔微智能科技(苏州)有限公司 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
CN110501095A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-11-26 | 复旦大学 | 一种基于荷叶微棘突/MXene复合结构的仿生柔性压力传感器 |
CN110849515A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-02-28 | 王贺 | 一种布状传感器 |
CN110849508A (zh) * | 2019-11-29 | 2020-02-28 | 上海交通大学 | 一种基于离散型接触结构的柔性压力传感器及其制备方法 |
CN110849508B (zh) * | 2019-11-29 | 2021-12-24 | 上海交通大学 | 一种基于离散型接触结构的柔性压力传感器及其制备方法 |
CN111157105A (zh) * | 2020-01-06 | 2020-05-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 震颤传感器和震颤检测设备 |
CN111337168A (zh) * | 2020-04-15 | 2020-06-26 | 温州大学苍南研究院 | 一种石墨基压阻式柔性压力传感器及其制作方法 |
CN113764597B (zh) * | 2020-06-01 | 2024-04-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种光线传感器、感光方法、制作方法和穿戴装置 |
CN113764597A (zh) * | 2020-06-01 | 2021-12-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种光线传感器、感光方法、制作方法和穿戴装置 |
CN111664985A (zh) * | 2020-06-15 | 2020-09-15 | 华东交通大学 | 一种面向列车转向架风压检测的曲面传感装置 |
CN111829699A (zh) * | 2020-08-10 | 2020-10-27 | 深圳先进技术研究院 | 电阻式压力传感器及其制备方法 |
CN111999208A (zh) * | 2020-08-28 | 2020-11-27 | 刘翡琼 | 一种基于电阻变化的高灵敏质量测量样品热重分析装置 |
CN112006813A (zh) * | 2020-09-02 | 2020-12-01 | 清华大学 | 柔性自驱动压力传感器及其制造方法 |
CN112006813B (zh) * | 2020-09-02 | 2021-07-06 | 清华大学 | 柔性自驱动压力传感器及其制造方法 |
CN112129431A (zh) * | 2020-09-11 | 2020-12-25 | 合肥工业大学 | 基于腕部的pvdf传感器阵列结构及其性能测试装置 |
JP7502142B2 (ja) | 2020-10-13 | 2024-06-18 | 藤倉コンポジット株式会社 | 圧力センサ |
CN112442246A (zh) * | 2020-11-16 | 2021-03-05 | 柔微智能科技(苏州)有限公司 | 柔性压力传感膜制备方法、摔倒报警柔性地板及制作方法 |
CN112857636A (zh) * | 2021-02-04 | 2021-05-28 | 西畔(北京)信息技术有限责任公司 | 压力传感器 |
CN112857636B (zh) * | 2021-02-04 | 2024-06-07 | 王明秋 | 压力传感器 |
CN113029419A (zh) * | 2021-02-26 | 2021-06-25 | 安徽国华光电技术有限公司 | 一种摩托车手把压力传感器 |
CN113340481A (zh) * | 2021-04-20 | 2021-09-03 | 中山大学 | 一种压力传感器及其制备方法 |
CN113450635A (zh) * | 2021-05-26 | 2021-09-28 | 中国人民解放军海军军医大学第一附属医院 | 抗凝剂皮下注射训练用腹部模型及其训练方法 |
CN113350778A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-09-07 | 广州艾美网络科技有限公司 | 一种运动系统控制方法及运动系统 |
CN113218545A (zh) * | 2021-06-19 | 2021-08-06 | 北京服装学院 | 一种测头灵敏度放大装置及服装压力测试方法 |
CN113397500A (zh) * | 2021-08-03 | 2021-09-17 | 华东师范大学 | 一种脉搏监测装置 |
CN113984251B (zh) * | 2021-10-26 | 2023-09-22 | 西安微电子技术研究所 | 一种硅压阻式压力传感器的调试方法 |
CN113984251A (zh) * | 2021-10-26 | 2022-01-28 | 西安微电子技术研究所 | 一种硅压阻式压力传感器的调试方法 |
CN114018449B (zh) * | 2021-10-28 | 2024-05-03 | 安捷利(番禺)电子实业有限公司 | 柔性印刷电路板压力传感器模组及其制备方法和应用 |
CN114018449A (zh) * | 2021-10-28 | 2022-02-08 | 安捷利(番禺)电子实业有限公司 | 柔性印刷电路板压力传感器模组及其制备方法和应用 |
CN114054109A (zh) * | 2021-11-08 | 2022-02-18 | 北京化工大学 | 基于导电弹性体材料的血液凝固检测微流控芯片 |
CN114054109B (zh) * | 2021-11-08 | 2022-12-27 | 北京化工大学 | 基于导电弹性体材料的血液凝固检测微流控芯片 |
CN114323372A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-12 | 浙江工业大学 | 一种电阻式柔性压力传感单元、传感器及制备方法 |
WO2023245943A1 (zh) * | 2022-06-20 | 2023-12-28 | 中国石油天然气集团有限公司 | 井筒多物理场测量器 |
CN116429303B (zh) * | 2023-05-11 | 2023-10-27 | 江苏荣生电子有限公司 | 一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器 |
CN116429303A (zh) * | 2023-05-11 | 2023-07-14 | 江苏荣生电子有限公司 | 一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器 |
CN117775235A (zh) * | 2023-11-28 | 2024-03-29 | 中国海洋大学 | 一种用于水下航行器尾迹流探测的仿生水母机器人 |
CN118067159A (zh) * | 2024-04-22 | 2024-05-24 | 武汉华威科智能技术有限公司 | 一种曲面分片式的柔性传感器以及敏感层的制作方法 |
CN119124414A (zh) * | 2024-09-12 | 2024-12-13 | 常州亦泓科技有限公司 | 一种压力传感结构及压力触控装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106197772B (zh) | 2020-01-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106197772A (zh) | 一种柔性压力传感器及其制备方法 | |
CN105606270B (zh) | 一种基于电容电阻复合式的全柔性触压觉传感器 | |
CN109883583B (zh) | 一种弹性体薄膜及其制备方法与包含该弹性体薄膜的柔性压力传感器 | |
Wu et al. | Large‐area compliant, low‐cost, and versatile pressure‐sensing platform based on microcrack‐designed carbon Black@ polyurethane sponge for human–machine interfacing | |
Woo et al. | A thin all-elastomeric capacitive pressure sensor array based on micro-contact printed elastic conductors | |
CN207366110U (zh) | 一种高灵敏压力传感器 | |
CN112964283B (zh) | 一种柔性叉指电容传感器结构及其制备方法 | |
Maddipatla et al. | A polyimide based force sensor fabricated using additive screen-printing process for flexible electronics | |
CN113465796B (zh) | 一种柔性集成式阵列压力传感器及制备方法 | |
Cheng et al. | Fast-response and low-hysteresis flexible pressure sensor based on silicon nanowires | |
CN110068404A (zh) | 一种电阻式柔性压力传感器件及其制备方法、传感器阵列 | |
CN110174195A (zh) | 一种仿生柔性压力传感器 | |
CN106595916A (zh) | 一种碳基电阻式柔性压力传感器 | |
CN109870254B (zh) | 一种高灵敏度的电容式滑触觉传感器 | |
CN111055554A (zh) | 一种新型柔性智能织物传感器及其制造方法 | |
CN109259891B (zh) | 一种测量压力的电子皮肤及其制备方法 | |
CN111024272A (zh) | 一种电容式柔性传感器的制备方法 | |
CN106352927A (zh) | 一种石墨烯分布式多物理量传感器阵列系统 | |
KR102015055B1 (ko) | 전도성 필름과 전도성 다공체 폼시트를 이용한 다층구조 압력센서 | |
CN104266788A (zh) | 一种柔性电容压力传感装置 | |
Wang et al. | A highly sensitive capacitive pressure sensor with microdome structure for robot tactile detection | |
Peng et al. | High sensitivity capacitive pressure sensor with bi-layer porous structure elastomeric dielectric formed by a facile solution based process | |
CN206339255U (zh) | 一种石墨烯分布式多物理量传感器阵列系统 | |
CN109827700A (zh) | 一种双片式石墨基压阻式柔性压力传感器及其制作工艺 | |
KR102423014B1 (ko) | 고민감도 압력센서 및 이의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20190312 Address after: No. 518-5 Zhonghui Road, Standard Factory Building of Chang'an Industrial Park, Huishan Economic Development Zone, Wuxi City, Jiangsu Province, 214000 Applicant after: Wuxi Sixth Element Electronic Film Technology Co., Ltd. Address before: 214174 No. 518-5 Zhonghui Road, Chang'an Industrial Park, Wuxi Huishan Economic Development Zone, Wuxi City, Jiangsu Province Applicant before: Wuxi Gefei Electronic Film Technology Co.,Ltd. |
|
TA01 | Transfer of patent application right | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 213100 floor 1, building 4, No. 6, Xiangyun Road, West Taihu science and Technology Industrial Park, Changzhou City, Jiangsu Province Patentee after: Changzhou sixth element Semiconductor Co.,Ltd. Address before: No. 518-5 Zhonghui Road, Standard Factory Building of Chang'an Industrial Park, Huishan Economic Development Zone, Wuxi City, Jiangsu Province, 214000 Patentee before: WUXI SIXTH ELEMENT ELECTRONIC FILM TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
CP03 | Change of name, title or address |