CN116429303B - 一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器 - Google Patents
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- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 title claims abstract description 21
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 93
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims abstract description 93
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims abstract description 93
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 59
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims abstract description 21
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 15
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 12
- 239000003364 biologic glue Substances 0.000 claims description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 7
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 claims description 5
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 8
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 81
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 210000003205 muscle Anatomy 0.000 description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 210000004243 sweat Anatomy 0.000 description 2
- 230000035900 sweating Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- -1 polydimethylsiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 1
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
- G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0018—Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0064—Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y15/00—Nanotechnology for interacting, sensing or actuating, e.g. quantum dots as markers in protein assays or molecular motors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/18—Measuring force or stress, in general using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
- G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
- G01L1/2287—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges constructional details of the strain gauges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/02—Sensors
- B81B2201/0264—Pressure sensors
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
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- Molecular Biology (AREA)
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Abstract
本发明涉及一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器，其包括保护机构，保护机构的内壁顶部固定连接有第一柔性衬底，保护机构的内壁底部固定连接有第二柔性衬底，第一柔性衬底的下表面固定连接有第一碳纳米管层，第二柔性衬底的上表面固定连接有第二碳纳米管层，第一碳纳米管层与第二碳纳米管层的接触面之间均匀固定连接有隔离机构；本发明涉及传感器的技术领域。该基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器在使用时，通过保护机构能起到一定的保护作用，尽量避免出现液体进入第一柔性衬底与第二柔性衬底之间的第一碳纳米管层和第二碳纳米管层部位的情况，从而能够增强本发明的使用效果，增大本发明的使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及传感器的技术领域，尤其是涉及一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器。
背景技术
微纳结构指的是利用正确的原子级组件结合精确控制的机械技术在原子尺度上设计、制造和完善微小结构和机械系统。微纳结构利用在微米尺度上构建的结构来实现许多物理现象。柔性压力传感器是压阻式应变传感器的主要组成部分之一，柔性压力传感器的工作原理是吸附在基材上的应变电阻随机械变形而变化，俗称电阻应变效应。柔性压力传感器是一种能够感知压力信号，并按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出电信号的装置或设备，柔性压力传感器可以测量特定位置相对于大气的压力。
现有的部分基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器在使用时，柔性压力传感器上所设置的第一柔性衬底与第二柔性衬底之间留有空隙，当柔性压力传感器贴在人员皮肤上使用时，人员可能会出现流汗的情况，当汗液进入柔性压力传感器内部时，可能会影响柔性压力传感器的使用效果，严重还会导致柔性压力传感器损坏，不利于实际使用，因此，本领域技术人员提供了一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器，以解决上述背景技术中提出的问题。
发明内容
为了解决柔性压力传感器上所设置的第一柔性衬底与第二柔性衬底之间留有空隙，当柔性压力传感器贴在人员皮肤上使用时，人员可能会出现流汗的情况，当汗液进入柔性压力传感器内部时，可能会影响柔性压力传感器的使用效果，严重还会导致柔性压力传感器损坏，不利于实际使用的问题，本发明提供一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器。
本发明提供的一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器采用如下的技术方案：
一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器，包括保护机构，所述保护机构的内壁顶部固定连接有第一柔性衬底，所述保护机构的内壁底部固定连接有第二柔性衬底，所述第一柔性衬底的下表面固定连接有第一碳纳米管层，所述第二柔性衬底的上表面固定连接有第二碳纳米管层，所述第一碳纳米管层与所述第二碳纳米管层的接触面之间均匀固定连接有隔离机构，所述第一碳纳米管层和所述第二碳纳米管层的一侧均固定连接有传输机构，所述传输机构的一端贯穿所述保护机构为所述保护机构的外部，所述保护机构的下表面固定连接有生物胶层，所述生物胶层的下表面粘贴有硅油纸层。
通过采用上述技术方案，保护机构能对设置的第一柔性衬底和第二柔性衬底起到一定的保护作用，在本发明使用时能够尽量避免出现液体进入第一柔性衬底与第二柔性衬底之间的情况，从而能够增强本发明的使用效果，增大本发明的使用寿命，第一碳纳米管层与第二碳纳米管层之间在受到挤压相互接触时能够进行导电，在第一碳纳米管层与第二碳纳米管层之间的接触面大小不同时，能够改变传输机构所输出的电阻大小，从而便于人员对压力进行监测。
优选的，所述保护机构包括柔性外罩，所述柔性外罩的内部开设有置物槽，所述第一柔性衬底、所述第二柔性衬底、所述第一碳纳米管层、所述第二碳纳米管层和所述隔离机构均位于所述置物槽的内部。
通过采用上述技术方案，柔性外罩通过开设的置物槽能限制第一柔性衬底、第二柔性衬底、第一碳纳米管层、第二碳纳米管层和隔离机构的安装位置，同时也起到一定的防水作用。
优选的，所述隔离机构包括位于所述第一碳纳米管层与所述第二碳纳米管层之间的弹性柱体，所述弹性柱体的上表面均匀固定连接有第一弹性筋，所述第一弹性筋的顶端与所述第一碳纳米管层的下表面固定连接，所述弹性柱体的下表面均匀固定连接有第二弹性筋，所述第二弹性筋的底端与所述第二碳纳米管层的上表面固定连接。
通过采用上述技术方案，弹性柱体能够限制第一弹性筋和第二弹性筋的安装位置，第一弹性筋和第二弹性筋有一定的弹性，能够限制第一碳纳米管层和第二碳纳米管层与弹性柱体之间的位置，尽量避免本发明在弯折时，出现隔离机构与连接部位开裂的情况。
优选的，所述传输机构包括导线，对称设置的所述导线的一端分别与所述第一碳纳米管层和所述第二碳纳米管层的一侧固定连接，所述导线的另一端固定连接有接线端子。
通过采用上述技术方案，导线能够将电流进行传输，接线端子能够便于导线与监测设备进行连接。
优选的，所述接线端子的外壁均匀固定连接有防滑条，所述防滑条为横向设置。
通过采用上述技术方案，防滑条在人员拔插接线端子时能增大与手部的摩擦力。
优选的，所述柔性外罩外侧壁固定连接有防护头，所述导线贯穿所述防护头。
通过采用上述技术方案，防护头能够对导线的穿出部位起到一定的防护作用。
优选的，所述防护头远离所述柔性外罩的一侧对称开设有置物孔，所述柔性外罩的内壁对称固定连接有位于所述置物孔内部的密封环，所述密封环的内壁与所述导线的外壁相抵接。
通过采用上述技术方案，通过密封环能够对导线部位起到一定的密封防护作用，尽量避免液体顺着导线进入柔性外罩的内部。
综上所述，本发明包括以下有益技术效果：
1、该基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器，设置的保护机构能够对第一柔性衬底和第二柔性衬底起到一定的保护作用，在本发明使用时能尽量避免出现液体进入第一柔性衬底与第二柔性衬底之间的情况，从而能够增强本发明的使用效果，增大本发明的使用寿命，第一碳纳米管层与第二碳纳米管层之间在受到挤压相互接触时能够进行导电，在第一碳纳米管层与第二碳纳米管层之间的接触面大小不同时，能够改变传输机构所输出的电阻大小，从而便于人员对压力进行监测，隔离机构能够限制第一碳纳米管层与第二碳纳米管层之间的位置，尽量避免第一碳纳米管层和第二碳纳米管层在未受到挤压时相互接触，生物胶层能够便于本发明直接进行粘贴使用。
2、该基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器，设置的柔性外罩通过开设的置物槽能够限制第一柔性衬底、第二柔性衬底、第一碳纳米管层、第二碳纳米管层和隔离机构的安装位置，同时起到一定的防水作用，弹性柱体能限制第一弹性筋和第二弹性筋的安装位置，第一弹性筋和第二弹性筋能限制第一碳纳米管层和第二碳纳米管层与弹性柱体之间的位置。
3、该基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器，设置的导线能够将电流进行传输，接线端子能够便于导线与监测设备进行连接，防滑条在人员拔插接线端子时能增大与手部的摩擦力，防护头能对导线的穿出部位起到一定的防护作用，密封环能够对导线部位起到一定的密封防护作用，尽量避免液体顺着导线进入柔性外罩的内部。
附图说明
图1是本发明实施例的整体结构示意图；
图2是本发明实施例中的剖视结构示意图；
图3是本发明实施例图2中的A处结构放大示意图；
图4是本发明实施例图2中的B处结构放大示意图。
附图标记说明：1、保护机构；101、柔性外罩；102、置物槽；2、第一柔性衬底；3、第二柔性衬底；4、第一碳纳米管层；5、第二碳纳米管层；6、隔离机构；601、弹性柱体；602、第一弹性筋；603、第二弹性筋；7、传输机构；701、导线；702、接线端子；8、生物胶层；9、硅油纸层；10、防护头；11、防滑条；12、置物孔；13、密封环。
实施方式
以下结合附图1-4对本发明作进一步详细说明。
本发明实施例公开一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器。参照图1、图2和图3，该基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器，包括保护机构1，保护机构1的内壁顶部固定连接有第一柔性衬底2，保护机构1的内壁底部固定连接有第二柔性衬底3，第一柔性衬底2的下表面固定连接有第一碳纳米管层4，第二柔性衬底3的上表面固定连接有第二碳纳米管层5，第一碳纳米管层4与第二碳纳米管层5的接触面之间均匀固定连接有隔离机构6，第一碳纳米管层4和第二碳纳米管层5的一侧均固定连接有传输机构7，传输机构7的一端贯穿保护机构1为保护机构1的外部，保护机构1的下表面固定连接有生物胶层8，生物胶层8的下表面粘贴有硅油纸层9。
在本实施例中，该基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器中设置的保护机构1能够限制第一柔性衬底2和第二柔性衬底3的安装位置，同时能够对第一柔性衬底2和第二柔性衬底3起到一定的保护作用，从而本发明在使用时能够尽量避免出现液体进入第一柔性衬底2与第二柔性衬底3之间的情况，从而能够增强本发明的使用效果，增大本发明的使用寿命，使本发明更加的利于实际使用，且第一柔性衬底2和第二柔性衬底3可使用聚二甲基硅氧烷材质，设置的第一碳纳米管层4与第二碳纳米管层5之间在受到挤压相互接触时能够进行导电，在第一碳纳米管层4与第二碳纳米管层5之间的接触面大小不同时，能够改变传输机构7所输出的电阻大小，从而便于人员对压力进行监测，隔离机构6能够限制第一碳纳米管层4与第二碳纳米管层5之间的位置，尽量避免第一碳纳米管层4和第二碳纳米管层5在未受到挤压时相互接触，生物胶层8能够便于本发明直接进行粘贴使用，且生物胶层8在水洗后一般能够重复进行使用，硅油纸层9能够对生物胶层8起到一定的防护作用。
在本发明进一步较佳的实施例中，如图2和图3所示，隔离机构6包括位于第一碳纳米管层4与第二碳纳米管层5之间的弹性柱体601，弹性柱体601的上表面均匀固定连接有第一弹性筋602，第一弹性筋602的顶端与第一碳纳米管层4的下表面固定连接，弹性柱体601的下表面均匀固定连接有第二弹性筋603，第二弹性筋603的底端与第二碳纳米管层5的上表面固定连接。
在本实施例中，弹性柱体601为硅胶材质有一定的弹性，通过弹性柱体601能够限制第一弹性筋602和第二弹性筋603的安装位置，设置的第一弹性筋602和第二弹性筋603有一定的弹性，能够限制第一碳纳米管层4和第二碳纳米管层5与弹性柱体601之间的位置，从而尽量避免本发明在弯折时，出现隔离机构6与连接部位开裂的情况。
在本发明进一步较佳的实施例中，如图1、图2和图3所示，保护机构1包括柔性外罩101，柔性外罩101的内部开设有置物槽102，第一柔性衬底2、第二柔性衬底3、第一碳纳米管层4、第二碳纳米管层5和隔离机构6均位于置物槽102的内部。
在本实施例中，所设置的柔性外罩101可使用ET防水薄膜材质，柔性外罩101通过开设的置物槽102能够限制第一柔性衬底2、第二柔性衬底3、第一碳纳米管层4、第二碳纳米管层5和隔离机构6的安装位置，同时能够对第一柔性衬底2、第二柔性衬底3、第一碳纳米管层4、第二碳纳米管层5和隔离机构6起到一定的防水作用。
在本发明进一步较佳的实施例中，如图1、图2和图4所示，传输机构7包括导线701，对称设置的导线701的一端分别与第一碳纳米管层4和第二碳纳米管层5的一侧固定连接，导线701的另一端固定连接有接线端子702。
在本实施例中，设置的导线701能够将电流进行传输，接线端子702能够便于导线701与监测设备进行连接。
在本发明进一步较佳的实施例中，如图1和图2所示，接线端子702的外壁均匀固定连接有防滑条11，防滑条11为横向设置。
在本实施例中，防滑条11在人员拔插接线端子702时，能够增大与手部的摩擦力。
在本发明进一步较佳的实施例中，如图1、图2和图4所示，柔性外罩101外侧壁固定连接有防护头10，导线701贯穿防护头10。
在本实施例中，设置的防护头10为圆柱体，能够对导线701的穿出部位起到一定的防护作用，尽量避免导线701从柔性外罩101的外壁部位断裂。
在本发明进一步较佳的实施例中，如图2和图4所示，防护头10远离柔性外罩101的一侧对称开设有置物孔12，柔性外罩101的内壁对称固定连接有位于置物孔12内部的密封环13，密封环13的内壁与导线701的外壁相抵接。
在本实施例中，开设的置物孔12能够限制密封环13的安装位置，密封环13能够对导线701部位起到一定的密封防护作用，尽量避免液体顺着导线701进入柔性外罩101的内部。
本发明实施例的基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器的实施原理为：
使用时，将硅油纸层9撕下，通过设置的生物胶层8直接将本发明粘贴在使用部位，在本发明使用受到挤压时，设置的第一碳纳米管层4与第二碳纳米管层5之间能够相互接触进行导电，在第一碳纳米管层4与第二碳纳米管层5之间的接触面大小不同时，能够改变传输机构7所输出的电阻大小，从而便于人员对压力进行监测，且本发明设置的第一柔性衬底2、第二柔性衬底3、第一碳纳米管层4、第二碳纳米管层5和隔离机构6均位于保护机构1的内部，通过保护机构1能起到一定的保护作用，尽量避免出现液体进入第一柔性衬底2与第二柔性衬底3之间的第一碳纳米管层4和第二碳纳米管层5部位的情况，从而能够增强本发明的使用效果，增大本发明的使用寿命，使本发明更加的利于实际使用。
以上均为本发明的较佳实施例，并非依此限制本发明的保护范围，故：凡依本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本发明的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器，包括保护机构（1），其特征在于：所述保护机构（1）的内壁顶部固定连接有第一柔性衬底（2），所述保护机构（1）的内壁底部固定连接有第二柔性衬底（3），所述第一柔性衬底（2）的下表面固定连接有第一碳纳米管层（4），所述第二柔性衬底（3）的上表面固定连接有第二碳纳米管层（5），所述第一碳纳米管层（4）与所述第二碳纳米管层（5）的接触面之间均匀固定连接有隔离机构（6），所述第一碳纳米管层（4）和所述第二碳纳米管层（5）的一侧均固定连接有传输机构（7），所述传输机构（7）的一端贯穿所述保护机构（1）为所述保护机构（1）的外部，所述保护机构（1）的下表面固定连接有生物胶层（8），所述生物胶层（8）的下表面粘贴有硅油纸层（9）；所述保护机构（1）包括柔性外罩（101），所述柔性外罩（101）的内部开设有置物槽（102），所述第一柔性衬底（2）、所述第二柔性衬底（3）、所述第一碳纳米管层（4）、所述第二碳纳米管层（5）和所述隔离机构（6）均位于所述置物槽（102）的内部；所述隔离机构（6）包括位于所述第一碳纳米管层（4）与所述第二碳纳米管层（5）之间的弹性柱体（601），所述弹性柱体（601）的上表面均匀固定连接有第一弹性筋（602），所述第一弹性筋（602）的顶端与所述第一碳纳米管层（4）的下表面固定连接，所述弹性柱体（601）的下表面均匀固定连接有第二弹性筋（603），所述第二弹性筋（603）的底端与所述第二碳纳米管层（5）的上表面固定连接；所述传输机构（7）包括导线（701），对称设置的所述导线（701）的一端分别与所述第一碳纳米管层（4）和所述第二碳纳米管层（5）的一侧固定连接，所述导线（701）的另一端固定连接有接线端子（702）。
2.根据权利要求1所述的一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器，其特征在于：所述接线端子（702）的外壁均匀固定连接有防滑条（11），所述防滑条（11）为横向设置。
3.根据权利要求2所述的一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器，其特征在于：所述柔性外罩（101）外侧壁固定连接有防护头（10），所述导线（701）贯穿所述防护头（10）。
4.根据权利要求3所述的一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器，其特征在于：所述防护头（10）远离所述柔性外罩（101）的一侧对称开设有置物孔（12），所述柔性外罩（101）的内壁对称固定连接有位于所述置物孔（12）内部的密封环（13），所述密封环（13）的内壁与所述导线（701）的外壁相抵接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310525761.8A CN116429303B (zh) | 2023-05-11 | 2023-05-11 | 一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202310525761.8A CN116429303B (zh) | 2023-05-11 | 2023-05-11 | 一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116429303A CN116429303A (zh) | 2023-07-14 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN202310525761.8A Active CN116429303B (zh) | 2023-05-11 | 2023-05-11 | 一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN116429303B (zh) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105092118A (zh) * | 2015-09-25 | 2015-11-25 | 东南大学 | 一种具有高灵敏度的柔性压阻式压力传感器及其制备方法 |
| CN106197772A (zh) * | 2016-07-06 | 2016-12-07 | 无锡格菲电子薄膜科技有限公司 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN210400683U (zh) * | 2019-10-25 | 2020-04-24 | 北京先智集成技术有限公司 | 一种新型高灵敏度多通道柔性压力传感器 |
| CN113267289A (zh) * | 2021-04-16 | 2021-08-17 | 上海交通大学 | 面向航空发动机的阵列式柔性压电传感器及其制备方法 |
| CN114674465A (zh) * | 2022-03-23 | 2022-06-28 | 合肥综合性国家科学中心人工智能研究院(安徽省人工智能实验室) | 基于柔性材料的电容式压力传感器及其制作方法 |
| CN115655559A (zh) * | 2022-09-09 | 2023-01-31 | 苏州慧闻纳米科技有限公司 | 一种柔性压力传感器和气流监测系统 |
-
2023
- 2023-05-11 CN CN202310525761.8A patent/CN116429303B/zh active Active
Patent Citations (6)
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|---|---|---|---|---|
| CN105092118A (zh) * | 2015-09-25 | 2015-11-25 | 东南大学 | 一种具有高灵敏度的柔性压阻式压力传感器及其制备方法 |
| CN106197772A (zh) * | 2016-07-06 | 2016-12-07 | 无锡格菲电子薄膜科技有限公司 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN210400683U (zh) * | 2019-10-25 | 2020-04-24 | 北京先智集成技术有限公司 | 一种新型高灵敏度多通道柔性压力传感器 |
| CN113267289A (zh) * | 2021-04-16 | 2021-08-17 | 上海交通大学 | 面向航空发动机的阵列式柔性压电传感器及其制备方法 |
| CN114674465A (zh) * | 2022-03-23 | 2022-06-28 | 合肥综合性国家科学中心人工智能研究院(安徽省人工智能实验室) | 基于柔性材料的电容式压力传感器及其制作方法 |
| CN115655559A (zh) * | 2022-09-09 | 2023-01-31 | 苏州慧闻纳米科技有限公司 | 一种柔性压力传感器和气流监测系统 |
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